JPH0511574B2 - - Google Patents
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- JPH0511574B2 JPH0511574B2 JP60018152A JP1815285A JPH0511574B2 JP H0511574 B2 JPH0511574 B2 JP H0511574B2 JP 60018152 A JP60018152 A JP 60018152A JP 1815285 A JP1815285 A JP 1815285A JP H0511574 B2 JPH0511574 B2 JP H0511574B2
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- transparent
- electrical signal
- plate
- signal
- circuit
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
- G01N21/8903—Optical details; Scanning details using a multiple detector array
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、透明または半透明のフイルム、シー
ト等の板状体を検査して異物の混入、フイツシユ
アイ等の欠点部を検出する検査装置に関する。
ト等の板状体を検査して異物の混入、フイツシユ
アイ等の欠点部を検出する検査装置に関する。
〔従来の技術とその問題点〕
透明または半透明のフイルム、シート等を製造
する際には、原料が完全に溶解していない部分が
あつたり、一度溶けたものが配管ライン内で再凝
固して溶液中に混入すること等によつて、良質部
分と同材質であるが密度が異なるフイツシユアイ
と呼ばれる欠点部が発生したり、表面に盛り上が
りやへこみができて欠点部となることがある。従
来、透明または半透明の板状体の欠点部を検出す
るためには、光の透過度の大小により欠点部を判
別する検査装置が使用されていた。しかし、この
ような装置では、不透明な異物の混入による欠点
部は容易に検出可能であるが、上記のような透明
または半透明の欠点部については、良質部分と同
様に光を透過するので、検出不可能であつたり、
検出の確実性に欠けるという問題点があつた。
する際には、原料が完全に溶解していない部分が
あつたり、一度溶けたものが配管ライン内で再凝
固して溶液中に混入すること等によつて、良質部
分と同材質であるが密度が異なるフイツシユアイ
と呼ばれる欠点部が発生したり、表面に盛り上が
りやへこみができて欠点部となることがある。従
来、透明または半透明の板状体の欠点部を検出す
るためには、光の透過度の大小により欠点部を判
別する検査装置が使用されていた。しかし、この
ような装置では、不透明な異物の混入による欠点
部は容易に検出可能であるが、上記のような透明
または半透明の欠点部については、良質部分と同
様に光を透過するので、検出不可能であつたり、
検出の確実性に欠けるという問題点があつた。
このため、レーザ光のフライングスポツト方式
を利用した装置が考案されたが、この装置は多面
鏡でレーザ光をスキヤンさせているため、光学系
が複雑になるとともに高価になるという問題点が
あつた。
を利用した装置が考案されたが、この装置は多面
鏡でレーザ光をスキヤンさせているため、光学系
が複雑になるとともに高価になるという問題点が
あつた。
したがつて本発明の目的は、不透明な異物の混
入による欠点部だけでなく、良質部分と同様に透
明または半透明の欠点部をも正確に検出可能で、
かつ装置が複雑とならず費用のかからない透明ま
たは半透明の板状体の欠点検査装置を提供するこ
とにある。
入による欠点部だけでなく、良質部分と同様に透
明または半透明の欠点部をも正確に検出可能で、
かつ装置が複雑とならず費用のかからない透明ま
たは半透明の板状体の欠点検査装置を提供するこ
とにある。
上記の問題点を解決するために本発明の検査装
置は、複数の線を等間隔に配してなる線列を、検
査すべ和き透明または半透明の板状体を介して観
察すると、良質部分と同材質で密度が異なる欠点
部においては光の屈折率が良質部分と異なり、ま
た表面の盛り上がりやへこみによる欠点部におい
てはレンズ作用により光が良質部分と異なつた屈
折を行なうために、線列の間隔、線の太さや濃淡
が変化して見えることを利用したものであり、次
のa)〜d)の構成要素からなつている。
置は、複数の線を等間隔に配してなる線列を、検
査すべ和き透明または半透明の板状体を介して観
