JPH08264619A

JPH08264619A - 搬送装置及びこの搬送装置を有する検査装置

Info

Publication number: JPH08264619A
Application number: JP7091766A
Authority: JP
Inventors: Yoichi Nakagome; 陽一中込; Hideto Yokomori; 秀人横森
Original assignee: TERU ENG KK; Tokyo Electron Ltd
Current assignee: TERU ENG KK; Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1995-03-24
Filing date: 1995-03-24
Publication date: 1996-10-11

Abstract

(57)【要約】【目的】大型で薄くて撓みやすいＬＣＤ用基板であっ
ても、カセットにおいてＬＣＤ用基板を円滑に出し入れ
でき、しかもＬＣＤ用基板を安定的且つ確実に保持して
搬送できる搬送装置を提供する。【構成】本搬送装置１４は、カセットＣの内側面に上
下方向で所定間隔をあけた複数の支持溝Ｃ₁により水平
に支持されたＬＣＤ用基板Ｓを１枚ずつ保持し、そのＬ
ＣＤ用基板ＳをカセットＣとＬＣＤ用基板Ｓの検査部１
２との間で搬送する搬送装置１４において、上記搬送装
置１４に、上記ＬＣＤ用基板Ｓを保持した時に生じるＬ
ＣＤ用基板Ｓの撓みを少なくとも３箇所に分散するアー
ム２６、２７を設けたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示体（ＬＣＤ）
用基板を搬送する搬送装置及びこの搬送装置を備えた検
査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えばＴＦＴ型ＬＣＤには、その部品と
してＬＣＤの画素データをＯＮ、ＯＦＦ制御する電気回
路が形成されたガラス基板がＬＣＤ用基板として用いら
れている。そして、このＬＣＤ用基板には複数の電気回
路が成膜装置等の処理装置を用いてマトリックス状に形
成され、後にそれぞれを個々に分割し、使用するように
している。マトリックス状に配列された個々の電気回路
には、その周辺に電気的接点となる電極パッドが多数形
成されている。そして、個々の電気回路の良否を判定す
るための電気的検査はＬＣＤ用基板の状態のまま検査装
置によって行なわれている。尚、電気的検査を行なう場
合には、ＬＣＤ用基板を正確に位置決めした後行なう必
要があるため、ＬＣＤ用基板上のコーナー部には例えば
クロスマークなどからなる位置決め用のマークが形成さ
れている。

【０００３】そこで、ＬＣＤ用基板の処理装置として、
例えば、検査装置を例に挙げて説明する。検査装置は、
一般に、ＬＣＤ用基板を基板載置台に対してロード、ア
ンロードするハンドリング部と、このハンドリング部か
ら受け取ったＬＣＤ用基板の電気的検査を行なう検査部
とを備えている。ハンドリング部はカセット内に例えば
２５枚収納されたＬＣＤ用基板を１枚ずつ取り出してハ
ンドリングするように構成されている。このハンドリン
グ部は、例えばカセットを載置するカセット載置部と、
このカセット載置部に載置されたカセット内のＬＣＤ用
基板を１枚ずつ取り出して検査部へ搬送する搬送装置と
を備えている。この搬送装置は、図７に示すように、Ｌ
ＣＤ用基板Ｓを１枚ずつ吸着保持するアーム１を有して
いる。このアーム１はＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向及びθ方
向で移動できるように構成されている。また、検査部
は、ハンドリング部の搬送装置から受け取ったＬＣＤ用
基板を保持する基板載置台と、この基板載置台上に載置
されたＬＣＤ用基板の各電極パッドと電気的に接触する
プローブ針を有するプローブボードとを備えている。基
板載置台は、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向及びθ方向で移動
し、ハンドリング部から受け取ったＬＣＤ用基板をプロ
ーブボードの下方へ移動させると共にＬＣＤ用基板の各
電気回路の電極をそれぞれに対応したプローブボードの
各プローブ針に電気的に接触させるように構成されてい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ＬＣＤ用基板はその大きさが、縦３７０mm×横４７０mm
×厚さ１.１mm程度であったが、最近はＬＣＤ用基板及
び電気回路の作製技術が著しく向上して来ているため、
大型で薄いＬＣＤ用基板、例えば縦５５０mm×横６５０
mm×厚さ０.７mmの大きさのＬＣＤ用基板が供給される
ようになって来ている。そのため、従来の搬送装置によ
りＬＣＤ用基板をハンドリングすると、ＬＣＤ用基板が
アーム１上で大きく撓み、カセットＣでのＬＣＤ用基板
の出し入れを円滑に行なうことが難しくなって来た。

【０００５】即ち、搬送装置のアームによりカセット内
でＬＣＤ用基板を持ち上げて取り出そうとすると、図７
で示すように従来のアーム１であれば、ＬＣＤ用基板Ｓ
を中央の一箇所で支持するようになっているため、上述
のような大型で薄いＬＣＤ用基板を保持しようとする
と、図４の（ｂ）で示すようにＬＣＤ用基板Ｓがアーム
１の左右で大きく撓み、そのＬＣＤ用基板Ｓが支持溝Ｃ
₁から完全に持ち上がる前にそのＬＣＤ用基板Ｓの中央
部が上方のＬＣＤ用基板Ｓ'に接触し、ＬＣＤ用基板Ｓ
を円滑に取り出すことができず、ここでＬＣＤ用基板Ｓ
を無理矢理取り出そうとするとＬＣＤ用基板Ｓ表面の電
気回路が上方のＬＣＤ用基板Ｓ'に摺接し、表面の電気
回路を損傷する虞があるなどという課題があった。

