JP3249309B2 - 基板の搬送装置及び基板の搬送方法並びに塗布現像処理装置 - Google Patents

基板の搬送装置及び基板の搬送方法並びに塗布現像処理装置

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JP3249309B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、キャリア載置部に載置
されたキャリアから搬送機構により基板を取り出すため
の基板の搬送装置、及び基板の搬送方法、並びにこの搬
送装置を備えた塗布現像処理装置に関する。
【従来の技術】一般に、液晶表示ディスプレイ（ＬＣ
Ｄ）装置の製造工程においては、ＬＣＤ基板（ガラス基
板）上に例えばＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉ
ｄｅ）の薄膜や電極パターン等を形成するために、半導
体製造工程において用いられるものと同様なフォトリソ
グラフィ技術を用いて回路パターン等を縮小してフォト
レジストに転写し、これを現像処理する一連の処理が施
される。このような処理を行うために、ＬＣＤ基板に対
してレジスト液を塗布し、露光後のＬＣＤ基板を現像す
る塗布現像処理装置と、この塗布現像処理装置に連結さ
れた露光装置とがクリーンルーム内に設置される。
【０００２】従来の塗布現像処理装置の構成について図
８を参照しながら述べると、この処理装置は、ガラス基
板の搬入出ポートをなす搬入出ユニットＡと処理ユニッ
トＢとから構成されている。搬出入ユニットＡは、ガラ
ス基板Ｇを収納するためのキャリアＣを例えば４個並べ
て載置するためのキャリア載置部１１と、キャリアＣ内
のガラス基板Ｇを処理ユニットＢとの間で受け渡すため
の搬送機構１２とを備えている。キャリアＣは、複数の
ガラス基板Ｇを棚状に収納するように枠体により構成さ
れ、各ガラス基板Ｇの四隅と周辺の所定個所とを保持し
ている。
【０００３】搬送機構１２は、Ｙ、Ｚ、θ方向に移動自
在な搬送部本体１３に基板搬送用のピンセット１４を進
退自在（Ｘ方向に移動自在）に設けてなり、ピンセット
１４をキャリアＣ内に進入させてキャリアＣとの間でガ
ラス基板Ｇの受け渡しを行う。受け渡しの際にはキャリ
アＣの各段におけるガラス基板Ｇの有無を制御系側で把
握していることが必要であり、このためキャリア載置部
１１側と搬送機構１２側とに分割してマッピングセンサ
ーが設けられている。即ち搬送部本体１３の前面部には
発受光部１５が取り付けられる一方、キャリア載置部１
１における各キャリアＣの側方には、発受光部１５より
の光を発受光部１４に向けて反射するためにキャリアＣ
の高さに応じた縦長のミラー１６が固定配置されてお
り、発受光部１５及びミラー１６によりマッピングセン
サーが構成される。このマッピングセンサーは、搬送部
本体１３をキャリアＣの上端から下端までのレベルを昇
降してスキャンすることにより、ガラス基板Ｇが収納さ
れている段においてはそのガラス基板Ｇにより光路が遮
られるため、キャリアＣ内の各段のガラス基板Ｇの有無
を検出する役割を果たすものである。
【０００４】搬送機構１２は、所定のキャリアＣ内に対
向する位置に移動した後既述のようにしてマッピングを
行い、キャリアＣ内から１枚づつガラス基板Ｇを取り出
して処理ユニットＢのメインアーム１７に受け渡す。メ
インアーム１７は、受け取ったガラス基板Ｇを各処理部
に搬送し、例えば洗浄部Ｂ１、アドヒージョン処理部Ｂ
２、冷却処理部Ｂ３、塗布処理部Ｂ４及び加熱処理部Ｂ
５を順次搬送し、ガラス基板Ｇの表面にレジスト膜が塗
布形成される。なお図中現像処理部Ｂ６は露光後のガラ
ス基板Ｇに対して現像処理を行う部分である。
【０００５】
【発明が解決しようとしている課題】ところで上述の装
置は次のような問題がある。即ち搬送機構１３やメイン
アーム１７などの各部の調整をするためにキャリアＣを
手作業で載置部１１へ置くことがあるが、キャリアＣ間
に縦長のミラー１６が固定されて設けられているために
作業がやりにくく、キャリアＣあるいは作業員がミラー
１６に触れてしまうと、角度調整を行わなければならな
