KR100261325B1 - 기판검사방법 및 기판검사장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시체(LCD)용 유리기판이나 반도체웨이퍼와 같은 기판의 전기적 특성을 검사하는 기판검사방법 및 장치에 관한 것으로서,
기판이 재치되는 재치대의 위치정보 및 접촉자의 위치정보를 초기설정데이터로서 미리 기억해 두는 공정과, 재치대에 대하여 일정 거리의 위치에 설치된 제 1 위치맞춤부재를 재치대와 함께 이동시키고, 이 제 1 위치맞춤부재를 접촉자에 대하여 일정거리의 위치에 고정된 제 2 위치맞춤부재에 대하여 얼라인하는 교정공정과, 이 교정위치로부터 접촉자/패드의 상호접촉위치까지의 거리를 미리 기억된 초기설정데이터를 기초로 하여 산출하고, 그 산출결과를 기초로 하여 재치대를 이동시키고 패드를 접촉자에 대하여 위치결정하는 공정과, 재치대상의 기판의 패드를 접촉자에 접촉시키고 기판의 패턴회로에 테스트신호를 보내어 이를 검사하는 공정을 갖는 것을 특징으로 한다.

Description

기판검사방법 및 기판검사장치
TFT형 LCD에는 그 부품으로서 LCD의 화소를 ON, OFF제어하는 전기회로가 형성된 유리기판이 LCD용 기판으로서 이용되고 있다. 그리고 이 LCD용 기판에는 복수의 전기회로가 성막장치 등의 처리장치를 이용하여 매트릭스상으로 형성되고 후에 각각을 개개로 분할하여 사용하도록 하고 있다. 매트릭스상으로 배열된 개개의 전기회로에는 그 주변에 전기적 접점이 되는 패드가 다수 형성되어 있다. 그리고 개개의 전기회로의 좋고 나쁨을 판정하기 위한 전기적 검사는 LCD용 기판의 상태인 채 검사장치에 의하여 실시되고 있다. 또한 전기적 검사를 실시하는 경우에는 LCD용 기판을 정확하게 위치결정한 후 실시할 필요가 있기 때문에 LCD용 기판상의 코너부에는 예를 들면 크로스마크 등으로 이루어지는 얼라인먼트마크가 형성되어 있다.
그런데 LCD프로버에 있어서는 기판을 프로브바늘에 대하여 얼라인먼트한 후에 기판의 패드를 프로브바늘 끝에 접촉도통시키고 테스트신호를 회로에 보내어 그 전기적 특성을 검사한다.
기판을 얼라인먼트한 후에 검사하는 검사방법으로서는 일본 특허 공고공보87-31825호에 기재된 방법을 들 수 있다. 이 검사방법에서는 한쪽의 TV카메라로 기판을 촬영하는 동시에 다른쪽의 TV카메라로 패드와 프로브바늘의 접촉부분을 촬영하고 이들 2개의 화상이 공통의 화면상에서 서로 겹치도록 기판을 이동시킴으로써 기판측의 패드를 프로브바늘에 얼라인한다.
그러나 이 종래의 검사방법에서는 프로브바늘을 패드(P)에 맞붙여서 실시하는 검사를 반복하면 바늘끝에 파티클이 부착하여 프로브바늘의 바늘끝을 인식할 수 없게 될 염려가 있다. 또 바늘끝의 더러움이나 바늘끝 표면의 산화 등에 의해 촬상시의 바늘끝의 프로필콘트래스트가 변화하여 인식하기 어렵게 될 염려가 있다. 그 때문에 프로브바늘의 위치맞춤정밀도가 저하하거나 얼라인먼트시간에 흐트러짐을 발생시킨다.