【０００６】逆に、検査済みのＬＣＤ用基板Ｓをカセッ
トＣ内に収納する場合には、アーム１上で検査済みのＬ
ＣＤ用基板Ｓが撓み、その撓みのためＬＣＤ用基板Ｓの
中央部が上方のＬＣＤ用基板Ｓ'と干渉すると共にＬＣ
Ｄ用基板Ｓの両側端がカセットＣの支持溝Ｃ₁と干渉
し、ＬＣＤ用基板ＳをカセットＣ内へ円滑に収納できな
いという課題があった。

【０００７】これらに対する対策として、アーム１の支
持面積を大きくしてＬＣＤ用基板Ｓの両側の撓みを軽減
する方法もあるが、この方法ではＬＣＤ用基板Ｓの両側
の撓みが軽減する反面、アームの自重によりアーム１自
体に撓みを生じ、アーム１によってＬＣＤ用基板Ｓを円
滑に保持できなくなる虞がある。

【０００８】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、大型で薄くて撓みやすい液晶表示体用基板
であっても、カセットにおいて液晶表示体用基板を円滑
に出し入れでき、しかも液晶表示体用基板を安定的且つ
確実に保持して搬送できる搬送装置及びこの搬送装置を
有する検査装置を提供することを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の搬送装置は、カセットの内側面に上下方向で所定間隔
をあけて形成された複数の支持溝により水平に支持され
た液晶表示体用基板を１枚ずつ保持し、その液晶表示体
用基板をカセットと液晶表示体用基板の処理部との間で
搬送する搬送装置において、上記搬送装置に、上記液晶
表示体用基板を保持した時に生じる液晶表示体用基板の
撓みを少なくとも３箇所に分散するアームを設けたこと
を特徴とするものである。

【００１０】また、本発明の請求項２に記載の搬送装置
は、請求項１に記載の発明において、上記アームは、上
記液晶表示体用基板を離間した２箇所で支持する一対の
分岐支持部を有することを特徴とするものである。

【００１１】また、本発明の請求項３に記載の搬送装置
は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上
記各分岐支持部間の間隔を、上記液晶表示体用基板を静
置した時の撓み量と上記液晶表示体用基板を持ち上げる
時の撓み量が略等しくなる寸法に設定したことを特徴と
するものである。

【００１２】また、本発明の請求項４に記載の搬送装置
は、請求項２または請求項３に記載の発明において、上
記各分岐支持部の間隔を、各分岐支持部の長手方向の中
心線がそれぞれで支持された液晶表示体用基板の両側端
から１／４の位置に来るように設定したことを特徴とす
るものである。

【００１３】また、本発明の請求項５に記載の検査装置
は、カセットの内側面に上下方向で所定間隔をあけて形
成された複数の支持溝により水平に支持された液晶表示
体用基板を１枚ずつ保持し、その液晶表示体用基板をカ
セットと検査部との間で搬送する搬送装置を有する検査
装置において、上記搬送装置に、上記液晶表示体用基板
を保持した時に生じる液晶表示体用基板の撓みを少なく
とも３箇所に分散するアームを設けたことを特徴とする
ものである。

【００１４】

【作用】本発明の請求項１に記載の発明によれば、カセ
ットと処理部との間で液晶表示体用基板を搬送する際
に、カセット内の上下の液晶表示体用基板間にアームを
挿入した後、アームにより液晶表示体用基板を支持すれ
ば、液晶表示体用基板をカセットから１枚ずつ取り出し
処理部へ搬送することができる。この際、アームをカセ
ット内の液晶表示体用基板間の隙間において支持すると
液晶表示体用基板がその自重により下方へ撓むが、この
撓みはアーム上で少なくとも３箇所に分散するため、液
晶表示体用基板が両端の２箇所で撓む従来の場合と比較
して撓み量が軽減する。従って、液晶表示体用基板が大
型で薄くても上方の液晶表示体用基板やカセット内の支
持溝と干渉する虞がなく、液晶表示体用基板をカセット
内から円滑に取り出すことができる。逆に、処理済みの
液晶表示体用基板をカセットへ戻す際には、アームで支
持された液晶表示体用基板の撓み量が上述のように少な
いため、カセットの支持溝に対して円滑に収納すること
ができる。

【００１５】また、本発明の請求項２に記載の発明によ
れば、請求項１に記載の発明において、上記アームは上
記液晶表示体用基板を離間した２箇所で支持する一対の
分岐支持部を有するため、アーム上の液晶表示体用基板
はその両端及び分岐支持部の間の３箇所で撓むため、液
晶表示体用基板が大型で薄くてもカセットにおいて円滑
に出し入れすることができる。

【００１６】また、本発明の請求項３に記載の検査装置
は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上
記各分岐支持部間の間隔を、上記液晶表示体用基板を静
置した時の撓み量と上記液晶表示体用基板を持ち上げる
時の撓み量が略等しくなる寸法に設定したため、カセッ
ト内で液晶表示体用基板を持ち上げる時でも撓みが殆ど
変動せず、液晶表示体用基板の出し入れを安定させるこ
とができる。

【００１７】また、本発明の請求項４に記載の発明によ
れば、請求項２または請求項３に記載の発明において、
上記各分岐支持部の間隔を、各分岐支持部の長手方向の
中心線がそれぞれで支持された液晶表示体用基板の両側
端から１／４の位置に来るように設定したため、アーム
により支持された液晶表示体用基板の撓み量が各分岐支
持部間とこれらの外側とで略均等に分散し、撓みが部分
的に突出する虞がない。