察すると、良質部分と同材質で密度が異なる欠点
部においては光の屈折率が良質部分と異なり、ま
た表面の盛り上がりやへこみによる欠点部におい
てはレンズ作用により光が良質部分と異なつた屈
折を行なうために、線列の間隔、線の太さや濃淡
が変化して見えることを利用したものであり、次
のa)〜d)の構成要素からなつている。
a 検出すべき欠点部の大きさよりも狭い間隔で
等間隔に複数の線を配してなる線列 b 検査すべき透明または半透明の板状体を介し
て、前記線列をそれと直交する方向に直線状に
走査して撮像し電気信号に変換する一次元撮像
装置 c 前記電気信号の規則性が乱れた部分を検出す
る検出装置であつて、前記電気信号の前記不規
則部分をカツトするバンドパスフイルタと、不
規則部分がカツトされた前記電気信号の包絡線
に比例した電圧を取り出す包絡線回路と、包絡
線回路の出力からしきい値より高い部分を矩形
波として取出すコンパレータ回路と、コンパレ
ータ回路の出力を反転して検出信号とする反転
回路とからなる検出装置 d 前記板状体と前記一次元撮像装置とを前記線
列に沿う方向に相対的に移動させる移動装置 〔作用〕 一次元撮像装置を用いて、検査すべき透明また
は半透明の板状体を介して、前記線列をその線列
と直交する方向に直線状に走査して撮像すると、
線列が等間隔に配されていことから、一定周期の
規則正しい電気信号が得られる。しかし、前記板
状体に、良質部分と屈折率の異なる欠点部や表面
の一部が盛り上つたりへこんだりした欠点部が存
在すると、その部分においては光の屈折の仕方が
他の部分と異なるので、線列の間隔、線の太さや
濃淡が変化して撮像され(第3図のa)、前記規
則信号とは周期やパルス幅が異なる信号が得られ
る(第3図のb)。また、前記板状体に不透明な
異物の混入による欠点部が存在すると、その部分
においては線列は撮像されずに前記欠点部が撮像
され、それに対応する信号が得られる。検出装置
によつて前記信号のなかから規則性が乱れた部分
を検出することにより、透明または半透明の板状
体の欠点部が検出される。その際、検出装置にお
いて前記電気信号は、まずバンドパスフイルタに
通され、規則信号と同一の周波数を有する信号部
分以外がカツトされ、次にこの信号は包絡線回路
によつて包絡線に比例する電圧に変換され、さら
にコンパレータ回路によつてしきい値より高いか
低いか比較されてしきい値より高い部分が矩形波
として取り出され、反転回路13によつて反転さ
れて検出信号とされる。そして、前記板状体と前
記一次元撮像装置とは、移動装置によつて前記線
列に沿う方向に相対的に移動しているので、板状
体の全体または所要領域について欠点部の有無や
その大きさ等が検査される。
等間隔に複数の線を配してなる線列 b 検査すべき透明または半透明の板状体を介し
て、前記線列をそれと直交する方向に直線状に
走査して撮像し電気信号に変換する一次元撮像
装置 c 前記電気信号の規則性が乱れた部分を検出す
る検出装置であつて、前記電気信号の前記不規
則部分をカツトするバンドパスフイルタと、不
規則部分がカツトされた前記電気信号の包絡線
に比例した電圧を取り出す包絡線回路と、包絡
線回路の出力からしきい値より高い部分を矩形
波として取出すコンパレータ回路と、コンパレ
ータ回路の出力を反転して検出信号とする反転
回路とからなる検出装置 d 前記板状体と前記一次元撮像装置とを前記線
列に沿う方向に相対的に移動させる移動装置 〔作用〕 一次元撮像装置を用いて、検査すべき透明また
は半透明の板状体を介して、前記線列をその線列
と直交する方向に直線状に走査して撮像すると、
線列が等間隔に配されていことから、一定周期の
規則正しい電気信号が得られる。しかし、前記板
状体に、良質部分と屈折率の異なる欠点部や表面
の一部が盛り上つたりへこんだりした欠点部が存
在すると、その部分においては光の屈折の仕方が
他の部分と異なるので、線列の間隔、線の太さや
濃淡が変化して撮像され(第3図のa)、前記規
則信号とは周期やパルス幅が異なる信号が得られ
る(第3図のb)。また、前記板状体に不透明な
異物の混入による欠点部が存在すると、その部分
においては線列は撮像されずに前記欠点部が撮像
され、それに対応する信号が得られる。検出装置
によつて前記信号のなかから規則性が乱れた部分
を検出することにより、透明または半透明の板状
体の欠点部が検出される。その際、検出装置にお
いて前記電気信号は、まずバンドパスフイルタに
通され、規則信号と同一の周波数を有する信号部
分以外がカツトされ、次にこの信号は包絡線回路
によつて包絡線に比例する電圧に変換され、さら
にコンパレータ回路によつてしきい値より高いか
低いか比較されてしきい値より高い部分が矩形波
