JPS63198854A - 型板ガラスの異物検出装置 - Google Patents
型板ガラスの異物検出装置Info
- Publication number
- JPS63198854A JPS63198854A JP3046887A JP3046887A JPS63198854A JP S63198854 A JPS63198854 A JP S63198854A JP 3046887 A JP3046887 A JP 3046887A JP 3046887 A JP3046887 A JP 3046887A JP S63198854 A JPS63198854 A JP S63198854A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- foreign matter
- template
- inspection
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 34
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 15
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 7
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 206010047571 Visual impairment Diseases 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000001953 sensory effect Effects 0.000 description 1
- 239000005341 toughened glass Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は、型板ガラス中に存在する所定の大きさ以上
の異物を検出する型板ガラスの異物検出装置に関する。
の異物を検出する型板ガラスの異物検出装置に関する。
(従来の技術〉
従来の異物検出装置としては、例えば第3図に示すよう
に、レーザを使用したものがおる。
に、レーザを使用したものがおる。
これは、レーザ1からのレーザ光2を12面ミラー3お
よび平行ミラー4を介してガラス5の上面から透過させ
、受光部6で受光したレーザ■により異物の有無を判定
するものである。
よび平行ミラー4を介してガラス5の上面から透過させ
、受光部6で受光したレーザ■により異物の有無を判定
するものである。
しかしながら、この従来検出装置では、被検出対象が型
板ガラスの場合には、ガラス表面に型模様が刻設されて
いるため、レーザ光をうまく透過さUることができない
ので、この装置を使用することができず、検査作業者に
よって目視検査を行う必要があった。
板ガラスの場合には、ガラス表面に型模様が刻設されて
いるため、レーザ光をうまく透過さUることができない
ので、この装置を使用することができず、検査作業者に
よって目視検査を行う必要があった。
このため、型板ガラスの素板段階で検査作業者が常時目
視検査を行なって、不良品を判別、破東していた。
視検査を行なって、不良品を判別、破東していた。
(この発明が解決しようとする問題点)しかしなから、
このような従来の検査方法では不良品の市場流出を防止
するために目視検査のため検査作業者が必要であり、検
査の手間や時間がかかり、コストも上昇するという問題
点があった。
このような従来の検査方法では不良品の市場流出を防止
するために目視検査のため検査作業者が必要であり、検
査の手間や時間がかかり、コストも上昇するという問題
点があった。
また目視検査という官能検査に依存しているため、検査
作業者ににり良否の判定基準が異なり、1= 1’化し
にくかった。このため、異物を見落したり、また良品を
不良品と誤認してしまうという問題点があった。
作業者ににり良否の判定基準が異なり、1= 1’化し
にくかった。このため、異物を見落したり、また良品を
不良品と誤認してしまうという問題点があった。
(問題点を解決するだめの手段)
この発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされた
ものであって、目視検査によらず、所定値以上の大ぎざ
の異物を確実に検出できる型板ガラスの異物検出装置を
提供することを目的としている。
ものであって、目視検査によらず、所定値以上の大ぎざ
の異物を確実に検出できる型板ガラスの異物検出装置を
提供することを目的としている。
この目的を達成するために、この発明は、型板カラスの
下面から光を照射する光源と、該光源からの光を拡散し
て前記下面を一様な照度で照らすための拡散板と、前記
型板ガラスの上面側に配置され、その視野内の画像を取
り込んで画像データを伝送するカメラ部と、該カメラ部
からの画像データに基づいて信号処理を行い、型板ガラ
ス中の異物を検出する検出部とを備えている。
下面から光を照射する光源と、該光源からの光を拡散し
て前記下面を一様な照度で照らすための拡散板と、前記
型板ガラスの上面側に配置され、その視野内の画像を取
り込んで画像データを伝送するカメラ部と、該カメラ部
からの画像データに基づいて信号処理を行い、型板ガラ
