JPS5821213A - 光結合装置 - Google Patents
光結合装置Info
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- JPS5821213A JPS5821213A JP56119155A JP11915581A JPS5821213A JP S5821213 A JPS5821213 A JP S5821213A JP 56119155 A JP56119155 A JP 56119155A JP 11915581 A JP11915581 A JP 11915581A JP S5821213 A JPS5821213 A JP S5821213A
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/1805—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for prisms
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、薄膜導波路上に光結合器を形成した光結合鋏
置暑；関するものである。
置暑；関するものである。
媒質中に光を閉じ込めて伝送させる光通信技術は、低損
失の光ファイバの出現により急速な進展を遂げている。
失の光ファイバの出現により急速な進展を遂げている。
これに平行して集積光学（ｌｅｔ鴫「絨−・ｐｉｌ＠ｓ
）な６考えから平ｗＩｌ電体薄鵬を光導−路とし、薄
膜内にレンズ、フィルタ等の機能を持たせることにより
、従来の光学−系暑；比較して十分率さな形で光集積回
路を夷＠書せようとす番値術が大い電；関心を持たれて
いる。このような光集積−酪化は、小型化は勿論、摺動
などの外乱や再現性などの従来の光学技術上の問題点を
極小化することがで会、低価格化の点からも大きな利点
がある。
）な６考えから平ｗＩｌ電体薄鵬を光導−路とし、薄
膜内にレンズ、フィルタ等の機能を持たせることにより
、従来の光学−系暑；比較して十分率さな形で光集積回
路を夷＠書せようとす番値術が大い電；関心を持たれて
いる。このような光集積−酪化は、小型化は勿論、摺動
などの外乱や再現性などの従来の光学技術上の問題点を
極小化することがで会、低価格化の点からも大きな利点
がある。
本出願人も既口第１図題＝示すような集積光学構造体１
を提案している。この集積光学構造体１紘、例えばｘｚ
平画に置かれた基板２上に平面状に形威害れた薄膜導波
路墨に、プリズムカップラから成る光結会１１４．櫛の
歯状電極５及び薄膜レンズ６が設けられている。入射光
束り、は光結合器４を介して導波路３中に光束Ｌ１とし
て導かれる。モして等練賂墨を伝導する光束り、は、導
波路６の一部に設けられた櫛の歯状電極５ Ｈよって励
起される超音波表面弾性波Ｗはより回折作用を起こし偏
向され光束Ｌ＄となる。この偏向光束Ｌ−は薄膜レンズ
６により導妓路墨の射出端面７に輝点Ｓを形成するよう
に集光される。即ち端面７は、導波路６と平行なＸｚ平
面内でパワーを有する薄膜レンズ６の焦点面とほぼ一致
した位置に形成されており、集光光束り、は端面７又は
その近傍に光束の進行方向とほぼ直交するＸ方向に沿っ
て集光し射出される。またＸｚ平面と垂直なＹ方向の分
布は１通常数声諺の導波路３の厚みｄＩ：□：より限定
される。
を提案している。この集積光学構造体１紘、例えばｘｚ
平画に置かれた基板２上に平面状に形威害れた薄膜導波
路墨に、プリズムカップラから成る光結会１１４．櫛の
歯状電極５及び薄膜レンズ６が設けられている。入射光
束り、は光結合器４を介して導波路３中に光束Ｌ１とし
て導かれる。モして等練賂墨を伝導する光束り、は、導
波路６の一部に設けられた櫛の歯状電極５ Ｈよって励
起される超音波表面弾性波Ｗはより回折作用を起こし偏
向され光束Ｌ＄となる。この偏向光束Ｌ−は薄膜レンズ
６により導妓路墨の射出端面７に輝点Ｓを形成するよう
に集光される。即ち端面７は、導波路６と平行なＸｚ平
面内でパワーを有する薄膜レンズ６の焦点面とほぼ一致
した位置に形成されており、集光光束り、は端面７又は
その近傍に光束の進行方向とほぼ直交するＸ方向に沿っ
て集光し射出される。またＸｚ平面と垂直なＹ方向の分
布は１通常数声諺の導波路３の厚みｄＩ：□：より限定
される。
このような構成の集積光学構造体１に於いては、前記櫛