として取り出され、反転回路13によつて反転さ
れて検出信号とされる。そして、前記板状体と前
記一次元撮像装置とは、移動装置によつて前記線
列に沿う方向に相対的に移動しているので、板状
体の全体または所要領域について欠点部の有無や
その大きさ等が検査される。
以下、本発明の欠点検査装置の実施例を図面に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
第1図および第2図において、1は一次元撮像
装置で、本実施例ではラインセンサであるCCD
イメージセンサを利用したCCDカメラを使用し
ている。また、2は前記一次元撮像装置1の使用
にあたつて必要な光度を有する光源である。3は
検出すべき欠点部よりも狭い間隔で等間隔に複数
の線を配してなる線列で、透明板4に描かれ、一
次元撮像装置1の直線状の撮像視野と直交するよ
うに、一次元撮像装置1と光源2との間に設置さ
れている。5は、モータ6や搬送用ベルト7等か
らなる移動装置で、検査すべき透明または半透明
の板状体8を、一次元撮像装置1と線列3との間
の撮像視野内に順次搬送し、直線状の撮像視野と
直交する方向に移動させるものである。
装置で、本実施例ではラインセンサであるCCD
イメージセンサを利用したCCDカメラを使用し
ている。また、2は前記一次元撮像装置1の使用
にあたつて必要な光度を有する光源である。3は
検出すべき欠点部よりも狭い間隔で等間隔に複数
の線を配してなる線列で、透明板4に描かれ、一
次元撮像装置1の直線状の撮像視野と直交するよ
うに、一次元撮像装置1と光源2との間に設置さ
れている。5は、モータ6や搬送用ベルト7等か
らなる移動装置で、検査すべき透明または半透明
の板状体8を、一次元撮像装置1と線列3との間
の撮像視野内に順次搬送し、直線状の撮像視野と
直交する方向に移動させるものである。
9は一次元撮像装置1からの電気信号を入力し
てその電気信号の規則性が乱れた部分を検出する
検出装置であり、第4図はその構成を示すブロツ
ク図である。10は規則信号の周波数と同一の周
波数の部分だけを通すバンドパスフイルタで、1
1は半波または全波整流回路と低域フイルタを用
いて信号の包絡線に比例した電圧をとり出す包絡
線回路である。そして12は電圧があるしきい値
よりも高いか低いかを比較するコンパレータ回路
であり、13は出力を反転する反転回路である。
てその電気信号の規則性が乱れた部分を検出する
検出装置であり、第4図はその構成を示すブロツ
ク図である。10は規則信号の周波数と同一の周
波数の部分だけを通すバンドパスフイルタで、1
1は半波または全波整流回路と低域フイルタを用
いて信号の包絡線に比例した電圧をとり出す包絡
線回路である。そして12は電圧があるしきい値
よりも高いか低いかを比較するコンパレータ回路
であり、13は出力を反転する反転回路である。
次にこの欠点検査装置の動作について説明す
る。
る。
検査すべき透明または半透明の板状体8が、移
動装置5によつて一次元撮像装置(以下、単に撮
像装置と呼ぶ)1の直線状の撮像視野内に運ばれ
ると、撮像装置1によつて前記板状体8が撮像さ
れるが、この板状体8が透明または半透明である
ために、その反対側に設置された線列3がそれに
直交する方向に直線状に撮像されることになり、
線列3の間隔に対応した一定周期の規則的な電気
信号が得られる。その際、前記直線状の視野内に
位置する前記板状体8の部分に、良者部分と同材
質で密度が異なるフイツシユアイのような欠点部
8aや表面の一部が盛り上がつたりへこんだりし
た欠点部8aが存在すると、その部分においては
他の部分と光の屈折の仕方が異なるので、前記線
列3の間隔、線の太さや濃淡等が変化したものが
撮像され、規則性の乱れた電気信号が現われる
(第5図の)。検出装置9において前記電気信号
は、まずバンドパスフイルタ10に通され、規則
信号と同一の周波数を有する信号部分以外がカツ
トされ、第5図ののような波形になる。次にこ
の信号は包絡線回路11によつてカツト包絡線に
比例する電圧に変換され(第5図の)、さらに
コンパレータ回路12によつてしきい値THより
高いか低いかが比較され、第5図のの波形にな
る。そして反転回路13によつて反転されて検出
信号とされる(第5図の)。
動装置5によつて一次元撮像装置(以下、単に撮
像装置と呼ぶ)1の直線状の撮像視野内に運ばれ
ると、撮像装置1によつて前記板状体8が撮像さ
れるが、この板状体8が透明または半透明である
ために、その反対側に設置された線列3がそれに
直交する方向に直線状に撮像されることになり、
線列3の間隔に対応した一定周期の規則的な電気
信号が得られる。その際、前記直線状の視野内に
位置する前記板状体8の部分に、良者部分と同材
