JPH10185830A - 透明シート検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 透明シート状の被検査物の両面の欠陥及び内
部の異常を高速で検査できる透明シート検査装置を提供
する。 【解決手段】 光源１ｂ上に配置された多線チャート１
ａに対向してラインセンサ４を含む撮像手段を配置す
る。多線チャート１ａと撮像手段の間に、被検査シート
２の検査面を多線チャート１ａ面に対し斜めに配置す
る。この構成により、被検査シート２の表面に凹凸のよ
うな欠陥がある時、あるいは被検査シート２の内部にア
ワ等の異常がある時は、ラインセンサ４に投影される多
線チャートの像が乱れ、欠陥，異常が検知できる。この
ようにして、被検査シートの両面及び内部を同時に検査
できるので、高速の検査が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、透明シート材の検
査に関し、特に透明フィルム，透明ガラス板等の透明シ
ート材を検査するのに好適な透明シート検査装置に関す
るものである。なお、半透明のものも同様に検査できる
ので、本発明に関し、透明は半透明を含むものとする。

【０００２】

【従来の技術】従来、表面の凹凸状欠陥の検査装置とし
ては、例えば特開昭６３−７３１３９号公報に開示され
ている、図８に示す透明シート検査装置がある。この透
明シート検査装置においては、多線チャート１１ａを有
する照明部１１からの光によって検査対象物の表面１２
を照射する。もし、検査対象物の表面に凹凸があれば、
多線チャート像の乱れ１２ａが現われる。これを多線チ
ャート像１１ｂに対し、水平走査方向を平行に配したテ
レビカメラ１３により撮像し、その映像信号を処理し、
乱れ１２ａを検出し合否の判定を行っている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】透明フィルム，透明ガ
ラス板等の透明シートの検査に際しては、シート両面の
２つの面上の凹凸状欠陥の検査、さらにはシート内部の
異常を検査することが要求されてきている。

【０００４】ところが前述の従来の透明シート検査装置
によって、透明シートを検査しようとすれば、片面づつ
検査を行う必要があり、検査時間が長くなる。さらに、
前述の従来の透明シート検査装置では、透明シート内部
の異常は検査できなかった。

【０００５】本発明は、このような状況のもとでなされ
たもので、透明シート状の被検査物の両面の欠陥及び内
部の異常を高速で検査できる透明シート検査装置を提供
することを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明では、透明シート検査装置を次の（１）〜
（１０）のとおりに構成する。

【０００７】（１）透明シート材の被検査物を検査する
装置であって、規則的パターンを配したチャート面を有
する照明手段と、前記チャート面を被検査物を介して撮
像する撮像手段を有し、この撮像手段により撮像された
像の光電変換信号を基に被検査物の欠陥を判定する手段
とを備え、前記撮像手段を前記チャート面に対向して配
置し、前記被検査物の検査面を前記チャート面に対し斜
めに配置した透明シート検査装置。

【０００８】（２）チャートは、透過率が異なる少なく
とも２種のパターンを交互に繰り返し配置したものであ
る前記（１）記載の透明シート検査装置。

【０００９】（３）チャートの少なくとも２種の各パタ
ーンは、パターン配列方向と直交する方向において同一
の幅を有している前記（２）記載の透明シート検査装
置。

【００１０】（４）パターンの配列方向は、前記被検査
物の移動方向と同方向とした前記（１）〜（３）のいず
れかに記載の透明シート検査装置。

【００１１】（５）被検査物を撮像手段に対して相対移
動させる移動手段を備えた前記（１）〜（４）のいずれ
かに記載の透明シート検査装置。

【００１２】（６）撮像手段は、一次元の光電変換素子
列を有するものである前記（５）記載の透明シート検査
装置。

【００１３】（７）被検査物の欠陥を判定する手段は、
撮像手段の出力を２値化して判定を行うものである前記
（１）〜（６）のいずれかに記載の透明シート検査装
置。

【００１４】（８）被検査物の欠陥を判定する手段は、
２値化して得られるパルス信号のパルス時間及びパルス
周期に基づいて判定を行うものである前記（７）記載の
透明シート検査装置。

