JPS62138740A - シ−ト面の欠陥検出方法 - Google Patents

シ−ト面の欠陥検出方法

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JPS62138740A
JPS62138740A JP60279072A JP27907285A JPS62138740A JP S62138740 A JPS62138740 A JP S62138740A JP 60279072 A JP60279072 A JP 60279072A JP 27907285 A JP27907285 A JP 27907285A JP S62138740 A JPS62138740 A JP S62138740A
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linear array
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西岡 鎮男
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はシート面に点在する欠陥の検出方法に関する。
〔従来の技術〕
リニアアレーカメラを使用した欠陥検出装置はリニアア
レーの感度バラツキ、地合S/N1エツジブランキング
処理などに問題があり、良好な欠陥検出が困難であった
。すなわち欠陥部と欠陥でない部分の映像信・号の差が
年々微細となり、信号処理が高度なものが要求されるに
つれ前記、リニアアレーの感度バラツキ、地合S/N1
エツジブランキング処理に、従来にはない方法が必要に
なった。
〔問題点を解決するだめの手段と作用〕(1)リニアア
レー相互間の感度バラツキは、映像信号レベルのバラツ
キとなり後工程の信号処理回路で誤りを発生させる要因
となるが、RO’Mテーブルなど、バラツキを補正する
メモリテーブルを備えれば、この問題は解決する。
(2)微分波高値のみによる欠陥判定は、欠陥の大きさ
に対する判定作用が低いが、浮動2値判定は欠陥の大き
さに対する判定作用が太きい。従って、微分波高値判定
と、浮動2値判定の両方の欠陥判定回路を併用すれば、
微分波高値のみによる欠陥判定法に比べ、より欠陥S/
Nの低い欠陥1で検出できる。
(3)シート面の代表的欠陥である穴と黒点は、透過光
式欠陥検出装置ではそれぞれ、明欠陥と暗欠陥に、映像
信号上の観点から対応づけられる。この明欠陥信号微分
波高と、暗欠陥信号微分波高は、波高値が異なり1回路
の自動感度調整回路(AGC)では、誤差の要因であっ
た。本発明者は、明欠陥用AGCと暗欠陥用AGCの2
回路の自動感度調整回路を併用して、欠陥の検出精度を
向上させることができた。
(4)シート面欠陥検出装置では、被検材を照明器で照
明しリニアアレーカメラで被検材を撮像する。、照明器
の照明光量は同一被検材である場合には照明光量は略同
−(厳密には被検材のバラツキにより撮像カメラの映像
信号レベルは/h変化する。)であるが、被検材の例え
ば坪量が変ると撮像カメラの映像信号レベルは大巾に変
化する。シート面欠陥検出装置においては、一定の欠陥
検出能を保持するために、撮像カメラの映像信号レベル
は被検材の例えば坪量等が変っても同一レベルであるこ
とが望まれる。
このため、カメラの映像信号からシート材の地合積分平
均レベルを抽出し、更にAGCレベルを併用して、照明
器の照明光量を、自動調整して、撮像カメラの映像信号
レベルを一定化してみた。その結果シート材が坪量50
2〜1802紙面の場合、地合変化に対し無調整化が可
能となった。
(5)リニアアレーカメラを使用したシート面の欠陥検
出装置において、被検材の地合レベルを算出することが
重要である。すなわち地合レベルからの信号の隔りが太
きいものを欠陥として判定するためである。被検材の地
合ムラが大きい場合に、撮像信号の複数回走査の映像信
号の平均値と、撮像信号の振幅平均値による被検材の疎
密バラツキ度(地合ムラ)によって地合レベルを算出し
て欠陥判定をしたところ、欠陥検出精度の向上がみられ
た。
(6)リニアアレーカメラを使用したシート面欠陥検出
装置において、被検材の幅寸法が変化すると当該リニア
アレーの検査ピットが変化することになる。このリニア
アレーの被検材の幅寸法による検査ピットのうち、幅エ
ツジ部の映像信号立上り信号は、欠陥判定の偽信号とな
る。これを防ぐため被検材の幅位置よりも内側にマスク
板を設けて固定幅の立上り信号のマスキングを行ってい
た。
従って被検材の幅寸法が異なる場合にはマスク板を調整
する必要があり、且つ被検材の幅寸法に対して10〜3
0闘相当のマスクが必要であった。これに対し本発明者
は、被検材の幅エツジによる撮像映像信号の立上りエツ
ジを検出して被検材の幅エツジを自動的にエツジマスク
する方法を考案した。この方法により、被検材の幅寸法
が異なっても、幅エツジを自動的にエツジマスクするの
で、マスク調整の手間が不要になった。更に被検材の幅
エツジに対して10〜15ビツトのマスク(ブランキン
グ)処理(2〜5++on相当)ですむようになった。
このブランキング方法は以上のように被検材の幅エツジ
の立上り信号によりブランキングするので、リニアアレ
ーの走査方向を左右の幅エツジに対して、被検材の幅外
側から走査するように配列する。
〔実施例〕
本発明の実施例を図1に示す。図面中1は照明光源で、
被検材シート2を照明する。被検材シートは紙面と垂直
方向に移動する。リニアアレーカメラ3の映像信号出力
は、映像信号処理回路4に入る。映像信号処理回路は、
メモリテーブル4a、明欠陥用AGC回路4b、暗欠陥
用AGC回路4C,浮動2値用AGC回路4d。
明欠陥用微分回路4e、暗欠陥用微分回路4f、浮動2
値回路42、欠陥判定コンパレーク回路4hより成る。
調光回路5は映像信号処理回路からの信号を受は照明光
量を調節する。
6は次のリニアアレーカメラ、7は対応する映像信号処
理回路である。
第2図はエツジブランキング処理の概要図である。図面
中8a〜8dはリニアアレーカメラを示し、9a〜9d
は対応する映像信号である。
2は被検シート材で、この紙面に垂直方向に移動する。
11はシート材の映像信号のエツジ部に相当する部分を
示す。10a〜10didlJニアアレーカメラの走査
方向を示す。シート材のエツジ部は10a、10dに図
示するように、被検材の外側から内側に走査しているの
で、映像信号の立上り部分として判別される。
〔発明の効果〕
上記特許請求の範囲に記載の方法により、ソート材の欠
陥検出精度が向上する、欠陥検出精度が安定に保たれる
という効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例を示し、第2図はエツジブラン
キングのカメラ配置図である。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)複数のリニアアレーカメラを使用した、シート面
    の欠陥検出装置において、(イ)カメラ相互間の感度バ
    ラツキを補正するメモリテーブルを有するか、あるいは
    、(ロ)リニアアレーのピット間の感度バラツキを補正
    するメモリテーブルを有する、シート面の欠陥検出方法
  2. (2)リニアアレーカメラを使用したシート面の欠陥検
    出装置において、リニアアレー映像信号の微分波高値に
    よる欠陥判定と、映像信号の浮動2値化による欠陥判定
    の組合せによる、欠陥検出方法。
  3. (3)リニアアレーカメラを使用したシート面の欠陥検
    出装置において、明欠陥映像信号用AGCと、暗欠陥映
    像信号用AGCの、2系列のAGC回路を有するシート
    面の欠陥検出方法。
  4. (4)リニアアレーカメラを使用したシート面の欠陥検
    出装置において、カメラの映像信号から、シート材の地
    合積分レベルを抽出し、前記(3)項のAGCレベルを
    併用して、照明ランプの調光制御を行う、シート面の欠
    陥検出方法。
  5. (5)リニアアレーカメラを使用したシート面の欠陥検
    出装置において、シート材の地合レベル算出を、(イ)
    リニアアレーの複数回走査の映像信号の平均値と、同振
    幅平均値とによって、地合レベル算出することを特徴と
    する、シート面欠陥検出方法。
  6. (6)リニアアレーカメラを使用したシート面の欠陥検
    出装置において、映像信号のうち、被検材の巾エッジの
    立上り部分をもって、エッジブランキング処理すること
    を特徴とした、シート面欠陥検出方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007218629A (ja) * 2006-02-14 2007-08-30 Sumitomo Chemical Co Ltd 欠陥検査装置及び欠陥検査方法
JP2016113721A (ja) * 2014-12-15 2016-06-23 セイコーエプソン株式会社 シート製造装置及びシート製造方法

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4950911A (en) * 1986-12-10 1990-08-21 Process Automation Business, Inc. Apparatus and method for inspecting sheet material
JP2597370B2 (ja) * 1987-10-14 1997-04-02 株式会社ヒューテック シート状被検材の有意差検出方法
JP2539856B2 (ja) * 1987-10-15 1996-10-02 株式会社ヒューテック 印刷パタ―ン周期長のずれ検知方法
IT1213746B (it) * 1987-12-15 1989-12-29 Gd Spa Dispositivo di controllo delle condizioni di alimentazione di un nastro di materiale di avvolgimento
DE3816392A1 (de) * 1988-05-13 1989-11-23 Ver Glaswerke Gmbh Verfahren zur bestimmung der optischen qualitaet von flachglas oder flachglasprodukten
US5113454A (en) * 1988-08-19 1992-05-12 Kajaani Electronics Ltd. Formation testing with digital image analysis
US5033095A (en) * 1988-09-30 1991-07-16 Marcantonio Jeffrey J Scanning image analyzer for accumulating quantifiable contaminants of webs
WO1991018281A1 (en) * 1990-05-23 1991-11-28 Pulp And Paper Research Institute Of Canada On-line dirt counter
US5132791A (en) * 1990-09-25 1992-07-21 Ball Corporation Optical sheet inspection system
US5563702A (en) * 1991-08-22 1996-10-08 Kla Instruments Corporation Automated photomask inspection apparatus and method
EP0549842B1 (en) * 1992-01-02 1997-05-28 Futec Incorporated Camera unit for sheet surface flaw detection apparatus
JPH05249052A (ja) * 1992-03-06 1993-09-28 Nippon Sheet Glass Co Ltd 透光板材の欠点検出装置
US5668887A (en) * 1992-05-29 1997-09-16 Eastman Kodak Company Coating density analyzer and method using non-synchronous TDI camera
EP0572336B1 (en) * 1992-05-29 2001-03-14 Eastman Kodak Company Coating density analyzer and method using image processing
US5396260A (en) * 1992-12-22 1995-03-07 The Center For Innovative Technology Video instrumentation for the analysis of mineral content in ores and coal
US5396280A (en) * 1993-02-26 1995-03-07 International Business Machines, Corporation Analog video processing apparatus and method for eliminating background levels in the analog signal
GB2282444B (en) * 1993-09-29 1997-06-25 Circuit Foil Sa Visual inspection system
US5563809A (en) * 1994-04-06 1996-10-08 Abb Industrial Systems, Inc. Measurement/control of sheet material using at least one sensor array
USH1616H (en) * 1994-05-31 1996-12-03 Minnesota Mining And Manufacturing Company Web inspection system having enhanced video signal preprocessing
AU8117894A (en) * 1994-09-19 1996-04-09 Robert Ernest Van Ditmar Method and installation for detecting colour differences in a web of material
US5696591A (en) * 1996-01-05 1997-12-09 Eastman Kodak Company Apparatus and method for detecting longitudinally oriented flaws in a moving web
WO1999008853A1 (fr) * 1997-08-14 1999-02-25 Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha Film aramide et son utilisation, son procede de fabrication, detection de trous d'epingle dans le film et dispositif de detection
GB2347740A (en) * 1999-03-10 2000-09-13 Rank Film Lab Limited Detecting surface flaws in films
US6910687B1 (en) * 1999-07-13 2005-06-28 Arrowhead Systems Llc Separator sheet handling assembly
US6542180B1 (en) * 2000-01-07 2003-04-01 Mitutoyo Corporation Systems and methods for adjusting lighting of a part based on a plurality of selected regions of an image of the part
US6520498B2 (en) * 2000-12-21 2003-02-18 Eastman Kodak Company Method and apparatus for detection of wrinkled documents in a sheet feeding device
US7715615B2 (en) * 2002-01-11 2010-05-11 Busse/Sji Corporation Separator sheet handling assembly
FI115859B (fi) * 2002-08-08 2005-07-29 Metso Automation Oy Menetelmä ja järjestely epäpuhtauksien mittaamiseksi
JP4249649B2 (ja) * 2004-04-09 2009-04-02 ホリゾン・インターナショナル株式会社 縦型丁合機
US8393784B2 (en) * 2008-03-31 2013-03-12 General Electric Company Characterization of flaws in composites identified by thermography
US8537353B2 (en) * 2008-05-05 2013-09-17 Agency For Science, Technology And Research Sensor chip for biological and chemical sensing
US8654333B2 (en) * 2010-03-30 2014-02-18 Fujifilm Corporation Surface inspection apparatus and method
US8585050B2 (en) 2011-12-06 2013-11-19 Eastman Kodak Company Combined ultrasonic-based multifeed detection system and sound-based damage detection system
US11774368B2 (en) 2022-01-03 2023-10-03 Rick Ross Light table apparatus and methods for inspecting heat exchanger plates for defects using light

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB803843A (en) * 1956-02-27 1958-11-05 Dornier Gmbh Lindauer Apparatus for observing moving fabrics
US4118732A (en) * 1977-02-15 1978-10-03 Nippon Steel Corporation Apparatus for detecting a surface flaw of a material at high temperature
US4319270A (en) * 1979-01-12 1982-03-09 Kobe Steel, Ltd. Surface inspection system for hot radiant material
JPS57108854A (en) * 1980-12-25 1982-07-07 Toppan Printing Co Ltd Method for checking original plate films and its apparatus
FR2500630A1 (fr) * 1981-02-25 1982-08-27 Leser Jacques Procede pour la recherche des defauts des feuilles de verre et dispositif mettant en oeuvre ce procede
CH656466A5 (de) * 1982-02-15 1986-06-30 Alusuisse Verfahren und vorrichtung zur oberflaechenkontrolle eines werkstoffes.
US4675730A (en) * 1985-09-06 1987-06-23 Aluminum Company Of America Video surface inspection system

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007218629A (ja) * 2006-02-14 2007-08-30 Sumitomo Chemical Co Ltd 欠陥検査装置及び欠陥検査方法
JP2016113721A (ja) * 2014-12-15 2016-06-23 セイコーエプソン株式会社 シート製造装置及びシート製造方法

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Publication number Publication date
US4724481A (en) 1988-02-09

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