かった。またミラー１６に触れたことに気付かずその角
度がずれてしまっている場合には、その後正確なマッピ
ングを行うことができず、キャリアＣ内の空きの段に対
してもガラス基板Ｇがあるものと認識して搬送動作を行
うなど、ガラス基板Ｇの受け渡しを正確に行うことがで
きないという不具合もあった。
【０００６】またＡＧＶ（自動搬送ロボット）により外
部とキャリア載置部１１との間でキャリアＣを搬送する
場合、ＡＧＶの搬送精度に対応して載置部１１における
キャリアＣの載置位置に誤差が発生し、このため載置位
置が一定とは限らず、その載置位置が搬送機構１２側か
ら要求される許容範囲を外れているとガラス基板Ｇの受
け取り失敗などのトラブルが発生する。一方これを避け
るためにＡＧＶの搬送精度を高めようとすると、制御が
非常に難しくなってしまう。
【０００７】本発明は、このような事情の下になされた
ものであり、その目的は、キャリア内の各段の基板の有
無を正確に検出して、基板の受け渡しを正確に行なえる
ようにすることにある。本発明の他の目的は、キャリア
の載置位置を正確に合わせて基板の受け渡しを正確に行
なえるようにすることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、複数
の基板を棚状に収納し、前面部が基板の受け渡し口とし
て形成されると共に、側面部は光が透過できるように構
成されたキャリアを載置するためのキャリア載置部と、
前記キャリア内の基板を順次取り出して処理ユニットに
受け渡すために、少なくとも進退自在、及び前記キャリ
ア載置部に対して相対的に昇降自在に構成された基板保
持部材を備えた搬送機構と、この搬送機構に、前記基板
を面方向に挟んで対向するように設けられ、前記キャリ
ア載置部上のキャリア内の各段における基板の有無を検
出するための一対の光学的検出手段と、を備えたことを
特徴とする。
【０００９】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、搬送機構は、キャリアの外側を進退自在なアームを
有し、このアームに一対の光学的検出手段の少なくとも
一方を設けたことを特徴とする。請求項３の発明は、請
求項２の発明において、搬送機構の基板保持部材は、搬
送部本体に進退自在に設けられており、一対の光学的検
出手段の一方及び他方は、ア−ム及び前記搬送部本体に
夫々設けられていることを特徴とする。
【００１０】請求項４の発明は、複数の基板を棚状に収
納したキャリアを、直接または載置台を介してキャリア
載置部に載せ、基板搬送機構により前記キャリアから基
板を取出して処理ユニットに搬送する基板の搬送装置に
おいて、前記キャリア載置部上のキャリアまたは載置台
を位置合わせするための位置合わせ手段を備えたことを
特徴とする。
【００１１】請求項５発明は、請求項４の発明におい
て、位置合わせ手段は、キャリア載置部上のキャリアま
たは載置台を、両側から案内して位置合わせをするため
に互いに対向して設けられた一対の位置合わせ部材を含
むものであることを特徴とする。請求項６の発明は、請
求項５の発明において、キャリアまたは載置台の底面部
は角形であり、一対の位置合わせ部材は、互いに接近す
るように、キャリアまたは載置台の互いに対向する角部
を案内し、その角部に適合する形状に形成されているこ
とを特徴とする。請求項７の発明は、請求項５、または
６の発明において、一対の位置合わせ部材は、互いに連
動するように構成されていることを特徴とする。
【００１２】請求項８の発明は、請求項５、６または７
の発明において、一対の位置合わせ部材は、夫々エアシ
リンダにより駆動されると共に、各エアシリンダは、共
通のエア供給路からのエアにより作動するものであるこ
とを特徴とする。請求項９の発明は、請求項５、６、７
または７の発明において、キャリアをキャリア載置部に
搬送するキャリア搬送機構を備えていることを特徴とす
る。請求項１０の発明は、複数の基板を棚状に収納し、
前面部が基板の受け渡し口として形成されたキャリアを
直接または載置台を介してキャリア載置部に載置する工
程と、次いで前記キャリア載置部上のキャリアまたは載
置台を位置合わせ手段により位置合わせする工程と、こ
