JPH10123193A - 表示パネル基板の検査装置および検査方法 - Google Patents
表示パネル基板の検査装置および検査方法Info
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- JPH10123193A JPH10123193A JP8295877A JP29587796A JPH10123193A JP H10123193 A JPH10123193 A JP H10123193A JP 8295877 A JP8295877 A JP 8295877A JP 29587796 A JP29587796 A JP 29587796A JP H10123193 A JPH10123193 A JP H10123193A
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- cassette
- glass substrate
- work table
- substrate
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 液晶表示パネルのガラス基板を水平面に対し
て75°の角度で傾斜させた状態で、収納、搬送、検査
を実行することにより、ガラス基板にストレスがかから
ないようにし、また、カセット内でのガラス基板の姿勢
を安定させ、さらに、検査装置の占有面積を小さくす
る。 【解決手段】 カセット台24に設置されたカセット4
0の内部にガラス基板42が水平面から75°の傾斜角
度で収納されている。カセット40から1枚ずつ取り出
されたガラス基板42は、基板搬送機構によりプリアラ
イメントテーブル41に搬送されてプリアライメントさ
れ、さらに測定ステージ43に搬送されてファインアラ
イメントが実行され、検査される。プリアライメントテ
ーブル41と測定ステージ43は、いずれも、水平面か
ら75°の角度で傾斜しており、ガラス基板42は所定
の傾斜状態で、収納、搬送、検査が実行される。
て75°の角度で傾斜させた状態で、収納、搬送、検査
を実行することにより、ガラス基板にストレスがかから
ないようにし、また、カセット内でのガラス基板の姿勢
を安定させ、さらに、検査装置の占有面積を小さくす
る。 【解決手段】 カセット台24に設置されたカセット4
0の内部にガラス基板42が水平面から75°の傾斜角
度で収納されている。カセット40から1枚ずつ取り出
されたガラス基板42は、基板搬送機構によりプリアラ
イメントテーブル41に搬送されてプリアライメントさ
れ、さらに測定ステージ43に搬送されてファインアラ
イメントが実行され、検査される。プリアライメントテ
ーブル41と測定ステージ43は、いずれも、水平面か
ら75°の角度で傾斜しており、ガラス基板42は所定
の傾斜状態で、収納、搬送、検査が実行される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、テーブルに載せ
た表示パネル基板の電極にプローブ針を接触させて表示
パネルを検査する検査装置および方法に関する。表示パ
ネル基板の例としては液晶表示パネルのガラス基板が代
表的であるが、プラズマ・ディスプレイ・パネルなどの
その他の表示パネル用の基板であってもよい。
た表示パネル基板の電極にプローブ針を接触させて表示
パネルを検査する検査装置および方法に関する。表示パ
ネル基板の例としては液晶表示パネルのガラス基板が代
表的であるが、プラズマ・ディスプレイ・パネルなどの
その他の表示パネル用の基板であってもよい。
【0002】
【従来の技術】液晶表示パネルの製造過程では、液晶を
封入する前のガラス基板上にトランジスタ等の電気回路
を形成して、これをアレイプローバで検査している。1
枚のガラス基板には複数個の液晶表示パネルを同時に形
成するのが一般的であるが、アレイプローバでは、この
複数の液晶表示パネルを切り離すことなく、大きなガラ
ス基板のままで、各液晶表示パネルの回路を順番に検査
している。そのために、製造する液晶表示パネルが大き
くなると、多面取りのガラス基板はもっと大きなものと
なり、それに比例してプローバの占有面積も大きくな
る。また、ガラス基板が大きくなると、ガラス基板を水
平状態で搬送すると、重力により基板が撓んでマイクロ
クラックが発生することがあり、基板上の回路に悪影響
を与えるおそれがある。
封入する前のガラス基板上にトランジスタ等の電気回路
を形成して、これをアレイプローバで検査している。1
枚のガラス基板には複数個の液晶表示パネルを同時に形
成するのが一般的であるが、アレイプローバでは、この
複数の液晶表示パネルを切り離すことなく、大きなガラ
ス基板のままで、各液晶表示パネルの回路を順番に検査
している。そのために、製造する液晶表示パネルが大き
くなると、多面取りのガラス基板はもっと大きなものと
なり、それに比例してプローバの占有面積も大きくな
る。また、ガラス基板が大きくなると、ガラス基板を水
平状態で搬送すると、重力により基板が撓んでマイクロ
クラックが発生することがあり、基板上の回路に悪影響
を与えるおそれがある。
【0003】このような問題点を解決するために、ガラ
ス基板を鉛直に立てた状態(水平面に対して90°の角
度をなす状態)で基板を搬送したり検査したりすること
が考えられる。このようにすれば、検査装置の占有面積
を小さくできる可能性があり、基板の撓みも少なくなる
と考えられる。図33(A)は、複数のガラス基板10
をカセット12の内部に鉛直状態で収納した状態を示す
正面図である。ガラス基板10は、カセット12の内壁
面に設けられたリブ14の間に1枚ずつ収納されてい
る。隣り合うリブとリブの間の間隙はガラス基板10の
厚さよりも広くなっているので、ガラス基板10はこの
間隙の内部で右に倒れたり左に倒れたりして、その姿勢
は1枚ごとにバラバラになってしまう。ガラス基板の姿
勢がバラバラであると、搬送機構を用いてカセット12
からガラス基板10を出し入れする場合に支障がある。
なお、隣り合うリブ14の間隙をガラス基板10の厚さ
に近づければガラス基板10の姿勢は比較的安定する
が、そうすると、カセット12からガラス基板10を出
し入れするための搬送機構の位置決め精度を極めて高精
度にしなければならず、現実的ではない。
ス基板を鉛直に立てた状態(水平面に対して90°の角
度をなす状態)で基板を搬送したり検査したりすること
が考えられる。このようにすれば、検査装置の占有面積
を小さくできる可能性があり、基板の撓みも少なくなる
と考えられる。図33(A)は、複数のガラス基板10
をカセット12の内部に鉛直状態で収納した状態を示す
正面図である。ガラス基板10は、カセット12の内壁
面に設けられたリブ14の間に1枚ずつ収納されてい
る。隣り合うリブとリブの間の間隙はガラス基板10の
厚さよりも広くなっているので、ガラス基板10はこの
間隙の内部で右に倒れたり左に倒れたりして、その姿勢
は1枚ごとにバラバラになってしまう。ガラス基板の姿
勢がバラバラであると、搬送機構を用いてカセット12
からガラス基板10を出し入れする場合に支障がある。
なお、隣り合うリブ14の間隙をガラス基板10の厚さ
に近づければガラス基板10の姿勢は比較的安定する
が、そうすると、カセット12からガラス基板10を出
し入れするための搬送機構の位置決め精度を極めて高精
度にしなければならず、現実的ではない。
【0004】この発明は上述の問題点を解決するために
なされたものであり、その目的は、大型の表示パネル基
板を検査する場合にも基板にストレスがかからずにマイ
クロクラックが発生するおそれのない検査装置を提供す
ることにある。本発明の別の目的は、大型の表示パネル
基板を検査できて、かつ、設置面積を小さくできる検査
装置を提供することにある。本発明のさらに別の目的
は、カセット内の表示パネル基板の姿勢を安定させて表
示パネル基板を出し入れするのに支障のない検査装置を
提供することにある。
なされたものであり、その目的は、大型の表示パネル基
板を検査する場合にも基板にストレスがかからずにマイ
クロクラックが発生するおそれのない検査装置を提供す
ることにある。本発明の別の目的は、大型の表示パネル
基板を検査できて、かつ、設置面積を小さくできる検査
装置を提供することにある。本発明のさらに別の目的
は、カセット内の表示パネル基板の姿勢を安定させて表
示パネル基板を出し入れするのに支障のない検査装置を
提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】この発明の検査装置は、
表示パネル基板を所定の傾斜角度で傾斜させた状態で、
収納、搬送、検査を実行するようにしたものである。こ
れにより、大型の表示パネル基板を搬送する場合でも、
表示パネル基板が重力で撓むことがなく、ストレスがか
からない。また、カセット内で表示パネル基板が一方向
に揃って姿勢が安定するので、カセットから表示パネル
基板を取り出す場合に、取り出し易い。さらに、検査装
置の占有面積も小さくなる。
表示パネル基板を所定の傾斜角度で傾斜させた状態で、
収納、搬送、検査を実行するようにしたものである。こ
れにより、大型の表示パネル基板を搬送する場合でも、
表示パネル基板が重力で撓むことがなく、ストレスがか
からない。また、カセット内で表示パネル基板が一方向
に揃って姿勢が安定するので、カセットから表示パネル
基板を取り出す場合に、取り出し易い。さらに、検査装
