JP2011038971A - センサ、発電装置及びその製造方法 - Google Patents
センサ、発電装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011038971A JP2011038971A JP2009188484A JP2009188484A JP2011038971A JP 2011038971 A JP2011038971 A JP 2011038971A JP 2009188484 A JP2009188484 A JP 2009188484A JP 2009188484 A JP2009188484 A JP 2009188484A JP 2011038971 A JP2011038971 A JP 2011038971A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- electrode layer
- active
- sensor
- lower electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Micromachines (AREA)
Abstract
【解決手段】本明細書に開示するセンサの一形態は、下部電極層11と、下部電極層11の上に積層された誘電体層12と、誘電体層12の上に積層された上部電極層13と、を有する複数の層状の活性部10と、支柱部20と、支柱部20が立設された基板部30と、を備え、複数の活性部10それぞれは、自由端部10aと、自由端部10aとは反対側の固定端部10bとを有し、複数の活性部10それぞれは、その面同士を対向させて且つ間隔をあけて、固定端部10bが支柱部20に固定されており、基板部30に最も近い位置の活性部10は、基板部30とは離間している。
【選択図】図1
Description
複数の活性部と、
支柱部と、
を備え、
前記複数の活性部それぞれは、
下部電極層と、前記下部電極層の上に積層された誘電体層と、前記誘電体層の上に積層された上部電極層と、を有し、且つ、
自由端部と、前記自由端部とは反対側の固定端部とを有し、且つ、
面同士を対向させて且つ間隔をあけて、前記固定端部が前記支柱部に固定されている、センサ。
前記支柱部が立設された基板部を備えており、
前記基板部に最も近い位置の前記活性部は、前記基板部とは離間して前記支柱部に固定さている付記1に記載のセンサ。
前記複数の活性部それぞれは、輪郭を一致させて、前記支柱部に固定されているセンサ付記1又は2に記載のセンサ。
前記下部電極層の外側に前記活性部を支持する支持層を有する付記1から3の何れか一項に記載のセンサ。
前記複数の活性部それぞれは、前記上部電極層同士及び前記下部電極層同士が並列に接続されている付記1から4の何れか一項に記載のセンサ。
前記誘電体層は、圧電体である付記1から5の何れか一項に記載のセンサ。
複数の活性部と、
支柱部と、
を備え、
前記複数の活性部それぞれは、
下部電極層と、前記下部電極層の上に積層された圧電体層と、前記圧電体層の上に積層された上部電極層と、を有し、且つ、
自由端部と、前記自由端部とは反対側の固定端部とを有し、且つ、
面同士を対向させて且つ間隔をあけて、前記固定端部が前記支柱部に固定されている、発電装置。
基板の上に、
下部電極層を形成する第1工程と、
前記下部電極層の上に誘電体層を形成する第2工程と、
前記誘電体層の上に上部電極層を形成する第3工程と、
前記上部電極層の上に犠牲層を形成する第4工程と、
前記第4工程で形成された前記犠牲層の上に、前記第1工程から前記第4工程までを繰り返して、複数の前記下部電極層と、複数の前記誘電体層と、複数の前記上部電極層と、複数の前記犠牲層とが積層された第1積層体を形成する第5工程と、
前記第1積層体の上に、前記1工程から前記第2工程までを繰り返して、複数の前記下部電極層と、複数の前記誘電体層と、複数の前記上部電極層と、複数の前記犠牲層とが積層された第2積層体を形成する第6工程と、
前記第2積層体の上に、支柱部パターン及び前記支柱部パターンから延出する活性部パターンを有するマスクパターンを形成する第7工程と、
前記マスクパターンをマスクとして、前記第2積層体を積層方向にエッチングすると共に、前記活性部パターンの最も下に位置する前記下部電極層の下側の前記基板の表面部分を除去して、支柱部と、前記支柱部から延出する活性部積層体を形成する第8工程と、
前記活性部積層体の上に、更に、上部電極層を形成する第9工程と、
前記活性部積層体における前記犠牲層の部分をエッチングする第10工程と、
を備えるセンサの製造方法。
10 活性部
11 下部電極層
12 誘電体層
13 上部電極層
14 支持層
20 支柱部
21a、21b ビアホール
22a、22b ビア導伝体
23 第1出力端子
24 第2出力端子
30 基板部
40 基板
41 犠牲層
42 第1積層体
43 第2積層体
44 マスクパターン
44a 支柱部パターン
44b 活性部パターン
44c 開口部
45 活性部積層体
46 マスク層
47 導伝層
48 センサ連続体
Claims (6)
- 複数の活性部と、
支柱部と、
を備え、
前記複数の活性部それぞれは、
下部電極層と、前記下部電極層の上に積層された誘電体層と、前記誘電体層の上に積層された上部電極層と、を有し、且つ、
自由端部と、前記自由端部とは反対側の固定端部とを有し、且つ、
面同士を対向させて且つ間隔をあけて、前記固定端部が前記支柱部に固定されている、センサ。 - 前記支柱部が立設された基板部を備えており、
前記基板部に最も近い位置の前記活性部は、前記基板部とは離間して前記支柱部に固定さている請求項1に記載のセンサ。 - 前記複数の活性部それぞれは、輪郭を一致させて、前記支柱部に固定されているセンサ請求項1又は2に記載のセンサ。
- 前記下部電極層の外側に前記活性部を支持する支持層を有する請求項1から3の何れか一項に記載のセンサ。
- 複数の活性部と、
支柱部と、
を備え、
前記複数の活性部それぞれは、
下部電極層と、前記下部電極層の上に積層された圧電体層と、前記圧電体層の上に積層された上部電極層と、を有し、且つ、
自由端部と、前記自由端部とは反対側の固定端部とを有し、且つ、
面同士を対向させて且つ間隔をあけて、前記固定端部が前記支柱部に固定されている、発電装置。 - 基板の上に、
下部電極層を形成する第1工程と、
前記下部電極層の上に誘電体層を形成する第2工程と、
前記誘電体層の上に上部電極層を形成する第3工程と、
前記上部電極層の上に犠牲層を形成する第4工程と、
前記第4工程で形成された前記犠牲層の上に、前記第1工程から前記第4工程までを繰り返して、複数の前記下部電極層と、複数の前記誘電体層と、複数の前記上部電極層と、複数の前記犠牲層とが積層された第1積層体を形成する第5工程と、
前記第1積層体の上に、前記1工程から前記第2工程までを繰り返して、複数の前記下部電極層と、複数の前記誘電体層と、複数の前記上部電極層と、複数の前記犠牲層とが積層された第2積層体を形成する第6工程と、
前記第2積層体の上に、支柱部パターン及び前記支柱部パターンから延出する活性部パターンを有するマスクパターンを形成する第7工程と、
前記マスクパターンをマスクとして、前記第2積層体を積層方向にエッチングすると共に、前記活性部パターンの最も下に位置する前記下部電極層の下側の前記基板の表面部分を除去して、支柱部と、前記支柱部から延出する活性部積層体を形成する第8工程と、
前記活性部積層体の上に、更に、上部電極層を形成する第9工程と、
前記活性部積層体における前記犠牲層の部分をエッチングする第10工程と、
を備えるセンサの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009188484A JP5540602B2 (ja) | 2009-08-17 | 2009-08-17 | センサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009188484A JP5540602B2 (ja) | 2009-08-17 | 2009-08-17 | センサの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011038971A true JP2011038971A (ja) | 2011-02-24 |
JP5540602B2 JP5540602B2 (ja) | 2014-07-02 |
Family