【００１８】また、本発明の請求項５に記載の発明によ
れば、カセットと検査部との間で液晶表示体用基板を搬
送する際に、カセット内の上下の液晶表示体用基板間に
搬送装置のアームを挿入した後、アームにより液晶表示
体用基板を支持すれば、液晶表示体用基板をカセットか
ら１枚ずつ取り出し検査部へ搬送することができる。こ
の際、アームをカセット内の液晶表示体用基板間の隙間
において支持すると液晶表示体用基板がその自重により
下方へ撓むが、この撓みはアーム上で少なくとも３箇所
に分散するため、液晶表示体用基板が両端の２箇所で撓
む従来の場合と比較して撓み量が軽減する。従って、液
晶表示体用基板が大型で薄くても上方の液晶表示体用基
板やカセット内の支持溝と干渉する虞がなく、液晶表示
体用基板をカセット内から円滑に取り出すことができ
る。逆に、処理済みの液晶表示体用基板をカセットへ戻
す際には、アームで支持された液晶表示体用基板の撓み
量が上述のように少ないため、カセットの支持溝に対し
て円滑に収納することができる。

【００１９】

【実施例】以下、図１〜図６に示す実施例に基づいて本
発明を説明する。本実施例の検査装置１０は、例えば図
１に示すように、ＬＣＤ用基板Ｓをロード、アンロード
するハンドリング部１１と、このハンドリング部１１か
ら受け取ったＬＣＤ用基板Ｓの電気的検査を行なう検査
部１２とを備えて構成されている。そして、これらのハ
ンドリング部１１と検査部１２は互いに隣合って並設さ
れている。更に、ハンドリング部１１は、ＬＣＤ用基板
Ｓを例えば２５枚単位で収納するカセットＣを載置す
る、カセット載置部１３と、このカセット載置部１３上
に載置されたカセットＣ内のＬＣＤ用基板Ｓを１枚ずつ
取り出して検査部１２へ搬送する搬送装置１４とを備え
ている。上記カセットＣの正面にはＬＣＤ用基板Ｓを出
し入れする開口部が全面に形成されている。また、カセ
ットＣの内側面には図４に示すように上下方向で所定間
隔（例えば、１０mmの間隔）をあけた支持溝Ｃ₁が形成
され、各支持溝Ｃ₁によりＬＣＤ用基板Ｓを水平に支持
するようにしてある。

【００２０】また、本実施例の検査装置１０は、自動搬
送車（図示せず）との間でカセットＣを自動的に授受す
るように構成されている。即ち、ハンドリング部１１の
正面（図１の左側）を基準にした右側方（図１では手前
側）にはカセットＣを載置する上述のカセット載置部１
３が２箇所に設けられており、これらのカセット載置部
１３は正面側から奥行方向（図１の右側）に向けて所定
間隔をあけて縦列に２箇所配置されている。このカセッ
ト載置部１３は必要に応じて更に増設することができ
る。そして、各カセット載置部１３には自動搬送車のア
ーム（図示せず）が侵入する溝空間１５が装置正面に対
して平行に形成され、この溝空間１５内でカセットＣを
保持したアームが昇降し、カセットＣが溝空間１５を跨
いだ状態でカセット載置部１３上へカセットＣを載置す
るようにしてある。従って、溝空間１５の幅はカセット
Ｃの幅よりも広く形成されている。尚、上記自動搬送車
は図示しないホストコンピュータとの交信に基づいて前
工程のＬＣＤ用基板Ｓをカセット単位で検査装置１０ま
で搬送し、検査後には後工程へ搬送するようにしてあ
る。また、図示してないがカセット載置部１３にはカセ
ットＣのコーナー部に係合する位置決め部材が設けられ
ている。

【００２１】また、ハンドリング部１１の側面にはカセ
ットＣを検出するカセット検出装置１６が溝空間１５の
両側に位置させて配設されている。このカセット検出装
置１６は、発光ダイオードなどからなる発光素子を有す
る発光部１６Ａと、この発光部１６Ａからの光線を受光
する受光素子を有する受光部１６Ｂとを備えたラインセ
ンサとして構成されている。これら発光部１６Ａ及び受
光部１６Ｂは溝空間１５の両側にカセットＣを挟むよう
に配設され、これら両者１６Ａ、１６Ｂ間での光線の遮
断によりカセットＣを検出し、それを認識するようにし
てある。また、ハンドリング部１１の側面には自動搬送
車との間で例えば光通信を行なう通信手段１７が各溝空
間１５の下方に位置させて配設され、この通信手段１７
が自動搬送車との間で光通信を行なうことによりカセッ
トＣの搬入、搬出動作を行なうようにしてある。

【００２２】また、カセット載置部１３の載置面には物
体検出装置１８が外側に偏倚させて配設されている。こ
の物体検出装置１８は、例えば正面側（図１では端左
側）に配設された発光部１８Ａと、最奥側（図１では右
端側）に配設された受光部１８Ｂとを備え、両者１８
Ａ、１８Ｂ間の光線によりカセットＣ及びそれ以外の物
体を検出するラインセンサとして構成されている。即
ち、自動搬送車との間でカセットＣの授受を行なうと、
発光部１８Ａからの光線が遮断され、カセットＣを授受
した旨の信号を図示しない内蔵コンピュータへ送信し、
後述する搬送装置１４等の駆動部を作動させるようにし
てある。更に、カセットＣの通過範囲から外れた位置で
光線が遮断されれば、カセット検出装置１６によりカセ
ットＣを検出してもカセットＣ以外の物体が障害物とし
てハンドリング部内に侵入した旨の信号を内蔵コンピュ
ータへ送信し、各駆動部の作動を阻止すると共にパイロ
ットライト等の警告灯１９を点燈したり、警告ブザーを
鳴らして異常を知らせるようにしてある。