置の占有面積も小さくなる。
【0006】表示パネル基板の傾斜角度としては、水平
面から65〜80°の傾斜角度にするのがよい。これよ
りも傾斜角度を小さくすると、基板へのストレスの増加
や、検査装置の占有面積の増大などの問題点が生じてく
る。また、これよりも傾斜角度を大きくして鉛直状態に
近づけると、複数の表示パネル基板をカセットに収納し
た場合に、これらの基板の姿勢が安定しないおそれがあ
る。基板の姿勢を安定させることと、基板へのストレス
を少なくすることとのバランスを考えると、基板の傾斜
角度は70〜75°にするのが最適である。
面から65〜80°の傾斜角度にするのがよい。これよ
りも傾斜角度を小さくすると、基板へのストレスの増加
や、検査装置の占有面積の増大などの問題点が生じてく
る。また、これよりも傾斜角度を大きくして鉛直状態に
近づけると、複数の表示パネル基板をカセットに収納し
た場合に、これらの基板の姿勢が安定しないおそれがあ
る。基板の姿勢を安定させることと、基板へのストレス
を少なくすることとのバランスを考えると、基板の傾斜
角度は70〜75°にするのが最適である。
【0007】表示パネル基板を収納するカセットは回転
可能な構造にしてもよい。こうすると、カセットを収納
部に設置するまでは、カセット内部の表示パネル基板を
水平状態にしておき、収納部にカセットを設置した後
に、カセットを回転させて表示パネル基板を所定の傾斜
角度に傾斜させることができる。この場合、カセットを
その中心回りに回転可能にすると、カセット収納部の占
有面積を小さくできる。
可能な構造にしてもよい。こうすると、カセットを収納
部に設置するまでは、カセット内部の表示パネル基板を
水平状態にしておき、収納部にカセットを設置した後
に、カセットを回転させて表示パネル基板を所定の傾斜
角度に傾斜させることができる。この場合、カセットを
その中心回りに回転可能にすると、カセット収納部の占
有面積を小さくできる。
【0008】検査装置の各部の配置に関して、収納部と
搬送部と測定部とを平面視で概略L字形に配置すると、
このL字形の空所部分にテスターを配置することができ
る。これにより、テスターの設置領域も含めて、検査装
置を四角形の領域の内部に配置することができ、上述の
傾斜角度による占有面積の減少と相まって、工場内で検
査装置を効率的に配置できる。
搬送部と測定部とを平面視で概略L字形に配置すると、
このL字形の空所部分にテスターを配置することができ
る。これにより、テスターの設置領域も含めて、検査装
置を四角形の領域の内部に配置することができ、上述の
傾斜角度による占有面積の減少と相まって、工場内で検
査装置を効率的に配置できる。
【0009】なお、本発明で検査する表示パネル基板
は、完成した表示パネルであってもよく、製造途中のパ
ネル基板であってもよい。液晶表示パネルを例にとる
と、液晶を注入する前の、配線パターンやトランジスタ
を形成した状態のガラス基板であってもよいし、液晶を
注入した後の液晶表示パネルの状態であってもよい。ま
た、表示パネル基板としては、液晶表示パネルのほか
に、プラズマ・ディスプレイ・パネルなどのその他の表
示パネルの基板であってもよい。
は、完成した表示パネルであってもよく、製造途中のパ
ネル基板であってもよい。液晶表示パネルを例にとる
と、液晶を注入する前の、配線パターンやトランジスタ
を形成した状態のガラス基板であってもよいし、液晶を
注入した後の液晶表示パネルの状態であってもよい。ま
た、表示パネル基板としては、液晶表示パネルのほか
に、プラズマ・ディスプレイ・パネルなどのその他の表
示パネルの基板であってもよい。
【0010】
【発明の実施の形態】図1はこの発明の検査装置の一実
施形態の平面図である。この検査装置は、液晶表示パネ
ルのガラス基板に形成した回路を検査する装置であり、
収納部16と搬送部18と測定部20とからなる。これ
らは平面視で概略L字形に配置されていて、このL字形
の空所部分にテスター設置領域22がある。収納部16
には2台のカセット台24が設置されており、各カセッ
ト台24はそれぞれ一つのカセットを収納できる。各カ
セットはその内部に多くのガラス基板を収納できる。搬
送部18はカセットからガラス基板を1枚ずつ取り出し
て測定部20に搬送するものである。この実施形態で
は、搬送部18の片側に収納部16が、その反対側に測
定部20が配置されている。
施形態の平面図である。この検査装置は、液晶表示パネ
ルのガラス基板に形成した回路を検査する装置であり、
収納部16と搬送部18と測定部20とからなる。これ
らは平面視で概略L字形に配置されていて、このL字形
の空所部分にテスター設置領域22がある。収納部16
には2台のカセット台24が設置されており、各カセッ
ト台24はそれぞれ一つのカセットを収納できる。各カ
セットはその内部に多くのガラス基板を収納できる。搬
送部18はカセットからガラス基板を1枚ずつ取り出し
て測定部20に搬送するものである。この実施形態で
は、搬送部18の片側に収納部16が、その反対側に測
定部20が配置されている。
【0011】搬送部18には基板搬送機構が設置されて
いる。この基板搬送機構は、水平に延びる送りネジ26
と、その両側に配置された2本のレール28と、このレ
ール28に案内されて移動できる移動台30とを備えて
いる。移動台30は送りネジ26に噛み合っていて、送
りネジ26の回転によって移動する。移動台30には支
柱32が立っており、この支柱32に昇降台34が昇降
可能に取り付けられている。昇降台34には回転台36
が取り付けられている。回転台36の表面は水平面から
75°の角度で傾斜しており、この回転台36にスライ
ドアーム38が取り付けられている。
いる。この基板搬送機構は、水平に延びる送りネジ26
と、その両側に配置された2本のレール28と、このレ
ール28に案内されて移動できる移動台30とを備えて
いる。移動台30は送りネジ26に噛み合っていて、送
りネジ26の回転によって移動する。移動台30には支
柱32が立っており、この支柱32に昇降台34が昇降
可能に取り付けられている。昇降台34には回転台36
が取り付けられている。回転台36の表面は水平面から
75°の角度で傾斜しており、この回転台36にスライ
ドアーム38が取り付けられている。
【0012】図2(A)は図1の検査装置を矢印A方向
から見た正面図である。測定部20の内部には、プリア
ライメントテーブル41と測定ステージ43があり、い
ずれも、水平面から75°の角度で傾斜している。ま
た、測定ステージ43に対向するようにプローブユニッ
ト45(図1も参照)が配置されている。プリアライメ
ントテーブル41と測定ステージ43の下方には制御部
47が配置されている。この制御部47は、検査装置の
すべての動作を制御している。プリアライメントテーブ
ル41と測定ステージ43は上述のように傾斜している
ので、測定部20の占有面積は従来の装置と比べて小さ
くなっている。
から見た正面図である。測定部20の内部には、プリア
ライメントテーブル41と測定ステージ43があり、い
ずれも、水平面から75°の角度で傾斜している。ま
た、測定ステージ43に対向するようにプローブユニッ
ト45(図1も参照)が配置されている。プリアライメ
ントテーブル41と測定ステージ43の下方には制御部
47が配置されている。この制御部47は、検査装置の
すべての動作を制御している。プリアライメントテーブ
ル41と測定ステージ43は上述のように傾斜している
ので、測定部20の占有面積は従来の装置と比べて小さ
くなっている。
【0013】移動台30はレール28に載っている。図
2(B)は移動台30とそれに搭載されている機構だけ
を取り出して示した正面図である。移動台30に支柱3
2が立っており、これに昇降台34と回転台36が取り
付けられている。回転台36の表面は水平面から75°
の角度で傾斜している。回転台36はその表面に垂直な
回転軸線の回りに回転できる。回転台36の表面にはガ
イドレール128が固定さており、このガイドレール1
28にスライドアーム38が取り付けられている。スラ
イドアーム38は水平面から75°の角度で傾斜した状
態のままで、紙面に垂直な方向にスライドできる。
2(B)は移動台30とそれに搭載されている機構だけ
を取り出して示した正面図である。移動台30に支柱3
2が立っており、これに昇降台34と回転台36が取り
付けられている。回転台36の表面は水平面から75°
の角度で傾斜している。回転台36はその表面に垂直な
回転軸線の回りに回転できる。回転台36の表面にはガ
イドレール128が固定さており、このガイドレール1
28にスライドアーム38が取り付けられている。スラ
イドアーム38は水平面から75°の角度で傾斜した状
態のままで、紙面に垂直な方向にスライドできる。
【0014】図3は図1の検査装置を矢印B方向から見
た背面図である。2台のカセット台24が並べて配置さ
れていて、各カセット台24にカセット40がひとつず
つ収納されている。カセット40の内部には複数のガラ
ス基板42が互いに平行になるように間隔をあけて収納
されている。
た背面図である。2台のカセット台24が並べて配置さ
れていて、各カセット台24にカセット40がひとつず
つ収納されている。カセット40の内部には複数のガラ
ス基板42が互いに平行になるように間隔をあけて収納
されている。
【0015】図4はカセット台24を拡大して示した背
面図である。カセット台24のフレーム44には回転ド
