JPH0735703A - 画像処理方法 - Google Patents

画像処理方法

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JPH0735703A
JPH0735703A JP15672493A JP15672493A JPH0735703A JP H0735703 A JPH0735703 A JP H0735703A JP 15672493 A JP15672493 A JP 15672493A JP 15672493 A JP15672493 A JP 15672493A JP H0735703 A JPH0735703 A JP H0735703A
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JP
Japan
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signal
shading correction
inspected
reference signal
defect
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP15672493A
Other languages
English (en)
Inventor
Osamu Sonobe
治 園部
Hiroyuki Uchida
洋之 内田
Riyouichi Danki
亮一 段木
Satoshi Maruyama
智 丸山
Susumu Moriya
進 守屋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JFE Steel Corp
Original Assignee
Kawasaki Steel Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、例えば熱延鋼板などの高速移動する
帯状の被検査材の表面欠陥を受光装置によって検出する
表面欠陥検査装置等に用いるのに好適な画像処理方法に
関し、なだらかな変化をもつ有用な信号成分を残したま
ま光源からの光の照射ムラや撮像素子の感度ムラ、およ
びそれらの経時変化の影響を取り除いた被検査材の検出
信号を得る。 【構成】疵が無いと判定された検出信号を参照信号とし
て用いて、もしくは、被検査材の搬送の切れ間を狙って
参照信号を求めてその参照信号を用いて、検出信号に画
像処理を施す。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、順次搬送される被検査
材表面で反射した反射光を受光することにより得られた
信号にシェーディング補正を施す画像処理方法に関し、
詳細には、例えば熱延鋼板などの高速移動する帯状の被
検査材の表面の信号を受光装置によって得、その信号に
基づいて表面欠陥を検出する表面欠陥検査装置等に用い
るのに好適な画像処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、画像処理の分野においてシェ
ーディング補正処理が広く行なわれている。シェーディ
ング補正処理とは、被検査材からの反射光を受光して得
られた信号に含まれる、光の照射ムラや撮像素子の感度
ムラ等を補正するための処理である。
【0003】従来、画像処理などで行なわれているシェ
ーディング補正方法は、補正用のテーブルを持ち、テー
ブル内のデータと被検査材から得たデータとの間で演算
を行なうことによりシェーディングの影響を取り除いて
いるが、その方法の1つとして、例えば補正用テーブル
データとして入力信号の移動平均を求めたものを用い、
入力信号からテーブルデータを引く引算や、或いは、入
力信号をテーブルデータで割る割算などの演算を行い、
その出力信号にオフセット分を加えたり、又は出力信号
を定数倍したりして、シェーディング補正を行う方法が
ある。
【0004】また他の方法として、予め、オフライン
で、所定の参照材から参照信号を得ておき、その参照信
号をテーブルデータとして用い、オンライン中に入力信
号との間で上記と同様の演算を行う方法も知られてい
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
移動平均型のシェーディング補正方法は被検査体から得
られた信号の本来の形がどのようになっているかをまる
で考慮せずに信号を一様に補正してしまうため、なだら
かな変化を持つ信号成分が重要な意味を持つ場合にはそ
の有用な信号を消滅させてしまう可能性がある。
【0006】また、上記参照信号を用いる方法は、オン
ライン中に生じる光源強度や受光素子感度の経時変化に