の歯状電極６に印加する高周波電圧の周波数を変化させ
て、導波路６上を伝播する超音波表面弾性波Ｗの波長を
変えることにより光束り、の偏向角を制御し、射出端面
７上で輝点走査が行なわれる。このよう１二集積光学構
造体１は、光偏向器及び集光レンズを同一基板２上ｐ設
け、その導波路３の射出端面７又はその近傍に輝点８を
形成し ゛走査するために小型に構成されてい
る。
の歯状電極６に印加する高周波電圧の周波数を変化させ
て、導波路６上を伝播する超音波表面弾性波Ｗの波長を
変えることにより光束り、の偏向角を制御し、射出端面
７上で輝点走査が行なわれる。このよう１二集積光学構
造体１は、光偏向器及び集光レンズを同一基板２上ｐ設
け、その導波路３の射出端面７又はその近傍に輝点８を
形成し ゛走査するために小型に構成されてい
る。
この集積光学構造体１の各構成部分について更に詳しく
説明すると、基板２は圧電効果を有し、高周波の超書波
が効率良く伝播される材料が適しており、Ｌ ｌＮｂ０
． にオプ酸ツデクム） 、ＬＩＴ畠ＯＩ（りＶタル
酸！ｌ？クム）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）等が望ましい。又
、導波路３については、ニオブ酸！テクムの基板２の場
合はＴＩを約１０００℃の高温下で拡散して基板２上：
；数＃簿の厚さに形成する。
説明すると、基板２は圧電効果を有し、高周波の超書波
が効率良く伝播される材料が適しており、Ｌ ｌＮｂ０
． にオプ酸ツデクム） 、ＬＩＴ畠ＯＩ（りＶタル
酸！ｌ？クム）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）等が望ましい。又
、導波路３については、ニオブ酸！テクムの基板２の場
合はＴＩを約１０００℃の高温下で拡散して基板２上：
；数＃簿の厚さに形成する。
又、グン！ル酸９？ウムの基板２の場合は、Ｎｂ又はテ
ｌを拡散して得られる。更（＝他の組合せも挙げられる
が、導波Ｊｌ１３は高屈折率でかつ基板２との屈折率差
が大きい物質で、導波路３を薄（しても光を伝導し得る
材料で形成されることが好ましい。
ｌを拡散して得られる。更（＝他の組合せも挙げられる
が、導波Ｊｌ１３は高屈折率でかつ基板２との屈折率差
が大きい物質で、導波路３を薄（しても光を伝導し得る
材料で形成されることが好ましい。
又、導波路δの屈折率が高いために、＊Ｗ１ｖｙズ６で
廖威宴れる端面７上の輝点８は非常１＝スポツト径の小
さい、つまり鮮鋭なものを得ることができる。
廖威宴れる端面７上の輝点８は非常１＝スポツト径の小
さい、つまり鮮鋭なものを得ることができる。
然しながら、薄膜導波路３を形成している誘電体薄膜の
厚みは、伝播されるべき光の波長と同程度であるため、
に、導波路３内へ光を効率良（結合する上で困離さを生
ずる。そこで導波路６と光波との結合方法としては、現
在までに種々の方法が提案されている。その主なるもの
としては、導波路端面からの直接結合、内部反射プリズ
ム、更に光学的回折格子を用いる方法等が挙げられるが
、直接結合法は結合端面の平滑性や機械的配置の安定性
の間層か、ら秦り採用されず、実際電二は第１図にも示
したプリズム或いは回折格子による手段が利用されてい
る。
厚みは、伝播されるべき光の波長と同程度であるため、
に、導波路３内へ光を効率良（結合する上で困離さを生
ずる。そこで導波路６と光波との結合方法としては、現
在までに種々の方法が提案されている。その主なるもの
としては、導波路端面からの直接結合、内部反射プリズ
ム、更に光学的回折格子を用いる方法等が挙げられるが
、直接結合法は結合端面の平滑性や機械的配置の安定性
の間層か、ら秦り採用されず、実際電二は第１図にも示
したプリズム或いは回折格子による手段が利用されてい
る。
プリズム結合法では、第２図に示すようにプリズム１０
の底面１１と導波路６の面との間に１両者よりも屈折率
の低い媒質（例えば空気ギャップ層１２）を介してプリ
ズム１ｏの底面１１での全反射により結合することが必
須条件となる。実際には第墨図に示すように、ホルダ１
！Ｓによりプリズム１０を押圧することにより、そのと
きに生ずる底面１１と導波路３間の波長のＩＡ以下とい
う微小な空気ギャップ層１２を利用して導波路３内に光
波を結合させるわけである。回折格子による結合法では
、導波路３上に、ホログラム感材又はフォトレジストに
