JP5036415B2 - 液処理装置および液処理方法 - Google Patents
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Description
i)複数種の処理液を使用する場合には、通常、処理後の排出先を切り替えて分別するが、処理液を切り替えてからその処理液が排出口から排出されるまでに時間がかかるため、排出先を切り替えるタイミングを見極めるのが困難である。
ii)処理液を切り替えた後もしばらくの間排液カップ内に切り替える前の処理液が残留しているため、切替前後の2種類の処理液が混ざった状態で排出されてしまう。
2;ウエハ保持部
3;回転モータ
4;回転カップ
5;表面処理液供給ノズル
6;裏面処理液供給ノズル
7;排気・排液部
8;ケーシング
9;FFU
11;回転プレート
12;回転軸
13;昇降部材
14;保持部材
31;庇部
32;外側壁部
32a;旋回流形成部材
33;隙間
35;案内部材
51;排液カップ
52;排気カップ
53;外側壁
54;底部
60;排液口
62;スロープ
100;液処理装置
W;ウエハ
Claims (13)
- 基板を水平に保持し、基板とともに回転可能な基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板を囲繞するように環状をなし、基板とともに回転可能な回転カップと、
前記回転カップおよび前記基板保持部を一体的に回転させる回転機構と、
基板に処理液を供給する液供給機構と、
前記回転カップに対応した環状をなし、前記回転カップから排出された処理液を受けとるとともに、受けとった処理液を排液する排液口を有する排液カップと、
前記排液カップの内部に挿入され、前記回転カップおよび前記基板保持部の回転にともなって回転することにより前記排液カップ内に旋回流を形成し、その旋回流に随伴させて前記排液カップ内の処理液を前記排液口に導く旋回流形成部材と
を具備し、
前記回転カップは、前記基板保持部に保持された基板の端部の上方を覆うように設けられた庇部と、庇部に連続して基板の外方を覆うように設けられた外側壁部とを有し、
前記旋回流形成部材は、前記回転カップに備えられ、前記排液カップに沿って筒状に形成されており、前記外側壁部から連続して垂直に前記基板保持部よりも下方へ延びて前記排液カップ内に挿入されていることを特徴とする液処理装置。 - 前記排液カップには、周方向に沿って処理液が前記排液口に流れ込むように下りスロープが形成されていることを特徴とする請求項1に記載の液処理装置。
- 前記下りスロープは、排液口に処理液が流れ込む部分に周方向の所定長さにわたって形成されていることを特徴とする請求項2に記載の液処理装置。
- 前記排液口において、前記下りスロープの反対側に案内壁部が形成され、前記案内壁部は、垂線に対して前記下りスロープから離れる方向に傾斜していることを特徴とする請求項3に記載の液処理装置。
- 前記案内壁部の垂線に対する角度θは0°<θ<90°を満足することを特徴とする請求項4に記載の液処理装置。
- 前記案内壁部の頂部は前記下りスロープの終端部よりも上に配置されていることを特徴とする請求項4または請求項5に記載の液処理装置。
- 前記旋回流形成部材の前記排液カップに挿入された筒状部分は、前記排液カップの内面に沿って配置されており、前記筒状部分は、前記排液カップ内において、前記筒状部分の半径方向内側に突出する実質的な突部が無い内面を有することを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記筒状部分の前記内面は、下端において、前記排液カップの前記内面に向かって半径方向外方かつ下方に傾斜するテーパー部によって終端することを特徴とする請求項7に記載の液処理装置。
- 前記筒状部分の前記内面の前記テーパー部は、前記基板保持部に支持された前記基板の底面よりも十分に下方に位置することを特徴とする請求項8に記載の液処理装置。
- 前記排液カップの底部は、外側から内側に向かって上昇するように傾斜していることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記排液カップの外側に前記排液カップを囲繞するように設けられ、前記回転カップおよびその周囲からの主に気体成分を取り入れて排気する排気カップをさらに具備することを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 基板を水平に保持し、基板とともに回転可能な基板保持部と、前記基板保持部に保持された基板を囲繞するように環状をなし、基板とともに回転可能であり、前記基板保持部に保持された基板の端部の上方を覆うように設けられた庇部と、庇部に連続して基板の外方を覆うように設けられた外側壁部とを有する回転カップと、前記回転カップおよび前記基板保持部を一体的に回転させる回転機構と、基板に処理液を供給する液供給機構と、前記回転カップに対応した環状をなし、前記回転カップから排出された処理液を受けとるとともに、受けとった処理液を排液する排液口を有する排液カップと、前記回転カップに備えられ、前記排液カップに沿って筒状に形成されており、前記外側壁部から連続して垂直に前記基板保持部よりも下方へ延びて前記排液カップ内に挿入された旋回流形成部材とを有する液処理装置を用いた液処理方法であって、
前記基板保持部に保持された基板上に処理液を供給する工程と、
前記回転カップおよび前記基板保持部を回転させながら、処理液が供給された基板を回転させる工程と、
前記回転カップから排出された処理液を前記排液カップによって受けとる工程と、
前記回転カップおよび前記基板保持部の回転にともなって前記旋回流形成部材を回転させることにより、前記排液カップ内に旋回流を形成し、その旋回流に随伴させて前記排液カップ内の処理液を前記排液口に導く工程と
を具備することを特徴とする液処理方法。 - 前記旋回流形成部材の下端の前記排液カップ底部からの高さ位置および基板の回転速度によって前記旋回流を調整することを特徴とする請求項12に記載の液処理方法。
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