の工程の前または後に、一対の光学的検出手段を前記キ
ャリア載置部に対して相対的に昇降させ、当該キャリア
載置部上のキャリアの各段における基板の有無を検出す
る工程と、この工程で得た情報に基づいて前記キャリア
載置部上のキャリア内の基板を第１の搬送機構により取
り出して、処理ユニット間を搬送する第２の搬送機構に
受け渡す工程と、を備えたことを特徴とする。この場合
キャリアをキャリア載置部に載置する工程は、例えば自
動搬送ロボットにより行われる。また位置合わせ手段に
より位置合わせする工程は、例えばキャリアまたは載置
台を互いに対向する位置合わせ部材によりキャリアの水
平方向の内方側に押圧することにより行われる。更に基
板の有無を検出する工程は例えば、第１の搬送機構がキ
ャリア載置部上のキャリアの前面に対向する位置に移動
する工程と、次いで第１の搬送機構から前記キャリアの
外側でキャリアの側面に対向する位置まで一対の光学的
検出手段の一方を移動させ、この一方の光学的検出手段
と第１の搬送機構の搬送部本体に設けられた他方の光学
的検出手段とにより、基板が収納される領域を挟んで基
板の面方向に伸びる光路を形成する工程と、 その後、
第１の搬送機構を前記キャリアに対して相対的に昇降す
る工程と、を含む。請求項１４の発明は、複数の基板を
棚状に収納し、前面部が基板の受け渡し口として形成さ
れると共に、側面部は光が透過できるように構成された
キャリアを載置するためのキャリア載置部と、前記基板
にレジスト液の塗布を行う塗布処理部及び露光後の基板
に対して現像行う現像処理部を含む処理ユニットと、前
記キャリア載置部に載置されたキャリア内の基板を順次
取り出して前記処理ユニットに受け渡すために、少なく
とも進退自在、及び前記キャリア載置部に対して相対的
に昇降自在に構成された基板保持部材を備えた搬送機構
と、この搬送機構に、前記基板を面方向に挟んで対向す
るように設けられ、前記キャリア載置部上のキャリア内
の各段における基板の有無を検出するための一対の光学
的検出手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１３】
【作用】キャリア載置部にキャリアが載置された後、搬
送機構に設けられた一対の光学的検出手段により、キャ
リア内の各段における基板の有無を調べる。一対の光学
的検出手段は、例えば搬送部本体に取り付けられた発光
部と、キャリアの側面部外側を進退自在なアームに取り
付けられたミラーとから構成することができ、この場
合、前記アームを伸ばした状態で搬送部本体及びアーム
をキャリアの最上段から最下段の高さ位置の間を昇降さ
せることにより、基板の有無を検出できる。従って例え
ばメンテナンス時にキャリアを手作業でキャリア載置部
に載せる場合に前記アームを後退させておけば、例えば
ミラーが邪魔になることがないので作業がやりやすい
し、ミラーに触れられないのでマッピングを正確に行う
ことができる。
【００１４】またキャリアを載置部に置いたときにキャ
リアあるいは載置台を両側から案内することにより例え
ば互いに対向する角部を内方側に案内することによりキ
ャリアの向き及び中心位置が合わせられる。従って例え
ば自動搬送ロボットによりキャリアを載置部に搬送し、
そのときには、載置位置に誤差が生じていても正しく合
わせられるので、基板搬送機構により基板の受け渡しを
確実に行うことができる。
【００１５】
【実施例】第１図は本発明を塗布現像処理装置に適用し
た実施例を示す図であり、この塗布現像処理装置は、基
板例えばＬＣＤに用いられるガラス基板の搬入出ユニッ
トＡと、基板に対して塗布現像処理を行う処理ユニット
Ｂとを備えている。搬入出ユニットＡは、ガラス基板Ｇ
を収納するキャリアＣを例えば４個直列に並べて載置す
るためのキャリア載置部２と、キャリアＣ内のガラス基
板Ｇを処理ユニットＢとの間で受け渡すための第１の搬
送機構３とを有している。
【００１６】前記キャリア載置部２にはキャリアＣの底
面を支持する支持台２１がキャリアＣの左右両縁に沿っ
て平行に設けられている。キャリアＣは、複数例えば２
５枚の長方形状のガラス基板Ｇ（図１では便宜上１枚だ
け記載してある）を棚状に収納するように枠体により構
成されると共に、各ガラス基板Ｇの四隅と周辺の所定個
所とを、枠体に形成された溝部により保持しており、前
面部（図１では搬送機構３側）が基板の受け渡し口とな
っている。
【００１７】前記搬送機構３は、図２に詳細を示すが、
θ方向に移動自在な（Ｚ軸まわりに回転自在な）回転軸
３１上に搬送部本体３２が取り付けられている。回転軸
３１は、昇降部３３により昇降するモータ３４により駆
動されると共に、昇降部３３はＹ方向移動機構３５によ
りＹ方向に移動するよう構成されており、従って搬送部
本体３２はＹ、Ｚ、θ方向に移動できることとなる。搬
送部本体３２には、例えばこの中に組み込まれたベルト
機構などにより搬送部本体３２の表面に沿って進退自在
（Ｘ方向に移動自在）な移動部３６が設けられており、
この移動部３６の前面には、基板保持部材、例えばガラ
ス基板Ｇの下面を真空吸着等により保持するためのピン
セット４１が水平に設けられている。
【００１８】前記移動部３６の両側には、夫々左右に伸
び出し更に直角に折れ曲って前方に伸び出しているアー
ム４２、４３が設けられている。これらアーム４２、４
３は、移動部３６内の駆動部により互いに連動して開閉
できるように（互いに接離できるように）構成されると
共に、アーム４２、４３の先端部にはキャリアＣ内のガ
ラス基板Ｇの両側縁を挟圧してガラス基板Ｇの向きを矯
正するための押圧用ローラＲが設けられている。
【００１９】前記搬送部本体３２の片側（左側）には、
図では見えないエアシリンダなどの駆動部により、進退
自在なＬ字形のアーム５１が設けられており、このアー
ム５１は、搬送部本体３２がキャリア載置部２上にセッ
トされたキャリアＣに対向した位置にあるときに前進
し、そのキャリアＣの左側面部外方側の位置に伸び出す
ように構成されている。そしてこのアーム５１の先端部
には、ミラー５２が設けられる一方、搬送部本体３２の
右側前面部には発光素子及び受光素子を組み合わせてな
る発受光部５３が設けられており、これら発受光部５３
及びミラー５２は、アーム５１が伸び出した状態にある
ときに発受光部５３の発光部からの光がミラー５２で反
射されて発受光部５３の受光部に戻ってくるように位置
設定されている。すなわち、上記発光・反射光の光路５
３ａが、ガラス基板Ｇの平面と概平行となり、光がガラ
ス基板Ｇの側面部（断面部）、上下表面部で遮られるよ
うに、ガラス基板Ｇを面方向に挟んで対向するように発
受光部５３、ミラー５２が設けられている。これら発受
光部５３及びミラー５２は、キャリアＣ内のガラス基板
Ｇのマッピング（各段にガラス基板Ｇが有るか無いか等
を調べること）を行うためのマッピングセンサーをなす
一対の光学的検出手段を構成している。
【００２０】前記処理ユニットは、後で処理ユニットの
全体について説明するが、ガラス基板Ｇの表面にレジス
ト液を塗布するために必要な塗布処理部や、パターン露
光後に現像を行う現像処理部などの各処理部（図１では
処理部をＤの符号を付してある）を有し、各処理部Ｄ
は、処理ユニットの中央を前後に走る第２の搬送機構で
ある基板搬送用メインアーム６の搬送路６１の両側に配
置されている。メインアーム６は、搬送機構３と所定の
処理部Ｄとの間、及び各処理部Ｄ間における基板の受け
渡しを行うためのものであり、Ｘ、Ｙ、Ｚ、θ方向に移
動できるように構成されている。
【００２１】次に上述実施例の作用について述べる。先
ずガラス基板Ｇを例えば２５枚収納したキャリアＣが外
部から例えば自動搬送ロボットによりあるいはオペレー
タによりキャリア載置部２の支持台２１の上に、前面開
口部を処理ユニットＢ側に向けて載置される。次いで搬
送機構３の搬送部本体３２が前記キャリアＣの正面に位
置し、マッピングを行う。即ち図３に示すようにアーム
５１をキャリアＣの側面部外側に沿って前進させ、これ
によりミラー５２と発受光部５３との間で光路５３ａが
形成される。
【００２２】この状態でキャリアＣの最上段の高さ位置
から最下段の高さ位置までの間を（又は、その逆を）光
路がスキャンするように搬送部本体３２を昇降させる
と、キャリアＣの側面部は枠体ＣＦが存在しない部分は
開口状態であるから、ガラス基板Ｇが無い段においては
発受光部５３よりの光がミラー５２で反射して発受光部