より、回折格子を形成す墨か、イオンビーム等によ、り
導波路６上に直接回折格子を構成することによって、回
折格子に入射する光の回折光に！り結合を行なっている
。
の底面１１と導波路６の面との間に１両者よりも屈折率
の低い媒質（例えば空気ギャップ層１２）を介してプリ
ズム１ｏの底面１１での全反射により結合することが必
須条件となる。実際には第墨図に示すように、ホルダ１
！Ｓによりプリズム１０を押圧することにより、そのと
きに生ずる底面１１と導波路３間の波長のＩＡ以下とい
う微小な空気ギャップ層１２を利用して導波路３内に光
波を結合させるわけである。回折格子による結合法では
、導波路３上に、ホログラム感材又はフォトレジストに
より、回折格子を形成す墨か、イオンビーム等によ、り
導波路６上に直接回折格子を構成することによって、回
折格子に入射する光の回折光に！り結合を行なっている
。
然し前者のプリズム結合法では、空気ギャップの間隔を
常に安定に保持することは、用いる光の波長の約１／２
以下にその間隔を保たなければならないことを考えると
非常に困・雌であり、更にプリズム１０を上から押圧す
るために底ｍｌｌによって導波路６を破損する虞れが多
分にある。又、ホルダ１墨を必要とすることから、装置
が大量りとなり光集積回路の特長を十分に発揮できない
などの欠点が存在する。
常に安定に保持することは、用いる光の波長の約１／２
以下にその間隔を保たなければならないことを考えると
非常に困・雌であり、更にプリズム１０を上から押圧す
るために底ｍｌｌによって導波路６を破損する虞れが多
分にある。又、ホルダ１墨を必要とすることから、装置
が大量りとなり光集積回路の特長を十分に発揮できない
などの欠点が存在する。
回折格子による結合法は、コンパクト性に於いてプデズ
ム結合法（＝優るが、結合効率の点で基板２側から光を
入射するか、又は回折格子の形を非対称形のブレーズド
格子にしなければならない。
ム結合法（＝優るが、結合効率の点で基板２側から光を
入射するか、又は回折格子の形を非対称形のブレーズド
格子にしなければならない。
前者の場合は操作性の悪い欠点があり、後者の場合は導
波路１上に種々の機能素子を装荷することを考えると、
導波路１上での回折格子作成の困難さと共に、格子作成
の失政による歩留の悪さ及び再生の−一さがある。
波路１上に種々の機能素子を装荷することを考えると、
導波路１上での回折格子作成の困難さと共に、格子作成
の失政による歩留の悪さ及び再生の−一さがある。
本発明の目的は、上述の欠点を除去し、薄膜導波路上に
彫威された光結合器を確実に安定して装着でき、しかも
着脱を可能とする光結合装置を提供すること譬；あり、
その要旨は、薄膜導波路上にプリズムなどの光結合器を
設置した場舎暑；於いて、該光結合器の底面に、前記導
波路及び光結合器の屈折率よりも低い屈折率を有する物
質から成養薄膜層を設け、前記導波路と該光結合器とを
光学接着により１着したことを特徴とするものである。
彫威された光結合器を確実に安定して装着でき、しかも
着脱を可能とする光結合装置を提供すること譬；あり、
その要旨は、薄膜導波路上にプリズムなどの光結合器を
設置した場舎暑；於いて、該光結合器の底面に、前記導
波路及び光結合器の屈折率よりも低い屈折率を有する物
質から成養薄膜層を設け、前記導波路と該光結合器とを
光学接着により１着したことを特徴とするものである。
本発明は第４図以下に図示する実施例に轟づいて詳細に
説明する。
説明する。
第４園に於いて、プリズム１０の麿１ｉ１１１：ｌ−は
、蒸着等によりプリズム１０の屈折率及び導波第６の屈
折率よりも低い屈折率を有する薄膜層１４が形成されて
いる。そして例えば純水のような不純物の混入率の少な
い流動液体１５中で、プリズム１０側と導波路δ側の接
合表面に薄い液膜を造ること日より両者は接合される。
、蒸着等によりプリズム１０の屈折率及び導波第６の屈
折率よりも低い屈折率を有する薄膜層１４が形成されて
いる。そして例えば純水のような不純物の混入率の少な
い流動液体１５中で、プリズム１０側と導波路δ側の接
合表面に薄い液膜を造ること日より両者は接合される。
この状態では、接合面に液体１５の薄い膜が付着してい
るため−にプリズム１０の位置が不安定であり、接合面
を完全に密着するためにはクリーンベンチのような場所
で６〜４時間乾燥させる必要がある。かくすることによ