【００２３】上記カセット載置部１３にはカセットＣ内
に収納されたＬＣＤ用基板Ｓの収納枚数を計数する計数
装置２０が配設されている。この計数装置２０は発光部
２０Ａ及び受光部２０Ｂからなり、これら両者２０Ａ、
２０Ｂは溝空間１５の両側に形成された開口部２１に配
設されている。そして、発光部２０Ａと受光部２０Ｂは
溝空間１５の下方で連結され、ボールネジなどの駆動機
構（図示せず）により開口部２１において昇降するよう
に構成されている。従って、計数装置２０が開口部２１
において昇降する間に光線が遮断された回数などを計数
することによりＬＣＤ用基板Ｓの収納枚数を計数するよ
うにしてある。

【００２４】また、図１に示すようにカセット載置部１
３の内方で溝空間１５の両側にはカセットＣの高さをカ
バーするイオナイザ２２がそれぞれ配設され、各イオナ
イザ２２によりカセットＣの両側からカセットＣに帯電
した静電気を除去するようにしてある。また、カセット
Ｃの上方にはバーコードリーダなどからなるカセット識
別装置２３が配設され、このカセット識別装置２３によ
りカセットＣ上面に形成されたバーコードなどの識別符
号２４を読取り、ＬＣＤ用基板Ｓをロット単位で識別す
ると共に、その読取り内容に応じて検査部１２が動作す
るようにしてある。この識別符号２４は検査内容を示す
検査情報を表示している。そして、ハンドリング部１１
の状況はハンドリング部１１内に設けられたＣＣＤカメ
ラなどを介してハンドリング部１１正面の表示装置２５
に表示するようにしてある。この表示装置２５は操作パ
ネルとしても機能するようにしてある。

【００２５】上記搬送装置１４は、図１に示すように、
カセット載置部１３と検査部１２の間に形成された空間
に配設され、この空間でＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向及びθ
方向で移動できるようにしてある。この搬送装置１４
は、上下に互いに平行に配置された２枚のアーム２６、
２７と、各アーム２６、２７を支持する支持板２８とを
有し、停止時には図１〜図３に示すように奥行方向（Ｘ
方向）と直交するＹ方向を向いて配設されている。そし
て、上記各アーム２６、２７は支持板２８上で移動でき
るようにしてある。また、支持板２８は昇降駆動機構を
構成するボールネジ２９を介して下方の回転体３０に連
結されている。これにより、各アーム２６、２７は、ボ
ールネジ２９を介して上下方向（Ｚ方向）で移動し、回
転体３０を介してθ方向で正逆回転するようにしてあ
る。上記ボールネジ２９は、例えば図示しないナット
（またはウォームギヤー）及びモータにより回転するよ
うに構成されている。

【００２６】上記回転体３０は、図２、図３に示すよう
に、Ｘテーブル３１上に配設されている。このＸテーブ
ル３１の下方には正面側から最奥部に至る基台３２が配
設され、この基台３２上面には正面側から最奥部に至る
Ｘ方向のボールネジ３３及びこのボールネジ３３を挟む
一対のレール３４がそれぞれ配設されている。そして、
ボールネジ３３にはＸテーブル３１の裏面に取り付けら
れたナット３５が螺合し、一対のレール３４にはＸテー
ブル３１の裏面に取り付けられた係合部材３６が係合
し、ボールネジ３３に連結されたパルスモータ３７によ
り、Ｘテーブル３１がカセット載置部１３に沿って往復
移動するようにしてある。

【００２７】ここで、上記アーム２６、２７について更
に詳述する。各アーム２６、２７は例えばいずれも図
２、図３に示すように同一形状に形成され、後述のよう
に各アーム２６、２７は互いに独立して駆動するように
してある。そして、例えば上方のアーム２６はカセット
Ｃ内からＬＣＤ用基板Ｓを取り出し、後述する検査部１
２の基板載置台上へＬＣＤ用基板Ｓをロードするアーム
として用いられ、また、下方のアーム２７は基板載置台
から検査済みのＬＣＤ用基板Ｓをアンロードするアーム
として用いられる。従って、以下の説明では上方のアー
ム２６をロードアーム２６と称し、下方のアーム２７を
アンロードアーム２７と称する。また、各アーム２６、
２７の上面には孔３８（図３参照）が形成され、それぞ
れの裏面側に取り付けられた図示しない吸引配管及び真
空排気装置を介してアーム上のＬＣＤ用基板Ｓを真空吸
着するようにしてある。

【００２８】各アーム２６、２７はいずれも同様に構成
されているため、ロードアーム２６について説明する
と、ロードアーム２６は、図３に示すように、２枚のフ
ラットバーからなる２枚の分岐支持部２６Ａと、これら
を基端部で水平に支持する基端支持部材２６Ｂとから構
成されている。そして、２枚の分岐支持部２６Ａの間隔
は、図示してないが基端支持部材２６Ｂに形成された長
孔を介して必要に応じて適宜調整できるようにしてあ
る。基端支持部材２６Ｂの一端には連結部材３９を介し
て第１Ｙ方向駆動機構４０に連結されている。これによ
りロードアーム２６は支持板２８上でＹ方向で往復移動
できるようになっている。この第１Ｙ方向駆動機構４０
は、支持板２８の長手方向側縁の先端部に配設されたパ
ルスモータ４０Ａと、支持板２８の長手方向側縁の後端
部に配設された回転ローラ４０Ｂと、これら両者４０
Ａ、４０Ｂ間に掛け回された無端状のタイミングベルト
４０Ｃとを備え、このタイミングベルト４０Ｃに連結部
材３９を介してロードアーム２６が連結されている。

