JP5015870B2 - 基板処理装置、保持部材および基板処理方法 - Google Patents
基板処理装置、保持部材および基板処理方法 Download PDFInfo
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Description
被処理基板を処理する基板処理装置において、
回転自在に設けられた回転台と、
前記回転台に揺動自在に設けられ、一端が上方側に揺動しているときに前記被処理基板を保持する保持部材と、
前記保持部材が前記被処理基板を保持しているときに、前記回転台を回転させる回転駆動機構と、
前記回転台と前記保持部材との間に配置されたシール部材と、を備え、
前記シール部材が、前記保持部材の一端が上方側に揺動しているときに、前記回転台と前記保持部材との間を密封する。
前記回転台に、前記保持部材の一端が上方側に揺動しているときに、該保持部材が通過する開口が設けられ、
前記シール部材が、前記開口の周縁外方を囲んで配置されていることが好ましい。
前記シール部材は、前記回転台の下面に設けられていることが好ましい。
前記シール部材は、前記保持部材の一端側に設けられていることが好ましい。
前記保持部材によって保持された前記被処理基板の裏面に処理液を供給する裏面側処理液供給部をさらに備えたことが好ましい。
前記シール部材は、O−リングからなることが好ましい。
回転自在に設けられた回転台に、揺動自在に設けられた保持部材であって、
前記回転台との間に設けられたシール部材を有し、
一端が上方側に揺動しているときに被処理基板を保持するとともに、前記シール部材によって、前記回転台との間を密封する。
被処理基板を処理する基板処理方法において、
回転台と、該回転台に揺動自在に設けられた保持部材と、前記回転台と前記保持部材との間に配置されたシール部材と、を有する基板処理装置を用いた基板処理方法であって、
前記保持部材の一端が上方側に揺動し、前記被処理基板を保持する保持工程と、
前記保持部材が前記被処理基板を保持しているときに、前記回転台を回転させる回転工程と、を備え、
前記保持工程において、前記シール部材によって、前記回転台と前記保持部材との間が密封され、
前記回転工程が、100rpm以下の速度で前記回転台を回転させる。
以下、本発明に係る、被処理基板である半導体ウエハW(以下、ウエハWとも言う)を洗浄する基板処理装置を有する洗浄処理システムの実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図1乃至図5は本発明の実施の形態を示す図である。
22 カップ
30 回転テーブル(回転台)
30p 開口
50 保持部材
50a 揺動軸
50b 保持本体
51 保持部
52 被加圧部
55 O−リング(シール部材)
56 弾性部材
60 回転駆動機構
W ウエハ(被処理基板)
Claims (8)
- 被処理基板を処理する基板処理装置において、
回転自在に設けられた回転台と、
前記回転台に揺動自在に設けられ、一端が上方側に揺動しているときに前記被処理基板を保持する保持部材と、
前記保持部材が前記被処理基板を保持しているときに、前記回転台を回転させる回転駆動機構と、
前記回転台と前記保持部材との間に配置されたシール部材と、を備え、
前記シール部材は、前記保持部材の一端が上方側に揺動しているときに、前記回転台と前記保持部材との間を密封することを特徴とする基板処理装置。 - 前記回転台に、前記保持部材の一端が上方側に揺動しているときに、該保持部材が通過する開口が設けられ、
前記シール部材は、前記開口の周縁外方を囲んで配置されていることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記シール部材は、前記回転台の下面に設けられていることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記シール部材は、前記保持部材の一端側に設けられていることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記保持部材によって保持された前記被処理基板の裏面に処理液を供給する裏面側処理液供給部をさらに備えたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記シール部材は、O−リングからなることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 回転自在に設けられた回転台に、揺動自在に設けられた保持部材であって、
前記回転台との間に設けられたシール部材を有し、
一端が上方側に揺動しているときに被処理基板を保持するとともに、前記シール部材によって、前記回転台との間を密封することを特徴とする保持部材。 - 被処理基板を処理する基板処理方法において、
回転台と、該回転台に揺動自在に設けられた保持部材と、前記回転台と前記保持部材との間に配置されたシール部材と、を有する基板処理装置を用いた基板処理方法であって、
前記保持部材の一端が上方側に揺動し、前記被処理基板を保持する保持工程と、
前記保持部材が前記被処理基板を保持しているときに、前記回転台を回転させる回転工程と、を備え、
前記保持工程において、前記シール部材によって、前記回転台と前記保持部材との間が密封され、
前記回転工程は、100rpm以下の速度で前記回転台を回転させることを特徴とする基板処理方法。
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