５３に戻るが、ガラス基板Ｇが有る段においては、ガラ
ス基板Ｇにより光路が遮られるので発受光部５３では受
光できない。従って発受光部５３の受光の有無により制
御系側ではキャリアＣ内のどの段にガラス基板Ｇが収納
されているかを把握でき、搬送機構３に対してキャリア
Ｃ内の空の段に対してアクセスするといった不具合のな
いように制御できる。
【００２３】その後搬送機構３によりキャリアＣ内から
ガラス基板Ｇを順次取り出して、処理ユニットＢのメイ
ンアーム６に受け渡す。ガラス基板Ｇの取り出しについ
ては、搬送機構３の移動部３６を前進させてピンセット
４１を上下に配列されたガラス基板Ｇ間に進入させ、先
ずアーム４２、４３を閉じ方向に作動させて押圧ローラ
Ｒによりガラス基板Ｇを両側から挟圧しこれによりガラ
ス基板Ｇの向きを所定の向きに合わせる。続いて移動部
３６を上昇してピンセット４１によりガラス基板Ｇを掬
い上げて保持し、その後ピンセット４１を後退させてキ
ャリアＣ内からガラス基板Ｇを一枚取り出す。しかる後
ガラス基板Ｇは搬送機構３からメインアーム６に受け渡
され、後述するように塗布、露光、現像処理されること
になる。
【００２４】このような実施例によれば、キャリアＣ内
のガラス基板Ｇのマッピング時に、搬送機構３のアーム
５１を伸ばして、アーム５１上のミラー５２と搬送部本
体３２側の発受光部５３とにより光路を形成し、この光
路の遮断の有無により各段のガラス基板Ｇの有無を検出
しているため、キャリアＣをキャリア載置部２に置くあ
るいはキャリア載置部２から運び出す場合、例えばキャ
リアＣの搬送を自動化している場合にはメンテナンス時
に手作業でキャリアＣを搬出入する場合、あるいはキャ
リア載置部２の支持台２１の調整等を行う場合に、キャ
リア載置部２上にミラーが存在しないので作業がやりや
すいし、またキャリアＣや作業員の身体の一部がミラー
に接触するおそれがなく従って光路が狂うことがないの
でマッピングを確実に行うことができ、ガラス基板Ｇの
受け渡しを正確に行うことができる。
【００２５】以上においてマッピングセンサーである一
対の光学的検出手段については、アーム５１側に発受光
部を、搬送部本体３２側にミラーを夫々設けてもよい
し、あるいは反射型センサーとする代りに、アーム５１
側に発光部（あるいは受光部）を、搬送部本体３２側に
受光部（あるいは発光部）を夫々設けてもよい。また例
えばアーム５１を搬送部本体３２の両側に設け、左右の
アームに夫々発受光部やミラーなどの一対の光学的検出
手段を設けるようにしてもよい。
【００２６】ここでキャリア載置部２については次のよ
うに構成することが望ましい。即ち図４及び図５に示す
ように、支持台２１上には、キャリアＣの底面の四隅の
うち対角線方向に対向する二隅を支持する、位置合わせ
手段をなす一対の位置合わせ部材７ａ、７ｂが設けられ
ている。これら位置合わせ部材７ａ、７ｂは、キャリア
Ｃの底面を支持する水平面部７１と、この水平面部７１
に垂直に設けられ、キャリアＣの角部（詳しくは枠材の
角部）に適合して、Ｘ方向に沿った内面とＹ方向に沿っ
た内面とを備えてＬ字形に形成されたＬ字形部７２と、
を有し、キャリアＣとの摩擦でゴミが発生しないように
例えばフッ素樹脂により構成される。
【００２７】そして水平面部７１と支持台２１との間の
空間には、エアシリンダ７３ａ（７３ｂ）が設けられ、
このエアシリンダ７３ａ、７３ｂにより図４の矢印で示
す如くＬ字形部の両内面で形成される角度（９０度）を
２等分する方向、つまりＸ、Ｙ軸よりなる座標系の４５
度方向に位置合わせ部材７ａ、７ｂが移動するようにな
っている。またエアシリンダ７３ａ、７３ｂは、図６に
示すように共通のエアー供給源７４に接続された前進用
のエアー供給管７５及び後退用のエアー供給管７６を各
々分岐し、その分岐管の分岐端が接続されている。従っ
て前進用のエアー供給管７５あるいは後退用のエアー供
給管７６にエアーを送り込むとエアシリンダ７３ａ、７
３ｂが同じ圧力のエアーで同時に作動して、つまり互い
に連動し、位置合わせ部材７ａ、７ｂが図４の矢印方向
に沿って同時に内方側あるいは外方側に移動する。更に
前記支持台２１上には、キャリアＣの底面の四隅のうち