그런데 상기 검사장치는 일반적으로 LCD용 기판을 기판재치대에 대하여 로드, 언로드하는 핸들링부와, 이 핸들링부로부터 받은 LCD용 기판의 전기적 검사를 실시하는 검사부를 구비하고 있다. 핸들링부는 카세트내에 예를 들면 25장 수납된 LCD용 기판을 1장씩 꺼내어 핸들링하도록 구성되어 있다. 이 핸들링부는 예를 들면 카세트를 재치하는 카세트재치부와, 이 카세트재치부에 재치된 카세트내의 LCD용 기판을 1장씩 꺼내어 검사부에 반송하는 반송장치를 구비하고 있다. 또 검사부는 핸들링부의 반송장치로부터 받은 기판을 지지하는 기판재치대와, 이 기판재치대상에 재치된 기판을 조명하면서 도 2에 나타내는 얼라인먼트마크(M1, M2)를 검출하는 얼라인먼트기구와, 이 얼라인먼트기구의 검출결과를 기초로 하여 구동하는 기판재치대에 의한 얼라인먼트후에 기판의 각 패드(P)와 접촉하여 전기적 검사를 실시하는 프로브수단을 구비하고 있다.
또 검사장치는 얼라인먼트기구에 의해 검출된 얼라인먼트마크(M1, M2)를 촬상하는 CCD카메라, 이 CCD카메라로부터의 신호를 화상처리하는 화상처리수단 및 화상처리후의 신호를 수신하여 얼라인먼트마크(M1, M2)를 화상으로서 표시하는 표시장치를 구비하고 있다. 또 기판재치대는 재치면의 내측에 승강핀을 갖고 있다. 이들 승강핀은 재치면으로부터 돌출했을 때에 기판을 받아서 점지지한 후 재치면으로부터 퇴몰하여 기판을 재치면상에 소프트랜딩하게 되어 있다. 이 재치면의 표면에는 흡착용 홈이 형성되고, 이 흡착용 홈을 통하여 기판을 재치면상에서 진공척하여 기판을 고정하게 되어 있다.
그러나 종래의 검사장치의 경우에는 검사부의 기판재치대가 알루미늄 등의 금속에 의해 형성되고, 그 표면에 광택이 있으며, 또한 그 재치면이 LCD용 기판의 면적보다도 크기 때문에 기판재치대상에 기판을 재치하면 재치면의 외주틀부가 기판으로부터 외측으로 튀어나와 있다. 따라서 얼라인먼트시에 LCD용 기판을 조명하면 기판재치대의 LCD용 기판으로부터 튀어나온 부분에서 조명광을 전체반사하여 그 반사광이 CCD카메라에 입사하고, 이를 얼라인먼트마크(M1, M2)와 함께 화상처리하기 때문에 표시장치의 화면에서 헐레이션을 일으켜 버려서 얼라인먼트마크(M1, M2)가 불선명해진다.
또 일반적으로는 LCD용 기판은 사이즈가 세로 370mm×가로 470mm×두께 1. 1mm였지만 최근의 LCD용 기판은 이보다 대형이며 얇고 예를 들면 그 사이즈가 세로 550mm×가로 650mm×두께 0. 7mm로 되어 오고 있다. 그 때문에 종래의 검사장치에서는 검사부의 기판재치대에 의해 기판을 받을 때에 기판재치대에서는 복수의 승강핀에 의해 기판을 점지지하고 있기 때문에 그 지지상태가 불안정하게 된다. 또한 승강핀을 내릴 때에 기판(2)의 둘레틀부분이 상하로 흔들리기 때문에 재치면에 대한 소프트랜딩이 불안정해진다.
또 종래의 기판재치대에 있어서는, 그 재치면에 형성된 흡착용 홈이 예를 들면 1개씩 소정 간격을 두고 외주로부터 안쪽을 향하여 일률적으로 형성되고, 또한 각 흡착용 홈에 설치된 흡인구멍 및 흡인통로를 통하여 진공배기하게 되어 있다. 이 때문에 각 흡착용 홈에 대하여 개별적으로 흡인구멍 및 흡인통로를 설치하지 않으면 안되어 흡인통로가 많고 진공척구조가 복잡해진다.