ラム46が回転可能に取り付けられている。回転ドラム
46の内部の下方には1対のカセットガイド48が形成
されている。このカセットガイド48は、カセット40
の底部の1対の頂角部を支持するものである。また、回
転ドラム46の内部の上方には4個の固定用ブロック5
0が突き出している。この固定用ブロック50は、カセ
ット40の上部の4隅付近を押し付けることができ、こ
れによってカセット40を回転ドラム46に固定できる
ようになっている。固定用ブロック50はエアーシリン
ダ52によって進退できる。エアーシリンダ52は回転
ドラム46の両端のフランジ53(図5を参照)の外周
面に取り付けられている。回転ドラム46とフレーム4
4の下方には切り欠き54と55が形成されている。カ
セット40をカセット台24に搬入するためのロボット
アームは、この切り欠き54、55の内部に進入でき
る。
面図である。カセット台24のフレーム44には回転ド
ラム46が回転可能に取り付けられている。回転ドラム
46の内部の下方には1対のカセットガイド48が形成
されている。このカセットガイド48は、カセット40
の底部の1対の頂角部を支持するものである。また、回
転ドラム46の内部の上方には4個の固定用ブロック5
0が突き出している。この固定用ブロック50は、カセ
ット40の上部の4隅付近を押し付けることができ、こ
れによってカセット40を回転ドラム46に固定できる
ようになっている。固定用ブロック50はエアーシリン
ダ52によって進退できる。エアーシリンダ52は回転
ドラム46の両端のフランジ53(図5を参照)の外周
面に取り付けられている。回転ドラム46とフレーム4
4の下方には切り欠き54と55が形成されている。カ
セット40をカセット台24に搬入するためのロボット
アームは、この切り欠き54、55の内部に進入でき
る。
【0016】図5は図4の5−5線断面図である。回転
ドラム46は軸受56によってフレーム44に回転可能
に支持されている。回転ドラム46の内部には固定用ブ
ロック50とカセットガイド48がある。複数のガラス
基板42を水平状態で収納したカセット40は、ロボッ
トアーム58によってカセット台24の背面側から運ば
れてくる。切り欠き54、55の内部にロボットアーム
58を進入させることで、カセット40をカセットガイ
ド48に載せることができる。その後、固定用ブロック
50を伸ばしてカセット40を固定する。
ドラム46は軸受56によってフレーム44に回転可能
に支持されている。回転ドラム46の内部には固定用ブ
ロック50とカセットガイド48がある。複数のガラス
基板42を水平状態で収納したカセット40は、ロボッ
トアーム58によってカセット台24の背面側から運ば
れてくる。切り欠き54、55の内部にロボットアーム
58を進入させることで、カセット40をカセットガイ
ド48に載せることができる。その後、固定用ブロック
50を伸ばしてカセット40を固定する。
【0017】図6はカセット台24の正面図である。す
なわち、図4で示した背面図とは反対側を示した図面で
ある。回転ドラム46のフランジの端面にはエアーシリ
ンダ60のピストン62の先端が回転可能に結合されて
いる。エアーシリンダ60の基端部はカセット台24の
架台に回転可能に結合されている。エアーシリンダ60
のピストン62が伸縮することにより回転ドラム46が
回転する。この図6では、固定用ブロック50を伸ばし
てカセット40を回転ドラム46の内部に固定した状態
を示している。カセット40は正面側に開口しており、
この正面側から基板搬送機構によりガラス基板42を出
し入れできる。ガラス基板42はカセット40の内部で
リブ63によって支持されている。エアーシリンダ60
のピストン62を伸ばすと、図7に示すように回転ドラ
ム46が回転する。この実施形態では回転ドラム46が
75°回転することによって、ガラス基板42が水平面
から75°の角度だけ傾斜した姿勢になる。このような
姿勢になると、図33(B)に示すように、すべてのガ
ラス基板42がリブ63の間で片側に寄って姿勢が安定
する。
なわち、図4で示した背面図とは反対側を示した図面で
ある。回転ドラム46のフランジの端面にはエアーシリ
ンダ60のピストン62の先端が回転可能に結合されて
いる。エアーシリンダ60の基端部はカセット台24の
架台に回転可能に結合されている。エアーシリンダ60
のピストン62が伸縮することにより回転ドラム46が
回転する。この図6では、固定用ブロック50を伸ばし
てカセット40を回転ドラム46の内部に固定した状態
を示している。カセット40は正面側に開口しており、
この正面側から基板搬送機構によりガラス基板42を出
し入れできる。ガラス基板42はカセット40の内部で
リブ63によって支持されている。エアーシリンダ60
のピストン62を伸ばすと、図7に示すように回転ドラ
ム46が回転する。この実施形態では回転ドラム46が
75°回転することによって、ガラス基板42が水平面
から75°の角度だけ傾斜した姿勢になる。このような
姿勢になると、図33(B)に示すように、すべてのガ
ラス基板42がリブ63の間で片側に寄って姿勢が安定
する。
【0018】図8は回転ドラム46を回転させる機構の
変更例である。回転ドラム46の外周には歯車64が形
成されていて、この歯車64に駆動歯車66が噛み合っ
ている。駆動歯車66が回転すると回転ドラム46が回
転する。駆動歯車66は電動モータまたはエアーモータ
で駆動する。
変更例である。回転ドラム46の外周には歯車64が形
成されていて、この歯車64に駆動歯車66が噛み合っ
ている。駆動歯車66が回転すると回転ドラム46が回
転する。駆動歯車66は電動モータまたはエアーモータ
で駆動する。
【0019】図6と図8に示した回転機構の例では、カ
セットはその中心の回りに回転している。これに対し
て、図9はカセットを横倒しに回転させる状況を示して
いる。図9において、エアーシリンダ60のピストンを
伸ばすと、カセット40を収納したフレーム68は、そ
の角部付近の回転中心70の回りに回転して、カセット
40は回転中心70の回りに横倒しになる。このような
横倒し方法と比較すると、図6と図8に示すようなカセ
ット中心回りの回転方法は、場所を取らなくて有利であ
る。
セットはその中心の回りに回転している。これに対し
て、図9はカセットを横倒しに回転させる状況を示して
いる。図9において、エアーシリンダ60のピストンを
伸ばすと、カセット40を収納したフレーム68は、そ
の角部付近の回転中心70の回りに回転して、カセット
40は回転中心70の回りに横倒しになる。このような
横倒し方法と比較すると、図6と図8に示すようなカセ
ット中心回りの回転方法は、場所を取らなくて有利であ
る。
【0020】図19は測定ステージ43の正面図であ
る。測定ステージ43の全体は水平面から75°の角度
だけ傾斜している。したがって、ガラス基板42を載せ
るワークテーブル72の表面(載置面)も同様に水平面
から75°だけ傾斜している。このワークテーブル72
は、XYZθステージ74に載っていて、XY方向(水
平面から75°傾斜したXY平面内での2次元方向)に
移動可能であり、また、このXY平面に垂直なZ方向に
昇降可能であり、さらに、Z方向に延びる軸線の回りに
θ回転可能である。ワークテーブル72の周囲にはガイ
ドフレーム76があり、このガイドフレーム76の4隅
の内側にそれぞれエアーシリンダ78が固定されてい
る。このエアーシリンダ78の先端に真空吸着パッド8
0があり、ガラス基板42は真空吸着パッド80に吸着
保持されて、エアーシリンダ78によりZ方向に昇降可
能である。ワークテーブル72に対向するようにプロー
ブユニット45が配置されている。このプローブユニッ
ト45も全体として水平面から75°の角度で傾斜して
いる。
る。測定ステージ43の全体は水平面から75°の角度
だけ傾斜している。したがって、ガラス基板42を載せ
るワークテーブル72の表面(載置面)も同様に水平面
から75°だけ傾斜している。このワークテーブル72
は、XYZθステージ74に載っていて、XY方向(水
平面から75°傾斜したXY平面内での2次元方向)に
移動可能であり、また、このXY平面に垂直なZ方向に
昇降可能であり、さらに、Z方向に延びる軸線の回りに
θ回転可能である。ワークテーブル72の周囲にはガイ
ドフレーム76があり、このガイドフレーム76の4隅
の内側にそれぞれエアーシリンダ78が固定されてい
る。このエアーシリンダ78の先端に真空吸着パッド8
0があり、ガラス基板42は真空吸着パッド80に吸着
保持されて、エアーシリンダ78によりZ方向に昇降可
能である。ワークテーブル72に対向するようにプロー
ブユニット45が配置されている。このプローブユニッ
ト45も全体として水平面から75°の角度で傾斜して
いる。
【0021】図20はプリアライメントテーブル41の
正面図である。このプリアライメントテーブル41も水
平面から75°の角度だけ傾斜している。プリアライメ
ントテーブル41にはエアーシリンダ81を介して4個
の真空吸着パッド82が取り付けられている。この真空
吸着パッド82でガラス基板42を一時的に保持でき
る。プリアライメントテーブル41の表面には2個のX
位置センサ84と1個のY位置センサ86が固定されて
いる。これらのセンサは、発光部と受光部とを備えた光
電センサである。2個のX位置センサ84はガラス基板