他の二隅を位置合わせ部材７ａ（７ｂ）の水平面部７１
と同じ高さレベルで支持するように、水平な支持面を有
する、例えばフッ素樹脂よりなる固定台７７が設けられ
ている。
【００２８】このようにキャリア載置部２に位置合わせ
部材７ａ、７ｂを設けた場合には、キャリアＣが次のよ
うに位置合わせされる。即ちキャリアＣが例えば自動搬
送ロボットにより外部からキャリア載置部２の支持台２
１上に受け渡されると、キャリアＣは、自動搬送ロボッ
トの搬送精度に対応した位置決め精度で底面四隅が夫々
位置合わせ部材７ａ、７ｂの水平面部７１及び固定台７
７上に支持される。
【００２９】次いでエアシリンダ７３ａ、７３ｂを作動
させると、位置合わせ部材７ａ、７ｂが同時に図４の矢
印方向に沿って内方側に移動し、これによりキャリアＣ
がＸ方向、Ｙ方向に押圧される。つまりキャリアの中心
位置及び向きが所定の位置から外れていると、位置合わ
せ部材７ａ、７ｂの垂直な内面により案内されながら位
置が修正され、位置合わせ部材７ａ、７ｂにより挟み込
まれた位置に収束して停止する。従ってこの位置が搬送
機構３による受け渡し位置となるように予め設定してお
くことにより、キャリアＣは位置合わせ部材７ａ、７ｂ
により高精度の位置合わせが行われることになる。
【００３０】このように構成すれば、例えば自動搬送ロ
ボットによりキャリアＣを搬送する場合、載置誤差が含
まれるが、キャリアＣを置いた後自動的に位置合わせさ
れるので搬送機構によるガラス基板Ｇの受け渡しを確実
に行うことができ、また自動搬送ロボットに対して高い
載置精度を要求しなくて済む。また手作業でキャリアＣ
を置く場合にも正確に位置合わせすることなくある程度
ラフに置いてもよいので作業がやりやすい。
【００３１】そして上述の実施例では、一対の位置合わ
せ部材７ａ、７ｂを連動させているが、一方を固定して
もよい。ただし一方を固定すると他方の可動部分のスト
ロークが大きくなるので、支持台２１が大きくなるし、
パーティクルが発生しやすくなり、従って連動型とする
ことが好ましい。なお連動型とする場合、エアシリンダ
に限らずベルトやピニオン、ラック機構などの同期機構
を用いてもよいが、上述のようにエアシリンダを用いて
共通のエアー供給源で作動させれば構成が簡単であり、
有利である。
【００３２】また本発明では上述のようにキャリアＣを
直接位置合わせする代りに、キャリアＣを載置する載置
台を設け、この載置台を動かす位置合わせ手段を用い
て、載置台を介してキャリアＣの位置合わせを行っても
よい。この場合例えばキャリアＣのＸ、Ｙの位置を検出
するセンサ例えば複数の光学的センサを設けておき、そ
のセンサの信号に基づいて位置合わせ手段を制御するな
どの手法を採用することができる。この場合、キャリア
Ｃは載置台上を移動しないので、摩擦でゴミが発生しキ
ャリアＣに付着するようなことはない。
【００３３】ここでキャリア搬送機構である自動搬送ロ
ボット（通常ＡＧＶなどと呼ばれる）と塗布現像処理装
置とを組み合わせたシステムの各部の配置及び処理の流
れについて図７を参照しながら簡単に説明する。キャリ
ア載置部２及び基板搬送機構３は、図では省略してある
が、既述したように位置合わせ部材、マッピングセンサ
ーが組み込まれてある。６２は自動搬送ロボットであ
り、アーム６３によりキャリアＣをキャリア載置部２と
の間で受け渡すように構成されている。
【００３４】処理前のガラス基板は、搬送機構３により
キャリアＣ内から取り出されてメインアーム６に受け渡
され、先ずブラシ洗浄部８１内に搬送される。このブラ
シ洗浄部８１内にてブラシ洗浄されたガラス基板は必要
に応じて引続いてジェット水洗浄部８２内にて高圧ジェ
ット水により洗浄される。この後、ガラス基板は、アド
ヒージョン処理部８４にて疎水化処理が施され、冷却処
理部８５にて冷却された後、塗布装置８３にてフォトレ
ジスト膜すなわち感光膜が塗布形成される。そして、こ
のフォトレジストが加熱処理部８６にて加熱されてプリ
ベーキング処理が施された後、この装置の右側に配置さ
れた図示しない露光装置にて所定のパターンが露光され
る。そして、露光後のガラス基板はメインアーム６ａを
介して現像処理部８７内へ搬送され、現像液により現像
