JPWO2008013118A1 - 液処理装置および液処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また、本発明の他の目的は、このような液処理方法を実行させるプログラムを記憶した記憶媒体を提供することにある。
Claims (12)
- 基板を水平に保持し、基板とともに回転可能な基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板を囲繞し、基板とともに回転可能な回転カップと、
前記回転カップおよび前記基板保持部を一体的に回転させる回転機構と、
基板に処理液を供給する処理液供給機構と、
前記回転カップの外側部分に洗浄液を供給する洗浄液供給機構と
を具備する、液処理装置。 - 前記処理液供給機構は前記洗浄液供給機構を兼ねている、請求項1に記載の液処理装置。
- 前記回転カップの外側に設けられ、前記回転カップから排出された処理液を受け止めるとともに、受け止めた処理液を排液する排液口を有する排液カップをさらに具備する、請求項1に記載の液処理装置。
- 前記排液カップの外側に前記排液カップを囲繞するように設けられ、前記回転カップおよびその周囲からの主に気体成分を取り入れて排気する排気カップをさらに具備する、請求項3に記載の液処理装置。
- 前記回転カップは、前記基板保持部に保持された基板の端部の上方を覆うように設けられた庇部と、庇部に連続して基板の外方を覆うように設けられた外側壁部とを有し、前記洗浄液は前記庇部の上面に供給される、請求項1に記載の液処理装置。
- 基板を水平に保持し、基板とともに回転可能な基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板を囲繞し、基板とともに回転可能な回転カップと、
前記回転カップおよび前記基板保持部を一体的に回転させる回転機構と、
基板に液処理を施す処理液および洗浄液を吐出する液吐出ノズルと、
前記液吐出ノズルへ処理液および洗浄液を供給する液供給部と、
基板に液を吐出する第1の位置と前記回転カップの外側部分に液を吐出する第2の位置との間で前記液吐出ノズルを移動させるノズル移動機構と
を具備し、
前記液吐出ノズルを基板に対応する位置に位置させた状態で前記液吐出ノズルから基板に処理液を吐出して基板に対して液処理を行い、前記液吐出ノズルを前記回転カップに対応する位置に位置させた状態で前記液吐出ノズルから回転カップの外側部分へ洗浄液を吐出して回転カップを洗浄する、液処理装置。 - 前記液吐出ノズルを基板に対応する位置に位置させた状態で前記液吐出ノズルから基板に処理液を吐出して基板に対して液処理を行い、前記液吐出ノズルを前記回転カップに対応する位置に位置させた状態で前記液吐出ノズルから回転カップの外側部分へ洗浄液を吐出して回転カップを洗浄するように前記液供給部および前記ノズル移動機構を制御する制御部をさらに有する、請求項6に記載の液処理装置。
- 前記回転カップの外側に設けられ、前記回転カップから排出された処理液を受け止めるとともに、受け止めた処理液を排液する排液口を有する排液カップをさらに具備する、請求項6に記載の液処理装置。
- 前記排液カップの外側に前記排液カップを囲繞するように設けられ、前記回転カップおよびその周囲からの主に気体成分を取り入れて排気する排気カップをさらに具備する、請求項8に記載の液処理装置。
- 前記回転カップは、前記基板保持部に保持された基板の端部の上方を覆うように設けられた庇部と、庇部に連続して基板の外方を覆うように設けられた外側壁部とを有し、前記洗浄液は前記庇部の上面に供給される、請求項6に記載の液処理装置。
- 基板を水平に保持し、基板とともに回転可能な基板保持部と、前記基板保持部に保持された基板を囲繞し、基板とともに回転可能な回転カップと、前記回転カップおよび前記基板保持部を一体的に回転させる回転機構と、基板に液処理を施す処理液および洗浄液を吐出する液吐出ノズルとを具備する液処理装置を用いて基板に対して液処理を行う液処理方法であって、
前記液吐出ノズルを基板に対応する位置に位置させ、前記液吐出ノズルから基板に処理液を吐出して基板に対して液処理を行うことと、
前記液吐出ノズルを前記回転カップに対応する位置に位置させ、前記液吐出ノズルから回転カップの外側へ洗浄液を吐出して回転カップを洗浄することと
を含む、液処理方法。 - コンピュータ上で動作し、基板を水平に保持し、基板とともに回転可能な基板保持部と、前記基板保持部に保持された基板を囲繞し、基板とともに回転可能な回転カップと、前記回転カップおよび前記基板保持部を一体的に回転させる回転機構と、基板に液処理を施す処理液および洗浄液を吐出する液吐出ノズルとを具備する液処理装置を制御するプログラムが記憶された記憶媒体であって、前記プログラムは、実行時に、
前記液吐出ノズルを基板に対応する位置に位置させ、前記液吐出ノズルから基板に処理液を吐出して基板に対して液処理を行うことと、
前記液吐出ノズルを前記回転カップに対応する位置に位置させ、前記液吐出ノズルから回転カップの外側へ洗浄液を吐出して回転カップを洗浄することと
を含む液処理方法が実行されるようにコンピュータに前記液処理装置を制御させる、記憶媒体。
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