ID=43766890
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009188484A Expired - Fee Related JP5540602B2 (ja) | 2009-08-17 | 2009-08-17 | センサの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5540602B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012114671A1 (ja) | 2011-02-24 | 2012-08-30 | Necカシオモバイルコミュニケーションズ株式会社 | 電子機器 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0684369U (ja) * | 1993-05-11 | 1994-12-02 | 富士通テン株式会社 | 加速度センサ |
JPH08140369A (ja) * | 1994-11-08 | 1996-05-31 | Toyo Kako Kk | 発電装置 |
JP2001027648A (ja) * | 1999-07-13 | 2001-01-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 加速度センサ |
JP2003322661A (ja) * | 2002-04-26 | 2003-11-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 加速度センサ |
JP2004330832A (ja) * | 2003-05-02 | 2004-11-25 | Voc Direct:Kk | 波力発電発光浮子 |
JP2007024668A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Tdk Corp | センサ、及び、これを用いた電子機器 |
-
2009
- 2009-08-17 JP JP2009188484A patent/JP5540602B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0684369U (ja) * | 1993-05-11 | 1994-12-02 | 富士通テン株式会社 | 加速度センサ |
JPH08140369A (ja) * | 1994-11-08 | 1996-05-31 | Toyo Kako Kk | 発電装置 |
JP2001027648A (ja) * | 1999-07-13 | 2001-01-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 加速度センサ |
JP2003322661A (ja) * | 2002-04-26 | 2003-11-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 加速度センサ |
JP2004330832A (ja) * | 2003-05-02 | 2004-11-25 | Voc Direct:Kk | 波力発電発光浮子 |
JP2007024668A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Tdk Corp | センサ、及び、これを用いた電子機器 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012114671A1 (ja) | 2011-02-24 | 2012-08-30 | Necカシオモバイルコミュニケーションズ株式会社 | 電子機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5540602B2 (ja) | 2014-07-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11477580B2 (en) | Piezoelectric microphone chip and piezoelectric microphone | |
Yen et al. | Corrugated aluminum nitride energy harvesters for high energy conversion effectiveness | |
TWI437741B (zh) | 鐵電裝置 | |
JP3829861B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP5708364B2 (ja) | 超音波アレイセンサーおよびその製造方法 | |
JP5609244B2 (ja) | 振動発電デバイス | |
US8833165B2 (en) | Miniaturized piezoelectric accelerometers | |
JP6908322B2 (ja) | 圧電素子 | |
JP2011004035A (ja) | 屈曲振動片および屈曲振動片の製造方法 | |
JP6572892B2 (ja) | ジャイロセンサおよび電子機器 | |
JP6819002B2 (ja) | 圧電素子 | |
JP5451396B2 (ja) | 角速度検出装置 | |
JP5540602B2 (ja) | センサの製造方法 | |
US9331668B2 (en) | Vibrator with a beam-shaped portion above a recess in a substrate, and oscillator using same | |
US20130020910A1 (en) | Vibration power generation device and method of making the same | |
JP2010028535A (ja) | 音叉型振動子及び発振器 | |
JP2013015529A (ja) | 物理量センサ及びその製造方法 | |
US20150082884A1 (en) | Piezoelectric actuator module, method of manufacturing the same, and mems sensor having the same | |
US7336022B2 (en) | Piezoelectrical bending converter | |
JPWO2011001515A1 (ja) | 加速度センサ、振動発電デバイス及び加速度センサの製造方法 | |
JP2010071964A (ja) | 物理量センサ及びその製造方法 | |
JP2008233029A (ja) | 加速度センサおよび電子機器 | |
JP2018133384A (ja) | 圧電素子 | |
JP5982868B2 (ja) | 超音波センサー、超音波アレイセンサーおよび超音波センサーの製造方法 | |
JP6863516B2 (ja) | 物質検出素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120405 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120829 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120904 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121017 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130528 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130718 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140408 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140421 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5540602 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |