JP4933945B2 - 液処理装置 - Google Patents
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Description
図8は、本発明の第2の実施形態に係る液処理装置の要部を拡大して示す断面図である。本実施形態では、案内部材、回転カップおよび排気・排液部の構造が第1の実施形態と異なっている。以下、これらの異なっている部分を主に説明するが、以下に説明する部分以外の他の部分は、第1の実施形態と同様に構成されている。
2;回転モータ
3,3′;回転カップ
4;表面処理液供給ノズル
5;裏面処理液供給ノズル
6;排気・排液部
8;ケーシング
9;FFU
11;回転プレート
12;回転軸
13;保持部材
31;垂直壁部材
32,51;庇部材
33,34;排出孔
35,35′;案内部材
41,41′;排液カップ
42,42′;排気カップ
43;排液口
44;排液管
45;排気口
46;排気管
53,54;スリット
55,56;スペーサ部材
57;開口部
100;液処理装置
W;ウエハ
Claims (6)
- 基板を水平に保持し、基板とともに回転可能な基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板を囲繞し、基板とともに回転可能な回転カップと、
前記回転カップおよび前記基板保持部を一体的に回転させる回転機構と、
少なくとも基板の表面に処理液を供給する液供給機構と、
前記回転カップから排出された排液を受けるとともに、前記回転カップ内およびその周囲の排気を行う排気・排液部と、
上面が基板表面と略連続するように基板の外側を囲繞して設けられ、前記回転機構により前記基板保持部および前記回転カップとともに回転される案内部材と
を具備し、
前記案内部材は、その上面の高さ位置が、前記基板保持部に保持された基板の表面の高さ位置と略一致するように設けられ、
前記回転カップは、前記案内部材の上方に配置された、環状をなす庇部材を有し、
前記基板保持部に保持された基板が前記回転カップおよび前記案内部材とともに回転された状態で、基板表面に供給され、基板表面から振り切られた処理液が、前記庇部材の下側で前記案内部材の上面により外側に向かって案内され、前記回転カップから前記排気・排液部へ流れるように構成されることを特徴とする液処理装置。 - 基板を水平に保持し、基板とともに回転可能な基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板を囲繞し、基板とともに回転可能な回転カップと、
前記回転カップおよび前記基板保持部を一体的に回転させる回転機構と、
基板の表面に処理液を供給する表面液供給機構と、
基板の裏面に処理液を供給する裏面液供給機構と、
前記回転カップから排出された排液を受けるとともに、前記回転カップ内およびその周囲の排気を行う排気・排液部と、
上下面が基板表裏面と略連続するように基板の外側を囲繞して設けられ、前記回転機構により前記基板保持部および前記回転カップとともに回転される案内部材と
を具備し、
前記案内部材は、その上下面の高さ位置が、前記基板保持部に保持された基板の表裏面の高さ位置と略一致するように設けられ、
前記回転カップは、前記案内部材の上方に配置された、環状をなす庇部材を有し、
前記基板保持部に保持された基板が前記回転カップおよび前記案内部材とともに回転された状態で、基板表面に供給され、基板表面から振り切られた処理液が、前記庇部材の下側で前記案内部材の上面により外側に向かって案内され、前記回転カップから前記排気・排液部へ流れ、
かつ前記基板裏面に供給され、基板裏面から振り切られた処理液が、前記案内部材の下面により外側に向かって案内され、前記回転カップから前記排気・排液部へ流れるように構成されることを特徴とする液処理装置。 - 前記案内部材は、その内端が基板に近接するように設けられ環状の板状体からなることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の液処理装置。
- 前記回転カップは、基板から振り切られた処理液を水平方向へ排出する処理液排出部を有していることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記回転カップは、基板から振り切られた処理液を取り入れて下方へ案内する案内壁と、取り入れた処理液を下方へ排出する開口部とを有していることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記排気・排液部は、基板から振り切られた排液を受ける環状をなす排液カップと、前記排液カップの外側に設けられ、前記回転カップの排気を行う排気カップとを有することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の液処理装置。
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