또한 종래의 장치에 의해 LCD용 기판을 핸들링반송하면 LCD용 기판이 아암상에서 크게 휘어져서 카세트(C)에서의 LCD용 기판의 출입을 원활하게 실시하는 것이 어려워지고 있다. 즉 도 1에 나타내는 바와 같이 종래의 반송장치의 아암(1)은 LCD용 기판(2)을 폭중앙의 한곳만에 지지하게 되어 있다. 이 때문에 아암(1)에 의하여 카세트(C)내에서 LCD용 기판(2)을 들어 올려서 꺼내려고 하면 기판끼리의 충돌이 발생한다. 즉 도 21에 나타내는 바와 같이 기판(2a)의 양단부가 크게 휘어지고, 그 기판(2a)이 지지부(C1)로부터 완전히 들어올려져 버리기 전에, 그 바로 위의 지지부(C2)에 지지된 기판(2b)에 기판(2a)의 중앙부가 접촉해 버린다.
또 검사장치에 도착하기 전에 카세트(C) 및 기판(2)은 정전기를 띠고 있는 일이 있다. 그런데 종래의 검사장치에서는 이와 같이 대전(챠지업)한 상태에서 프로브테스트하면 프로브바늘과 패드(P)의 양자간에서 방전이 발생해 버리고, 이에 따라 기판의 패턴회로가 손상을 받는 일이 있다. 특히 근래의 기판(2)은 챠지업하기 쉽고, 또한 회로패턴은 초미세화해 오고 있기 때문에 방전손상을 받기 쉬워지고 있다.
본 발명의 목적으로 하는 점은 검사대상이 되는 기판과 검사부의 프로브바늘을 고정밀도로 위치맞춤할 수 있는 검사방법을 제공하는 것에 있다.
본 발명의 목적으로 하는 점은 LCD용 기판의 크기와는 관계 없이 기판의 흡착지지 및 얼라인먼트를 원활하며, 또한 확실하게 실시할 수 있는 기판의 검사장치를 제공하는 것에 있다.
또한 본 발명의 목적으로 하는 점은 대형이며 두께가 얇은 LCD용 기판을 카세트에 원활하게 출입시킬 수 있고, 또한 기판을 안정되며, 또한 확실하게 지지하여 반송할 수 있는 반송장치를 구비한 기판의 검사장치를 제공하는 것에 있다.
또한 본 발명의 목적으로 하는 점은 기판 또는 카세트가 대전(챠지업)한 상태이어도 기판에 형성된 패턴회로를 손상하는 일 없이 검사할 수 있는 기판의 검사장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명은 액정표시체(LCD)용 유리기판이나 반도체웨이퍼와 같은 기판의 전기적 특성을 검사하는 기판검사방법 및 장치에 관한 것이다.
도 1은 종래의 반송장치의 일부를 확대하여 나타내는 사시도.
도 2는 LCD용 기판의 개요를 나타내는 평면모식도.
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에 관련되는 기판검사장치를 나타내는 평면도.
도 4는 제 1 실시형태의 기판검사장치의 일부를 나타내는 확대평면도.
도 5A는 제 1 실시형태의 기판검사장치의 일부를 절개하여 한쪽에서 보아 나타내는 도면.
도 5B는 얼라인먼트기구의 일부를 나타내는 평면도.
도 6은 제 1 실시형태의 기판검사장치의 구동기구를 모식적으로 나타내는 사시도.
도 7은 제 1 실시형태의 기판검사장치의 일부를 절개하여 한쪽에서 보아 나타내는 도면.
도 8은 얼라인먼트핀을 구비한 프로브카드를 나타내는 사시도.
도 9는 기판검사장치의 제어회로를 나타내는 블록도.
도 10은 LCD용 기판을 나타내는 평면도.
도 11은 패드와 프로브바늘의 위치맞춤방법을 나타내는 흐름도.
도 12는 패드와 프로브바늘의 위치맞춤방법을 설명하기 위해 LCD용 기판을 모식적으로 나타내는 XY좌표축도.
도 13은 본 발명의 제 2 실시형태에 관련되는 기판검사장치를 나타내는 사시도.
도 14는 기판검사장치에 설치되는 LCD기판반송장치를 한쪽에서 보아 나타내는 도면.