【００１５】（９）被検査物の欠陥を判定する手段は、
パルス時間及びパルス周期の少なくとも一方が規定値か
ら外れると被検査物に異常が有ると判定するものである
前記（８）記載の透明シート検査装置。

【００１６】（１０）被検査物の検査部分から撮像手段
に至る光路を遮光する遮光手段を備えた前記（１）記載
の透明シート検査装置。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を、透明
シート検査装置の実施例により詳しく説明する。

【００１８】

【実施例】図１は、実施例である“透明シート検査装
置”の構成を示す図である。図中、１ｂは光源であり、
高周波点灯の蛍光灯で構成されている。１ｃは乳白色の
半透明な拡散板である。１ａは多線チャートであり、透
過率の異なる２つの直線スリット状の開口（パターン）
を一平面上に１次元方向に交互に多数並べて構成してい
る。本実施例の多線チャート１ａは、幅ｗの不透明な開
口（パターン）と幅ｗの透明な開口（パターン）を交互
に横に（１次元方向に）並べて構成し、被検査物２の幅
Ｗをカバーする幅を持っている。ここで各開口（パター
ン）幅ｗは検出分解能に影響するので、本実施例では表
面の凹凸状欠陥及び内部に異常の発生する面積を考慮し
てｗ＝２ｍｍ以下としている。光源１ｂが放射する光束
は拡散板１ｃで拡散光となって多線チャート１ａを照射
する。本実施例の多線チャート１ａは透明開口と不透明
開口で形成しているので、多線チャート１ａは極めて高
いコントラストのチャートとなっている。なお、多線チ
ャート１ａ，光源１ｂ，拡散板１ｃ等は照明手段の１要
素を構成している。

【００１９】被検査物２は、例えば透明フィルムであ
り、多線チャート１ａ面上の４ｂ´（後述する）と一定
距離を隔てて平行に配置しており、検査に際しては矢印
の方向、即ち多線チャート１ａを構成するスリット状の
開口の長手方向に移動する。９ａ，９ｂは、被検査物２
を支持する支持回転ローラであり、検査する部分を平面
に保ち、回転可能で被検査物２の表面にキズをつけずに
送る。支持回転ローラ９ｂは回転して被検査物２を移動
させる。１０はロータリエンコーダであり、支持回転ロ
ーラの一つ９ｂに直結していて支持回転ローラ９ｂの回
転量を計測する。支持回転ローラ９ａ，９ｂ等は移動手
段の一要素を構成している。なお、被検査物２の検査面
は多線チャート１ａ面上の４ｂ´と一定間隔を隔てて平
行に配置しているので、被検査物２の検査面は均一な照
射光量で照射される。

【００２０】３は撮像レンズであり、被検査物２を透か
して多線チャート１ａの像を結像している。４は一次元
の光電変換素子で、一次元ＣＣＤセンサ（以後ラインセ
ンサという）で構成しており、一列のセンサ列４ｂを有
しており、この上に結像する多線チャート１ａの像を光
電変換信号に変換する。なお、センサ列４ｂは、多線チ
ャート１ａの面に対して平行に、且つ被検査物２の移動
方向に対して直行する方向に配置している。また、４ｂ
´はセンサ列４ｂを撮像レンズ３によって多線チャート
１ａ上に投影したセンサ列対応位置である。撮像レンズ
３，光電変換素子４等は撮像手段の一要素を構成してい
る。

【００２１】５はラインセンサ４からの光電変換信号４
ａを２値化する２値化処理回路、６は２値化処理回路５
からの出力信号５ａのパルス時間及び間隔時間（周期）
を計測するパルス計測回路、７はパルス計測回路６から
の出力信号６ａを規格値と比較し合否判定を行い、結果
が悪い場合（異常を検出した場合）は信号７ａを出力す
る合否判定回路である。８は本検査装置全体を制御する
コントローラである。