42のX辺88(図面の手前の辺)を検知でき、Y位置
センサ86はガラス基板42のY辺90を検知できる。
正面図である。このプリアライメントテーブル41も水
平面から75°の角度だけ傾斜している。プリアライメ
ントテーブル41にはエアーシリンダ81を介して4個
の真空吸着パッド82が取り付けられている。この真空
吸着パッド82でガラス基板42を一時的に保持でき
る。プリアライメントテーブル41の表面には2個のX
位置センサ84と1個のY位置センサ86が固定されて
いる。これらのセンサは、発光部と受光部とを備えた光
電センサである。2個のX位置センサ84はガラス基板
42のX辺88(図面の手前の辺)を検知でき、Y位置
センサ86はガラス基板42のY辺90を検知できる。
【0022】図11は測定ステージ43を図19の矢印
A方向から見た図面である。この測定ステージは、中央
の矩形のワークテーブル72と、これを取り囲む矩形の
枠状のガイドフレーム76を備えている。周辺のガイド
フレーム76の外形寸法は、検査する大型のガラス基板
の外形寸法とほぼ同じである。中央のワークテーブル7
2の外形寸法は、ガラス基板に6個形成された各液晶表
示パネルとほぼ同じ大きさにされている。ガイドフレー
ム76にはエアーシリンダを介して4個の真空吸着パッ
ド80が昇降可能に取り付けられている。大型のガラス
基板は、この真空吸着パッド80と、中央のワークテー
ブル72だけに接触する。その接触面積は、ガラス基板
の面積よりも相当小さくなる。したがって、ガラス基板
と測定ステージとの間で発生する静電気量は小さくな
る。
A方向から見た図面である。この測定ステージは、中央
の矩形のワークテーブル72と、これを取り囲む矩形の
枠状のガイドフレーム76を備えている。周辺のガイド
フレーム76の外形寸法は、検査する大型のガラス基板
の外形寸法とほぼ同じである。中央のワークテーブル7
2の外形寸法は、ガラス基板に6個形成された各液晶表
示パネルとほぼ同じ大きさにされている。ガイドフレー
ム76にはエアーシリンダを介して4個の真空吸着パッ
ド80が昇降可能に取り付けられている。大型のガラス
基板は、この真空吸着パッド80と、中央のワークテー
ブル72だけに接触する。その接触面積は、ガラス基板
の面積よりも相当小さくなる。したがって、ガラス基板
と測定ステージとの間で発生する静電気量は小さくな
る。
【0023】ガイドフレーム76は、X方向のボールネ
ジ軸92と、Y方向のボールネジ軸94と、X方向の1
対のガイド棒96と、Y方向の1対のガイド棒98とを
含む駆動機構の働きによって、中央のワークテーブル7
2に対してXY方向に移動できる。ワークテーブル72
の表面には吸着溝100が形成されていて、この吸着溝
100に負圧を導入することによりワークテーブル72
の表面にガラス基板を吸着できる。ガイドフレーム76
の一辺(図の下側の辺)には1対の落下防止金具110
(図19も参照)が、ワークテーブル72の載置面より
も突き出して固定されている。ワークテーブル72に保
持されたガラス基板が、負圧源などの故障によって脱落
した場合でも、この落下防止金具110に引っ掛かるよ
うになっている。
ジ軸92と、Y方向のボールネジ軸94と、X方向の1
対のガイド棒96と、Y方向の1対のガイド棒98とを
含む駆動機構の働きによって、中央のワークテーブル7
2に対してXY方向に移動できる。ワークテーブル72
の表面には吸着溝100が形成されていて、この吸着溝
100に負圧を導入することによりワークテーブル72
の表面にガラス基板を吸着できる。ガイドフレーム76
の一辺(図の下側の辺)には1対の落下防止金具110
(図19も参照)が、ワークテーブル72の載置面より
も突き出して固定されている。ワークテーブル72に保
持されたガラス基板が、負圧源などの故障によって脱落
した場合でも、この落下防止金具110に引っ掛かるよ
うになっている。
【0024】ガイドフレーム76の各辺の内壁面にはガ
イドレール104が設けられ、このガイドレール104
に沿って移動可能にスライドガイド106、107、1
08、109が取り付けられている。そして、X方向に
対向する1対のスライドガイド106、107の間には
ボールネジ軸92と1対のガイド棒96が固定されてい
る。Y方向に対向する1対のスライドガイド108、1
09の間にはボールネジ軸94と1対のガイド棒98が
固定されている。
イドレール104が設けられ、このガイドレール104
に沿って移動可能にスライドガイド106、107、1
08、109が取り付けられている。そして、X方向に
対向する1対のスライドガイド106、107の間には
ボールネジ軸92と1対のガイド棒96が固定されてい
る。Y方向に対向する1対のスライドガイド108、1
09の間にはボールネジ軸94と1対のガイド棒98が
固定されている。
【0025】図10は測定ステージ43を図19の矢印
B方向から見た図面であり、ワークテーブル72は断面
図で示している。ワークテーブル72はXYZθステー
ジ74に載っている。このワークテーブル72にはガイ
ドフレーム駆動機構が組み込まれている。図11に示す
2対のガイド棒96、98は、リニアブッシュ112を
介してワークテーブル72を貫通していて、ワークテー
ブル72に対してスライド可能である。また、図11に
示す2本のボールネジ軸92、94は、ワークテーブル
72内の後述するナットに噛み合っており、ナットが回
転するとボールネジ軸92、94はワークテーブル72
に対して並進移動する。ガイドフレーム76をX方向
(図面の左右方向)に移動させるためのボールネジ軸9
2とその両側のガイド棒96は、ワークテーブル72の
下部を貫通しており、ガイドフレーム76をY方向(紙
面に垂直な方向)に移動させるためのボールネジ軸94
とその両側のガイド棒98は、ワークテーブル72の上
部を貫通している。すなわち、ガイドフレーム76をX
方向に移動させるための駆動機構とY方向に移動させる
ための駆動機構は上下に段違いに配置されている。
B方向から見た図面であり、ワークテーブル72は断面
図で示している。ワークテーブル72はXYZθステー
ジ74に載っている。このワークテーブル72にはガイ
ドフレーム駆動機構が組み込まれている。図11に示す
2対のガイド棒96、98は、リニアブッシュ112を
介してワークテーブル72を貫通していて、ワークテー
ブル72に対してスライド可能である。また、図11に
示す2本のボールネジ軸92、94は、ワークテーブル
72内の後述するナットに噛み合っており、ナットが回
転するとボールネジ軸92、94はワークテーブル72
に対して並進移動する。ガイドフレーム76をX方向
(図面の左右方向)に移動させるためのボールネジ軸9
2とその両側のガイド棒96は、ワークテーブル72の
下部を貫通しており、ガイドフレーム76をY方向(紙
面に垂直な方向)に移動させるためのボールネジ軸94
とその両側のガイド棒98は、ワークテーブル72の上
部を貫通している。すなわち、ガイドフレーム76をX
方向に移動させるための駆動機構とY方向に移動させる
ための駆動機構は上下に段違いに配置されている。
【0026】図11に戻って、ガイドフレーム駆動機構
の働きを説明する。X方向のボールネジ軸92に噛み合
うナットが回転すると、ワークテーブル72に対してボ
ールネジ軸92がX方向に移動する。これにより、ガイ
ドフレーム76全体がX方向に移動する。ガイド棒96
はワークテーブルの内部をスライドする。ワークテーブ
ル72に対してY方向のボールネジ軸94とガイド棒9
8はX方向に移動できないから、ガイドフレーム76が
X方向に移動するのに伴い、Y方向のボールネジ軸94
とガイド棒98とに固定されているスライドガイド10
8、109が、ガイドフレーム76に対して相対的にX
方向に移動する。すなわち、静止しているスライドガイ
ド108、109に対してガイドフレーム76の方がX
方向に移動する。同様に、Y方向のボールネジ軸94に
噛み合うナットが回転すると、ガイドフレーム76全体
がY方向に移動する。このようにして、ガイドフレーム
76はワークテーブル72に対してXY方向に移動でき
る。
の働きを説明する。X方向のボールネジ軸92に噛み合
うナットが回転すると、ワークテーブル72に対してボ
ールネジ軸92がX方向に移動する。これにより、ガイ
ドフレーム76全体がX方向に移動する。ガイド棒96
はワークテーブルの内部をスライドする。ワークテーブ
ル72に対してY方向のボールネジ軸94とガイド棒9
8はX方向に移動できないから、ガイドフレーム76が
X方向に移動するのに伴い、Y方向のボールネジ軸94
とガイド棒98とに固定されているスライドガイド10
8、109が、ガイドフレーム76に対して相対的にX
方向に移動する。すなわち、静止しているスライドガイ
ド108、109に対してガイドフレーム76の方がX
方向に移動する。同様に、Y方向のボールネジ軸94に
噛み合うナットが回転すると、ガイドフレーム76全体
がY方向に移動する。このようにして、ガイドフレーム
76はワークテーブル72に対してXY方向に移動でき
る。
【0027】図12はワークテーブル72に対してガイ
ドフレーム76を、X方向においては一番右側に、Y方
向においては下方に移動させた状態を示す。
ドフレーム76を、X方向においては一番右側に、Y方
向においては下方に移動させた状態を示す。
【0028】図13はワークテーブルに組み込まれたボ
ールネジ駆動機構の断面図(XY平面に平行な平面で切