対応できず、また例えば順次搬送される被検査材の表面
欠陥を検査するようなオンライン装置では、経時変化に
対応するためにその装置でオフラインで参照信号を得て
もとの参照信号と入れ替えることは困難である。本発明
は、上記問題点を解決し、なだらかな変化をもつ有用な
信号成分を残したまま光源からの光の照射ムラや撮像素
子の感度ムラを取り除いた被検査材の検出信号を得るこ
とができ、しかも光源強度,受光素子感度の経時変化に
も対応し得るシェーディング補正を施す画像処理方法を
提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明は、順次搬送される被検査材表面で反射した反射光を
所定の受光装置により受光することにより得られた、そ
の被検査材表面を所定の一次元方向に或いは二次元的に
検出した検出信号に、その被検査材が搬送されるオンラ
イン中に順次シェーディング補正を施す画像処理方法に
関するものである。
【0008】本発明のうち、第1の画像処理方法は、上
記受光装置の視野内に、順次搬送される被検査材と段差
をもって所定の参照材を配置しておき、1つの被検査材
がその視野から外れた後、次の被検査材がその視野に現
われる前に上記参照材表面で反射した反射光を上記受光
装置で受光することにより参照信号を得、その参照信号
に基づいてその参照信号よりも後に得られた検出信号に
シェーディング補正を施すことを特徴とするものであ
る。
【0009】また、本発明のうち、第2の画像処理方法
は、上記検出信号に基づいて被検査材表面の疵の有無を
判定し、疵が無いと判定された検出信号に基づいて、そ
の検出信号よりも後から得られた検出信号にシェーディ
ング補正を施すことを特徴とするものである。
【0010】
【作用】本発明の画像処理方法は、疵が無いと判定され
た検出信号を参照信号として用いて、もしくは、被検査
材の搬送の切れ間を狙って参照信号を求めてその参照信
号を用いて、検出信号にシェーディング補正を施すよう
にしたものであるため、被検査材の表面を極めて忠実に
反映させたままシェーディング補正が行なわれ、したが
って例えば信号変化の緩やかな部分に重要な意味をもつ
欠陥の抽出等も可能となる。
【0011】尚、本発明においては、上記第1および第
2の画像処理方法を組合せてもよいことはもちろんであ
り、またさらに従来公知の方法と組合せてよいこともも
ちろんであり、例えば最初はオフラインで求めた参照信
号を用いてシェーディング補正を行ない、途中では疵が
ないと判定された検出信号を用いてシェーディング補正
を行ない、被検査材どうしの搬送の間隙ではあらかじめ
配置しておいた参照材からの参照信号を得て校正するよ
うな方法を採用してもよい。
【0012】
【実施例】次に本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。図1は本発明の一実施例を適用した表面欠陥検査装
置の概略構成図であり、高速で移動する熱延鋼板の表面
を検査している状態を示す。光源1から熱延鋼板2に光
束3が照射され、熱延鋼板2の照射部分4を一次元CC
Dカメラ5で撮像する。一次元CCDカメラ5から出力
された一次元信号は高速A/D変換装置6で高速にA/
D変換され、欠陥抽出用信号処理装置7に信号入力さ
れ、欠陥信号の抽出が行われる。更に、欠陥抽出用信号
処理装置7で抽出された欠陥部分の信号は欠陥判別用画
像処理装置8に転送され欠陥種類・欠陥ランクの判別が
行われ、その出力結果が表示装置9に送られ表示され
る。光源への電力供給は光源用電源10によって行われ
る。この時本発明の一実施例に対応するシェーディング
補正処理は欠陥抽出用信号処理装置7内で行われ、した
がって欠陥判別用画像処理装置8、表示装置9に転送さ
れる一次元信号はシェーディング補正演算処理が施され
た信号である。
【0013】図2は欠陥抽出用信号処理装置7の概略図
である。高速A/D変換装置6によって変換されたデジ
タル信号は、一次元CCDカメラの素子ピッチに対応す
るようにデジタル化されており、したがってデジタル入
力信号11の1ライン分の信号数nは、一次元CCDカ
メラの画像数に相当する。このデジタル入力信号11
は、シェーディング補正演算モジュール14に伝送さ
れ、このシェーディング補正演算モジュール14内で、
カメラからの入力信号f(x)と参照信号保存メモリ内
13にある参照信号r(x)とを用いた演算処理が行わ
れる。参照信号r(x)の初期値はオフラインで得られ
たものを用いる。オフラインで得られた参照信号の初期
値は外部インターフェース12を介して外部から入力が
可能である。シェーディング補正を施された出力信号