質で密度が異なるフイツシユアイのような欠点部
8aや表面の一部が盛り上がつたりへこんだりし
た欠点部8aが存在すると、その部分においては
他の部分と光の屈折の仕方が異なるので、前記線
列3の間隔、線の太さや濃淡等が変化したものが
撮像され、規則性の乱れた電気信号が現われる
(第5図の)。検出装置9において前記電気信号
は、まずバンドパスフイルタ10に通され、規則
信号と同一の周波数を有する信号部分以外がカツ
トされ、第5図ののような波形になる。次にこ
の信号は包絡線回路11によつてカツト包絡線に
比例する電圧に変換され(第5図の)、さらに
コンパレータ回路12によつてしきい値THより
高いか低いかが比較され、第5図のの波形にな
る。そして反転回路13によつて反転されて検出
信号とされる(第5図の)。
前記板状体8は、移動装置5によつて撮像装置
1の撮像視野に直交する方向に移動されているの
で、板状体8の全体が2次元に走査され、検出信
号のパルス幅やその位置から、欠点部8aの大き
さ、形状、位置等が求められる。
1の撮像視野に直交する方向に移動されているの
で、板状体8の全体が2次元に走査され、検出信
号のパルス幅やその位置から、欠点部8aの大き
さ、形状、位置等が求められる。
また、前記板状体8に不透明な欠点部が存在す
る場合には、その部分においては線列3が撮像さ
れずに前記欠点部自体が撮像され、それに対応す
る信号が得られる。この信号部分も検出装置9に
よつて前記と同様に良質部分に対応する信号部分
から区別され、検出信号が得られる。
る場合には、その部分においては線列3が撮像さ
れずに前記欠点部自体が撮像され、それに対応す
る信号が得られる。この信号部分も検出装置9に
よつて前記と同様に良質部分に対応する信号部分
から区別され、検出信号が得られる。
前記検出信号を用いてブザー等を鳴らすことに
よつて、板状体8に欠点部8aが検出されたこと
を知らせるようにしておく。なお、この検出信号
をマイクロコンピユータ・システムに入力して、
欠点部8aが検出された板状体8の番号や欠点部
8aの位置や大きさを記憶させておき、良品、不
良品の選別や品質管理データとして使用すること
もできる。
よつて、板状体8に欠点部8aが検出されたこと
を知らせるようにしておく。なお、この検出信号
をマイクロコンピユータ・システムに入力して、
欠点部8aが検出された板状体8の番号や欠点部
8aの位置や大きさを記憶させておき、良品、不
良品の選別や品質管理データとして使用すること
もできる。
本実施例の検査装置は、一次元撮像装置1およ
び線列3を固定して移動装置5によつて検査対象
となる板状体8を移動させているため、板状体8
の搬送および撮像視野に直交する方向の走査を連
続的に実行でき、多数の板状体8の検査を自動的
かつ連続的に行なうのに便利である。
び線列3を固定して移動装置5によつて検査対象
となる板状体8を移動させているため、板状体8
の搬送および撮像視野に直交する方向の走査を連
続的に実行でき、多数の板状体8の検査を自動的
かつ連続的に行なうのに便利である。
なお、一次元撮像装置1としては、CCDカメ
ラに限らず、フオトダイオードとMOSNスイツ
チングが一体になつたMOS形イメージセンサを
使用したカメラやその他の固体撮像デバイスを使
用した撮像装置を用いることもできる。また移動
装置5は、検査すべき板状体8と撮像装置1の直
線状の撮像視野とを相対的に移動させるものであ
ればよく、その相対移動の方法は板状体8の大き
さや形状によつて適宜決定し、例えば、検査すべ
き板状体8が大きく、その一部分だけを検査する
場合のように板状体8の移動をさせるよりも撮像
装置1および線列3を移動させるように構成した
方がよい場合もある。
ラに限らず、フオトダイオードとMOSNスイツ
チングが一体になつたMOS形イメージセンサを
使用したカメラやその他の固体撮像デバイスを使
用した撮像装置を用いることもできる。また移動
装置5は、検査すべき板状体8と撮像装置1の直
線状の撮像視野とを相対的に移動させるものであ
ればよく、その相対移動の方法は板状体8の大き
さや形状によつて適宜決定し、例えば、検査すべ
き板状体8が大きく、その一部分だけを検査する
場合のように板状体8の移動をさせるよりも撮像
装置1および線列3を移動させるように構成した
方がよい場合もある。
さらに、線列3の各線の長さは少なくとも撮像
装置1の撮像視野の実質的な幅と同じかそれより
も長くしておき、線列3の間隔は検出すべき欠点
部8aの大きさよりも狭くしておく。すなわち、
線列3の間隔を変えることによつて本装置の検出
分解能が変わり、検査レベルに応じて検出できる
欠点部8aの大きさを容易に選定することができ