された後、処理後のガラス基板はメインアーム６及び搬
送機構３を通じて例えば元のキャリアＣ内に戻される。
【００３５】以上において本発明では基板としてＬＣＤ
パネル用のガラス基板に限らず、ガラスマスク、プリン
ト基板、半導体ウエハなどであってもよい。
【００３６】
【発明の効果】本発明によれば、キャリア内の各段にお
ける基板の有無を検出するための一対の光学的検出手段
を基板搬送機構に設けているため、手作業でキャリアを
キャリア載置部に置く場合に作業がやりやすいし、光学
的検出手段に触れるおそれがないので光学的検出手段の
調整が狂うことがなく、確実にマッピングを行うことが
できる。
【００３７】またキャリア載置部にキャリアまたは載置
台の位置合わせを行うための位置合わせ手段を設けてい
るので、キャリア搬送機構によりキャリアの受け渡しを
行う場合にも、基板搬送機構により確実にキャリアに対
して基板の受け渡しを行うことができるし、手作業でキ
ャリアを置く場合にも便利である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を塗布現像処理装置に適用した実施例の
主要部分を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施例に用いられる基板搬送機構の斜
視図である。
【図３】本発明の実施例においてマッピングを行ってい
る様子を示す平面図である。
【図４】キャリア載置部上の位置合わせ部材を示す平面
図である。
【図５】キャリア載置部上の位置合わせ部材を示す斜視
図である。
【図６】位置合わせ部材を作動させるエアシリンダのエ
アー配管を示す説明図である。
【図７】本発明の実施例に係る塗布現像処理装置の全体
の概観を示す斜視図である。
【図８】従来の塗布現像処理装置を示す略解平面図であ
る。
【符号の説明】
２ キャリア載置部 ２１ 支持台 Ｃ キャリア Ｇ ガラス基板 ３ 搬送機構 ４１ ピンセット ５１ アーム ５２ ミラー ５３ 発受光部 ６ メインアーム ６２ 自動搬送ロボット ７ａ、７ｂ 位置合わせ部材 ７３ａ、７３ｂ エアシリンダ

Claims (14)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 複数の基板を棚状に収納し、前面部が基
    板の受け渡し口として形成されると共に、側面部は光が
    透過できるように構成されたキャリアを載置するための
    キャリア載置部と、 前記キャリア内の基板を順次取り出して処理ユニットに
    受け渡すために、少なくとも進退自在、及び前記キャリ
    ア載置部に対して相対的に昇降自在に構成された基板保
    持部材を備えた搬送機構と、 この搬送機構に、前記基板を面方向に挟んで対向するよ
    うに設けられ、前記キャリア載置部上のキャリア内の各
    段における基板の有無を検出するための一対の光学的検
    出手段と、を備えたことを特徴とする基板の搬送装置。
  2. 【請求項２】 搬送機構は、キャリアの外側を進退自在
    なアームを有し、このアームに一対の光学的検出手段の
    少なくとも一方を設けたことを特徴とする請求項１記載
    の基板の搬送装置。
  3. 【請求項３】 搬送機構の基板保持部材は、搬送部本体
    に進退自在に設けられており、一対の光学的検出手段の
    一方及び他方は、ア−ム及び前記搬送部本体に夫々設け
    られていることを特徴とする請求項２記載の基板の搬送
    装置。
  4. 【請求項４】 複数の基板を棚状に収納したキャリア
    を、直接または載置台を介してキャリア載置部に載せ、
    基板搬送機構により前記キャリアから基板を取出して処
    理ユニットに搬送する基板の搬送装置において、 前記キャリア載置部上のキャリアまたは載置台を位置合
    わせするための位置合わせ手段を設けたことを特徴とす
    る基板の搬送装置。
  5. 【請求項５】 位置合わせ手段は、キャリア載置部上の
    キャリアまたは載置台を、両側から案内して位置合わせ
    をするために互いに対向して設けられた一対の位置合わ
