JP6051919B2 - 液処理装置 - Google Patents
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Description
この基板保持部を鉛直軸周りに回転させるための回転駆動部と、
回転する基板に処理液を供給する処理液供給部と、
前記基板保持部と共に回転し、当該基板保持部に保持された基板を囲み、且つ、互いに隙間を介して上下に重なり、基板から振り切られた処理液を案内する上側ガイドリング及び下側ガイドリングと、
前記基板保持部と共に回転し、前記上側ガイドリング及び下側ガイドリングに案内された処理液を受け止めて下方側へ向けて案内する回転カップと、を備え、
前記上側ガイドリングの下面は、前記基板保持部に保持された基板の下面よりも高い位置に配置されると共に、前記下側ガイドリングの上面は、当該基板の上面よりも低い位置に配置されていることと、
前記上側ガイドリングと下側ガイドリングとの間の隙間の高さ寸法が、前記基板保持部に保持された基板の厚さ寸法よりも大きいことと、を特徴とする。
(a)前記上側ガイドリング及び下側ガイドリングは、前記隙間の中心の高さ位置を、前記基板保持部に保持された平坦な基板の厚さ方向の中心の高さ位置に合わせて配置されていること。
(b)前記上側ガイドリング及び下側ガイドリングの外周端部は、斜め下方へ向けて傾斜していること。
(c)前記回転カップは、円環状の外カップの内側に収容され、この外カップは前記回転カップを上方から覆う上壁部を備え、この上壁部の上面中央部には、基板の直径よりも直径が小さい開口部が形成されていること。また、この上壁部が円錐形状であること。または、前記回転カップの上方側には、その上面中央部に、基板の直径よりも直径が小さい開口部が形成され、前記基板保持部と共に回転する錐形の蓋部材が設けられていること。
(d)前記上側ガイドリング及び下側ガイドリングは、基板の側周面に対向する内周面の端部形状が鋭角であること。
(e)前記上側ガイドリングと下側ガイドリングとの間の隙間は、外周側に向かうに従って狭くなること。
(f)前記上側ガイドリングの下面または前記下側ガイドリングの上面の少なくとも一方には、これら上側ガイドリングと下側ガイドリングとの隙間に進入した処理液を外方へ案内する線条突起部が形成されていること。
なお、液ノズル411、IPAノズル412は、共通のノズルブロック42に設ける場合に限られるものではなく、各々のノズル411、412専用のノズルブロックや移動機構などを設けてもよい。
液ノズル411に接続された流路には各処理液(薬液及びDIW)のタンクと、流量調節機構とを備えたDIW供給部62、薬液供給部63が接続されている。そして、前記液流路と各処理液の供給部62、63とを繋ぐ接続管路上に設けられた開閉バルブV2、V3を開閉することにより、液ノズル411からウエハWへと各処理液を切り替えて供給することができる。
また、筐体11の側壁には、不図示の開閉扉が設けられており、この開閉扉を開いて外部のウエハ搬送機構を筐体11内に進入させることができる。
ウエハWの表面を広がり周縁部に到達した処理液は、図5に示すようにベベルの傾斜面に沿って流れ、斜め下方側へ向けて振り切られる。
144 円錐蓋
21 支持プレート
24 液供給部
411 液ノズル
412 IPAノズル
51、51a
回転カップ
510 開口部
52 上側ガイドリング
53 下側ガイドリング
7 制御部
Claims (9)
- 半導体ウエハである基板を水平に保持するための基板保持部と、
この基板保持部を鉛直軸周りに回転させるための回転駆動部と、
回転する基板に処理液を供給する処理液供給部と、
前記基板保持部と共に回転し、当該基板保持部に保持された基板を囲み、且つ、互いに隙間を介して上下に重なり、基板から振り切られた処理液を案内する上側ガイドリング及び下側ガイドリングと、
前記基板保持部と共に回転し、前記上側ガイドリング及び下側ガイドリングに案内された処理液を受け止めて下方側へ向けて案内する回転カップと、を備え、
前記上側ガイドリングの下面は、前記基板保持部に保持された基板の下面よりも高い位置に配置されると共に、前記下側ガイドリングの上面は、当該基板の上面よりも低い位置に配置されていることと、
前記上側ガイドリングと下側ガイドリングとの間の隙間の高さ寸法が、前記基板保持部に保持された基板の厚さ寸法よりも大きいことと、を特徴とする液処理装置。 - 前記上側ガイドリング及び下側ガイドリングは、前記隙間の中心の高さ位置を、前記基板保持部に保持された平坦な基板の厚さ方向の中心の高さ位置に合わせて配置されていることを特徴とする請求項1に記載の液処理装置。
- 前記上側ガイドリング及び下側ガイドリングの外周端部は、斜め下方へ向けて傾斜していることを特徴とする請求項1または2に記載の液処理装置。
- 前記回転カップは、円環状の外カップの内側に収容され、この外カップは前記回転カップを上方から覆う上壁部を備え、この上壁部の上面中央部には、基板の直径よりも直径が小さい開口部が形成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の液処理装置。
- 前記上壁部が円錐形状であることを特徴とする請求項4に記載の液処理装置。
- 前記回転カップの上方側には、その上面中央部に、基板の直径よりも直径が小さい開口部が形成され、前記基板保持部と共に回転する錐形の蓋部材が設けられていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の液処理装置。
- 前記上側ガイドリング及び下側ガイドリングは、基板の側周面に対向する内周面の端部形状が鋭角であることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか一つに記載の液処理装置。
- 前記上側ガイドリングと下側ガイドリングとの間の隙間は、外周側に向かうに従って狭くなることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか一つに記載の液処理装置。
- 前記上側ガイドリングの下面または前記下側ガイドリングの上面の少なくとも一方には、これら上側ガイドリングと下側ガイドリングとの隙間に進入した処理液を外方へ案内する線条突起部が形成されていることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか一つに記載の液処理装置。
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