JPH08262091A

JPH08262091A - 検査装置

Info

Publication number: JPH08262091A
Application number: JP7086177A
Authority: JP
Inventors: Yoichi Nakagome; 陽一中込; Hideto Yokomori; 秀人横森
Original assignee: TERU ENG KK; Tokyo Electron Ltd
Current assignee: TERU ENG KK; Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1995-03-18
Filing date: 1995-03-18
Publication date: 1996-10-11

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】ＬＣＤ用基板のアライメントを円滑且つ確実
に行なうことができるＬＣＤ用基板Ｓの検査装置を提供
する。【構成】本ＬＣＤ用基板Ｓの検査装置１０は、複数の
ＬＣＤ用基板Ｓが収納されたカセットＣを載置するカセ
ット載置部１３と、その上に載置されたカセットＣから
ＬＣＤ用基板Ｓを１枚ずつ出し入れする搬送装置１４
と、この搬送装置１４との間でＬＣＤ用基板Ｓを授受す
る基板載置台４４と、その上に載置されたＬＣＤ用基板
Ｓの電極パッドＰに接触して電気的検査を行なうプロー
ブ針５４Ａとを備え、カセットＣに帯電した静電気を除
去する第１イオナイザ２２Ａを設けると共に、搬送装置
１４による搬送時にＬＣＤ用基板Ｓに帯電した静電気を
除去する第２イオナイザ２２Ｄを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示体用基板（Ｌ
ＣＤ用基板）や半導体ウエハ等の被検査体の電気的検査
を行なう検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】被検査体、例えばＬＣＤ用基板は、ＴＦ
Ｔ型ＬＣＤの部品として用いられるものである。このＬ
ＣＤ用基板は例えばガラス基板表面に複数の電気回路が
成膜装置等の処理装置を用いてマトリックス状に形成さ
れたもので、表面の各電気回路はＬＣＤの画素データを
ＯＮ、ＯＦＦ制御に用いられる。これらの電気回路は後
にそれぞれを個々に分割し、使用するようにしている。
マトリックス状に配列された個々の電気回路には、その
周辺に図７で示すように電気的接点となる電極パッドＰ
が多数形成されている。そして、個々の電気回路の良否
を判定するための電気的検査はＬＣＤ用基板の状態のま
ま検査装置において各電極パッドＰにプローブ針を接触
させることによって行なわれている。尚、電気的検査を
行なう場合には、ＬＣＤ用基板を正確に位置決めした後
行なう必要があるため、ＬＣＤ用基板上のコーナー部に
は図７に示すように例えばクロスマークＭ₁、Ｍ₂などか
らなるアライメントマークが形成されている。

【０００３】上記ＬＣＤ用基板の検査装置は、一般に、
ＬＣＤ用基板を基板載置台に対してロード、アンロード
するハンドリング部と、このハンドリング部から受け取
ったＬＣＤ用基板の電気的検査を行なう検査部とを備え
ている。ハンドリング部はカセット内に例えば２５枚収
納されたＬＣＤ用基板を１枚ずつ取り出してハンドリン
グするように構成されている。このハンドリング部は、
例えばカセットを載置するカセット載置部と、このカセ
ット載置部に載置されたカセット内のＬＣＤ用基板を１
枚ずつ取り出して検査部へ搬送する搬送装置とを備えて
いる。また、検査部は、ハンドリング部の搬送装置から
受け取ったＬＣＤ用基板を保持する基板載置台と、この
基板載置台上に載置されたＬＣＤ用基板を照明しながら
アライメントマークを検出するアライメント機構と、こ
のアライメント機構の検出結果に基づいて駆動する基板
載置台によるアライメント後にＬＣＤ用基板の各電極パ
ッドと接触して電気的検査を行なうプローブ針とを備え
ている。

【０００４】従って、上記検査装置を用いてＬＣＤ用基
板等の被検査体の電気的検査を行なう場合には、被検査
体をカセット内に収納した状態でハンドリング部のカセ
ット載置部へ供給する。供給の仕方はオペレータがカセ
ット載置部へ直接載置する方法と、自動搬送車を用いて
カセット載置部へ自動的に載置する方法とがある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、カセッ
ト及び被検査体は、その基板がガラス板や半導体ウエハ
等の絶縁性材料によって形成されているため、検査装置
へ供給するまでにカセット及び被検査体は静電気を帯る
ことがある。ところが、従来の検査装置の場合には、こ
のように静電気を帯電した状態で検査装置へ供給し、そ
のまま被検査体の電気的検査を上述のように行なうと、
プローブ針と被検査体の電極パッドが接触する直前にガ
ラス基板等の基板に帯電した静電気が電極パッドとプロ
ーブ針との間で放電し、この放電により基板表面の電気
回路を損傷するなどの虞があり、延いては歩留りの低下
を招くという課題があった。

【０００６】一方、最近はＬＣＤ用基板や半導体ウエハ
等の被検査体及び電気回路の作製技術が著しく向上して
来ているため、被検査体が大型化すると共に電気回路が
微細化して来ている。そのため、このような被検査体は
帯電しやすく、しかも微細配線構造は放電により損傷し
やすくなって来ている。