    せ部材を含むものであることを特徴とする請求項４記載
    の基板の搬送装置。
  6. 【請求項６】 キャリアまたは載置台の底面部は角形で
    あり、 一対の位置合わせ部材は、互いに接近するように、キャ
    リアまたは載置台の互いに対向する角部を案内し、その
    角部に適合する形状に形成されていることを特徴とする
    請求項５記載の基板の搬送装置。
  7. 【請求項７】 一対の位置合わせ部材は、互いに連動す
    るように構成されていることを特徴とする請求項５また
    は６記載の基板の搬送装置。
  8. 【請求項８】 一対の位置合わせ部材は、夫々エアシリ
    ンダにより駆動されると共に、各エアシリンダは、共通
    のエア供給路からのエアにより作動するものであること
    を特徴とする請求項５、６または７記載の基板の搬送装
    置。
  9. 【請求項９】 キャリアをキャリア載置部に搬送するキ
    ャリア搬送機構を備えていることを特徴とする請求項
    ５、６、７または８記載の基板の搬送装置。
  10. 【請求項１０】 複数の基板を棚状に収納し、前面部が
    基板の受け渡し口として形成されたキャリアを直接また
    は載置台を介してキャリア載置部に載置する工程と、 次いで前記キャリア載置部上のキャリアまたは載置台を
    位置合わせ手段により位置合わせする工程と、 この工程の前または後に、一対の光学的検出手段を前記
    キャリア載置部に対して相対的に昇降させ、当該キャリ
    ア載置部上のキャリアの各段における基板の有無を検出
    する工程と、 この工程で得た情報に基づいて前記キャリア載置部上の
    キャリア内の基板を第１の搬送機構により取り出して、
    処理ユニット間を搬送する第２の搬送機構に受け渡す工
    程と、を備えたことを特徴とする基板の搬送方法。
  11. 【請求項１１】 キャリアをキャリア載置部に載置する
    工程は、自動搬送ロボットにより行われることを特徴と
    する請求項１０記載の基板の搬送方法。
  12. 【請求項１２】 位置合わせ手段により位置合わせする
    工程は、キャリアまたは載置台を互いに対向する位置合
    わせ部材によりキャリアの水平方向の内方側に押圧する
    ことにより行われることを特徴とする請求項１０または
    １１記載の基板の搬送方法。
  13. 【請求項１３】 基板の有無を検出する工程は、 第１の搬送機構がキャリア載置部上のキャリアの前面に
    対向する位置に移動する工程と、 次いで第１の搬送機構から前記キャリアの外側でキャリ
    アの側面に対向する位置まで一対の光学的検出手段の一
    方を移動させ、この一方の光学的検出手段と第１の搬送
    機構の搬送部本体に設けられた他方の光学的検出手段と
    により、基板が収納される領域を挟んで基板の面方向に
    伸びる光路を形成する工程と、 その後、第１の搬送機
    構を前記キャリアに対して相対的に昇降する工程と、を
    含むことを特徴とする請求項１０、１１または１２記載
    の基板の搬送方法。
  14. 【請求項１４】 複数の基板を棚状に収納し、前面部が
    基板の受け渡し口として形成されると共に、側面部は光
    が透過できるように構成されたキャリアを載置するため
    のキャリア載置部と、 前記基板にレジスト液の塗布を行う塗布処理部及び露光
    後の基板に対して現像行う現像処理部を含む処理ユニッ
    トと、 前記キャリア載置部に載置されたキャリア内の基板を順
    次取り出して前記処理ユニットに受け渡すために、少な
    くとも進退自在、及び前記キャリア載置部に対して相対
    的に昇降自在に構成された基板保持部材を備えた搬送機
    構と、 この搬送機構に、前記基板を面方向に挟んで対向するよ
    うに設けられ、前記キャリア載置部上のキャリア内の各
    段における基板の有無を検出するための一対の光学的検
    出手段と、を備えたことを特徴とする塗布現像処理装
    置。
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