【００２２】被検査物２の送り方向は、センサ列４ｂの
並ぶ方向と直角をなす方向であり、この方向に一定速度
で送られる。撮像レンズ３の光軸は多線チャート１ａ面
及びセンサ列４ｂに対して垂直である。撮像レンズ３は
多線チャート１ａに焦点を合わせており、従って多線チ
ャート１ａからの光束は被検査物２を透過した後、撮像
レンズ３によってセンサ列４ｂ上に結像する。

【００２３】なお、本実施例では不図示であるが、被検
査物２の検査部分からセンサ列４ｂに至る光路を遮光カ
バーで包んでいる。即ち、撮像レンズ３及びラインセン
サ４と被検査物２上の検査部分及びその周辺を内面が反
射防止された遮光板によって被検査物２の通り口を除い
て囲い、外光を遮光している。これにより被検査物２の
検査部分への外光照射によるノイズ及び撮像レンズ３へ
の外光入射によるフレア等、外光による撮像への影響を
無くしている。

【００２４】次に本実施例の動作を説明する。コントロ
ーラ８に検査開始指令を入力すると、被検査物２の送り
駆動開始指令８ｃが出力され、被検査物２は一定速度に
て矢印方向へ移動を開始する。被検査物２の送り開始と
同時に、撮像レンズ３により被検査物２を透かして多線
チャート１ａの像がセンサ列４ｂに結像し、結像した像
のうちセンサ列４ｂの部分が光電変換され光電変換信号
４ａとして出力される。

【００２５】なお、ラインセンサ４の１回の読み取り時
間（Ｔ）と被検査物２の送り速度（Ｖ）によって被検査
物２の送り方向の表面検査ピッチＰｃが定まる。その関
係はＰｃ＝Ｖ＊Ｔである。本実施例では、Ｔ＝２（ｍｓ
ｅｃ）、Ｖ＝５００（ｍｍ／ｓｅｃ）であるので、検査
ピッチは１ｍｍとなり、１ｍｍ単位で移動中の被検査物
２の表面を透かして多線チャート１ａの像を読み取って
光電変換し、光電変換信号４ａとして連続的に出力す
る。

【００２６】図２（Ａ）は被検査物２の表面に形状変化
がなく、内部に異常がない被検査物２の良品部の断面
図、図２（Ｂ）はこの時センサ列４ｂ上に結像する多線
チャート１ａの像２ａを示す図である。被検査物２が良
品の場合、図２（Ａ）に示すように表面に凹凸状欠陥が
無く、また被検査物内部に異常（屈折率異常あるいは泡
等）が無く、そのために結像光束の屈折変化が生じず、
多線チャート１ａの像として図２（Ｂ）に示すように規
則正しく等間隔に並んだ多線チャート像が得られる。

【００２７】図３は、この時出力される信号を示す図で
ある。図３（Ａ）の光電変換信号４ａ１はセンサ列４ｂ
上の像を光電変換したラインセンサ４からの出力信号で
ある。このラインセンサ４からの光電変換信号４ａ１は
図示のように規則正しく繰り返している信号である。こ
のラインセンサ４からの光電変換信号４ａ１は２値化処
理回路５に入力され、事前にコントローラ８より信号８
ａとして入力され、設定されたしきい値電圧５ｂと比較
され、しきい値電圧５ｂより大きい電圧部はＨｉｇｈレ
ベルに、しきい値電圧５ｂより小さい電圧部はＬｏｗレ
ベルに変換され、出力信号５ａ１としてパルス信号が出
力される。この出力信号５ａ１は、次にパルス計測回路
６に入力され、出力信号５ａ１のＨｉｇｈレベルの各パ
ルス時間（ｐ１，ｐ２，ｐ３……ｐｎ−１，ｐｎ）と、
Ｈｉｇｈレベルのパルス周期（ｔ１，ｔ２，ｔ３……ｔ
ｎ−１，ｔｎ）の各時間を計測し、毎周期の時間計測直
後にＨｉｇｈレベルのパルス時間（ｐ）とＨｉｇｈレベ
ルのパルス周期（ｔ）を出力６ａ１として合否判定回路
７に入力する。このパルス計測回路６における時間計測
は基準クロックを使い、Ｈｉｇｈパルスの間のクロック
数をカウントし、またＨｉｇｈパルスの立ち上がりから
次のＨｉｇｈパルス立ち上がりまでの間のクロック数を
カウントして行う。合否判定回路７には、事前にコント
ローラ８より信号８ｂとして規格値（規格時間）として
Ｈｉｇｈレベルのパルス時間の上限値（ｐＨ）と下限値
（ｐＬ）、及びＨｉｇｈレベルのパルス周期の上限値
（ｔＨ）と下限値（ｔＬ）が設定されており、出力６ａ
１中のパルス時間ｐとパルス周期ｔは夫々前記の規格値
と比較され、Ｈｉｇｈレベルのパルス時間ｐが規格値ｐ
Ｈ〜ｐＬの間にあるか否か、及びＨｉｇｈレベルのパル
ス周期ｔが規格値ｔＨ〜ｔＬの間にあるか否かを判定
し、いずれも規格値内であれば被検査物２の検査した部
分は良品とする。もし、どちらか一方でも規格値を外れ
ると被検査物２の検査した部分に異常があると判定し、
合否判定回路７からの出力７ａとして短いＨｉｇｈパル
ス信号ｓをコントローラ８へ出力する（図５（Ｃ）参
照）。