り第５図に示すように、時間と共に接合面の液体１５が
徐々ロブリズム１０の端の方に引いて行き、最終的に接
合面を完全に密着させることができる。この場合に密着
に関与しているのは大気圧及び接合面での分子間力であ
ると考えられ′る。
るため−にプリズム１０の位置が不安定であり、接合面
を完全に密着するためにはクリーンベンチのような場所
で６〜４時間乾燥させる必要がある。かくすることによ
り第５図に示すように、時間と共に接合面の液体１５が
徐々ロブリズム１０の端の方に引いて行き、最終的に接
合面を完全に密着させることができる。この場合に密着
に関与しているのは大気圧及び接合面での分子間力であ
ると考えられ′る。
このような手段で導波路乙に接合されたプリズム１０は
、十分な密着力′を有しており、実用上の強度は十分で
ある。若し一度接合したプリズム１０を取り外す場合に
は、真空中で１００℃以上の高温状態に接合部分を置く
ことにより取り外すことが可能である。
、十分な密着力′を有しており、実用上の強度は十分で
ある。若し一度接合したプリズム１０を取り外す場合に
は、真空中で１００℃以上の高温状態に接合部分を置く
ことにより取り外すことが可能である。
使用する材料の例としては、ニオブ酸リチウム（鳳、冨
２．２０、騰。−２，２９）から成る基板２の表面に、
Ｔ１を拡散させて約０．０１だけ屈折率が高くなった部
分を導波路６とし、プリズム１０として導波路５部分よ
りも屈折率の高いＴＩＯ，（酸化ｔりｙ、騰、−２，８
７２、鵬。−２，５８４＞を用いて、その鷹１ｉｉｔｔ
に予じめＭｇ鳥（弗化マグネＶエクム％ｎ−１，ｉａ）
のような低屈折率から成る薄膜層１４を蒸着等により形
成する。この場合薄膜層１４の厚みは入射ガクシャンビ
ーム径（μＩＩＢ）に適合した値にすることが望ましく
、その厚みとビーム径との関係は文献「ｌ、ＵＬＩＩＩ
ＣＨ，Ｊ 、 Ｏｐｔ 、 ５１０ｇ、船も６０、
ｐｌＢ１７ （１９７０）Ｊ に詳しく述べられてお
り、薄膜層１４の低屈折率層による厚みは数１０００Ｘ
であって蒸着により十分実現可能である。
２．２０、騰。−２，２９）から成る基板２の表面に、
Ｔ１を拡散させて約０．０１だけ屈折率が高くなった部
分を導波路６とし、プリズム１０として導波路５部分よ
りも屈折率の高いＴＩＯ，（酸化ｔりｙ、騰、−２，８
７２、鵬。−２，５８４＞を用いて、その鷹１ｉｉｔｔ
に予じめＭｇ鳥（弗化マグネＶエクム％ｎ−１，ｉａ）
のような低屈折率から成る薄膜層１４を蒸着等により形
成する。この場合薄膜層１４の厚みは入射ガクシャンビ
ーム径（μＩＩＢ）に適合した値にすることが望ましく
、その厚みとビーム径との関係は文献「ｌ、ＵＬＩＩＩ
ＣＨ，Ｊ 、 Ｏｐｔ 、 ５１０ｇ、船も６０、
ｐｌＢ１７ （１９７０）Ｊ に詳しく述べられてお
り、薄膜層１４の低屈折率層による厚みは数１０００Ｘ
であって蒸着により十分実現可能である。
又、この薄膜層１４としての弗化マグ率Ｖユクムは、蒸
着時ｒｉｏｏｃｓ度の基板加熱によって気孔性の少ない
膜が形成可能なので、温度や湿度の変化によゐ屈折率変
動を防止することができる。
着時ｒｉｏｏｃｓ度の基板加熱によって気孔性の少ない
膜が形成可能なので、温度や湿度の変化によゐ屈折率変
動を防止することができる。
従ってこのようにプリズム１０の底面１１に形成された
低屈折率の薄膜層１４を介して、プリズム１０を劉を拡
散したニオブ酸リチウムの導波路δ上に形成することが
好適である。但し、接合時に於いて、導波路６の表面及
びプリズム１０の底面１１は、ニュートンラングにして
１縞間隔程度の光学的平面性が要求されるために、導波
路３０褒函或いは薄膜層１４０表面が粗い場合には予じ
め研摩し′Ｃおく必要がある。
低屈折率の薄膜層１４を介して、プリズム１０を劉を拡
散したニオブ酸リチウムの導波路δ上に形成することが
好適である。但し、接合時に於いて、導波路６の表面及
びプリズム１０の底面１１は、ニュートンラングにして
１縞間隔程度の光学的平面性が要求されるために、導波
路３０褒函或いは薄膜層１４０表面が粗い場合には予じ
め研摩し′Ｃおく必要がある。
上述の実施例に於いては、薄膜層１４として弗化マグネ
ｖａｔムを用いたが、導波路６の材料によって）！、８
１０．（ｎｗｌ、４６）、Ｌｉｔ （ｍ冨１、Ｔ１６）
、Ｎａ５ＡｊＰａ （” ＝ １−３５ ） 、”’＊
（” ＝１４Ｍ）等を用いてもよい、更にプリズム１