도 15는 재치대의 재치면 근처를 나타내는 단면도.
도 16A는 재치대의 진공흡착기구를 나타내는 기구블록도.
도 16B는 재치대의 진공흡착기구를 나타내는 부분확대도.
도 17A, 도 17B의 각각은 LCD기판의 수수를 설명하기 위해 재치대를 절개하여 나타내는 단면도.
도 18은 얼라인먼트기구를 나타내는 단면도.
도 19는 기판을 반송하는 반송장치를 나타내는 평면도.
도 20은 본 발명의 반송아암으로 지지된 LCD기판을 나타내는 정면도.
도 21은 종래의 반송아암으로 지지된 LCD기판을 나타내는 정면도.
도 22는 LCD카세트 및 반송장치를 나타내는 평면도.
도 23은 제 1 이오나이저를 구비한 LCD카세트를 나타내는 사시도.
도 24는 제 1 및 제 2 이오나이저의 제어블록도.
도 25는 반송장치의 반송경로에 설치된 제 2 이오나이저를 나타내는 사시도.
도 26은 LCD용 기판의 패드를 프로브바늘에 접촉시키기 직전 상태의 장치를 나타내는 단면도이다.
본 발명에 관련되는 기판검사방법은 접촉자에 대하여 기판의 패드를 위치맞춤하고 패드를 접촉자에 접촉시켜서 기판에 형성된 패턴회로에 테스트신호를 보내어 이를 검사하는 기판검사방법에 있어서,
기판이 재치되는 재치대의 위치정보 및 접촉자의 위치정보를 초기설정데이터로서 미리 기억해 두는 공정과, 재치대에 대하여 일정거리의 위치에 설치된 제 1 위치맞춤부재를 재치대와 함께 이동시키고, 이 제 1 위치맞춤부재를 접촉자에 대하여 일정거리의 위치에 고정된 제 2 위치맞춤부재에 대하여 얼라인하는 교정(交正)공정과, 이 교정위치로부터 접촉자/패드의 상호접촉위치까지의 거리를 미리 기억된 초기설정데이터를 기초로 하여 산출하고, 그 산출결과를 기초로 하여 재치대를 이동시키며 패드를 접촉자에 대하여 위치결정하는 공정과, 재치대상의 기판의 패드를 접촉자에 접촉시키고 기판의 패턴회로에 테스트신호를 보내어 이를 검사하는 공정을 갖는다.
본 발명에 관련되는 기판검사장치는 검사되어야 할 패턴회로에 접속된 다수의 패드를 갖는 기판이 재치되는 재치대와, 이 재치대상의 기판의 패드에 각각 접촉되는 다수의 접촉자를 구비한 검사부와, 기판이 재치되는 재치대의 위치정보 및 접촉자의 위치정보를 각각 파악하고, 이들 정보를 초기설정데이터로서 미리 기억해 두는 초기설정수단과, 상기 검사부의 접촉자의 위치를 검출하는 제 1 검출수단과, 상기 재치대상의 기판의 위치를 검출하는 제 2 검출수단과, 제 1 및 제 2 검출수단에 의해 각각 얻어진 위치검출결과와, 상기 초기설정수단으로부터 불러낸 초기설정데이터를 기초로 하여 재치대상에 있어서의 기판의 위치어긋남량을 산출하는 연산수단과, 산출된 상기 위치어긋남량을 기초로 하여 상기 재치대를 상기 검사부로 이동시키고 기판의 패드를 접촉자에 접촉시키는 이동수단을 갖는다.
기판을 위치결정할 때에 검사부 근처에 설치된 위치맞춤용의 기준체(제 2 위치맞춤부재)의 위치를 검출하고, 이 검출값에 의해 미리 기억된 기판에 맞붙게 하는 검사부의 맞붙음위치를 구하고, 이 맞붙음위치에 기판을 재치한 재치대를 이동하여 위치결정하기 때문에 기판의 위치맞춤의 정밀도를 일정하게 유지할 수 있다.