断した断面図)である。ワークテーブルにはステッピン
グモータ114が固定されており、その出力軸の回転
は、歯付きプーリ116と歯付きベルト118と歯付き
プーリ120とを介して、ボールネジ用のナット122
に伝達される。このナット122は、ワークテーブルに
固定されたハウジング124の内部で回転可能に支持さ
れている。ナット122はX方向のボールネジ軸92に
噛み合っている。ナット122はハウジング124に支
持されていて軸方向に移動不能であるから、ナット12
2が回転すると、これに噛み合うボールネジ軸92がX
方向に移動する。ステッピングモータ114の回転角度
を制御することにより、ボールネジ軸92の移動量を制
御でき、これによって、ガイドフレームのX方向の位置
を制御できる。Y方向のボールネジ駆動機構についても
同じ構造である。
ールネジ駆動機構の断面図(XY平面に平行な平面で切
断した断面図)である。ワークテーブルにはステッピン
グモータ114が固定されており、その出力軸の回転
は、歯付きプーリ116と歯付きベルト118と歯付き
プーリ120とを介して、ボールネジ用のナット122
に伝達される。このナット122は、ワークテーブルに
固定されたハウジング124の内部で回転可能に支持さ
れている。ナット122はX方向のボールネジ軸92に
噛み合っている。ナット122はハウジング124に支
持されていて軸方向に移動不能であるから、ナット12
2が回転すると、これに噛み合うボールネジ軸92がX
方向に移動する。ステッピングモータ114の回転角度
を制御することにより、ボールネジ軸92の移動量を制
御でき、これによって、ガイドフレームのX方向の位置
を制御できる。Y方向のボールネジ駆動機構についても
同じ構造である。
【0029】次に、図14〜図16(これらは図10と
同じ方向から見た図面)を参照して、測定ステージの動
作を説明する。図14において、スライドアーム38で
送られてきたガラス基板42は、上昇位置にある真空吸
着パッド80で吸着支持される。このとき、ワークテー
ブル72はガイドフレーム76のほぼ中央に位置してい
るものとする。この状態で、ガイドフレーム76をXY
方向に移動させれば、ワークテーブル72に対してガラ
ス基板42を所望の位置にもってくることができる。
同じ方向から見た図面)を参照して、測定ステージの動
作を説明する。図14において、スライドアーム38で
送られてきたガラス基板42は、上昇位置にある真空吸
着パッド80で吸着支持される。このとき、ワークテー
ブル72はガイドフレーム76のほぼ中央に位置してい
るものとする。この状態で、ガイドフレーム76をXY
方向に移動させれば、ワークテーブル72に対してガラ
ス基板42を所望の位置にもってくることができる。
【0030】図15(A)において、プローブユニット
45はワークテーブル72に対向している。まず、検査
すべき液晶表示パネルがプローブユニット45の真下に
来るように(すなわち、検査すべき液晶表示パネルがワ
ークテーブル72の真上に来るように)、ガラス基板4
2を支持しているガイドフレーム76をXY方向に移動
させる必要がある。
45はワークテーブル72に対向している。まず、検査
すべき液晶表示パネルがプローブユニット45の真下に
来るように(すなわち、検査すべき液晶表示パネルがワ
ークテーブル72の真上に来るように)、ガラス基板4
2を支持しているガイドフレーム76をXY方向に移動
させる必要がある。
【0031】そこで、図15(B)に示すように、ガイ
ドフレーム76をXY方向に移動させて、ガラス基板4
2内の検査すべき液晶表示パネルがプローブユニット4
5の真下に来るようにする。この位置決め精度は粗いも
のでよく、ガラス基板42の各液晶表示パネルに対応し
て設けられたガラス基板上のアライメントマークが、プ
ローブユニット45の上方に配置した1対のCCDカメ
ラ126で観測可能な状態になればよい。その後、真空
吸着パッド80を下降して、ガラス基板42をワークテ
ーブル72に載せる。そして、真空吸着パッド80によ
るガラス基板42の吸着を解除し、ワークテーブル72
による吸着に切り換える。
ドフレーム76をXY方向に移動させて、ガラス基板4
2内の検査すべき液晶表示パネルがプローブユニット4
5の真下に来るようにする。この位置決め精度は粗いも
のでよく、ガラス基板42の各液晶表示パネルに対応し
て設けられたガラス基板上のアライメントマークが、プ
ローブユニット45の上方に配置した1対のCCDカメ
ラ126で観測可能な状態になればよい。その後、真空
吸着パッド80を下降して、ガラス基板42をワークテ
ーブル72に載せる。そして、真空吸着パッド80によ
るガラス基板42の吸着を解除し、ワークテーブル72
による吸着に切り換える。
【0032】次に、図16に示すように、2台のCCD
カメラ126でガラス基板42上の2個のアライメント
マークを認識することにより、ワークテーブル72の下
方のXYステージとθステージを移動させて、検査すべ
き液晶表示パネルとプローブユニット45とのファイン
アライメントを実行する。このファインアライメントが
完了したら、ワークテーブル72の下方のZステージを
上昇させてワークテーブル72を上昇させ、液晶表示パ
ネルの電極をプローブユニット45のプローブ針に接触
させて、ガラス基板上の回路を検査する。この実施形態
のように、プローブユニット45の真下に常にワークテ
ーブル72を配置して、このワークテーブル72の下面
全体をXYZθステージで支持すると、プローブユニッ
ト45からワークテーブル72に大きな荷重が作用して
も、ワークテーブル72に偏荷重が作用することがな
く、ワークテーブル72が傾斜することもない。そし
て、プローブユニット45の中心とZステージの中心と
を一致させているので、全てのプローブ針に均一なオー
バードライブがかかり、安定したコンタクトが可能であ
る。しかも、ワークテーブル72の外形寸法は、検査す
べき液晶表示パネルの外形寸法と同程度でよいので、ワ
ークテーブル72は大型のガラス基板42よりも相当小
さくできる。
カメラ126でガラス基板42上の2個のアライメント
マークを認識することにより、ワークテーブル72の下
方のXYステージとθステージを移動させて、検査すべ
き液晶表示パネルとプローブユニット45とのファイン
アライメントを実行する。このファインアライメントが
完了したら、ワークテーブル72の下方のZステージを
上昇させてワークテーブル72を上昇させ、液晶表示パ
ネルの電極をプローブユニット45のプローブ針に接触
させて、ガラス基板上の回路を検査する。この実施形態
のように、プローブユニット45の真下に常にワークテ
ーブル72を配置して、このワークテーブル72の下面
全体をXYZθステージで支持すると、プローブユニッ
ト45からワークテーブル72に大きな荷重が作用して
も、ワークテーブル72に偏荷重が作用することがな
く、ワークテーブル72が傾斜することもない。そし
て、プローブユニット45の中心とZステージの中心と
を一致させているので、全てのプローブ針に均一なオー
バードライブがかかり、安定したコンタクトが可能であ
る。しかも、ワークテーブル72の外形寸法は、検査す
べき液晶表示パネルの外形寸法と同程度でよいので、ワ
ークテーブル72は大型のガラス基板42よりも相当小
さくできる。
【0033】検査終了後は、Zステージを下降してプロ
ーブ針との接触を解除し、ワークテーブル72によるガ
ラス基板42の吸着を解除して、真空吸着パッド80に
よる吸着に切り換える。それから、真空吸着パッド80
を上昇させ、別の液晶表示パネルがプローブユニット4
5の真下に来るように、ガイドフレーム76をXY方向
に移動させる。このようにして、同一のガラス基板42
内の複数の液晶表示パネルを順に検査する。同一のガラ
ス基板42内の全ての液晶表示パネルを検査したら、図
14に示すスライドアーム38でガラス基板42をカセ
ットに戻す。
ーブ針との接触を解除し、ワークテーブル72によるガ
ラス基板42の吸着を解除して、真空吸着パッド80に
よる吸着に切り換える。それから、真空吸着パッド80
を上昇させ、別の液晶表示パネルがプローブユニット4
5の真下に来るように、ガイドフレーム76をXY方向
に移動させる。このようにして、同一のガラス基板42
内の複数の液晶表示パネルを順に検査する。同一のガラ
ス基板42内の全ての液晶表示パネルを検査したら、図
14に示すスライドアーム38でガラス基板42をカセ
ットに戻す。
【0034】図17と図18は、6枚取りのガラス基板
を検査する場合のガイドフレーム76の動きを示す平面
図である。図17(A)は、図19の矢印A方向から見
た図面において、ガラス基板の左上に位置する液晶表示
パネルを検査する状態である。すなわち、ワークテーブ
ル72に対して、ガイドフレーム76はX方向において
一番右側にあり、Y方向において下側にある。図17
(B)はガラス基板の中央上部の液晶表示パネルを検査
する状態であり、図17(A)の状態からガイドフレー
ム76を、液晶表示パネル一つ分だけ左に移動した状態
である。図17(C)はガラス基板の右上の液晶表示パ
ネルを検査する状態であり、図17(B)の状態から、
さらにガイドフレーム76を液晶表示パネル一つ分だけ
左に移動した状態である。図18(A)はガラス基板の
右下の液晶表示パネルを検査する状態であり、図17
(C)の状態からガイドフレーム76を液晶表示パネル