０の密着に際し流動水による密着手段を説明したが。
ｖａｔムを用いたが、導波路６の材料によって）！、８
１０．（ｎｗｌ、４６）、Ｌｉｔ （ｍ冨１、Ｔ１６）
、Ｎａ５ＡｊＰａ （” ＝ １−３５ ） 、”’＊
（” ＝１４Ｍ）等を用いてもよい、更にプリズム１
０の密着に際し流動水による密着手段を説明したが。
液体１５としては薄膜層１４及び導波路３の両者に対し
、濡れ性の良い揮発性液体であればよ（水（二限定され
ることはない。
、濡れ性の良い揮発性液体であればよ（水（二限定され
ることはない。
又、光結合器としてプリズム１０の代わりに、第６図に
示すような厚さ０．５〜１ｓ１程度の回折格子から成る
透明な平面基板２０を用いて、その表面上にグレーティ
ング２１を形成することでプリズム１０と同様の作用を
させることができる。そしてその底面にはプリズム１０
の場合と同様に平面基板２０及び導波路６よりも屈折率
の低い低屈折率の薄膜２２が設けられている。又、この
平面１板２０を柔軟性のある材料とすれば、平面基板２
０或いは蒸着により形成された薄膜層２２に多少のうね
りがある場合でも、導波路６の表面と密着することが可
能となる。
示すような厚さ０．５〜１ｓ１程度の回折格子から成る
透明な平面基板２０を用いて、その表面上にグレーティ
ング２１を形成することでプリズム１０と同様の作用を
させることができる。そしてその底面にはプリズム１０
の場合と同様に平面基板２０及び導波路６よりも屈折率
の低い低屈折率の薄膜２２が設けられている。又、この
平面１板２０を柔軟性のある材料とすれば、平面基板２
０或いは蒸着により形成された薄膜層２２に多少のうね
りがある場合でも、導波路６の表面と密着することが可
能となる。
第７図に示すように、平面基板２０上に装荷されたグレ
ーティング２１により入射光り、が回折され、その透過
回折光はプリズム１０の場合と全く同様の原理で、薄膜
層２２と平面基板２０との境界函で全反射することによ
り、導波路光り、との位相整合条件を満足し導波路光り
、と結合することができる。従って、グレーティング２
１のピッチは成る回折次数に於いて導波路光り、と位相
整合がとれるように設定しなければならない。従って、
結合効率を高めるためにはグレーティング２１によ番固
折先の数は少ないことが望ましく、例えばブレーズド・
グレーティングを採用す番ことで回折次数を或ゐ特定の
値に集中させることができ、グレーティング２１での入
射光の損失を軽減することが可能となる。更にグレーテ
ィング２１としてホログラフィック体積型グレーティン
グを用いた場合は、このグレーティングのピッチを第８
図の２方肉及びＸ方向；＝チャープ）な形状にすること
によって、半導体レーデ−のような発散角の大きなビー
ム可を平行ビームに変換して導波路８電；紬舎させるこ
とも可能となり、外部のコツメイテイＶグレンズが不要
となり、コンパクト性の上からも非常に好ましい。更に
第９図のように、薄膜層２２の厚み鑑；傾きを持たせる
ことで、入射ガウＶヤｙビームａ二対しより結合効率の
高い光結合装置を実現することができる。この厚みの傾
きとガクＶヤンピームの中と、の関係については、「ｌ
。
ーティング２１により入射光り、が回折され、その透過
回折光はプリズム１０の場合と全く同様の原理で、薄膜
層２２と平面基板２０との境界函で全反射することによ
り、導波路光り、との位相整合条件を満足し導波路光り
、と結合することができる。従って、グレーティング２
１のピッチは成る回折次数に於いて導波路光り、と位相
整合がとれるように設定しなければならない。従って、
結合効率を高めるためにはグレーティング２１によ番固
折先の数は少ないことが望ましく、例えばブレーズド・
グレーティングを採用す番ことで回折次数を或ゐ特定の
値に集中させることができ、グレーティング２１での入
射光の損失を軽減することが可能となる。更にグレーテ
ィング２１としてホログラフィック体積型グレーティン
グを用いた場合は、このグレーティングのピッチを第８
図の２方肉及びＸ方向；＝チャープ）な形状にすること
によって、半導体レーデ−のような発散角の大きなビー
ム可を平行ビームに変換して導波路８電；紬舎させるこ
とも可能となり、外部のコツメイテイＶグレンズが不要
となり、コンパクト性の上からも非常に好ましい。更に
第９図のように、薄膜層２２の厚み鑑；傾きを持たせる