【０００７】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、被検査体のが帯電した状態で供給されて
も、その静電気を除去して被検査体を損傷することなく
安定した電気的検査を行ない、歩留りを高めることがで
きる検査装置を提供することを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の検査装置は、複数の被検査体が収納されたカセットを
載置するカセット載置部と、このカセット載置部上に載
置されたカセットから被検査体を１枚ずつ出し入れする
搬送装置と、この搬送装置との間で被検査体を授受する
載置台と、載置台上に載置された被検査体の電極に接触
して電気的検査を行なうプローブ針とを備えた検査装置
において、上記搬送装置による搬送時に被検査体に帯電
した静電気を除去する静電除去装置を設けたことを特徴
とするものである。

【０００９】本発明の請求項２に記載の検査装置は、複
数の被検査体が収納されたカセットを載置するカセット
載置部と、このカセット載置部上に載置されたカセット
から被検査体を１枚ずつ出し入れする搬送装置と、この
搬送装置との間で被検査体を授受する載置台と、載置台
上に載置された被検査体の電極に接触して電気的検査を
行なうプローブ針とを備えた検査装置において、上記カ
セットに帯電した静電気を除去する第１静電除去装置を
設けると共に、上記搬送装置による搬送時に被検査体に
帯電した静電気を除去する第２静電除去装置を設けたこ
とを特徴とするものである。

【００１０】また、本発明の請求項３に記載の検査装置
は、請求項２に記載の発明において、上記第１静電気除
去装置を、上記カセット載置部に載置されたカセットの
両側に設けたことを特徴とするものである。

【００１１】また、本発明の請求項４に記載の検査装置
は、請求項１〜請求項３のいずれか一つに記載の発明に
おいて、上記搬送装置で搬送される被検査体に帯電した
静電気を除去する静電除去装置を、上記搬送装置が上記
載置台を待機する位置に設けたことを特徴とするもので
ある。

【００１２】また、本発明の請求項４に記載の検査装置
は、請求項１〜請求項４のいずれか一つに記載の発明に
おいて、上記各静電除去装置をそれぞれ首振り可能に設
けたことを特徴とするものである。

【００１３】

【作用】本発明の請求項１に記載の発明によれば、被検
査体が収納されたカセットをカセット載置部へ載置した
後、搬送装置がカセット内の被検査体を１枚ずつ取り出
して載置台へ搬送する。搬送装置で被検査体を搬送する
間にその被検査体に静電気除去装置が作用して被検査体
に帯電した静電気を除去する。被検査体の静電気を除去
した後、搬送装置から載置台へ被検査体を引き渡した
後、被検査体の電極にプローブ針を接触させて被検査体
の電気的検査を行なう。

【００１４】本発明の請求項２に記載の発明によれば、
被検査体が収納されたカセットをカセット載置部へ載置
すると、第１静電除去装置がカセットに作用して主とし
てカセットに帯電した静電気を除去する。その後、搬送
装置がカセット内の被検査体を１枚ずつ取り出して載置
台へ搬送するが、この間にその被検査体に第２静電気除
去装置が作用して被検査体に帯電した静電気を除去す
る。被検査体の静電気を除去した後、搬送装置から載置
台へ被検査体を引き渡した後、被検査体の電極にプロー
ブ針を接触させて被検査体の電気的検査を行なう。

【００１５】また、本発明の請求項３に記載の発明によ
れば、請求項２に記載の発明において、上記第１静電気
除去装置を、上記カセット載置部に載置されたカセット
の両側に設けたため、カセットの両側から第１静電気除
去装置が作用し、カセットの静電気をより確実に除去す
ることができる。

【００１６】また、本発明の請求項４に記載の発明によ
れば、請求項１〜請求項３のいずれか一つに記載の発明
において、上記搬送装置で搬送される被検査体に帯電し
た静電気を除去する静電除去装置を、上記搬送装置が上
記載置台を待機する位置に設けたため、載置台へ被検査
体を引き渡す直前に静電気除去装置が作用し、検査直前
の被検査体から静電気を除去することができる。

【００１７】また、本発明の請求項５に記載の発明によ
れば、請求項１〜請求項４のいずれか一つに記載の発明
において、上記第１、第２静電除去装置をそれぞれ首振
り可能に設けたため、カセット全体及び被検査体全体に
静電気除去作用を及ぼし、カセット及び被検査体の静電
気をより確実に除去することができる。

【００１８】

【実施例】以下、図１〜図７に示す実施例に基づいて本
発明を説明する。本実施例のＬＣＤ用基板の検査装置１
０は、例えば図１に示すように、ＬＣＤ用基板Ｓをロー
ド、アンロードするハンドリング部１１と、このハンド
リング部１１から受け取ったＬＣＤ用基板Ｓの電気的検
査を行なう検査部１２とを備えて構成されている。そし
て、これらのハンドリング部１１と検査部１２は互いに
隣合って並設されている。更に、ハンドリング部１１
は、ＬＣＤ用基板Ｓを例えば２５枚単位で収納するカセ
ットＣを載置する、カセット載置部１３と、このカセッ
ト載置部１３上に載置されたカセットＣ内のＬＣＤ用基
板Ｓを１枚ずつ取り出して検査部１２へ搬送する搬送装
置１４とを備えている。上記カセットＣの正面にはＬＣ
Ｄ用基板Ｓを出し入れする開口部が全面に形成されてい
る。また、カセットＣの内側面には図示しない支持溝が
上下方向で所定間隔をあけて形成され、これらの支持溝
によりＬＣＤ用基板Ｓを水平に支持するようにしてあ
る。

【００１９】また、本実施例のＬＣＤ用基板の検査装置
１０は、自動搬送車（図示せず）との間でカセットＣを
自動的に授受するように構成されている。即ち、ハンド
リング部１１の正面（図１の左側）を基準にした右側方
（図１では手前側）にはカセットＣを載置する上述のカ
セット載置部１３が２箇所に設けられており、これらの
カセット載置部１３は正面側から奥行方向（図１の右
側）に向けて所定間隔をあけて縦列に２箇所配置されて
いる。このカセット載置部１３は必要に応じて更に増設
することができる。そして、各カセット載置部１３には
自動搬送車のアーム（図示せず）が侵入する溝空間１５
が装置正面に対して平行に形成され、この溝空間１５内
でカセットＣを保持したアームが昇降し、カセットＣが
溝空間１５を跨いだ状態でカセット載置部１３上へカセ
ットＣを載置するようにしてある。従って、溝空間１５
の幅はカセットＣの幅よりも広く形成されている。尚、
上記自動搬送車は図示しないホストコンピュータとの交
信に基づいて前工程のＬＣＤ用基板Ｓをカセット単位で
検査装置１０まで搬送し、検査後には後工程へ搬送する
ようにしてある。また、図示してないがカセット載置部
１３にはカセットＣのコーナー部に係合する位置決め部
材が設けられている。

【００２０】また、ハンドリング部１１の側面にはカセ
ットＣを検出するカセット検出装置１６が溝空間１５の
両側に位置させて配設されている。このカセット検出装
置１６は、発光ダイオードなどからなる発光素子を有す
る発光部１６Ａと、この発光部１６Ａからの光線を受光
する受光素子を有する受光部１６Ｂとを備えたラインセ
ンサとして構成されている。これら発光部１６Ａ及び受
光部１６Ｂは溝空間１５の両側にカセットＣを挟むよう
に配設され、これら両者１６Ａ、１６Ｂ間での光線の遮
断によりカセットＣを検出し、それを認識するようにし
てある。また、ハンドリング部１１の側面には自動搬送
車との間で例えば光通信を行なう通信手段１７が各溝空
間１５の下方に位置させて配設され、この通信手段１７
が自動搬送車との間で光通信を行なうことによりカセッ
トＣの搬入、搬出動作を行なうようにしてある。

【００２１】また、カセット載置部１３の載置面には物
体検出装置１８が外側に偏倚させて配設されている。こ
の物体検出装置１８は、例えば正面側（図１では端左
側）に配設された発光部１８Ａと、最奥側（図１では右
端側）に配設された受光部１８Ｂとを備え、両者１８
Ａ、１８Ｂ間の光線によりカセットＣ及びそれ以外の物
体を検出するラインセンサとして構成されている。即
ち、自動搬送車との間でカセットＣの授受を行なうと、
発光部１８Ａからの光線が遮断され、カセットＣを授受
した旨の信号を図４に示す後述のコンピュータへ送信
し、搬送装置１４等の駆動部を作動させるようにしてあ
る。更に、カセットＣの通過範囲から外れた位置で光線
が遮断されれば、カセット検出装置１６によりカセット
Ｃを検出してもカセットＣ以外の物体が障害物としてハ
ンドリング部１１内に侵入した旨の信号をコンピュータ
へ送信し、各駆動部の作動を阻止すると共にパイロット
ライト等の警告灯１９を点燈したり、警告ブザーを鳴ら
して異常を知らせるようにしてある。

【００２２】上記カセット載置部１３にはカセットＣ内
に収納されたＬＣＤ用基板Ｓの収納枚数を計数する計数
装置２０が配設されている。この計数装置２０は発光部
２０Ａ及び受光部２０Ｂからなり、これら両者２０Ａ、
２０Ｂは溝空間１５の両側に形成された開口部２１に配
設されている。そして、発光部２０Ａと受光部２０Ｂは
溝空間１５の下方で連結され、ボールネジなどの駆動機
構（図示せず）により開口部２１において昇降するよう
に構成されている。従って、計数装置２０が開口部２１
において昇降する間に光線が遮断された回数などを計数
することによりＬＣＤ用基板Ｓの収納枚数を計数するよ
うにしてある。

【００２３】また、図１、図３に示すようにカセット載
置部１３の内方で溝空間１５の両側にはカセットＣの高
さをカバーする第１イオナイザ２２Ａがそれぞれ対をな
いして配設され、各イオナイザ２２Ａ、２２Ａによりカ
セットＣの両側からカセットＣに帯電した静電気を除去
するようにしてある。イオナイザ２２Ａは、上下に細長
形状に形成され、例えば図３に示すように、上下に縦列
に配列された複数の放電室ｒを有し、その内部に取り付
けられた一対の針ｎ、ｎ間で放電して発生するイオンを
カセットＣへ供給するようにしてある。各イオナイザ２
２Ａ、２２Ａは軸を介してモータｍに接続されている。
これにより、各イオナイザ２２Ａ、２２Ａはモータｍに
より同時に左右に所定角度だけ正逆回転するようにして
ある。図３では、モータｍが一方のイオナイザ２２Ａに
取り付けられたものを示しているが、一つのモータｍで
一対のイオナイザ２２Ａが駆動するようにした方が好ま
しい。

【００２４】更に、各イオナイザ２２Ａは放電用の電源
及びモータｍの駆動用電源はいずれもローダコントロー
ラ２２Ｂに接続されている。そして、このローダコント
ローラ２２Ｂは、図４に示すように、コンピュータ２２
Ｃからの信号に基づいてイオナイザ２２Ａを制御するよ
うにしてある。このコンピュータ２２Ｃには上記物体検
出装置１８が接続され、この物体検出装置１８からの信
号に基づいてローダコントローラ２２Ｂを介してイオナ
イザ２２Ａが作動するようにしてある。各イオナイザ２
２Ａは、ローダコントローラ２２Ｂの制御下で間欠的に
作動し、カセットＣでの帯電を常に防止するようにして
ある。

【００２５】また、上記搬送装置１４を用いてカセット
Ｃから検査部１２へＬＣＤ用基板Ｓを搬送する経路に
は、図５に示すように個々のＬＣＤ用基板Ｓに帯電した
静電気を除去する第２イオナイザ２２Ｄが配設されてい
る。この搬送経路は、カセット載置部１３と検査部１２
の間に形成されている。このイオナイザ２２Ｄは、搬送
経路の中でも検査部１２へＬＣＤ用基板Ｓを引き渡すた
めに待機する位置に配設されている。このイオナイザ２
２Ｄは第１イオナイザ２２Ａと同様に構成されている。
このイオナイザ２２Ｄのイオン供給部は、図５に示すよ
うに、搬送装置１４のロードアーム２６で支持されたＬ
ＣＤ用基板Ｓの上方にこれと対向するように配置され、
ＬＣＤ用基板Ｓの上方において所定の角度だけ正逆回転
することにより、イオンをＬＣＤ用基板Ｓ全面に供給す
るようにしてある。また、このイオナイザ２２Ｄの制御
系統は、例えば図４に示すように構成され、例えばロー
ドアーム２６に配設された基板センサ２２Ｅの検出信号
に基づいて所定時間を経過した後作動するようにしてあ
る。

【００２６】また、カセットＣの上方にはバーコードリ
ーダなどからなるカセット識別装置２３が配設され、こ
のカセット識別装置２３によりカセットＣ上面に形成さ
れたバーコードなどの識別符号２４を読取り、ＬＣＤ用
基板Ｓをロッド単位で識別すると共に、その読取り内容
に応じて検査部１２のコンピュータ及び検査部１２のコ
ントローラを介して検査部１２が動作するようにしてあ
る。この識別符号２４は検査内容を示す検査情報を表示
している。そして、ハンドリング部１１の状況はハンド
リング部１１内に設けられたＣＣＤカメラなどを介して
ハンドリング部１１正面の表示装置２５に表示するよう
にしてある。この表示装置２５は操作パネルとしても機
能するようにしてある。

【００２７】上記搬送装置１４は、図１に示すように、
カセット載置部１３と検査部１２の間に形成された空間
に配設され、この空間でＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向及びθ
方向で移動できるようにしてある。この搬送装置１４
は、上下に互いに平行に配置された２枚のアーム２６、
２７と、各アーム２６、２７を支持する支持板２８とを
有し、停止時には図１、図２に示すように奥行方向（Ｘ
方向）と直交するＹ方向を向いて配設されている。そし
て、上記各アーム２６、２７は支持板２８上で移動でき
るようにしてある。また、支持板２８は昇降駆動機構を
構成するボールネジ２９を介して下方の回転体３０に連
結されている。これにより、各アーム２６、２７は、ボ
ールネジ２９を介して上下方向（Ｚ方向）で移動し、回
転体３０を介してθ方向で正逆回転するようにしてあ
る。上記ボールネジ２９は、例えば図示しないナット
（またはウォームギヤー）及びモータにより回転するよ
うに構成されている。

【００２８】上記回転体３０は、図２に示すように、Ｘ
テーブル３１上に配設されている。このＸテーブル３１
の下方には正面側から最奥部に至る基台３２が配設さ
れ、この基台３２上面には正面側から最奥部に至るＸ方
向のボールネジ３３及びこのボールネジ３３を挟む一対
のレール３４がそれぞれ配設されている。そして、ボー
ルネジ３３にはＸテーブル３１の裏面に取り付けられた
ナット３５が螺合し、一対のレール３４にはＸテーブル
３１の裏面に取り付けられた係合部材３６が係合し、ボ
ールネジ３３に連結されたモータ３７により、Ｘテーブ
ル３１がカセット載置部１３に沿って往復移動するよう
にしてある。