る。また、この線列3は各線が互いに平行である
必要はなく、撮像装置1の直線状の視野の範囲内
で各線のB太さおよび間隔が等しければ例えば第
6図に示すように放射状に形成してもよい。この
ように形成することによつて、この線列3を撮像
装置1の視野と相対的にシフトさせるだけで検出
できる欠点部8aの大きさを容易に変更すること
ができる。
装置1の撮像視野の実質的な幅と同じかそれより
も長くしておき、線列3の間隔は検出すべき欠点
部8aの大きさよりも狭くしておく。すなわち、
線列3の間隔を変えることによつて本装置の検出
分解能が変わり、検査レベルに応じて検出できる
欠点部8aの大きさを容易に選定することができ
る。また、この線列3は各線が互いに平行である
必要はなく、撮像装置1の直線状の視野の範囲内
で各線のB太さおよび間隔が等しければ例えば第
6図に示すように放射状に形成してもよい。この
ように形成することによつて、この線列3を撮像
装置1の視野と相対的にシフトさせるだけで検出
できる欠点部8aの大きさを容易に変更すること
ができる。
以上詳述したように本発明の欠点検査装置によ
ると、不透明な異物の混入による欠点部だけでな
く、良質部分と同材質で密度が異なる欠点部や表
面の一部が盛り上がつたりへこんだりした欠点部
等の透明または半透明の欠点部をも確実に検出で
きる。しかも、光学系が簡単であるの装置が複雑
とならず、安価に実施可能である。さらに、本発
明では、基準となる等間隔の線列を、検査すべき
透明または半透明の板状体を介して撮像すること
により板状体の欠点部を線列の乱れとしてとら
え、撮像により得られた信号から線列の乱れに対
応する不規則部分のみを検出回路により取り出す
ことができるから、前記線列を正確に等間隔に配
しておきさえすれば、撮像装置と線列との相対的
位置関係が設定後に変動した場合でも欠点部を正
確に検出できる。
ると、不透明な異物の混入による欠点部だけでな
く、良質部分と同材質で密度が異なる欠点部や表
面の一部が盛り上がつたりへこんだりした欠点部
等の透明または半透明の欠点部をも確実に検出で
きる。しかも、光学系が簡単であるの装置が複雑
とならず、安価に実施可能である。さらに、本発
明では、基準となる等間隔の線列を、検査すべき
透明または半透明の板状体を介して撮像すること
により板状体の欠点部を線列の乱れとしてとら
え、撮像により得られた信号から線列の乱れに対
応する不規則部分のみを検出回路により取り出す
ことができるから、前記線列を正確に等間隔に配
しておきさえすれば、撮像装置と線列との相対的
位置関係が設定後に変動した場合でも欠点部を正
確に検出できる。
第1図は本発明の一実施例を示す斜視図、第2
図は同実施例を示す正面図、第3図のaは本発明
の原理を示す平面図、第3図のbは第3図に対応
する一次元撮像装置の出力を示すグラフ、第4図
は検出装置の構成を示すブロツク図、第5図は第
4図の検出装置の各部の動作特性図、第6図は線
列の変更列を示す平面図である。 符号の説明、1……一次元撮像装置、3…線
列、5……移動装置、8……透明または半透明の
板状体、8a……欠点部、9……検出装置、10
……バンドパスフイルタ、11……包絡線回路、
12……コンパレータ回路、13……反転回路。
図は同実施例を示す正面図、第3図のaは本発明
の原理を示す平面図、第3図のbは第3図に対応
する一次元撮像装置の出力を示すグラフ、第4図
は検出装置の構成を示すブロツク図、第5図は第
4図の検出装置の各部の動作特性図、第6図は線
列の変更列を示す平面図である。 符号の説明、1……一次元撮像装置、3…線
列、5……移動装置、8……透明または半透明の
板状体、8a……欠点部、9……検出装置、10
……バンドパスフイルタ、11……包絡線回路、
12……コンパレータ回路、13……反転回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 透明または半透明の板状体を検査して欠点部
を検出する検査装置において、 検出すべき欠点部の大きさよりも狭い間隔で等
間隔に複数の線を配してなる線列と、 検査すべき透明または半透明の板状体を介して
前記線列をそれと直交する方向に直線状に走査し
て撮像し電気信号に変換する一次元撮像装置と、 前記電気信号の規則性が乱れた部分を検出する
検出装置であつて、前記電気信号の前記不規則部
分をカツトするバンドパスフイルタと、不規則部
分がカツトされた前記電気信号の包絡線に比例し
た電圧を取り出す包絡線回路と、包絡線回路の出
力からしきい値より高い部分を矩形波として取出
すコンパレータ回路と、コンパレータ回路の出力
を反転して検出信号とする反転回路とからなる検
出装置と、 前記板状体と前記一次元撮像装置とを前記線列