본 발명에 관련되는 기판검사장치는 얼라인먼트마크부착의 액정표시체용 기판이 재치되는 재치대와, 이 재치대상의 액정표시체기판의 패드에 각각 접촉되는 다수의 접촉자를 구비한 검사부와, 상기 재치대상의 액정표시체용 기판에 빛을 조사하면서 상기 얼라인먼트마크를 검출하는 검출수단과, 상기 얼라인먼트마크의 검출결과를 기초로 하여 기판과 접촉자를 위치맞춤하고 패드를 접촉자에 접촉시켜서 기판의 회로를 테스트하는 수단을 구비하고, 상기 재치대는 빛의 반사율을 저감하는 광택제거처리된 기판재치면을 갖는다.
얼라인먼트기구를 이용하여 재치대상의 기판을 조명하여 얼라인먼트마크를 검출하고, 이 얼라인먼트마크를 기준으로 하여 기판을 얼라인먼트한 후에 기판을 테스트한다. 이 얼라인먼트시에 재치대의 재치면의 표면에는 광택제거처리가 실시되어 있기 때문에 기판으로부터 튀어나온 재치면에서는 조명광이 난반사하여 반사광에 기인한 헐레이션을 초래하는 일이 없이 기판의 얼라인먼트마크를 선명하게 검출할 수 있다. 따라서 얼라인먼트마크를 기준으로 한 얼라인먼트를 정확하게 실시할 수 있다.
본 발명에 관련되는 기판검사장치는 검사되어야 할 패턴회로에 접속된 다수의 패드를 갖는 기판이 재치되는 재치대와, 이 재치대상의 기판의 패드에 각각 접촉되는 다수의 접촉자를 구비한 검사부와, 복수의 기판이 수납되는 적어도 1개의 카세트를 갖는 로드/언로드부와, 이 로드/언로드부의 카세트내로부터 기판을 실질적으로 수평으로 반출하고, 또는 카세트내에 기판을 실질적으로 수평으로 반입하는 아암을 갖는 반송수단과, 이 아암은 기판을 지지했을 때에 발생하는 기판의 휘어짐을 적어도 3곳으로 분산시킨다.
아암으로 기판을 들어 올렸을 때에 기판의 휘어짐이 3곳으로 분산하기 때문에 기판중앙부 및 양단부의 어느쪽에 있어서도 종래보다도 휘어짐량이 작아진다.
이하 첨부한 도면을 참조하면서 본 발명의 여러 가지 바람직한 실시형태에 대하여 설명한다. 본 실시형태에서는 LCD프로버에 적용한 경우에 대하여 설명한다.
도 3에 나타내는 바와 같이 LCD프로버(100)는 반입반출부(101)와, 반송부(102)와, 검사부(103)를 구비하고 있다. 반입반출부(101)는 X축방향으로 연장되는 테이블을 구비하고, 이 테이블상에 복수개의 카세트(12)가 재치되게 되어 있다. 카세트(12)에는 검사전 또는 검사완료의 LCD기판(2)이 수납되어 있다. 반송부(102)는 반입반출부(101)와 검사부(103)의 사이에 설치되고 기판(2)을 반송하기 위한 다관절아암을 갖는 핸들러(104)를 구비하고 있다. 검사부(103)는 재치부(105), 측정부(106) 및 테스터(도시하지 않음)를 구비하고 있다.
다음으로 도 4∼도 10을 참조하면서 검사부(103)에 대하여 설명한다.
도 4 및 도 5A에 나타내는 바와 같이 재치부(105)는 재치대(3)상의 기판(2)을 소정 위치에 위치결정하기 위한 광학위치결정기구(4)와, 재치대(3)를 이동시키는 이동기구(5∼8)를 구비하고 있다. 광학위치결정기구(4)는 카메라구동회로(46)를 통하여 콘트롤러(23)에 각각 접속된 제 1 및 제 2 CCD카메라(34a)(34b)와 투명유리판(38)을 구비하고 있다. 제 1 CCD카메라(34a)는 위를 향해 재치대의 측면부에 부착되어 있다. 이 제 1 CCD카메라(34a)는 재치대(3)와 함께 이동 가능하게 되어 있다. 한편 제 2 CCD카메라(34b)는 아래를 향해 헤드플레이트(24)에 부착되어 있다.