ことで、入射ガウＶヤｙビームａ二対しより結合効率の
高い光結合装置を実現することができる。この厚みの傾
きとガクＶヤンピームの中と、の関係については、「ｌ
。
ＵＬＲＩＣＨ，Ｊ、Ｏｐｔ、８６Ｃ，ムｍ、４１．
ｐ１４４７（１９７１）Ｊ に詳しく記戦されている
。崗、この薄膜層の傾きはプリズム１０の場合に適用し
ても勿論効果がある。
ｐ１４４７（１９７１）Ｊ に詳しく記戦されている
。崗、この薄膜層の傾きはプリズム１０の場合に適用し
ても勿論効果がある。
以上説明したように本発明に係る光結合装置は、プリズ
ムや回折格子基板などの光結合器の底面（二形成した低
屈折率の薄膜層を介して、光結合器を導波路上に形成す
るために、光結合の性能が向上し、夏には光結合器の部
分と導波路との作製過程を完全（：分離することができ
、しかも再度の接合が可能なので製造歩留が良好である
。又、導波路上或いは導波路に直接グレーティングを形
成する方法に比べても、容易にしかも確実に光結合器を
導波路上に形成することができる。
ムや回折格子基板などの光結合器の底面（二形成した低
屈折率の薄膜層を介して、光結合器を導波路上に形成す
るために、光結合の性能が向上し、夏には光結合器の部
分と導波路との作製過程を完全（：分離することができ
、しかも再度の接合が可能なので製造歩留が良好である
。又、導波路上或いは導波路に直接グレーティングを形
成する方法に比べても、容易にしかも確実に光結合器を
導波路上に形成することができる。
第１図は集積光学構造体の斜視図、第２図は従来のプリ
ズム結合器の断面図、第６図はその装着法の斜視図、第
４図以下は本発明に係る光結合装置の実施例な示し第４
図は接合法を示す斜視図、第５図は接金過程を示す断面
図、第６図は光結合器に回折格子を使用した場合の斜視
図、第７図はその断面図、第８図はブレーズドグレーテ
ィングを用いた場合の斜視図、第９図は薄膜層に傾きを
持たせた場合の断面図である。 符号１は集積光学構造体、２は基板、δは導波路、４は
光結合器、１０はプリズム、１１は底面、１４．２２は
薄膜層、１５は液体、２０は平Ｉｉ＆板、２１はグレー
ティングである。 特許出願人 キャノン株式★社第１閣 ［。 ＪＩ２図
ズム結合器の断面図、第６図はその装着法の斜視図、第
４図以下は本発明に係る光結合装置の実施例な示し第４
図は接合法を示す斜視図、第５図は接金過程を示す断面
図、第６図は光結合器に回折格子を使用した場合の斜視
図、第７図はその断面図、第８図はブレーズドグレーテ
ィングを用いた場合の斜視図、第９図は薄膜層に傾きを
持たせた場合の断面図である。 符号１は集積光学構造体、２は基板、δは導波路、４は
光結合器、１０はプリズム、１１は底面、１４．２２は
薄膜層、１５は液体、２０は平Ｉｉ＆板、２１はグレー
ティングである。 特許出願人 キャノン株式★社第１閣 ［。 ＪＩ２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｔ 薄膜導波路上に、プリズムなどの光結合器を設置し
た場舎電；於いて、該光結合器の底面に。 前記都歓路表び光結合器の屈折率よりも低い屈折率を有
する物質から成る薄膜層を設け、前記導波路と該光結合
器とを光学接着により密着したことを特徴とす番光結合
装置。 ｔ 光結合器をプデズム又は平面状基板状の回折格子が
装荷害れたものとした特許請求の範囲第１項記載の光結
合装置。 ＆ 前記平面状１板書＝形威された回折格子が、ブレー
ズド履又はデャープトＩＩＩ廖状な１ど００体積型格子
とした特許請求の範囲第２項記載の光結合装置。 本 前記平面状基板状の回折格子を柔軟性のある材料で
形成した特許請求の範囲第２項記載の光結合装置。 ＆ 結合効率を向上させるために前記薄膜層の厚みに傾
きを持たせた特許請求の範囲第１項記載の光結合装置０
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56119155A JPS5821213A (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | 光結合装置 |