【００２９】また、アンロードアーム２７は支持板２８
上で第１Ｙ方向駆動機構４０と平行に配設された第２Ｙ
方向駆動機構４１に連結されている。従って、各アーム
２６、２７は、第１、第２Ｙ方向駆動機構４０、４１に
より支持板２８上をＹ方向で互いに独立して往復移動す
るようになっている。これらの各部材はいずれも合成樹
脂などの絶縁性部材により形成されている。尚、第１、
第２Ｙ方向駆動機構４０、４１はボールネジなどによっ
て構成されたものであっても良い。

【００３０】そして、上記ロードアーム２６は、例えば
図４に示すように、その分岐支持部２６Ａ、２６Ａの幅
方向の中心を通る長手方向の軸線がＬＣＤ用基板Ｓの幅
Ｗを４等分する線のうち外側の２本の線上に来るように
形成されている。従って、例えば縦５５０mm×横６５０
mm×厚さ０.７mmの大型で薄いＬＣＤ用基板Ｓの場合で
あっても、ロードアーム２６の分岐支持部２６Ａ、２６
ＡによりこのＬＣＤ用基板Ｓを支持すれば、各分岐支持
部２６Ａ、２６Ａにより撓み量を３箇所、つまりＬＣＤ
用基板Ｓの両端の２箇所と各分岐支持部２６Ａ、２６Ａ
の間の１箇所に分散させ、各部位での撓み量を軽減する
ことができる。従って、カセットＣからＬＣＤ用基板Ｓ
を取り出す際に、そのＬＣＤ用基板Ｓをロードアーム２
６によりその挿入位置から図４の（ａ）で示すように仮
想線で示す位置まで持ち上げても、カセットＣ内でロー
ドアーム２６上のＬＣＤ用基板Ｓがその上方のＬＣＤ用
基板Ｓ'に接触してＬＣＤ用基板Ｓ表面の電気回路が摺
接して損傷する虞がない。

【００３１】つまり、本実施例では、上記各分岐支持部
２６Ａ、２６Ａの間隔を、各分岐支持部２６Ａ、２６Ａ
の長手方向の中心線がそれぞれで支持されたＬＣＤ用基
板Ｓの両側端から１／４の位置に来るように設定してあ
るため、各分岐支持部２６Ａ、２６Ａの外側における撓
み量と、両分岐支持部２６Ａ、２６Ａの間における撓み
量が略同一にすることができ、ＬＣＤ用基板Ｓをロード
アーム２６上に静置した時の撓み量とＬＣＤ用基板Ｓを
持ち上げる時の撓み量が略等しくなり、取り出し時のＬ
ＣＤ用基板Ｓはロードアーム２６上で殆ど上下に振れる
ことなく安定している。

【００３２】また、上記回転体３０上にはこの上でθ方
向に正逆回転するプリアライメント機構４２が配設さ
れ、このプリアライメント機構４２によりカセットＣか
ら受け取ったＬＣＤ用基板Ｓを検査部１２の基板載置台
に引き渡す前にプリアライメントするようにしてある。
このプリアライメント機構４２の載置面４２Ａには真空
吸着用の孔４２Ｂが形成され、この孔４２ＢによりＬＣ
Ｄ用基板Ｓを真空吸着するようにしてある。そして、支
持板２８には上記プリアライメント機構４２の上方で開
口する開口部２９Ａが形成され、ボールネジ２９により
ロードアーム２６及びアンロードアーム２７が下降した
時に、開口部２９Ａから支持板２８の上方へ突出し、各
アーム２６、２７からＬＣＤ用基板Ｓを受け取ってＬＣ
Ｄ用基板Ｓをプリアライメントするようにしてある。

【００３３】また、上記カセット載置部１３から検査部
１２へＬＣＤ用基板Ｓを搬送する経路にはロードアーム
２６上で支持されたＬＣＤ用基板Ｓの周縁の一部に形成
されたバーコード等の識別符号（図示せず）を読取る基
板識別装置４３が配設され、ロードアーム２６により検
査部１２へ引き渡すＬＣＤ用基板Ｓを１枚ずつ識別し、
その識別内容に従って電気的検査を行なうようにしてあ
る。尚、上記識別符号はＬＣＤ用基板Ｓの特徴を表わす
情報を表示してあり、この情報に従って検査部１２にお
いて検査するようにしてある。

【００３４】上記検査部１２には基板載置台４４が検査
部１２に形成された空間内でＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向及
びθ方向で移動可能に配設されている。即ち、基板載置
台４４は、図１に示すように、Ｙテーブル４５上に配設
されている。このＹテーブル４５はＸテーブル４６上面
にそれぞれ配設されたボールネジ４７及びこの両側のレ
ール４８を介してＹ方向で移動するようにしてある。ま
た、Ｘテーブル４６は基台４９上面にそれぞれ配設され
たボールネジ５０及びこの両側のレール５１を介してＸ
方向で移動するようにしてある。

【００３５】また、基板載置台４４の近傍には図示しな
いＣＣＤカメラが基板載置台４４と一体化して上向きに
取り付けられ、図示しないヘッドプレートに固定された
プローブ針を撮像し、検査時の基準となる２本のプロー
ブ針に基づいて基板載置台４４の位置決めを行なうよう
にしてある。この基板載置台４４はＬＣＤ用基板Ｓを検
査部１２のプローブ針（図示せず）の真下まで移動した
後、基板載置台４４を上昇させてプローブ針にＬＣＤ用
基板Ｓの電極パッドをプローブ針に接触させて電気的検
査を行なうようにしてある。尚、基板載置台４４とプロ
ーブ針間の距離は例えば静電容量センサなどからなるハ
イトセンサ（図示せず）により検出するようにしてあ
る。