도 5B에 나타내는 바와 같이 제 1 CCD카메라(34a)의 대물렌즈의 전방에 크로스마크부(39)부착의 투명유리판(38)이 배치되어 있다. 도 5A에 나타내는 바와 같이 재치부(105)의 X스테이지(6)를 테스트포지션(또는 홈포지션)으로부터 얼라인먼트교정위치까지 X축방향으로 이동시키고 제 1 CCD카메라(34a)를 제 2 CCD카메라(34b)의 바로 아래에 위치시킴으로써 재치대(3)를 프로브바늘(32)에 대하여 얼라인먼트교정한다.
도 5A에 나타내는 바와 같이 측정부(106)는 헤드플레이트(24)의 개구부(24a)에 설치되어 있으며 테스트포지션(홈포지션)에 위치하는 재치부(105)에 대향하고 있다. 헤드플레이트(24)는 X스테이지(6)의 X축방향의 이동영역을 커버하도록 설치되어 있다. 또한 프로브보드(25)는 검사대상회로에 테스트신호를 보내는 테스터(도시하지 않음)와 전기적으로 접속되어 있다.
도 7에 나타내는 바와 같이 프로브보드(25)의 하면에는 다수의 프로브바늘(32)열이 설치되어 있다. 이들 프로브바늘(32)의 열은 각 기판(2)상의 전극패드열에 대응하여 배열되어 있다. 또한 프로브보드(25)는 헤드플레이트(24)의 개구부(24a)의 둘레틀에 홀더(26)를 통하여 고정되어 있다.
도 8에 나타내는 바와 같이 프로브바늘(32)로부터 일정거리만큼 떨어진 위치에 복수개의 얼라인먼트핀(33)이 각각 설치되어 있다. 각 얼라인먼트(33)는 프로브바늘(32)을 소정의 위치에 설정하기 위한 위치맞춤용에 이용된다. 각 얼라인먼트핀(33)의 길이는 프로브바늘(32)의 길이보다도 충분히 짧다. 즉 검사시에 프로브바늘(32)의 바늘끝을 패드에 밀어내서 바늘(32)의 길이가 약간 짧아진 경우이어도 얼라인먼트핀(33)은 프보브바늘(32)보다도 짧다. 이 얼라인먼트핀(33)은 산화에 의해 표면의 콘트래스트가 변화하지 않는 스테인레스강과 같은 내산화성의 재료로 형성되는 것이 바람직하다.
재치대(105)는 기판(2)을 재치하기 위한 재치대(3)를 갖는다. 이 재치대(3)에는 진공흡착용의 홈(도 16A 참조)이 설치되어 있으며 재치대(3)의 상면에 LCD기판(2)이 진공흡착지지되게 되어 있다.
재치대(3)의 측면부에는 제 1 CCD카메라(34a)가 위를 향해 부착되어 있다. 이 제 1 CCD카메라(34a)는 재치대(3)의 X축 이동면부의 전방 또는 후방에 설치되고 측정부(106)를 촬영할 수 있는 위치에 재치대(3)와 함께 이동되게 되어 있다.
또 스테이지(3)가 X축방향의 검사위치로 이동할 때에 제 1 CCD카메라(하카메라)(34a)에서 프로브보드(25)의 얼라인먼트핀(33)을 촬영할 수 있다. 이 촬영의 대상은 프로브보드(25)의 기준이 되는 적어도 2개의 얼라인먼트핀(33)이다. 예를 들면 도8에 나타내는 바와 같이 도 2의 CCD카메라(상카메라)(34b)로부터 가장 가까운 위치의 얼라인먼트핀(33A)과 제 2 CCD카메라(34b)로부터 가장 먼 위치의 얼라인먼트핀(33Z)을 촬영하도록 설정되어 있다.