| US06/701,653 US4637684A (en) | 1981-07-31 | 1985-02-14 | Method of making an optical coupler device utilizing volatile liquid to achieve optical contact |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56119155A JPS5821213A (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | 光結合装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5821213A true JPS5821213A (ja) | 1983-02-08 |
| JPH0261722B2 JPH0261722B2 (ja) | 1990-12-20 |
Family
ID=14754279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56119155A Granted JPS5821213A (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | 光結合装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4637684A (ja) |
| JP (1) | JPS5821213A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2552235A1 (fr) * | 1983-09-20 | 1985-03-22 | Int Standard Electric Corp | Coupleur a prisme et son procede de fabrication |
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| US9919958B2 (en) | 2014-07-17 | 2018-03-20 | Corning Incorporated | Glass sheet and system and method for making glass sheet |
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| US9973860B2 (en) | 2016-04-05 | 2018-05-15 | Infineon Technologies Ag | System and method for an optical MEMS transducer |
| EP3914942A4 (en) * | 2019-02-22 | 2022-10-26 | Vuzix Corporation | PARALLEL PLATE WAVEGUIDES |
Family Cites Families (15)
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| FR2337958A1 (fr) * | 1976-01-07 | 1977-08-05 | Comp Generale Electricite | Dispositif laser a gaz |
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-
1981
- 1981-07-31 JP JP56119155A patent/JPS5821213A/ja active Granted
-
1985
- 1985-02-14 US US06/701,653 patent/US4637684A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2552235A1 (fr) * | 1983-09-20 | 1985-03-22 | Int Standard Electric Corp | Coupleur a prisme et son procede de fabrication |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4637684A (en) | 1987-01-20 |
| JPH0261722B2 (ja) | 1990-12-20 |
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