【００３６】また、基板載置台４４は、円形載置部４４
Ａを上端に有するロッド４４Ｂと、このロッド４４Ｂの
円形載置部４４Ａを囲む矩形状の載置板４４Ｃと、この
載置板４４Ｃの下方に配設された筐体４４Ｄと、この筐
体４４Ｄ内に配設された駆動源例えばエアシリンダ４４
Ｅとを備えている。そして、載置板４４Ｃの裏面にはエ
アシリンダ４４Ｅのシリンダロッドが連結され、エアシ
リンダ４４Ｅにより載置板４４Ｃがロッド４４Ｂの円形
載置部４４Ａから下降するようにしてある。また、円形
載置部４４Ａ及び載置板４４ＣにはＬＣＤ用基板Ｓを吸
着するための孔（図示せず）が形成されている。この円
形載置部４４Ａは載置板４４Ｃの中央部に形成された凹
部４４Ｆ内に収納され、収納された状態でこれら両者４
４Ａ、４４Ｃの表面に段差ができないようにしてある。
そして、この凹部４４Ｆの中心にロッド４４Ｂの貫通孔
４４Ｇが形成されている。従って、エアシリンダ４４Ｅ
により載置板４４Ｃが円形載置部４４Ａから下降した状
態の時、搬送装置１４の各アーム２６、２７が図６の
（ｂ）で示すようにロッド４４Ｂを挟むようにして進出
し、各アーム２６、２７と基板載置台４４との間でＬＣ
Ｄ用基板Ｓをを授受するようにしてある。

【００３７】尚、図１において、５２は検査部１２の操
作用のパネルを兼ねたモニター用の表示装置で、この表
示装置５２は、画像処理手段を介してＣＣＤカメラに接
続され、ＣＣＤカメラにより撮像された画像を表示する
ようにしてある。５３は検査前にＬＣＤ用基板Ｓをアラ
イメントする時に使用するアライメント機構で、図示し
ないヘッドプレートに取り付けられている。そして、こ
のアライメント機構５３及びＣＣＤカメラによりＬＣＤ
用基板Ｓに形成された位置決め用マークを検出し、この
位置決めマークに基づいてＬＣＤ用基板Ｓをアライメン
トするようにしてある。

【００３８】次に動作について説明する。ＬＣＤ用基板
を検査する場合には、まず、ホストコンピュータから自
動搬送車に対してＬＣＤ用基板の供給指令が送信され
る。自動搬送車は、この指令により前工程からカセット
単位でＬＣＤ用基板Ｓを受け取って検査装置１０まで走
行し、図１で示す検査装置１０の通信手段１７と対峙し
た位置で停止する。然る後、自動搬送車が通信手段１７
を介して検査装置１０との間で通信すると、検査装置１
０ではカセットＣの受け入れ態勢ができる。これにより
カセットＣを保持した自動搬送車のアームが駆動し、こ
のアームによるカセットＣの搬入動作が開始すると、ま
ずカセット検出装置１６がそのカセットＣを検出し、カ
セットＣの搬入を検出し、搬送装置１４などの駆動部が
始動する。次いでカセット載置部１３において物体検出
装置１８がそのカセットＣを検出すると駆動部はそのま
ま駆動すると共にカセットＣをカセット載置部１３上へ
載置する。ところがこの時、物体検出装置１８がカセッ
トＣと共に、カセットＣの通過範囲外でカセットＣ以外
の物体を検出すると、この物体が検査に不要な障害物の
侵入と判断し、各駆動部を緊急停止させる。

【００３９】障害物を検出することなくカセットＣを載
置すると、カセット識別装置２３がカセットＣのバーコ
ード２４を検出して検査すべきＬＣＤ用基板Ｓをロット
単位で識別し、その識別結果を検査部１２の制御装置に
送信し、その識別結果に基づいた検査を行なう態勢を採
る。この動作と並行してイオナイザ２２がカセットＣの
両側面において左右に振れ、カセットＣに帯電した静電
気を除去して電気的に中和する。

【００４０】この時、例えば搬送装置１４は先端をカセ
ット載置部１３側に向け、ロードアーム２６及びアンロ
ードアーム２７が図２、図３に示すように互いに上下の
位置にある。その態勢から昇降駆動機構のボールネジ２
９が上述のように駆動し、ロードアーム２６が支持板２
８と共に下降して取り出すべきＬＣＤ用基板Ｓのやや下
方に達すると、ボールネジ２９が停止する。引き続いて
第１Ｙ方向駆動機構４０のモータ４０Ａの正回転により
タイミングベルト４０Ｃが回転すると、図５において仮
想線で示すようにロードアーム２６が支持板２８上で前
方に進出しカセットＣ内に侵入する。そして、再びボー
ルネジ２９が駆動し、図４の（ａ）に示すようにロード
アーム２６でＬＣＤ用基板Ｓを持ち上げる。

【００４１】この時、ロードアーム２６の分岐支持部２
６Ａ、２６ＡはＬＣＤ用基板Ｓの両側端からそれぞれ１
／４の位置で支持しているため、同図にも示したように
ＬＣＤ用基板Ｓの撓みが少なく、そのＬＣＤ用基板Ｓの
中央部分がその上方のＬＣＤ用基板Ｓ'に接触したり、
ＬＣＤ用基板Ｓの両側端がカセットＣの支持溝Ｃ₁と接
触したりする虞がなく、ロードアーム２６によりＬＣＤ
用基板Ｓを円滑に取り出すことができる。