【００２８】図３の信号の場合、２値化処理回路５には
規則正しい光電変換信号４ａ１が入力しているので、２
値化処理回路５からの出力信号５ａ１においては、各Ｈ
ｉｇｈレベルのパルス時間（ｐ１，ｐ２，ｐ３……ｐｎ
−１，ｐｎ）はほぼ同じ値になり、また各Ｈｉｇｈレベ
ルのパルス周期（ｔ１，ｔ２，ｔ３……ｔｎ−１，ｔ
ｎ）も同様にほぼ同じ値となる。そこで、この場合は規
格値を外れるパルスはなく、従って被検査物２の検査部
分には欠陥が無いと判断され、合否判定回路７から信号
は出力されない。

【００２９】なお、合否判定回路７には事前にコントロ
ーラ８より信号８ｂとして検査範囲情報が入力されてお
り、図３（Ｃ）の検査範囲信号７ｂがＨｉｇｈレベルの
時間のみ前記の判定動作が行われる。検査範囲信号７ｂ
は検査開始から終了までの時間信号と被検査物２の幅方
向の検査域信号とのＡＮＤ出力信号である。

【００３０】図４（Ａ）は被検査物２の表面に凹凸状変
化のある被検査物２の不良品部の断面図の１例、図４
（Ｂ）はこの時センサ列４ｂ上に結像する多線チャート
１ａの像２ｂを示す図である。この場合、図４（Ａ）に
示すように被検査物２の断面にはふくらみ部２ｃがあ
る。そこで、被検査物２を透かして多線チャート１ａを
結像した場合、図４（Ｂ）に示すようにふくらみ部２ｃ
の厚み変化により光束に屈折変化が生じ、規則性のある
多線チャート１ａが変形して結像している。

【００３１】図５（Ａ）は、この時センサ列４ｂ上の像
を光電変換して２値化処理回路５に出力する光電変換信
号４ａ２を示し、図５（Ｂ）は光電変換信号４ａ２を２
値化処理回路５が２値化してパルス計測回路６に出力す
る２値化したパルス信号５ａ２を示す図である。パルス
計測回路６においては、入力されるパルス信号５ａ２の
各Ｈｉｇｈレベルのパルス時間（ｐ１，ｐ２，ｐ３，ｐ
４，ｐ５，ｐ６，ｐ７，……ｐｎ−１，ｐｎ）及び各Ｈ
ｉｇｈレベルのパルス周期（ｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４，
ｔ５，ｔ６，ｔ７，……ｔｎ−１，ｔｎ）を計測し、そ
の結果を合否判定回路７へ出力する。合否判定回路７で
は各パルスの計測時間結果を前記各規格値と比較し、規
格を外れたパルスであった場合には、検査部分が異常で
あると判断して、出力７ａ２として短いＨｉｇｈパルス
ｓをコントローラ８に出力する。図５の例ではｔ２，ｔ
３，ｔ４，ｔ５，ｔ６の各判定直後に短いＨｉｇｈパル
ス（ｓ２，ｓ３，ｓ４，ｓ５，ｓ６）が出力７ａ２とし
てコントローラ８に出力される。