【００２９】上記アーム２６、２７は例えばいずれも図
２に示すように同一形状に形成され、各アーム２６、２
７は互いに独立して駆動するようにしてある。そして、
例えば上方のアーム２６はカセットＣ内からＬＣＤ用基
板Ｓを取り出し、後述する検査部１２の基板載置台上へ
ＬＣＤ用基板Ｓをロードするアームとして用いられ、ま
た、下方のアーム２７は基板載置台から検査済みのＬＣ
Ｄ用基板Ｓをアンロードするアームとして用いられる。
従って、以下の説明では上方のアーム２６をロードアー
ム２６と称し、下方のアーム２７をアンロードアーム２
７と称する。また、各アーム２６、２７の上面には孔が
形成され、それぞれの裏面側に取り付けられた図示しな
い吸引配管及び真空排気装置（図示せず）を介してアー
ム上のＬＣＤ用基板Ｓを真空吸着するようにしてある。

【００３０】各アーム２６、２７はいずれも同様に構成
されているため、ロードアーム２６について説明する
と、ロードアーム２６は、図２に示すように、連結部材
３９を介してＹ方向駆動機構４０に連結されている。こ
れによりロードアーム２６は支持板２８上でＹ方向で往
復移動できるようになっている。このＹ方向駆動機構４
０は、支持板２８の長手方向側縁の先端部に配設された
モータ４０Ａと、支持板２８の長手方向側縁の後端部に
配設された回転ローラ４０Ｂと、これら両者４０Ａ、４
０Ｂ間に掛け回された無端状のタイミングベルト４０Ｃ
とを備え、このタイミングベルト４０Ｃに連結部材３９
を介してロードアーム２６が連結されている。また、ア
ンロードアーム２７は支持板２８上で上記Ｙ方向駆動機
構４０と同様に構成されたＹ方向駆動機構（図示せず）
に連結されている。従って、各アーム２６、２７は、そ
れぞれ支持板２８上をＹ方向で互いに独立して往復移動
するようになっている。これらの各部材はいずれも合成
樹脂などの絶縁性部材により形成されている。尚、Ｙ方
向駆動機構４０はボールネジなどによって構成されたも
のであっても良い。

【００３１】また、上記回転体３０上にはこの上でθ方
向に正逆回転するプリアライメント機構４２が配設さ
れ、このプリアライメント機構４２によりカセットＣか
ら受け取ったＬＣＤ用基板Ｓを検査部１２の基板載置台
に引き渡す前にプリアライメントするようにしてある。
このプリアライメント機構４２の載置面４２Ａには真空
吸着用の孔４２Ｂが形成され、この孔４２ＢによりＬＣ
Ｄ用基板Ｓを真空吸着するようにしてある。そして、支
持板２８には上記プリアライメント機構４２の上方で開
口する開口部２９Ａが形成され、ボールネジ２９により
ロードアーム２６及びアンロードアーム２７が下降した
時に、開口部２９Ａから支持板２８の上方へ突出し、各
アーム２６、２７からＬＣＤ用基板Ｓを受け取ってＬＣ
Ｄ用基板Ｓをプリアライメントするようにしてある。

【００３２】また、上記カセット載置部１３から検査部
１２へＬＣＤ用基板Ｓを搬送する経路にはロードアーム
２６上で支持されたＬＣＤ用基板Ｓの周縁の一部に形成
されたバーコード等の識別符号（図示せず）を読取る基
板識別装置４３が配設され、ロードアーム２６により検
査部１２へ引き渡すＬＣＤ用基板Ｓを１枚ずつ識別し、
その識別内容に従って電気的検査を行なうようにしてあ
る。尚、上記識別符号はＬＣＤ用基板Ｓの特徴を表わす
情報を表示してあり、この情報に従って検査部１２にお
いて検査するようにしてある。

【００３３】更に、上記検査部１２には基板載置台４４
が検査部１２に形成された空間内でＸ方向、Ｙ方向、Ｚ
方向及びθ方向で移動可能に配設されている。即ち、基
板載置台４４は、図１に示すように、Ｙテーブル４５上
に配設されている。このＹテーブル４５はＸテーブル４
６上面にそれぞれ配設されたボールネジ４７及びこの両
側のレール４８を介してＹ方向で移動するようにしてあ
る。また、Ｘテーブル４６は基台４９上面にそれぞれ配
設されたボールネジ５０及びこの両側のレール５１を介
してＸ方向で移動するようにしてある。