ス中の異物を検出する検出部とを備えている。
(作用)
この発明においては型板ガラスの下面から光を照則し、
拡散板によりその光を拡散して、型板ガラスの型模様の
影響を受けることなく、テレビカメラ視野内で型板ガラ
スを一様な照度で照らずことにより、異物とバックとの
間に、コンlヘラストの差を生じさせて、これを検出し
て信号処理することで、異物を検出している。
拡散板によりその光を拡散して、型板ガラスの型模様の
影響を受けることなく、テレビカメラ視野内で型板ガラ
スを一様な照度で照らずことにより、異物とバックとの
間に、コンlヘラストの差を生じさせて、これを検出し
て信号処理することで、異物を検出している。
したがって、目視検査に代えて検出装置により検査作業
を代行することができるので、検査作業者が不要となり
、手間や時間がかからず、コストの低減を図ることがで
きる。
を代行することができるので、検査作業者が不要となり
、手間や時間がかからず、コストの低減を図ることがで
きる。
また、異物検査の標準化を容易に行うことができるので
、所定値以上の大きさの異物を確実に検出することがで
き、検査精度を高めることができる。したがって、良品
を不良品と判定するようなことがなく、ロスを未然に回
避することができる。
、所定値以上の大きさの異物を確実に検出することがで
き、検査精度を高めることができる。したがって、良品
を不良品と判定するようなことがなく、ロスを未然に回
避することができる。
ざらに、異物の判定基準が変更されても、判定基準の変
更を容易に行うことができるので、たたらに対応するこ
とができる。
更を容易に行うことができるので、たたらに対応するこ
とができる。
(実施例)
以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第1図はこの発明の一実施例を示す図でおる。
まず、構成を説明すると、第1図において、11は異物
12の検出の対象となる型板ガラスであり、この型板ガ
ラス11のガラス表面には型模様が刻設されている。型
板ガラス11の中には例えば、所定値以上の大ぎざの異
物12が含まれており、検査のために型板ガラス11は
送りロール13.14により矢印15方向に所定の速度
で搬送される。
12の検出の対象となる型板ガラスであり、この型板ガ
ラス11のガラス表面には型模様が刻設されている。型
板ガラス11の中には例えば、所定値以上の大ぎざの異
物12が含まれており、検査のために型板ガラス11は
送りロール13.14により矢印15方向に所定の速度
で搬送される。
16は型板ガラス11の下面側に配置された光源となる
照明装備であり、照明装置16としては、例えば螢光対
、ハロゲン灯、ストロボスコープ等を用いる。照明装置
16と型板ガラス11との間には2枚の拡散板17.1
8が平行して配置されており、これらの拡散板17.1
8は、例えばアクリル板、紙等からなる。なお、拡散板
17,18は、この実施例では2枚としたが、これに限
定されるものではなく、3枚以上としても良い。
照明装備であり、照明装置16としては、例えば螢光対
、ハロゲン灯、ストロボスコープ等を用いる。照明装置
16と型板ガラス11との間には2枚の拡散板17.1
8が平行して配置されており、これらの拡散板17.1
8は、例えばアクリル板、紙等からなる。なお、拡散板
17,18は、この実施例では2枚としたが、これに限
定されるものではなく、3枚以上としても良い。
したがって、照明装置16により照射された光は拡散板
17.18により拡散されて、型板カラス11の型模様
の影響を受Cプることなく、型板ガラス11を一様な照
度で照らすようになっている。
17.18により拡散されて、型板カラス11の型模様
の影響を受Cプることなく、型板ガラス11を一様な照
度で照らすようになっている。
19は型板ガラスの上部側に配置されたテレビカメラ(
カメラ部)であり、そのカメラ視野20内の画像を取り
込み、画像データを検出装置本体(検出部)21に伝送
する。テレビカメラ19としては、通常の暗像管カメラ
をあげることができるが、これに限定されるものではな
くCODカメラ、MO8型カメラでも良い。
カメラ部)であり、そのカメラ視野20内の画像を取り
込み、画像データを検出装置本体(検出部)21に伝送
する。テレビカメラ19としては、通常の暗像管カメラ
をあげることができるが、これに限定されるものではな
くCODカメラ、MO8型カメラでも良い。
CODカメラは、対物レンズによって被写体の実像をセ
ンサICの受光面部に結像させ強弱パターンに対応した
電気信号を取り出せるようにしたカメラであり、そのセ
ンサICは多数のフォトダイオードが直線上に等間隔に
並んでいる固体素子であって、このフォトダイオードに
光が当たると露光計に比例した出力を生じる。
ンサICの受光面部に結像させ強弱パターンに対応した
電気信号を取り出せるようにしたカメラであり、そのセ
ンサICは多数のフォトダイオードが直線上に等間隔に
並んでいる固体素子であって、このフォトダイオードに
光が当たると露光計に比例した出力を生じる。
検出部21は、テレビカメラ19からの画像データに基
づいて、異物12とバックとのコントラストの差により
異物12を検出する。すなわち、テレビカメラ19の出
力電圧Vが設定されたパルス巾を以上でスライスレベル