【００３２】同時にコントローラ８は、各Ｈｉｇｈパル
スｓｉの出力毎に支持回転ローラ９ｂに直結しているロ
ータリエンコーダ１０の検査直後からの出力パルス数を
出力８ｄｉとして取り込み、検査開始直後からの被検査
物２の移動距離を計算して一時記憶する。また、被検査
物２の幅方向の検査範囲信号７ｂの立ち上がりから出力
７ａ２として出力される各Ｈｉｇｈパルスｓｉまでの時
間によって、Ｈｉｇｈパルスｓｉを出力した被検査物２
の幅方向の位置を計算して一時記憶する。これによって
被検査物２上の不良存在位置がすべて記憶される。

【００３３】例えば、支持回転ローラ９ｂの周長ａがａ
＝１００（ｍｍ）、また、ロータリエンコーダ１０の１
回転当りの出力パルス数ＲｐがＲｐ＝１０００（パル
ス）とする。出力信号７ａ２に短いＨｉｇｈパルスｓ２
が出力された時、ロータリエンコーダ１０の出力パルス
の読取り値ＲＮがＲＮ＝５０００（パルス）であったと
すると、検査開始時点からＨｉｇｈパルスｓ２が出力さ
れるまでの被検査物２の送り距離ＮＬｓ２は ＮＬｓ２
＝（ＲＮ／Ｒｐ）＊ａ＝５００（ｍｍ）と計算され、被
検査物２の送り方向における不良存在位置が明らかにな
る。コントローラ８はこの値ＮＬｓ２を記憶する。ま
た、その時の被検査物２の幅方向の不良位置は、幅方向
の検査範囲信号７ｂの立ち上がり時点からＨｉｇｈパル
スの各周期ｔ１，ｔ２を加算した値ＴＮ（ｍｓｅｃ）と
被検査物２の幅方向の長さＷと検査範囲信号７ｂの立ち
上がりから立ち下がりまでの時間Ｔｗとから決定され
る。例えば、ＴＮ＝０．０４（ｍｓｅｃ）とし、またＴ
ｗ＝１（ｍｓｅｃ）であるとすると、このＴｗ時間は被
検査物２の幅Ｗ＝２００（ｍｍ）に対応するので、幅方
向の不良位置ＮＷｓ２は、ＮＷｓ２＝ＴＮ＊Ｗ／Ｔｗ＝
８（ｍｍ）と算出され、コントローラ８は幅方向の不良
位置ＮＷｓ２を記憶する。

【００３４】以上により、被検査物表面の不良位置とし
て、送り方向位置（ＮＬｓ２）及びその位置での幅方向
の位置（ＮＷｓ２）が不良存在位置として記憶される。

【００３５】図６（Ａ）は多線チャート、図６（Ｂ）は
被検査物２の表面に凹凸状の変化のある不良品で、図示
のような、凸状である一定の厚み変化の欠陥部２ｄのあ
る被検査物の断面図の１例、図６（Ｃ）は前記図６
（Ａ）の多線チャート面と前記図６（Ｂ）の被検査物２
が平行に配置された場合で、多線チャート面及び被検査
物に対し垂直に配した撮像手段により被検査物２を介し
て多線チャートを撮像した時のセンサ列４ｂ上の多線チ
ャート像を示す図である。図６（Ｂ）に示すようなある
一定の厚み変化の欠陥部２ｄの場合、多線チャート面と
被検査物を平行に配置すると図６（Ｃ）に示すように屈
折による多線チャート像の変化が得られない。図６
（Ｄ）は前記撮像手段により撮像された像の光電変換さ
れた信号を、前記同様２値化処理回路５により２値化さ
れた信号を示し、前記同様パルス計測回路により計測さ
れたパルス時間（ｐ１，ｐ２，ｐ３，ｐ４）はほぼ同じ
値、また各Ｈｉｇｈレベルのパルス周期（ｔ１，ｔ２，
ｔ３）も同様にほぼ同じ値を示し、規格値を外れるパル
スがなく欠陥が無いと誤判断される。