一つ分だけ上に移動した状態である。図18(B)はガ
ラス基板の中央下部の液晶表示パネルを検査する状態で
あり、図18(A)の状態からガイドフレーム76を液
晶表示パネル一つ分だけ右に移動した状態である。図1
8(C)はガラス基板の左下の液晶表示パネルを検査す
る状態であり、図18(B)の状態から、さらにガイド
フレーム76を液晶表示パネル一つ分だけ右に移動した
状態である。このようなガイドフレーム76の移動によ
り、6枚の液晶表示パネルを順に検査できる。
を検査する場合のガイドフレーム76の動きを示す平面
図である。図17(A)は、図19の矢印A方向から見
た図面において、ガラス基板の左上に位置する液晶表示
パネルを検査する状態である。すなわち、ワークテーブ
ル72に対して、ガイドフレーム76はX方向において
一番右側にあり、Y方向において下側にある。図17
(B)はガラス基板の中央上部の液晶表示パネルを検査
する状態であり、図17(A)の状態からガイドフレー
ム76を、液晶表示パネル一つ分だけ左に移動した状態
である。図17(C)はガラス基板の右上の液晶表示パ
ネルを検査する状態であり、図17(B)の状態から、
さらにガイドフレーム76を液晶表示パネル一つ分だけ
左に移動した状態である。図18(A)はガラス基板の
右下の液晶表示パネルを検査する状態であり、図17
(C)の状態からガイドフレーム76を液晶表示パネル
一つ分だけ上に移動した状態である。図18(B)はガ
ラス基板の中央下部の液晶表示パネルを検査する状態で
あり、図18(A)の状態からガイドフレーム76を液
晶表示パネル一つ分だけ右に移動した状態である。図1
8(C)はガラス基板の左下の液晶表示パネルを検査す
る状態であり、図18(B)の状態から、さらにガイド
フレーム76を液晶表示パネル一つ分だけ右に移動した
状態である。このようなガイドフレーム76の移動によ
り、6枚の液晶表示パネルを順に検査できる。
【0035】図21はスライドアーム38を用いてプリ
アライメントテーブル41にガラス基板42を搬送する
状態を示す側面図であり、図20の矢印A方向(水平方
向)から見た図面である。スライドアーム38はガイド
レール128の溝に沿ってスライドできる。スライドア
ーム38の先端付近の表面には吸着溝が形成されてい
て、この吸着溝に負圧を導入することによりガラス基板
42を吸着保持できる。プリアライメントテーブル41
には2個のX位置センサ84と1個のY位置センサ86
が固定されている。
アライメントテーブル41にガラス基板42を搬送する
状態を示す側面図であり、図20の矢印A方向(水平方
向)から見た図面である。スライドアーム38はガイド
レール128の溝に沿ってスライドできる。スライドア
ーム38の先端付近の表面には吸着溝が形成されてい
て、この吸着溝に負圧を導入することによりガラス基板
42を吸着保持できる。プリアライメントテーブル41
には2個のX位置センサ84と1個のY位置センサ86
が固定されている。
【0036】図22と図23は、プリアライメントの手
順を示す工程図であり、図20の矢印B方向(プリアラ
イメントテーブルに対して垂直な方向)から見た図面で
ある。図22(A)はスライドアーム38の先端にガラ
ス基板42を保持して、これをプリアライメントテーブ
ル41のところまで持ってきた状態を示している。ガイ
ドレール128は回転台36に固定されていて、回転台
36と共に回転する。図22(A)では、スライドアー
ム38はプリアライメント用の標準位置にある。すなわ
ち、昇降台34は所定の上下位置にあり、回転台36の
回転角度は180°の位置(ガイドレール128の中心
線が水平になる角度位置)にあり、スライドアーム38
は所定のプリアライメント用のスライド位置にある。
順を示す工程図であり、図20の矢印B方向(プリアラ
イメントテーブルに対して垂直な方向)から見た図面で
ある。図22(A)はスライドアーム38の先端にガラ
ス基板42を保持して、これをプリアライメントテーブ
ル41のところまで持ってきた状態を示している。ガイ
ドレール128は回転台36に固定されていて、回転台
36と共に回転する。図22(A)では、スライドアー
ム38はプリアライメント用の標準位置にある。すなわ
ち、昇降台34は所定の上下位置にあり、回転台36の
回転角度は180°の位置(ガイドレール128の中心
線が水平になる角度位置)にあり、スライドアーム38
は所定のプリアライメント用のスライド位置にある。
【0037】まず、スライドアーム38を図の左右方向
にスライドさせて、2個のX位置センサ84でガラス基
板42のX辺88(X方向に垂直な辺)を検出する。こ
の検出方法を詳しく説明すると、スライドアーム38が
左に移動してX辺88が一方のX位置センサ84aに対
向する位置まで来ると、ガラス基板41からの反射光が
X位置センサ84aで検出されるようになり、X位置セ
ンサ84aの出力が増加する。この出力増加時のスライ
ドアーム38のスライド位置を記憶する。次に、もう一
方のX位置センサ84bについても、X辺88が検出さ
れるスライド位置を探して、これを記憶する。一般に、
2個のX位置センサ84を結ぶ直線(Y方向に平行)
と、X辺88とは平行になっていないから、2個のX位
置センサ84a、84bによって検出されたスライド位
置は異なっている。この二つのスライド位置の差と、2
個のX位置センサ84の設置間隔(既知)とを用いて、
ガラス基板42のX辺88がY方向からどれだけ傾いて
いるか(傾き角)を制御装置で求めることができる。
にスライドさせて、2個のX位置センサ84でガラス基
板42のX辺88(X方向に垂直な辺)を検出する。こ
の検出方法を詳しく説明すると、スライドアーム38が
左に移動してX辺88が一方のX位置センサ84aに対
向する位置まで来ると、ガラス基板41からの反射光が
X位置センサ84aで検出されるようになり、X位置セ
ンサ84aの出力が増加する。この出力増加時のスライ
ドアーム38のスライド位置を記憶する。次に、もう一
方のX位置センサ84bについても、X辺88が検出さ
れるスライド位置を探して、これを記憶する。一般に、
2個のX位置センサ84を結ぶ直線(Y方向に平行)
と、X辺88とは平行になっていないから、2個のX位
置センサ84a、84bによって検出されたスライド位
置は異なっている。この二つのスライド位置の差と、2
個のX位置センサ84の設置間隔(既知)とを用いて、
ガラス基板42のX辺88がY方向からどれだけ傾いて
いるか(傾き角)を制御装置で求めることができる。
【0038】次に、図22(B)に示すように、上述の
傾き角だけ回転台36を回転する。このとき、ガイドレ
ール128とスライドアーム38とガラス基板42も一
緒に同じ角度だけ回転する。これにより、ガラス基板4
2のX辺88がY方向に平行となる。
傾き角だけ回転台36を回転する。このとき、ガイドレ
ール128とスライドアーム38とガラス基板42も一
緒に同じ角度だけ回転する。これにより、ガラス基板4
2のX辺88がY方向に平行となる。
【0039】次に、図22(C)に示すように、スライ
ドアーム38をスライドさせてX辺88がX位置センサ
84で検出できる位置までガラス基板42を移動させ
る。さらに、昇降台34を支柱32に沿って昇降させて
Y辺90がY位置センサ86で検出できる位置までガラ
ス基板42を移動させる。これにより、ガラス基板42
はX位置センサ84とY位置センサ86とで定まる所定
位置に来る。この状態で、真空吸着パッド82を上昇さ
せてガラス基板42を吸着保持し、スライドアーム38
による吸着を解除する。
ドアーム38をスライドさせてX辺88がX位置センサ
84で検出できる位置までガラス基板42を移動させ
る。さらに、昇降台34を支柱32に沿って昇降させて
Y辺90がY位置センサ86で検出できる位置までガラ
ス基板42を移動させる。これにより、ガラス基板42
はX位置センサ84とY位置センサ86とで定まる所定
位置に来る。この状態で、真空吸着パッド82を上昇さ
せてガラス基板42を吸着保持し、スライドアーム38
による吸着を解除する。
【0040】次に、図23に示すように、ガラス基板4
2を真空吸着パッド82に残した状態で、スライドアー
ム38だけを標準位置に戻す。すなわち、回転台36を
上述の傾き角だけ逆方向に回転して180°の回転位置
に戻すと共に、昇降台34を所定の上下位置に戻し、さ
らに、スライドアーム38を所定のスライド位置に戻
す。その後、真空吸着パッド82を下げてガラス基板4
2をスライドアーム38に載せ、スライドアーム38で
ガラス基板42を吸着してから、真空吸着パッド82に
よる吸着を解除する。これにより、所定位置にあるスラ
イドアーム38に所定の姿勢でガラス基板42が正しく
保持されたことになり、ガラス基板42のプリアライメ
ントが完了する。その後、ガラス基板42はワークテー
ブルに搬送される。
2を真空吸着パッド82に残した状態で、スライドアー
ム38だけを標準位置に戻す。すなわち、回転台36を
上述の傾き角だけ逆方向に回転して180°の回転位置
に戻すと共に、昇降台34を所定の上下位置に戻し、さ
らに、スライドアーム38を所定のスライド位置に戻
す。その後、真空吸着パッド82を下げてガラス基板4
2をスライドアーム38に載せ、スライドアーム38で
ガラス基板42を吸着してから、真空吸着パッド82に
よる吸着を解除する。これにより、所定位置にあるスラ
イドアーム38に所定の姿勢でガラス基板42が正しく