【００３４】上記基板載置台４４は、図１、図６に示す
ように、円形状の中央載置部４４Ａを上端に有するロッ
ド４４Ｂと、このロッド４４Ｂの中央載置部４４Ａを囲
む矩形状の周縁載置部４４Ｃと、この周縁載置部４４Ｃ
の下方に配設された筐体４４Ｄと、この筐体４４Ｄ内に
配設された駆動源例えばエアシリンダ４４Ｅとを備えて
いる。そして、周縁載置部４４Ｃの裏面にはエアシリン
ダ４４Ｅのシリンダロッドが連結され、エアシリンダ４
４Ｅにより周縁載置部４４Ｃがロッド４４Ｂの中央載置
部４４Ａから下降するようにしてある。これにより、本
実施例では、基板載置台４４の載置面４４ｃが、ＬＣＤ
用基板Ｓの中央部を面支持する中央載置部４４Ａと、こ
の中央載置部４４Ａの周縁でＬＣＤ用基板Ｓを支持する
周縁載置部４４Ｃとに分割されている。しかも、周縁載
置部４４Ｃがエアシリンダ４４Ｅを介して中央載置部４
４Ａから下降可能に構成されていることになる。

【００３５】また、上記検査部１２内のアライメント位
置には、図１に示すように、細長形状のアライメント機
構５２がＸ方向に向けてヘッドプレート上に固定されて
いる。このアライメント機構５２は、ＬＣＤ用基板Ｓを
保持した基板載置台４４がアライメント位置に達した時
に、図７で示すＬＣＤ用基板Ｓの一側縁に所定間隔をあ
けて形成された２つのアライメントマーク（例えば、ク
ロスマーク）Ｍ₁、Ｍ₂を検出し、これらのクロスマーク
Ｍ₁、Ｍ₂を基準にしてＬＣＤ用基板Ｓのアライメントを
行なうように構成されている。このアライメント機構５
２は基板載置台４４に配設されたＣＣＤカメラ（図示せ
ず）と協働してアライメントするようにしてある。

【００３６】また、上記ＣＣＤカメラは、図６に示すよ
うに、ヘッドプレート５３に固定されたプローブボード
５４のプローブ針５４Ａを撮像し、検査時の基準となる
例えば２本のプローブ針５４Ａに基づいて基板載置台４
４の位置決めを行なうようにしてある。この様子は検査
部１２の正面に配設された表示装置５５によって視認で
きるようにしてある。この基板載置台４４は、同図に示
すように、ＬＣＤ用基板Ｓを検査部１２のプローブ針５
４Ａの真下まで移動した後、基板載置台４４を上昇させ
てプローブ針５４ＡにＬＣＤ用基板Ｓの電極パッドＰ
（図７参照）をプローブ針５４Ａに接触させて電気的検
査を行なうようにしてある。尚、基板載置台４４とプロ
ーブ針間の距離は例えば静電容量センサなどからなるハ
イトセンサ（図示せず）により検出するようにしてあ
る。

【００３７】次に動作について説明する。ＬＣＤ用基板
を検査する場合には、まず、ホストコンピュータから自
動搬送車に対してＬＣＤ用基板の供給指令が送信され
る。自動搬送車は、この指令により前工程からカセット
単位でＬＣＤ用基板Ｓを受け取って検査装置１０まで走
行し、図１で示す検査装置１０の通信手段１７と対峙し
た位置で停止する。然る後、自動搬送車が通信手段１７
を介して検査装置１０との間で通信すると、検査装置１
０ではカセットＣの受け入れ態勢ができる。これにより
カセットＣを保持した自動搬送車のアームが駆動し、こ
のアームによるカセットＣの搬入動作が開始すると、ま
ずカセット検出装置１６がそのカセットＣを検出し、カ
セットＣの搬入を検出し、搬送装置１４などの駆動部が
始動する。次いでカセット載置部１３において物体検出
装置１８がそのカセットＣを検出すると駆動部はそのま
ま駆動すると共にカセットＣをカセット載置部１３上へ
載置する。ところがこの時、物体検出装置１８がカセッ
トＣと共に、カセットＣの通過範囲外でカセットＣ以外
の物体を検出すると、この物体が検査に不要な障害物の
侵入と判断し、各駆動部を緊急停止させる。

【００３８】障害物を検出することなくカセットＣを載
置すると、カセット識別装置２３がカセットＣのバーコ
ード２４を検出して検査すべきＬＣＤ用基板Ｓをロッド
単位で識別し、その識別結果を検査部１２の制御装置に
送信し、その識別結果に基づいた検査を行なう態勢を採
る。

【００３９】物体検出装置１８が上述のようにカセット
載置部１３上のカセットＣを検出すると、その検出信号
をコンピュータ２２Ｃへ送信する。コンピュータ２２Ｃ
は検出信号に基づいて第１イオナイザ２２Ａを作動させ
るための指令信号をローダコントローラ２２Ｂへ送信す
る。ローダコントローラ２２Ｂはこの指令信号に基づい
て第１イオナイザ２２Ａへ制御信号を送信する。第１イ
オナイザ２２Ａは、この制御信号に基づいて放電用電源
及び駆動用電源がＯＮになり、放電用針ｎ、ｎ間で放電
してイオンをカセットＣへ供給すると共に、モータｍに
よりイオン供給部を左右に振ってカセットＣの全側面に
イオンを供給し、カセットＣで帯電した静電気を除去し
て電気的に中和する。この時には主としてカセットＣの
静電気を除去する。