【００３６】図７は多線チャート面に対し被検査物を斜
めに配置した場合の説明図であり、図７（Ａ）は多線チ
ャート、図７（Ｂ）は被検査物で図６（Ｂ）同様の凸状
である一定の厚み変化の欠陥部２ｄのある被検査物の断
面図の１例、図７（Ｃ）は、前記図７（Ａ）の多線チャ
ート面に対し図７（Ｂ）被検査物２が斜めに配置された
場合（実施例の配置を示す）で、多線チャート面に対し
垂直に配した撮像手段により被検査物２を介して多線チ
ャートを撮像した時のセンサ列４ｂ上の多線チャート像
を示す。

【００３７】図７（Ｂ）に示すようなある一定の厚み変
化の欠陥部２ｄの場合、多線チャート面に対し被検査物
を斜めに配置すると、ここで図７に示す照射手段である
多線チャート１ａを介しての光束（Ａ１からＡ８）が被
検査物２にθＡ１からθＡ８のようにある同角度で入射
し、被検査物２内での屈折角（θＡ１´からθＡ８´）
をもって前記光束は被検査物２内を進行する。また、θ
ａ１からθａ８は被検査物２内から光束が撮像側に出射
する入射角を示し、θａ１´からθａ８´は被検査物２
内部から出射した光束の屈折角を示す。これらの入射角
及び屈折角による光束の進行によって図７（Ｃ）に示す
ように多線チャート像に変化が得られる。図７（Ｄ）は
前記撮像手段により撮像された像の光電変換された信号
を、前記同様２値化処理回路５により２値化された信号
を示し、前記同様パルス計測回路６により計測されたパ
ルス時間（ｐ１，ｐ２，ｐ３，ｐ４）、また各Ｈｉｇｈ
レベルのパルス周期（ｔ１，ｔ２，ｔ３）値を示し、前
記同様合否判定回路７により前記規格値と比較し、規格
を外れたパルスであった場合には、検査部分が異常であ
ると判断して、出力７ａ２として短いＨｉｇｈパルスｓ
をコントローラ８に出力する。図７の例では、ｔ２，ｔ
３の各判定直後に短いＨｉｇｈパルス（ｓ２，ｓ３）が
出力７ａ３としてコントローラ８に出力され、図７
（Ｂ）に示すようなある一定の厚み変化の欠陥部２ｄは
欠陥と判断される。

【００３８】本実施例においては、多線チャートの像を
２値化した信号のＨｉｇｈレベルパルス時間、またはＨ
ｉｇｈレベルの周期のいずれかが上下限の規格時間を外
れることで不良と判定しているので、不良部分を確実に
検出することができる。また、チャートとして等間隔の
透明，不透明の開口より構成される多線チャートを使用
し、撮像手段として１次元ＣＣＤセンサを使用している
ので、２値化信号の合否判別が簡単であり、装置全体が
シンプルになる。

【００３９】本実施例では、連続的に送られる被検査物
２を斜めに透かして多線チャート１ａの像を１次元のセ
ンサ列４ｂ上に結像し、結像された像の光電変換信号を
連続的に処理することで、被検査物２の表面の異常（凹
凸状欠陥）及び被検査物内部の異常（屈折率異常あるい
は泡等）、即ち被検査物の特性（光学特性）を検査ピッ
チＰｃ単位で両面同時に、連続的に且つ高速に検査する
ことができる。

【００４０】また、本実施例においては、外光の遮光カ
バーを設けているので、多線チャートの撮像に際して外
光による影響を排除しており、ノイズのない多線チャー
ト像を撮像して測定の精度を上げている。なお、多線チ
ャート１ａを構成する２つのスリット状の開口の幅は異
なっていてもよい、多線チャートは２つの開口の繰り返
しで構成されておればよいからである。さらに、本実施
例では２値化したパルス信号のＨｉｇｈレベルの時間及
び周期によって異常を検出したが、Ｌｏｗレベルの時間
及び周期によって異常を検出することも可能である。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
透明シート状の被検査物の両面の欠陥及び内部の異常を
高速で検査できる透明シート検査装置を提供できる。さ
らに請求項３記載の発明では、多線チャートとして開口
の幅が同じで透過率の異なる２つの開口を交互に並べた
規則性のある多線チャートを使用するので、多線チャー
ト像の変形の判別処理が単純になり、リアルタイムに検
査結果を出すことができる。