に沿う方向に移動させる移動装置とからなる透明
または半透明の板状体の欠点検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1815285A JPS61176839A (ja) | 1985-01-31 | 1985-01-31 | 透明または半透明の板状体の欠点検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1815285A JPS61176839A (ja) | 1985-01-31 | 1985-01-31 | 透明または半透明の板状体の欠点検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61176839A JPS61176839A (ja) | 1986-08-08 |
JPH0511574B2 true JPH0511574B2 (ja) | 1993-02-15 |
Family
ID=11963639
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1815285A Granted JPS61176839A (ja) | 1985-01-31 | 1985-01-31 | 透明または半透明の板状体の欠点検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61176839A (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0750038B2 (ja) * | 1990-10-04 | 1995-05-31 | 三井東圧化学株式会社 | プラスチックフィルムのシースルー特性の測定方法 |
JP2795595B2 (ja) * | 1992-06-26 | 1998-09-10 | セントラル硝子株式会社 | 透明板状体の欠点検出方法 |
JP3178644B2 (ja) * | 1995-02-10 | 2001-06-25 | セントラル硝子株式会社 | 透明板状体の欠点検出方法 |
JP3411829B2 (ja) * | 1997-07-02 | 2003-06-03 | 旭硝子株式会社 | 表面形状の評価方法および評価装置 |
DE19813073A1 (de) * | 1998-03-25 | 1999-09-30 | Laser Sorter Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der optischen Qualität und zur Detektion von Fehlern von Flachglas und anderen optisch transparenten Materialien, insbesondere von Drips, Fäden und Linien |
JP4633245B2 (ja) * | 2000-11-06 | 2011-02-16 | 住友化学株式会社 | 表面検査装置及び表面検査方法 |
FR2958404B1 (fr) * | 2010-04-01 | 2012-04-27 | Saint Gobain | Procede et dispositif d'analyse de la qualite optique d'un substrat transparent |
Citations (1)
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JPS48102653A (ja) * | 1972-04-10 | 1973-12-24 |
Family Cites Families (1)
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JPS59147006U (ja) * | 1983-03-22 | 1984-10-01 | サンクス株式会社 | 不良品検出装置 |
-
1985
- 1985-01-31 JP JP1815285A patent/JPS61176839A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS48102653A (ja) * | 1972-04-10 | 1973-12-24 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS61176839A (ja) | 1986-08-08 |
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