【００４０】一方、例えば搬送装置１４は先端をカセッ
ト載置部１３側に向け、ロードアーム２６及びアンロー
ドアーム２７が図２に示すように互いに上下の位置にあ
る。その態勢から昇降駆動機構のボールネジ２９が上述
のように駆動し、ロードアーム２６が支持板２８と共に
昇降して取り出すべきＬＣＤ用基板Ｓのやや下方に達す
ると、ボールネジ２９が停止する。引き続いてＹ方向駆
動機構４０のモータ４０Ａの正回転によりタイミングベ
ルト４０Ｃが回転すると、ロードアーム２６が支持板２
８上で前方に進出しカセットＣ内に侵入する。そして、
再びボールネジ２９が駆動し、ロードアーム２６でＬＣ
Ｄ用基板Ｓを持ち上げる。この時、ロードアーム２６の
基板センサ２２Ｅ（図４参照）がＬＣＤ用基板Ｓを検出
する。

【００４１】その後、Ｙ方向駆動機構４０のモータ４０
Ａが逆回転すると、タイミングベルト４０Ｃを介してロ
ードアーム２６がアンロードアーム２８の位置まで後退
する。ロードアーム２７が後退する途中で、プリアライ
メント機構４２によりＬＣＤ用基板Ｓのプリアライメン
トを行なう。ロードアーム２７が後退した後、搬送装置
１４はＸ方向へ移動し、検査部１２のアライメント位置
へ到達するが、この間に回転体３０がθ方向で１８０°
回転し、先端を検査部１２に向ける。

【００４２】引き続きＹ方向駆動機構４０が駆動し、ロ
ードアーム２６が検査部１２のアライメント位置へ進出
する前に一旦停止する。この時、ロードアーム２６の基
板センサ２２Ｅの検出信号をコンピュータ２２Ｃ及びロ
ーダコントローラ２２Ｂを介して第２イオナイザ２２Ｄ
の放電用電源及び駆動用電源がＯＮになり、イオンをＬ
ＣＤ用基板Ｓへイオンを供給すると共に、イオン供給部
を連続的に正逆回転してＬＣＤ用基板Ｓの全面にイオン
を供給し、ＬＣＤ用基板Ｓで帯電した静電気を除去して
電気的に中和する。その後、再びＹ方向駆動機構４０が
駆動し、ロードアーム２６のＬＣＤ用基板Ｓを基板載置
台４４上へ引き渡す。この時、基板載置台４４では、エ
アシリンダ４４Ｅにより周縁載置部４４Ｃが下降し、中
央載置部４４Ａ上でＬＣＤ用基板Ｓを保持し、周縁載置
部４４Ｃの上昇によりＬＣＤ用基板Ｓ全面を保持する。

【００４３】上述のようにして基板載置台４４によりＬ
ＣＤ用基板Ｓを保持すると、アライメント機構５２を介
してＬＣＤ用基板Ｓをアライメントする。アライメント
後、基板載置台４４がプローブボード５４のプローブ針
５４Ａの下方へ移動する。その後、基板載置台４４が上
昇し、ＬＣＤ用基板Ｓの電極パッドＰがプローブ針５４
Ａに接触する。この時、ＬＣＤ用基板Ｓは第１、第２イ
オナイザ２２Ａ、２２Ｄにより電気的に中和されている
ため、プローブ針５４Ａと電極パッドＰ間で放電するこ
とがなく、ＬＣＤ用基板Ｓの電極パッドＰなどの電気回
路を損傷することがない。従って、その後の検査を何等
支障なく行なうことができる。

【００４４】電気的検査の間に、搬送装置１４がカセッ
トＣまで移動して次のＬＣＤ用基板Ｓを取り出し、更
に、アライメント位置まで移動して検査の終了を待機す
る。待機している間に第２イオナイザ２２Ｄが作動して
そのＬＣＤ用基板Ｓの静電気を除去する。そして、検査
が終了すると、基板載置台４４がアライメント位置側に
来て既に待機している搬送装置１４と対峙する。その
後、搬送装置１４のアンロードアーム２７が基板載置台
４４に向けて進出し、検査済みのＬＣＤ用基板Ｓをアン
ロードする一方、ロードアーム２６が進出し、静電気が
除去されたＬＣＤ用基板Ｓを基板載置台４４上へロード
する。以後は同様の動作を繰り返す。

【００４５】そして、カセットＣ内の全てのＬＣＤ用基
板Ｓの検査が終了すると、検査部１２の制御装置からホ
ストコンピュータにその旨の信号を送信し、更に、ホス
トコンピュータは自動搬送車に搬出指令を送信し、自動
搬送車により検査済みのＬＣＤ用基板Ｓを検査装置１０
から搬出し、後工程へ搬送する。