は、欠陥抽出モジュール15に伝送され、そこで欠陥信
号の抽出が行われる。参照信号保存用メモリ13には光
源強度の経時変化などに対応出来るように、参照信号の
更新を行う機能が付属しており、この更新は、外部イン
ターフェース(外部I/F)を介して機能選定モジュー
ル17を制御することにより、二種類の更新機能を切り
替えることが出来る。
【0014】第一の機能は、熱延鋼板2の欠陥検出中
に、欠陥抽出モジュール15にて欠陥が検出されなかっ
た信号の元信号を参照信号とする機能であり、欠陥抽出
モジュール15を通った信号は判定モジュール16に伝
送され、欠陥が検出されなかった信号は判定モジュール
16から機能選定モジュール17を通り参照信号保存用
メモリ13に伝送され参照信号の更新が行われる。
【0015】第二の機能は、熱延鋼板2が走行するテー
ブル上の欠陥検出位置に、被検査材である熱延鋼板を図
3のようにサンプルコイル20としてホットランテーブ
ル19上に置いておき、一つの熱延鋼板2の検査が終了
し次の熱延鋼板2が流れてくるまでの間にこのサンプル
コイル20から参照信号を得る機能である。サンプルコ
イル20には最も一般的に流れてくる熱延鋼板2と同一
のものが用いられる。また被検査材である熱延鋼板2と
の位置の差からくるカメラレンズの焦点のズレを補うた
めに、カメラレンズ21には焦点深度の深いものが用い
られている。また、第二の機能におけるサンプルコイル
20からの信号は、第一の機能と同様の経路を通って参
照信号保存用メモリ13にフィードバックされるので、
サンプルコイル20に欠陥部分などが生じた場合にはサ
ンプリングは行われない。サンプルコイル20は定期的
に交換することにより表面状態を良好に保つようにす
る。また、被検査材である熱延鋼板2がサンプルコイル
20と表面性状が明らかに違う材料である場合には、機
能選定モジュール17を外部I/Fを介してアクセス
し、第一の機能を用いれば良い。
【0016】図4は一次元撮像装置を用いて取得した参
照信号r(x)の例であり、図5は表面欠陥のある熱延
鋼板2のサンプルから参照信号を取得した際と同じ条件
で得た欠陥部分の検出信号であり、図6はシェーディン
グ補正を行った後の出力信号である。ここでは、以下の
演算によりシェーディング補正を行なった。
【0017】図4に示すような参照信号をr(x)と
し、図5に示すような熱延鋼板表面の検出信号をf
(x)とし、シェーディング補正後の出力信号をo
(x)とすると o(x)=f(x)/r(x) …(1) の演算を行なうことにより、図6に示すようなシェーデ
ィング補正後の出力信号が得られる。
【0018】また、 o(x)=kf(x)/r(x)−θ …(2) とすれば、出力信号のダイナミックレンジを大きくと
り、出力信号レベルを所望の範囲内に納めることが可能
である。kは定数とし、θは出力信号o(x)を検出信
号f(x)、若しくは参照信号r(x)のレベルと合わ
せるような範囲内に納めるように決定すれば良い。
【0019】図6に示すように、きれいにシェーディン
グ補正され、かつ欠陥部分がきちんとあらわれた出力信
号が得られる。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の画像処理
方法によれば、欠陥などの無い部分の信号を実際の検査
を行う際と同様の条件で取得して参照信号とするため、
被検査材の表面の状態を検出信号に反映する事が出来、
信号変化のある部分のダイナミックレンジを大きくとる
ことが出来る。
【0021】また、参照信号を順次新しいものと入れ換
えることにより、光源の劣化による光源強度の経時変化
や検出素子の感度変化などにも対応する事が可能であ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を適用した表面欠陥検査装置
の概略構成図である。
【図2】欠陥抽出信号処理装置の概略図である。
【図3】ホットランテーブル上にサンプルコイルを配置
した状態を示す図である。
【図4】一次元撮像装置を用いてオフラインで取得した
参照信号の例である。
【図5】表面欠陥のある熱延鋼板のサンプルから、参照
信号を取得した際と同じ条件で得た欠陥部分の検出信号
である。
【図6】シェーディング補正を行った後の出力信号であ
る。
【符号の説明】
