JPS5851580A - 磁気検出センサ装置 - Google Patents

磁気検出センサ装置

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JPS5851580A
JPS5851580A JP56149450A JP14945081A JPS5851580A JP S5851580 A JPS5851580 A JP S5851580A JP 56149450 A JP56149450 A JP 56149450A JP 14945081 A JP14945081 A JP 14945081A JP S5851580 A JPS5851580 A JP S5851580A
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JP
Japan
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cap
detection sensor
magnetic detection
external connection
magnetic
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JP56149450A
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Toru Watanabe
徹 渡辺
Katsuyoshi Tamura
勝義 田村
Hiromi Kanai
紘美 金井
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N50/00—Galvanomagnetic devices
    • H10N50/10—Magnetoresistive devices

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  • Hall/Mr Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は磁気検出センナ装置、特に磁気抵抗効果を有す
る磁気抵抗素子の外部接続用配線の構造に関するもので
ある。
従来よシ提案されている磁気検出素子を利用した磁気検
出センナ装置は、第１図に要部断面図に示すように非磁
性体基板１上に被着形成された磁気抵抗効果を有する磁
気抵抗素子２が例えば歯車などの被検出磁性体３の回転
数をバイアス用磁石４の磁束の変化によシ測定する構造
を有している。
しかしながら、上記構造の場合、磁気抵抗素子２からの
外部接続用リード５は途中に金線などのボンディングワ
イヤ６を用いておシ、パッケージングＯため、非磁性体
金属からなるケースＴとキャップ８とを接着し１例えば
エポキシ系樹脂９で樹脂モールドを行なった場合、少々
の熱膨張差によりボンディングワイヤ６を切断させたシ
、ボンディングワイヤ６の弛みによりキャップ８と接触
したシ、またワイヤボンディングを行なっているため、
キャップ８０表面から磁気抵抗素子２の表面までの距１
１ｉｄが長くなり被検出磁性体３から磁気抵抗素子２の
平面までの距離が長くなってしまい磁気抵抗素子２の感
度を低下させるなど種々の欠点があった。
したがって本発明は、磁気抵抗素子からの外部接続用配
線を、７レキシプル配線板で引色出すことによって、高
感度でかつ信頼性の高い磁気検出センサ装置を提供する
ことを目的としている。以下図面を用いて亨発明の実施
例を詳細に説明する。
第２図は本発明による磁気検出センサ装置の一例を示す
第１図に相当する要部断面図であシ、第１図と同記号は
同一要素となるのでその説明は１略する。第２図におい
て、磁気抵抗素子２０図示しないポンディングパッド部
にはポリイζト°系のフレキシブル配線板１０の一層が
電気的に接続されかつその他端側は外部接続用ＩＪ−）
’５にリセクタプル１１を介して電気的に接続されてい
る。この場合、磁気抵抗素子２とフレキシブル配線板１
Ｇとの接続は熱圧着、半田付けなどの手段により容易に
できる。そして、磁気抵抗素子２はギャップ８の内面側
に７レキシプル配線板１１を介してエポキシ系樹脂９で
モールドされている。
このような構成によれば、従来のワイヤボンディングで
の接続で問題となっていたポンディングワイヤ６（嬉１
図参照）の切断およびキャップ８への接触事故の発生が
皆無となシ、フレキシブル配線板１０とキャップ８はフ
レキシブル配線４［１０の外面側にポリイミドのオーバ
ーレイフィルムがあるため、接触可能である。また、７
レキシプル配線板１０を用いたことによって、磁気抵抗
素子２をキャップ８の内面側に最近接して配置できるの
で、キャップ８０表面から磁気抵抗素子２の表面までの
距ＩＩ＠ｌｄが大幅に短縮でき、磁気抵抗素子２の感度
を向上させることができる。
以上説明したように本発明によれば、磁気抵抗素子の外
部接続用配線の断続、接触事故の発生が皆無となるので
、信頼性および歩留りを大幅に向上させることができる
。また、磁気抵抗素子と被検出磁性体との間隔を大幅に
短縮できるので、検出感度の高い磁気検出センサ装置が
得られるなどの極めて優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の磁気検出センサ装置の一例を示す要部断
面図、第２図は本発明による磁気検出センサ装置の一例
を示す要部断面図である。 １Φ・・・非磁性体基板、２・・・・磁気抵抗素子、４
・ｅ・・バイアス用磁石、５＠・・・外部接続用リード
、７・・・・ケース、８・・・・キャップ、９・・・・
エポキシ系樹脂、１０・・・・フレキシブル配線板、１
１・・・・リセクタブル。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 磁気抵抗効果を有する磁気抵抗素子に外部接続用配線を
    接続して非磁性体ケース内に配置し、樹脂モールド°シ
    て構成された磁気検出センナ装置において、前記外部接
    続用配線の少なくとも磁気抵抗素子接続部分をフレキシ
    ブル配線板を用いたことを特徴とする磁気検出センナ装
    置。
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JPH0223036B2 (ja) 1990-05-22

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