【００４６】以上説明したように本実施例によれば、カ
セットＣに帯電した静電気を第１イオナイザ２２Ａによ
り除去すると共に、搬送装置１４で搬送されるＬＣＤ用
基板Ｓに帯電した静電気を第２イオナイザ２２Ｄにより
除去するようにしたため、検査部１２へ静電気を帯てい
ないＬＣＤ用基板Ｓを供給するとができる。従って、電
気的検査を行なう時に、プローブ針５４ＡにＬＣＤ用基
板Ｓの電極パッドＰが接触する直前にこれら両者５４
Ａ、Ｐ間で放電して電極パッドＰなどの電気回路を損傷
する虞がなく、延いては検査の歩留りを高めることがで
きる。特に、大型化し、電気回路が微細化したＬＣＤ用
基板Ｓにおいて本実施例の検査装置１０はその効果を発
揮する。

【００４７】また、本実施例によれば、カセット載置部
１３に載置されたカセットＣの両側に第１イオナイザ２
２Ａを設けたため、カセットＣの静電気をより確実に除
去することができる。また、第２イオナイザ２２Ｄを搬
送装置１４が基板載置台４４を待機する位置に設けたた
め、検査部１２へＬＣＤ用基板Ｓを供給する直前にその
静電気を第２イオナイザ２２Ｄにより除去することがで
き、検査までにＬＣＤ用基板Ｓが再び帯電する可能性を
最大限に防止することができ、より安定した検査を行な
うことができる。また、第２イオナイザ２２ＤによりＬ
ＣＤ用基板Ｓの静電気を確実に除去するようにしておけ
ば、第１イオナイザ２２Ａは省略することもできる。

【００４８】尚、本発明は、上記実施例に何等制限され
るものではなく、各構成要素は必要に応じて適宜設計変
更することができる。例えば、第１イオナイザ２２Ａは
カセットＣの上方に取り付けることができ、また、第２
イオナイザ２２Ｄは個々のＬＣＤ用基板Ｓの静電気を除
去できる位置であればその搬送経路のいずれの場所に設
けても良い。また、本実施例では全自動対応の検査装置
について説明したが、カセットの搬入、搬出をオペレー
タが行なう装置についても適用できることは言うまでも
ない。また、本発明の検査装置は半導体ウエハなどのの
検査装置についても適用することができる。

【００４９】

【発明の効果】本発明の請求項１〜請求項５に記載の発
明によれば、被検査体が帯電した状態で供給されても、
その静電気を除去して被検査体を損傷することなく安定
した電気的検査を行ない、歩留りを高めることができる
検査装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の検査装置の一実施例を示す全体斜視図
である。

【図２】図１に示す検査装置に用いられる搬送装置を示
す側面図である。

【図３】図１に示す検査装置のカセット載置部に設けら
れた第１イオナイザを示す一部を破断した斜視図であ
る。

【図４】図３に示す第１イオナイザを制御する制御系統
を示すブロック図である。

【図５】図１に示す搬送装置の搬送経路に設けられた第
２イオナイザを示す斜視図である。

【図６】図１に示す検査装置の基板載置台によりＬＣＤ
用基板をプローブ針に接触させる直前の状態を示す断面
図である。

【図７】ＬＣＤ用基板を示す平面図である。

【符号の説明】

１０検査装置１３カセット載置部１４搬送装置２２Ａ第１イオナイザ２２Ｄ第２イオナイザ５４Ａプローブ針Ｍ₁ クロスマークＭ₂ クロスマークＳＬＣＤ用基板Ｐ電極パッド

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０５Ｆ 3/04 Ｇ０１Ｒ 31/28 Ｋ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の被検査体が収納されたカセットを
載置するカセット載置部と、このカセット載置部上に載
置されたカセットから被検査体を１枚ずつ出し入れする
搬送装置と、この搬送装置との間で被検査体を授受する
載置台と、載置台上に載置された被検査体の電極に接触
して電気的検査を行なうプローブ針とを備えた検査装置
において、上記搬送装置による搬送時に被検査体に帯電
した静電気を除去する静電除去装置を設けたことを特徴
とする検査装置。
【請求項２】複数の被検査体が収納されたカセットを
載置するカセット載置部と、このカセット載置部上に載
置されたカセットから被検査体を１枚ずつ出し入れする
搬送装置と、この搬送装置との間で被検査体を授受する
載置台と、載置台上に載置された被検査体の電極に接触
して電気的検査を行なうプローブ針とを備えた検査装置
において、上記カセットに帯電した静電気を除去する第
１静電除去装置を設けると共に、上記搬送装置による搬
送時に被検査体に帯電した静電気を除去する第２静電除
去装置を設けたことを特徴とする検査装置。
【請求項３】上記第１静電気除去装置を、上記カセッ
ト載置部に載置されたカセットの両側に設けたことを特
徴とする請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】上記搬送装置で搬送される被検査体に帯
電した静電気を除去する静電除去装置を、上記搬送装置
が上記載置台を待機する位置に設けたことを特徴とする
請求項１〜請求項３のいずれか一つに記載の検査装置。
【請求項５】上記各静電除去装置をそれぞれ首振り可
能に設けたことを特徴とする請求項１〜請求項４のいず
れか一つに記載の検査装置。