保持されたことになり、ガラス基板42のプリアライメ
ントが完了する。その後、ガラス基板42はワークテー
ブルに搬送される。
【0041】図24はガラス基板の全体的な搬送手順を
説明する図面であり、図2の矢印C方向から見た図面で
ある。基板搬送機構の移動台30を1対のレール28に
沿って図面の左右方向に移動して、取り出したいガラス
基板42のところまでスライドアーム38をもってく
る。そして、スライドアーム38を伸ばして、カセット
40から1枚のガラス基板42を取り出す。次に、移動
台30をプリアライメントテーブル41の位置まで移動
して、回転台36を180°回転し、ガラス基板42を
プリアライメントテーブル41に搬送する。そして、図
22と図23で示したようにプリアライメントを実施す
る。プリアライメントが完了したら、再びスライドアー
ム38でガラス基板を保持して、移動台30を測定ステ
ージ43のワークテーブル72の位置まで移動し、ワー
クテーブル72にガラス基板を載せる。その後、プロー
ブユニット45のプローブ針をガラス基板の電極に接触
させて、テスターでガラス基板の回路を検査する。そし
て、図14〜図18に示したように6個の液晶表示パネ
ルを順に検査する。検査が完了したら、スライドアーム
38を用いてガラス基板42をカセット40に戻す。
説明する図面であり、図2の矢印C方向から見た図面で
ある。基板搬送機構の移動台30を1対のレール28に
沿って図面の左右方向に移動して、取り出したいガラス
基板42のところまでスライドアーム38をもってく
る。そして、スライドアーム38を伸ばして、カセット
40から1枚のガラス基板42を取り出す。次に、移動
台30をプリアライメントテーブル41の位置まで移動
して、回転台36を180°回転し、ガラス基板42を
プリアライメントテーブル41に搬送する。そして、図
22と図23で示したようにプリアライメントを実施す
る。プリアライメントが完了したら、再びスライドアー
ム38でガラス基板を保持して、移動台30を測定ステ
ージ43のワークテーブル72の位置まで移動し、ワー
クテーブル72にガラス基板を載せる。その後、プロー
ブユニット45のプローブ針をガラス基板の電極に接触
させて、テスターでガラス基板の回路を検査する。そし
て、図14〜図18に示したように6個の液晶表示パネ
ルを順に検査する。検査が完了したら、スライドアーム
38を用いてガラス基板42をカセット40に戻す。
【0042】図25と図26はガラス基板の搬送手順を
図2の矢印D方向から見た図面である。カセット40か
らガラス基板42を取り出すときは、図25(A)に示
すように、回転台36の回転角度を0°(原点)にし
て、スライドアーム38を伸ばす。スライドアーム38
でガラス基板42を吸着したら、スライドアーム38を
引っ込めて図25(B)に示すアーム原点位置に戻す。
次に、回転台36を180°回転して、図26(A)に
示すように、スライドアーム38を測定部の方向に向け
る。その後、移動台30をプリアライメントテーブルの
位置にもっていって、図22と図23に示したようにプ
リアライメントを実施する。次に、図26(A)におい
て移動台30を手前に移動して測定ステージの位置にも
ってきて、スライドアーム38を伸ばして、図26
(B)に示すようにガラス基板42をガイドフレーム7
6とワークテーブル72のところまで搬送する。その
後、図14〜図18に示したようにガラス基板42を検
査する。
図2の矢印D方向から見た図面である。カセット40か
らガラス基板42を取り出すときは、図25(A)に示
すように、回転台36の回転角度を0°(原点)にし
て、スライドアーム38を伸ばす。スライドアーム38
でガラス基板42を吸着したら、スライドアーム38を
引っ込めて図25(B)に示すアーム原点位置に戻す。
次に、回転台36を180°回転して、図26(A)に
示すように、スライドアーム38を測定部の方向に向け
る。その後、移動台30をプリアライメントテーブルの
位置にもっていって、図22と図23に示したようにプ
リアライメントを実施する。次に、図26(A)におい
て移動台30を手前に移動して測定ステージの位置にも
ってきて、スライドアーム38を伸ばして、図26
(B)に示すようにガラス基板42をガイドフレーム7
6とワークテーブル72のところまで搬送する。その
後、図14〜図18に示したようにガラス基板42を検
査する。
【0043】図27はこの発明の検査装置の第2実施形
態の平面図であり、図28はその正面図、図29は背面
図である。この実施形態では、2個のカセット台24a
と一列になるように測定ステージ43a(図28を参
照)が配置されている。プリアライメントテーブル41
a(図29を参照)は搬送部18aの端部に配置されて
いる。このプリアライメントテーブル41aは図29の
右側の面(若干下向きの面)から右方向に真空吸着パッ
ドが突き出していて、スライドアーム38aから搬送さ
れてきたガラス基板はこの若干下向きの真空吸着パッド
で保持される。この実施形態では、スライドアーム38
aでカセットからガラス基板を取り出した後に、スライ
ドアーム38aを180°回転させることなくプリアラ
イメントテーブル41aと測定ステージ43aにガラス
基板を受け渡すことができる。
態の平面図であり、図28はその正面図、図29は背面
図である。この実施形態では、2個のカセット台24a
と一列になるように測定ステージ43a(図28を参
照)が配置されている。プリアライメントテーブル41
a(図29を参照)は搬送部18aの端部に配置されて
いる。このプリアライメントテーブル41aは図29の
右側の面(若干下向きの面)から右方向に真空吸着パッ
ドが突き出していて、スライドアーム38aから搬送さ
れてきたガラス基板はこの若干下向きの真空吸着パッド
で保持される。この実施形態では、スライドアーム38
aでカセットからガラス基板を取り出した後に、スライ
ドアーム38aを180°回転させることなくプリアラ
イメントテーブル41aと測定ステージ43aにガラス
基板を受け渡すことができる。
【0044】図30はこの発明の検査装置の第3実施形
態の平面図であり、図31はその正面図、図32は背面
図である。この実施形態は、搬送部18bと、測定ステ
ージ43b(図31を参照)と、プリアライメントテー
ブル41b(図32を参照)の配置関係は図27〜図2
9の第2実施形態と同様であるが、カセット台24bの
構造が異なっている。カセット台24bに回転機能はな
く、図31に示すように、ガラス基板42は最初から水
平面から75°だけ傾斜している。すなわち、カセット
40bを最初から傾斜させた状態で、カセット台24b
に搬入している。カセット台24bの傾斜台132はカ
セット40bを傾斜した状態で保持できる。カセット搬
送用のロボットアームはカセット40bを傾斜させてか
らこれを搬送する機能を備えている。この実施形態で
は、カセット台24bの回転機構を省略しているので、
図1に示す実施形態と比較して、2個のカセット台24
bの設置面積が小さくなり、装置全体が小型になる。
態の平面図であり、図31はその正面図、図32は背面
図である。この実施形態は、搬送部18bと、測定ステ
ージ43b(図31を参照)と、プリアライメントテー
ブル41b(図32を参照)の配置関係は図27〜図2
9の第2実施形態と同様であるが、カセット台24bの
構造が異なっている。カセット台24bに回転機能はな
く、図31に示すように、ガラス基板42は最初から水
平面から75°だけ傾斜している。すなわち、カセット
40bを最初から傾斜させた状態で、カセット台24b
に搬入している。カセット台24bの傾斜台132はカ
セット40bを傾斜した状態で保持できる。カセット搬
送用のロボットアームはカセット40bを傾斜させてか
らこれを搬送する機能を備えている。この実施形態で
は、カセット台24bの回転機構を省略しているので、
図1に示す実施形態と比較して、2個のカセット台24
bの設置面積が小さくなり、装置全体が小型になる。
【0045】
【発明の効果】この発明の検査装置は、表示パネル基板
を水平面に対して所定の傾斜角度で傾斜させた状態で、
表示パネル基板の収納、搬送、検査を実行するようにし
たので、大型の表示パネル基板を搬送する場合でも、こ
の表示パネル基板が重力で撓むことがなく、ストレスが
かからない。また、カセット内で複数の表示パネル基板
が一方向に揃うことによって姿勢が安定するので、カセ
ットから表示パネル基板を取り出す際に取り出し易い。
さらに、検査装置の占有面積も小さくなる。
を水平面に対して所定の傾斜角度で傾斜させた状態で、
表示パネル基板の収納、搬送、検査を実行するようにし
たので、大型の表示パネル基板を搬送する場合でも、こ
の表示パネル基板が重力で撓むことがなく、ストレスが
かからない。また、カセット内で複数の表示パネル基板
が一方向に揃うことによって姿勢が安定するので、カセ
ットから表示パネル基板を取り出す際に取り出し易い。
さらに、検査装置の占有面積も小さくなる。
【図1】この発明の検査装置の一実施形態の平面図であ
る。
る。
【図2】図1の検査装置の正面図と、基板搬送機構の移
動部分の正面図である。
動部分の正面図である。
【図3】図1の検査装置の背面図である。
【図4】カセット台を拡大して示した背面図である。
【図5】図4の5−5線断面図である。
【図6】カセット台の正面図である。
【図7】カセット台の回転ドラムを回転した状態の正面
図である。