1 光源 2 熱延鋼板 3 光束 4 照射部分 5 一次元CCDカメラ 6 A/D変換装置 7 欠陥抽出用信号処理装置 8 欠陥判別用画像処理装置 9 表示装置 10 光源用電源 13 参照信号保存用メモリ 14 シェーディング補正演算モジュール 15 欠陥抽出モジュール 16 判定モジュール 17 機能選定モジュール 19 ホットランテーブル 20 サンプルコイル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 段木 亮一 千葉市中央区川崎町1番地 川崎製鉄株式 会社技術研究本部内 (72)発明者 丸山 智 千葉市中央区川崎町1番地 川崎製鉄株式 会社技術研究本部内 (72)発明者 守屋 進 千葉市中央区川崎町1番地 川崎製鉄株式 会社技術研究本部内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 順次搬送される被検査材表面で反射した
    反射光を所定の受光装置により受光することにより得ら
    れた、該被検査材表面を所定の一次元方向に或いは二次
    元的に検出した検出信号に、前記被検査材が搬送される
    オンライン中に順次シェーディング補正を施す画像処理
    方法において、 前記受光装置の視野内に、順次搬送される前記被検査材
    と段差をもって所定の参照材を配置しておき、 1つの前記被検査材が前記視野から外れた後次の前記被
    検査材が前記視野に現われる前に前記参照材表面で反射
    した反射光を前記受光装置で受光することにより参照信
    号を得、 該参照信号に基づいて該参照信号よりも後に得られた前
    記検出信号にシェーディング補正を施すことを特徴とす
    る画像処理方法。
  2. 【請求項2】 順次搬送される被検査材表面で反射した
    反射光を所定の受光装置により受光することにより得ら
    れた、該被検査材表面を所定の一次元方向に或いは二次
    元的に検出した検出信号に、前記被検査材が搬送される
    オンライン中に順次シェーディング補正を施す画像処理
    方法において、 前記検出信号に基づいて前記被検査材表面の疵の有無を
    判定し、 疵が無いと判定された前記検出信号に基づいて、該検出
    信号よりも後から得られた前記検出信号にシェーディン
    グ補正を施すことを特徴とする画像処理方法。
JP15672493A 1993-06-28 1993-06-28 画像処理方法 Withdrawn JPH0735703A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020050838A (ko) * 2000-12-22 2002-06-28 신현준 주석도금강판의 표면결함 검사장치 및 방법
JP2005316427A (ja) * 2004-03-30 2005-11-10 Canon Inc 記録材判別装置及び記録材判別方法、記録材判別装置を用いた画像形成装置および方法
JP2017201315A (ja) * 2013-01-07 2017-11-09 アイセンサー・カンパニー・リミテッドIxensor Co., Ltd. 試験紙及び試験紙の読取方法
US10921259B2 (en) 2012-12-18 2021-02-16 Ixensor Co., Ltd. Method and apparatus for analyte measurement

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020050838A (ko) * 2000-12-22 2002-06-28 신현준 주석도금강판의 표면결함 검사장치 및 방법
JP2005316427A (ja) * 2004-03-30 2005-11-10 Canon Inc 記録材判別装置及び記録材判別方法、記録材判別装置を用いた画像形成装置および方法
US8447196B2 (en) 2004-03-30 2013-05-21 Canon Kabushiki Kaisha Recording material determination apparatus and image forming apparatus having a determining unit that determines an attribute of a recording material
US10921259B2 (en) 2012-12-18 2021-02-16 Ixensor Co., Ltd. Method and apparatus for analyte measurement
JP2017201315A (ja) * 2013-01-07 2017-11-09 アイセンサー・カンパニー・リミテッドIxensor Co., Ltd. 試験紙及び試験紙の読取方法

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