JP5890108B2 - 洗浄処理方法 - Google Patents
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Description
9 制御部
10 チャンバー
11 側壁
15 仕切板
20 スピンチャック
21 スピンベース
21a 保持面
22 スピンモータ
26 チャック部材
28 下面処理液ノズル
30 上面処理液ノズル
31 吐出ヘッド
32 ノズルアーム
33 ノズル基台
40 処理カップ
41 内カップ
42 中カップ
43 外カップ
43d 外側上面
47 第1案内部
52 第2案内部
60 二流体ノズル
64 気体ヘッド
Claims (6)
- 保持すべき基板の下面と対向する保持面を有する基板保持手段を第1の回転数にて回転させつつ、前記基板保持手段の周囲を取り囲むカップの上端を前記基板保持手段よりも低くして洗浄液供給ノズルから前記保持面に洗浄液を供給し、回転する前記保持面から飛散した洗浄液によって前記カップの外側上面を洗浄するカップ上面洗浄工程と、
前記基板保持手段を第1の回転数よりも大きな第2の回転数にて回転させつつ、前記洗浄液供給ノズルから前記保持面に洗浄液を供給し、回転する前記保持面から飛散した洗浄液によって前記カップの周囲のカップ外領域を洗浄するカップ外領域洗浄工程と、
を備え、
前記カップ外領域洗浄工程では、洗浄液を供給する前記洗浄液供給ノズルを前記保持面の上方にて前記基板保持手段の一端側と他端側との間で往復移動させることを特徴とする洗浄処理方法。 - 保持すべき基板の下面と対向する保持面を有する基板保持手段を第1の回転数にて回転させつつ、前記基板保持手段の周囲を取り囲むカップの上端を前記基板保持手段よりも低くして洗浄液供給ノズルから前記保持面に洗浄液を供給し、回転する前記保持面から飛散した洗浄液によって前記カップの外側上面を洗浄するカップ上面洗浄工程と、
前記基板保持手段を第1の回転数よりも大きな第2の回転数にて回転させつつ、前記洗浄液供給ノズルから前記保持面に洗浄液を供給し、回転する前記保持面から飛散した洗浄液によって前記カップの周囲のカップ外領域を洗浄するカップ外領域洗浄工程と、
を備え、
前記カップ上面洗浄工程では、洗浄液を供給する前記洗浄液供給ノズルを前記保持面の上方にて前記基板保持手段の一端側と他端側との間で往復移動させることを特徴とする洗浄処理方法。 - 請求項1または請求項2記載の洗浄処理方法において、
前記基板保持手段を第1の回転数よりも小さな第3の回転数にて回転させつつ、前記カップの上端を前記基板保持手段よりも高くして前記洗浄液供給ノズルから前記保持面に洗浄液を供給し、回転する前記保持面から飛散した洗浄液によって前記カップの内側を洗浄するカップ内側洗浄工程をさらに備えることを特徴とする洗浄処理方法。 - 請求項3記載の洗浄処理方法において、
前記カップには高さ方向に沿って複数の案内部が設けられ、
前記カップ内側洗浄工程では、前記複数の案内部のそれぞれが前記基板保持手段と同じ高さとなるようにして前記複数の案内部のそれぞれを洗浄することを特徴とする洗浄処理方法。 - 保持すべき基板の下面と対向する保持面を有する基板保持手段を第1の回転数にて回転させつつ、前記基板保持手段の周囲を取り囲むカップの上端を前記基板保持手段よりも低くして洗浄液供給ノズルから前記保持面に洗浄液を供給し、回転する前記保持面から飛散した洗浄液によって前記カップの外側上面を洗浄するカップ上面洗浄工程と、
前記基板保持手段を第1の回転数よりも大きな第2の回転数にて回転させつつ、前記洗浄液供給ノズルから前記保持面に洗浄液を供給し、回転する前記保持面から飛散した洗浄液によって前記カップの周囲のカップ外領域を洗浄するカップ外領域洗浄工程と、
前記基板保持手段を第2の回転数よりも大きな第4の回転数にて回転させることによって生じた気流により前記カップの外側上面および前記カップ外領域を乾燥する乾燥工程と、
を備えることを特徴とする洗浄処理方法。 - 請求項5記載の洗浄処理方法において、
前記乾燥工程では、ガス供給ノズルから少なくとも前記カップの外側上面にガスを吐出することを特徴とする洗浄処理方法。
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