図である。
【図8】回転ドラムの回転機構の別の例を示す正面図で
ある。
ある。
【図9】カセットを横倒しにするタイプの回転機構を示
す正面図である。
す正面図である。
【図10】測定ステージを図19のB方向から見た図で
ある。
ある。
【図11】測定ステージを図19のA方向から見た図で
ある。
ある。
【図12】ガイドフレームを右下に移動したときの測定
ステージの図面である。
ステージの図面である。
【図13】ボールネジ駆動機構の断面図である。
【図14】測定ステージの動作を説明する説明図であ
る。
る。
【図15】測定ステージの動作を説明する説明図であ
る。
る。
【図16】測定ステージの動作を説明する説明図であ
る。
る。
【図17】ガイドフレームの動作を説明する説明図であ
る。
る。
【図18】ガイドフレームの動作を説明する説明図であ
る。
る。
【図19】測定ステージの正面図である。
【図20】プリアライメントステージの正面図である。
【図21】スライドアームを用いてプリアライメントテ
ーブルにガラス基板を搬送する状態を示す側面図であ
る。
ーブルにガラス基板を搬送する状態を示す側面図であ
る。
【図22】プリアライメントの手順を示す工程図であ
る。
る。
【図23】プリアライメントの手順を示す工程図であ
る。
る。
【図24】ガラス基板の全体的な搬送手順を説明する説
明図である。
明図である。
【図25】ガラス基板の搬送手順を図2のD方向から見
た説明図である。
た説明図である。
【図26】ガラス基板の搬送手順を図2のD方向から見
た説明図である。
た説明図である。
【図27】この発明の検査装置の第2実施形態の平面図
である。
である。
【図28】第2実施形態の正面図である。
【図29】第2実施形態の背面図である。
【図30】この発明の検査装置の第3実施形態の平面図
である。
である。
【図31】第3実施形態の正面図である。
【図32】第3実施形態の背面図である。
【図33】カセット内でのガラス基板の姿勢について鉛
直姿勢とこの発明における姿勢とを示す側面図である。
直姿勢とこの発明における姿勢とを示す側面図である。
16 収納部 18 搬送部 20 測定部 22 テスター設置領域 24 カセット台 26 送りネジ 28 レール 30 移動台 32 支柱 34 昇降台 36 回転台 38 スライドアーム 40 カセット 41 プリアライメントテーブル 42 ガラス基板 43 測定ステージ 45 プローブユニット 46 回転ドラム 72 ワークテーブル 74 XYZθステージ 76 ガイドフレーム
Claims (8)
- 【請求項1】 ワークテーブルに載せた表示パネル基板
の電極にプローブ針を接触させて前記表示パネル基板を
検査する検査装置において、次の(イ)〜(ニ)を備え
る検査装置。(イ)複数の表示パネル基板を水平面に対
して65〜80°の傾斜角度で収納するカセット。
(ロ)表示パネル基板を載せるための載置面が水平面に
対して前記傾斜角度で傾斜しているワークテーブル。
(ハ)傾斜状態の表示パネル基板を前記カセットから1
枚ずつ取り出してその傾斜状態のままで前記ワークテー
ブルに搬送できる基板搬送機構。(ニ)前記ワークテー
ブルの載置面に対向して配置されたプローブユニット。 - 【請求項2】 水平面に対して前記傾斜角度で傾斜した
表示パネル基板を一時的に保持できるプリアライメント
テーブルを備え、前記基板搬送機構は前記カセットと前
記プリアライメントテーブルと前記ワークテーブルとの
間で表示パネル基板を搬送できることを特徴とする請求
項1記載の検査装置。 - 【請求項3】 前記傾斜角度を70〜75°にしたこと
を特徴とする請求項1または2に記載の検査装置。 - 【請求項4】 前記カセットは、カセットの中心の回り
に回転可能であり、この回転によって、水平に収納した
複数の表示パネル基板を前記傾斜角度まで傾斜させるこ
とを特徴とする請求項1記載の検査装置。 - 【請求項5】 前記検査装置は、前記カセットを備えた
収納部と、前記基板搬送機構を備えた搬送部と、前記ワ
ークテーブル及びプローブユニットを備えた測定部とを
有し、これらの収納部と搬送部と測定部とが平面視にお
いて概略L字形に配置され、このL字形の空所部分がテ
スター設置領域になっていることを特徴とする請求項1
記載の検査装置。 - 【請求項6】 次の(ホ)〜(ト)をさらに有すること
を特徴とする請求項1記載の検査装置。(ホ)前記ワー
クテーブルを取り囲むように配置されていて前記傾斜角
度で傾斜しているガイドフレーム。(ヘ)前記ワークテ
ーブルに対して前記ガイドフレームを、前記載置面に平
行な平面内で2次元方向に移動させるためのガイドフレ
ーム駆動機構。(ト)前記ガイドフレーム上に表示パネ
ル基板を一時的に保持するための保持手段。 - 【請求項7】 ワークテーブルに載せた表示パネル基板
の電極にプローブ針を接触させて前記表示パネル基板を
検査する検査方法において、次の(イ)〜(ホ)の段階
を備える検査方法。(イ)カセットに収納した複数の表
示パネル基板を水平面に対して65〜80°の傾斜角度
で保持する段階。(ロ)基板搬送機構を用いて前記カセ
ットから傾斜状態の表示パネル基板を1枚ずつ取り出し
て、その傾斜状態のままでプリアライメントテーブルに
搬送する段階。(ハ)前記プリアライメントテーブルを
利用して表示パネル基板を前記傾斜状態のままでプリア
ライメントする段階。(ニ)基板搬送機構を用いて前記
プリアライメントテーブルから前記ワークテーブルまで
表示パネル基板を前記傾斜状態のままで搬送する段階。
(ホ)前記ワークテーブル上に前記傾斜状態で保持され
た表示パネル基板の電極にプローブ針を接触させて表示
パネル基板を検査する段階。 - 【請求項8】 前記傾斜角度を70〜75°にしたこと
を特徴とする請求項7記載の検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8295877A JPH10123193A (ja) | 1996-10-18 | 1996-10-18 | 表示パネル基板の検査装置および検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8295877A JPH10123193A (ja) | 1996-10-18 | 1996-10-18 | 表示パネル基板の検査装置および検査方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10123193A true JPH10123193A (ja) | 1998-05-15 |
Family
ID=17826340
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8295877A Pending JPH10123193A (ja) | 1996-10-18 | 1996-10-18 | 表示パネル基板の検査装置および検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10123193A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008299021A (ja) * | 2007-05-30 | 2008-12-11 | Micronics Japan Co Ltd | 液晶パネル検査方法及び装置 |
CN100449362C (zh) * | 2005-06-03 | 2009-01-07 | 飞而康公司 | 液晶显示面板检测装置 |
WO2009078209A1 (ja) | 2007-12-18 | 2009-06-25 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | 薄膜太陽電池製造システム及び共通基板保管ラック |
WO2014068639A1 (ja) * | 2012-10-29 | 2014-05-08 | 富士機械製造株式会社 | 部品供給装置 |
-
1996
- 1996-10-18 JP JP8295877A patent/JPH10123193A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100449362C (zh) * | 2005-06-03 | 2009-01-07 | 飞而康公司 | 液晶显示面板检测装置 |
JP2008299021A (ja) * | 2007-05-30 | 2008-12-11 | Micronics Japan Co Ltd | 液晶パネル検査方法及び装置 |
WO2009078209A1 (ja) | 2007-12-18 | 2009-06-25 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | 薄膜太陽電池製造システム及び共通基板保管ラック |
WO2014068639A1 (ja) * | 2012-10-29 | 2014-05-08 | 富士機械製造株式会社 | 部品供給装置 |
US9781870B2 (en) | 2012-10-29 | 2017-10-03 | Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. | Component supply device |
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