【００４２】請求項６記載の発明では、１次元センサに
より被検査物を幅方向の１次元で撮像して光電変換する
ことができ、被検査物を連続的に送りながら検査が可能
となり、検査の高速化が図れる。

【００４３】請求項９記載の発明では、多線チャートの
像を２値化したパルス信号の時間または周期のいずれか
が規格時間を外れることで不良（異常）と判定している
ので、不良部分を確実に検出することができる。

【００４４】請求項１０記載の発明では、外光の遮光カ
バーを設けることにより、多線チャートの撮像に際して
外光影響をなくし、ノイズのない多線チャート像として
撮像することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施例の構成を示す図

【図２】 被検査物の良品部の断面とラインセンサ上に
結像する多線チャートを示す図

【図３】 良品部検査時の各出力信号を示す図

【図４】 被検査物の不良品部の断面とラインセンサ上
に結像される多線チャートを示す図

【図５】 不良品検査時の各出力信号を示す図

【図６】 多線チャート面に対し被検査物を平行に配置
した時の説明図

【図７】 多線チャート面に対し被検査物を斜めに配置
した時の説明図

【図８】 従来例の構成を示す図

【符号の説明】

１ 照明部 １ａ 多線チャート ４ ラインセンサ ５ ２値化処理回路 ６ パルス計測回路 ７ 合否判定回路

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明シート材の被検査物を検査する装置
   であって、規則的パターンを配したチャート面を有する
   照明手段と、前記チャート面を被検査物を介して撮像す
   る撮像手段を有し、この撮像手段により撮像された像の
   光電変換信号を基に被検査物の欠陥を判定する手段とを
   備え、前記撮像手段を前記チャート面に対向して配置
   し、前記被検査物の検査面を前記チャート面に対し斜め
   に配置したことを特徴とする透明シート検査装置。
2. 【請求項２】 チャートは、透過率が異なる少なくとも
   ２種のパターンを交互に繰り返し配置したものであるこ
   とを特徴とする請求項１記載の透明シート検査装置。
3. 【請求項３】 チャートの少なくとも２種の各パターン
   は、パターン配列方向と直交する方向において同一の幅
   を有していることを特徴とする請求項２記載の透明シー
   ト検査装置。
4. 【請求項４】 パターンの配列方向は、前記被検査物の
   移動方向と同方向としたことを特徴とする請求項１〜請
   求項３のいずれかに記載の透明シート検査装置。
5. 【請求項５】 被検査物を撮像手段に対して相対移動さ
   せる移動手段を備えたことを特徴とする請求項１〜請求
   項４のいずれかに記載の透明シート検査装置。
6. 【請求項６】 撮像手段は、一次元の光電変換素子列を
   有するものであることを特徴とする請求項５記載の透明
   シート検査装置。
7. 【請求項７】 被検査物の欠陥を判定する手段は、撮像
   手段の出力を２値化して判定を行うものであることを特
   徴とする請求項１〜請求項６のいずれかに記載の透明シ
   ート検査装置。
8. 【請求項８】 被検査物の欠陥を判定する手段は、２値
   化して得られるパルス信号のパルス時間及びパルス周期
   に基づいて判定を行うものであることを特徴とする請求
   項７記載の透明シート検査装置。
9. 【請求項９】 被検査物の欠陥を判定する手段は、パル
   ス時間及びパルス周期の少なくとも一方が規定値から外
   れると被検査物に異常が有ると判定するものであること
   を特徴とする請求項８記載の透明シート検査装置。
10. 【請求項１０】 被検査物の検査部分から撮像手段に至
    る光路を遮光する遮光手段を備えたことを特徴とする請
    求項１記載の透明シート検査装置。