【００４２】この状態で第１Ｙ方向駆動機構４０のモー
タ４０Ａが逆回転すると、タイミングベルト４０Ｃを介
してロードアーム２６がアンロードアーム２８の位置ま
で後退する。ロードアーム２７が後退する途中で、プリ
アライメント機構４２によりＬＣＤ用基板Ｓのプリアラ
イメントを行なう。ロードアーム２７が後退した後、搬
送装置１４は仮想線の位置から矢印で示すようにＸ方向
へ移動し、検査部１２のアライメント位置へ到達する
が、この間に回転体３０がθ方向で１８０°回転し、図
５の実線で示すように先端を検査部１２に向ける。

【００４３】その後引き続き第１Ｙ方向駆動機構４０が
駆動し、検査部１２のアライメント位置で既に待機する
基板載置台４４に向けて進出し、図６に示すようにロー
ドアーム２６のＬＣＤ用基板Ｓを基板載置台４４上へ引
き渡す。すると基板載置台４４はアライメント機構５３
を介してＬＣＤ用基板Ｓをアライメントした後、プロー
ブ針の下方まで移動してＬＣＤ用基板Ｓの電気的検査を
行なう。

【００４４】電気的検査の間に、ロードアーム２６が検
査部１２から最後端まで後退すると共に、１８０°回転
してカセットＣまで戻り、次に検査すべきＬＣＤ用基板
Ｓを取り出し、プリアライメント後上述のように１８０
°回転しながらアライメント位置まで移動し、検査後の
ＬＣＤ用基板Ｓが基板載置台４４により搬送されて来る
のを待機する。検査後、基板載置台４４がプリアライメ
ント位置に達すると、図５の実線で示すように搬送装置
１４のアンロードアーム２７が第２Ｙ方向駆動機構４１
を介して基板載置台４４に向けて進出し、検査済みのＬ
ＣＤ用基板Ｓをアンロードし、図５の実線矢印で示すよ
うにアンロードアーム２７が最後端まで後退すると共
に、ロードアーム２６が実線矢印で示すようにアライメ
ント位置まで進出して基板載置台４４上に次に検査すべ
きＬＣＤ用基板Ｓをロードする。検査済みのＬＣＤ用基
板Ｓはアンロードアーム２７によりカセットＣの元の位
置に収納する。この時、アンロードアーム２７上のＬＣ
Ｄ用基板Ｓの撓みが少ないため、ＬＣＤ用基板Ｓがカセ
ットＣ内のＬＣＤ用基板Ｓや支持溝Ｃ₁と干渉する虞が
なく、円滑に収納することができる。

【００４５】そして、カセットＣ内の全てのＬＣＤ用基
板Ｓの検査が終了すると、検査部１２の制御装置からホ
ストコンピュータにその旨の信号を送信し、更に、ホス
トコンピュータは自動搬送車に搬出指令を送信し、自動
搬送車により検査済みのＬＣＤ用基板Ｓを検査装置１０
搬出し、後工程へ搬送する。

【００４６】以上説明したように本実施例によれば、カ
セットＣにおいてロードアーム２６によりＬＣＤ用基板
Ｓを取り出す際に、アーム２６により支持すると、ＬＣ
Ｄ用基板Ｓの撓みを分岐支持部２６Ａ、２６Ａにより３
箇所に分散するため、ＬＣＤ用基板Ｓの両端の２箇所が
撓む従来の場合と比較して各部位での撓み量が軽減す
る。そのため、縦５５０mm×横６５０mm×厚さ０.７mm
のような大型で薄いＬＣＤ用基板Ｓであってもロードア
ーム２６によりカセットＣ内からＬＣＤ用基板Ｓを引き
出す時に、ＬＣＤ用基板Ｓが上方のＬＣＤ用基板Ｓ'や
カセットＣの支持溝Ｃ₁と干渉する虞がなく、ＬＣＤ用
基板ＳをカセットＣ内から円滑に取り出すことができ
る。逆に、検査済みのＬＣＤ用基板Ｓをアンロードアー
ム２７によりカセットＣ内へ戻す時にも、アンロードア
ーム２７で支持されたＬＣＤ用基板Ｓの撓み量が上述の
ように少ないため、カセットＣ内のＬＣＤ用基板Ｓ'や
支持溝Ｃ₁と干渉する虞がなく、ＬＣＤ用基板Ｓを円滑
に収納することができる。

【００４７】また、本実施例によれば、ロードアーム２
６の各分岐支持部２６Ａ、２６Ａ間の間隔を、それぞれ
の長手方向の中心線がそれぞれで支持されたＬＣＤ用基
板Ｓの両側端から１／４の位置に来るように設定したた
め、ロードアーム２６により支持されたＬＣＤ用基板Ｓ
の撓み量が各分岐支持部２６Ａ、２６Ａ間とこれらの外
側とで略均等に分散し、撓みが部分的に大きくなって上
下に突出する虞がない。また、ＬＣＤ用基板Ｓをロード
アーム２６上に静置した時の撓み量とそれを持ち上げる
時の撓み量が略等しくなり、カセットＣ内でＬＣＤ用基
板Ｓを持ち上げる時でも撓み量が変動せず、ＬＣＤ用基
板Ｓの出し入れを安定させることができる。