SL以下となったとき、異物検出信号を出力する。
づいて、異物12とバックとのコントラストの差により
異物12を検出する。すなわち、テレビカメラ19の出
力電圧Vが設定されたパルス巾を以上でスライスレベル
SL以下となったとき、異物検出信号を出力する。
次に、作用を説明する。
型板ガラス11の下面から照明装置16で光を照射する
と、照射された光は、拡散板17.18により拡散され
、型板ガラス11の型模様の影響を受【プることなく、
一様な照度で型板ガラス11を照らす。
と、照射された光は、拡散板17.18により拡散され
、型板ガラス11の型模様の影響を受【プることなく、
一様な照度で型板ガラス11を照らす。
テレビカメラ19はその視野20内の画像を取り込み、
画像データを検出部21へ送る。この場合、型板ガラス
11の搬送速度が速くて異物12に対して残像が発生す
る場合には、ストロボスコープを使用して検出部21と
の同期をとるか、またはテレビカメラ19にメカニカル
シャッタを取りイ」(プるようにすればよい。
画像データを検出部21へ送る。この場合、型板ガラス
11の搬送速度が速くて異物12に対して残像が発生す
る場合には、ストロボスコープを使用して検出部21と
の同期をとるか、またはテレビカメラ19にメカニカル
シャッタを取りイ」(プるようにすればよい。
次に、検出部21ではテレビカメラ19からの画像デー
タに基づいて信号レベル処理を行う。すなわち、検出部
21は、第2図に示すように、テレビカメラ19の出力
電圧Vが設定されたパルスrlr を以上であって、ス
ライスレベルSL以下におらこんだときは、型板ガラス
11の中に異物12が含まれていると判定して、異物検
出信号を出力する。こうして、例えば、最小0.8mm
以上の異物12を検出することができる。
タに基づいて信号レベル処理を行う。すなわち、検出部
21は、第2図に示すように、テレビカメラ19の出力
電圧Vが設定されたパルスrlr を以上であって、ス
ライスレベルSL以下におらこんだときは、型板ガラス
11の中に異物12が含まれていると判定して、異物検
出信号を出力する。こうして、例えば、最小0.8mm
以上の異物12を検出することができる。
以上のように、この実施例においては、目視検査に代え
て検査作業を検出装置が行うため、検査作業者が不要と
なり、手間や時間がかからないので、コストを低減する
ことが可能となる。
て検査作業を検出装置が行うため、検査作業者が不要と
なり、手間や時間がかからないので、コストを低減する
ことが可能となる。
また、前記パルス[1]↑、スライスレベルSl−等の
設定条件を特定すれば、判別基準のための標準化を容易
に行うことができ、所定値以上の大きざの異物12を確
実に検出することかできる。このため、良品を不良品と
するようなロスをなくすことができる。さらに、ダイヤ
ル調整により前記設定条件を変更できるので判定基準の
変更を容易に行うことができ、異物12の判定基準が変
更されてもただちに対応することができる。
設定条件を特定すれば、判別基準のための標準化を容易
に行うことができ、所定値以上の大きざの異物12を確
実に検出することかできる。このため、良品を不良品と
するようなロスをなくすことができる。さらに、ダイヤ
ル調整により前記設定条件を変更できるので判定基準の
変更を容易に行うことができ、異物12の判定基準が変
更されてもただちに対応することができる。
(発明の効果)
以上説明してぎたように、この発明によれば、目視検査
を行う検査作業者が不要となり、検査の手間や時間がか
からず、コストを低減することができる。また、判定基
準の標準化を容易に行うことができるので、所定値以上
の大きざの異物を確実に検査することができ、検査精度
を高めることができる。ざらに、異物の判定基準の変更
に対して容易に対応することができる。
を行う検査作業者が不要となり、検査の手間や時間がか
からず、コストを低減することができる。また、判定基
準の標準化を容易に行うことができるので、所定値以上
の大きざの異物を確実に検査することができ、検査精度
を高めることができる。ざらに、異物の判定基準の変更
に対して容易に対応することができる。
第1図はこの発明の一実施例を示す全体構成図、第2図
は異物に対する信号処理を説明するための説明図、第3
図は従来例を示す概略構成図である。 11:型板ガラス 12:異物 13.14:送りロール 15:矢印 16:照明装置(光源〉 17.18:拡散板 19:テレビカメラ(カメラ部) 20:テレビカメラ視野 21:検出装置本体(検出部) 第1図
は異物に対する信号処理を説明するための説明図、第3
図は従来例を示す概略構成図である。 11:型板ガラス 12:異物 13.14:送りロール 15:矢印 16:照明装置(光源〉 17.18:拡散板 19:テレビカメラ(カメラ部) 20:テレビカメラ視野 21:検出装置本体(検出部) 第1図
Claims (1)
- 型板ガラスの下面から光を照射する光源と、該光源から
の光を拡散して前記下面を一様な照度で照らすための拡
散板と、前記型板ガラスの上面側に配置され、その視野
内の画像を取り込んで画像データを伝送するカメラ部と
、該カメラ部からの画像データに基づいて信号処理を行
い、型板ガラス中の異物を検出する検出部と、を備えた