【００４８】尚、上記実施例では搬送装置１４を検査装
置１０に適用したものについて説明したが、本発明の搬
送装置は、検査装置の他、ＬＣＤ用基板に種々の処理を
施す処理装置、例えばＣＶＤ装置、エッチング装置、ア
ッシング装置などに広く適用することができる。また、
アーム２６、２７は２枚の分岐支持部２６Ａ、２６Ａが
基端支持部材２６Ｂで支持されたものについて説明した
が、分岐支持部と基端支持部材とが一体的に形成された
ものであっても良い。また、本実施例では全自動対応の
検査装置について説明したが、カセットの搬入、搬出を
オペレータが行なう装置についても適用できることは言
うまでもない。

【００４９】

【発明の効果】本発明の請求項１に記載の発明によれ
ば、搬送装置に、ＬＣＤ用基板を保持した時に生じるＬ
ＣＤ用基板の撓みを少なくとも３箇所に分散するアーム
を設けたため、大型で薄くて撓みやすいＬＣＤ用基板で
あっても、カセットにおいてＬＣＤ用基板を円滑に出し
入れでき、しかもＬＣＤ用基板を安定的且つ確実に保持
して搬送できる搬送装置を提供することができる。

【００５０】また、本発明の請求項２に記載の発明によ
れば、請求項１に記載の発明において、上記アームは、
上記液晶表示体用基板を離間した２箇所で支持する一対
の分岐支持部を有するため、アーム上のＬＣＤ用基板は
その両端及び分岐支持部の間の３箇所で撓むため、ＬＣ
Ｄ用基板が大型で薄くてもカセットにおいて円滑に出し
入れできる搬送装置を提供することができる。

【００５１】また、本発明の請求項３に記載の発明によ
れば、請求項１または請求項２に記載の発明において、
上記各分岐支持部間の間隔を、上記液晶表示体用基板を
静置した時の撓み量と上記液晶表示体用基板を持ち上げ
る時の撓み量が略等しくなる寸法に設定したため、カセ
ット内で液晶表示体用基板を持ち上げる時でも撓みが変
動せず、液晶表示体用基板の出し入れを安定させる搬送
装置を提供することができる。

【００５２】また、本発明の請求項４に記載の発明によ
れば、請求項２または請求項３に記載の発明において、
上記各分岐支持部の間隔を、各分岐支持部の長手方向の
中心線がそれぞれで支持された液晶表示体用基板の両側
端から１／４の位置に来るように設定したため、アーム
により支持された液晶表示体用基板の撓み量が各分岐支
持部間とこれらの外側とで略均等に分散し、撓みが部分
的に突出する虞がない搬送装置を提供することができ
る。

【００５３】また、本発明の請求項４に記載の発明によ
れば、搬送装置に、ＬＣＤ用基板を保持した時に生じる
ＬＣＤ用基板の撓みを少なくとも３箇所に分散するアー
ムを設けたため、大型で薄くて撓みやすいＬＣＤ用基板
であっても、カセットにおいてＬＣＤ用基板を円滑に出
し入れでき、しかもＬＣＤ用基板を安定的且つ確実に保
持して搬送できる搬送装置を有する検査装置を提供する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の検査装置の一実施例を示す全体斜視図
である。

【図２】図１に示す検査装置に用いられる搬送装置を示
す側面図である。

【図３】図２に示す搬送装置の平面図である。

【図４】図１に示す搬送装置のアームによりカセット内
のＬＣＤ用基板を持ち上げる時の動作を示す説明するた
めの要部断面図である。

【図５】図２に示す搬送装置の動作を説明するための平
面図である。

【図６】図１に示す検査装置に用いられる載置台による
ＬＣＤ用基板の授受を説明するための要部断面図であ
る。

【図７】従来の検査装置に用いられた搬送装置のアーム
によりＬＣＤ用基板を搬送する状態を示す説明図であ
る。

【符号の説明】

１０検査装置１２検査部１３カセット載置部１４搬送装置２６ロードアーム２６Ａ分岐支持部２７アンロードアーム２７Ａ分岐支持部ＣカセットＣ₁ 支持溝ＳＬＣＤ用基板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】カセットの内側面に上下方向で所定間隔
をあけて形成された複数の支持溝により水平に支持され
た液晶表示体用基板を１枚ずつ保持し、その液晶表示体
用基板をカセットと液晶表示体用基板の処理部との間で
搬送する搬送装置において、上記搬送装置に、上記液晶
表示体用基板を保持した時に生じる液晶表示体用基板の
撓みを少なくとも３箇所に分散するアームを設けたこと
を特徴とする搬送装置。
【請求項２】上記アームは、上記液晶表示体用基板を
離間した２箇所で支持する一対の分岐支持部を有するこ
とを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】上記各分岐支持部間の間隔を、上記液晶
表示体用基板を静置した時の撓み量と上記液晶表示体用
基板を持ち上げる時の撓み量が略等しくなる寸法に設定
したことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の
搬送装置。
【請求項４】上記各分岐支持部の間隔を、各分岐支持
部の長手方向の中心線がそれぞれで支持された液晶表示
体用基板の両側端から１／４の位置に来るように設定し
たことを特徴とする請求項２または請求項３に記載の搬
送装置。
【請求項５】カセットの内側面に上下方向で所定間隔
をあけて形成された複数の支持溝により水平に支持され
た液晶表示体用基板を１枚ずつ保持し、その液晶表示体
用基板をカセットと検査部との間で搬送する搬送装置を
有する検査装置において、上記搬送装置に、上記液晶表
示体用基板を保持した時に生じる液晶表示体用基板の撓
みを少なくとも３箇所に分散するアームを設けたことを
特徴とする検査装置。