ことを特徴とする型板ガラスの異物検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3046887A JPS63198854A (ja) | 1987-02-12 | 1987-02-12 | 型板ガラスの異物検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3046887A JPS63198854A (ja) | 1987-02-12 | 1987-02-12 | 型板ガラスの異物検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63198854A true JPS63198854A (ja) | 1988-08-17 |
Family
ID=12304706
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3046887A Pending JPS63198854A (ja) | 1987-02-12 | 1987-02-12 | 型板ガラスの異物検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63198854A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH046447A (ja) * | 1990-04-24 | 1992-01-10 | Nikka Densoku Kk | 露光装置および検出装置 |
JP2020173209A (ja) * | 2019-04-12 | 2020-10-22 | 東京技研工業株式会社 | 画像検査装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61256237A (ja) * | 1985-05-09 | 1986-11-13 | Dainippon Printing Co Ltd | 周期性パタ−ンの欠陥検査方法 |
-
1987
- 1987-02-12 JP JP3046887A patent/JPS63198854A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61256237A (ja) * | 1985-05-09 | 1986-11-13 | Dainippon Printing Co Ltd | 周期性パタ−ンの欠陥検査方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH046447A (ja) * | 1990-04-24 | 1992-01-10 | Nikka Densoku Kk | 露光装置および検出装置 |
JP2020173209A (ja) * | 2019-04-12 | 2020-10-22 | 東京技研工業株式会社 | 画像検査装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS62138740A (ja) | シ−ト面の欠陥検出方法 | |
JPS63198854A (ja) | 型板ガラスの異物検出装置 | |
JP2001124538A (ja) | 物体表面の欠陥検査方法および欠陥検査装置 | |
JPH11248643A (ja) | 透明フィルムの異物検査装置 | |
JPH0313853A (ja) | 表面疵検査装置 | |
JPH10132754A (ja) | リードフレームの外観検査装置 | |
JPH09113465A (ja) | 亜鉛メッキ系鋼板用表面欠陥検出装置 | |
JPH05215694A (ja) | 回路パターンの欠陥検査方法及びその装置 | |
JPH0755720A (ja) | 透明および不透明フィルムの欠点検査装置 | |
JP2002005845A (ja) | 欠陥検査装置 | |
JPS6232345A (ja) | 欠点検出装置 | |
JPH08285790A (ja) | ガラス繊維シート用欠陥検出方法 | |
JPH10111252A (ja) | ガラス板の欠点検出装置 | |
JPH02278105A (ja) | 半田付検査装置 | |
JPH02133883A (ja) | 外観検査方法 | |
JPH0431755A (ja) | シート状物の欠陥検査装置 | |
JP2001188048A (ja) | ピンホールの検査方法 | |
JP3197047B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
JPH10221041A (ja) | 欠陥検査方法 | |
JPS57208153A (en) | Inspecting method for defective aluminum pattern of semiconductor or the like | |
JPH0682104B2 (ja) | 印刷回路板の外観検査方法 | |
JPH02201208A (ja) | 欠陥検査装置 | |
JPH046448A (ja) | 積層板の検査方法 | |
JPS63229317A (ja) | 被検査体のバリ検査装置 | |
JPH0772099A (ja) | 不透明フィルムの欠点検査方法 |