또한 최근 얼라인먼트핀(33A)으로부터 가장 먼 얼라인먼트핀(33Z)까지의 거리는 일정하다. 또 각 얼라인먼트핀(33)과 바로 옆의 프로브바늘(32)의 상호간 거리(L2)도 각각 일정하며 프로브바늘(32)의 길이와 얼라인먼트핀(33)의 길이의 차(L3)도 일정하다. 이들 일정거리(L1)(L2)(L3)는 검사전에 미리 콘트롤러(23)의 메모리에 각각 기억시키고 있다.
다음으로 도 9를 참조하면서 카메라로 촬영한 화상의 처리방법에 대하여 설명한다.
상하카메라(34a)(34b)는 구동회로(46)를 통하여 콘트롤러(23)의 출력부에 접속되어 있다. 또한 하카메라(34a)는 화상처리부(47)를 통하여 모니터(48)에 접속되고, 또 화상처리부(47)의 출력부는 콘트롤러(23)의 입력부에 접속되어 있다. 또한 콘트롤러(23)의 출력부는 X축방향구동용 모터(19), Y축방향구동용 모터(14), Z축방향구동용 모터(21), θ회전구동용 모터(22)의 제어회로에 각각 접속되고 스테이지(3)의 구동기구를 제어하게 되어 있다.
우선 대상물이 상하카메라(34a)(34b)에 의하여 각각 촬영된다. 하카메라(34a)의 촬영대상물은 얼라인먼트핀(33) 및 프로브바늘(32)이다. 상CCD카메라(34b)의 촬영대상물은 LCD기판(2)의 패드(P) 및 얼라인먼트마크(31a)(31b)이다. 촬영된 화상은 화상정보로서 화상처리부(47)에 보내어지고 여기에서 화상처리되어 모니터(48)에 표시된다.
또 콘트롤러(23)는 상카메라(34b)로부터 개별적으로 보내어지는 기판(2)의 위치정보를 기초로 하여 기판(2)의 위치조정을 실시하는 다른 제어수단(도시하지 않음)에 접속되어 있다. 이 도시하지 않는 제어수단은 상카메라(34b)에 보내어지는 기판(2)의 위치정보를 기초로 하여 얼라인먼트위치에 있어서의 재치대(3)상의 기판(2)의 X축, Y축, Z축, θ회전의 각 방향의 어긋남량을 각각 산출하고 이들 산출결과에 따라서 X축방향구동모터(19), Y축방향구동모터(14), Z축방향구동모터(21) 및 θ회전구동모터(22)를 각각 제어한다.
다음으로 상기 기판검사장치의 동작에 대하여 설명한다.
우선 반입반출부(101)의 카세트(12)중에서 미검사의 LCD기판(2)을 트랜스퍼기구(104)의 아암에 의하여 꺼내고 반입반출부(101)로부터 검사부(103)의 수수위치를 향하여 반송한다. 또한 기판(2)을 재치부(105)의 재치대(3)상에 재치하고 이를 진공흡착지지한다.
다음으로 도 11의 흐름도를 참조하면서 기판(2)을 위치결정하는 얼라인먼트동작에 대하여 설명한다.
우선 소정의 반송위치로부터 X스테이지(6)를 이동시키고 하카메라(34a)를 상카메라(34b)의 바로 아래에 위치시킨다. 그리고 크로스마크(39)가 화면 중앙에 오도록 X스테이지(6)를 이동시키고 하카메라(34a)의 광축을 상카메라(34b)의 광축에 일치시킨다. 이와 같이 하여 얼라인먼트의 기준점을 파악함으로써 하카메라(34a)의 위치를 교정하고 초기설정을 완료한다(공정S1).
다음으로 X스테이지(6)를 X축방향으로 이동시키고 검사위치에서 정지시킨다. 그리고 제 1 CCD카메라(34a)에 의해 2개의 얼라인먼트핀(33A)(33Z)을 각각 촬상한다(공정S2). 이들 2개의 얼라인먼트핀(33A)(33Z)의 위치는 프로브보드(25)측의 기준점이 되고 패드(P)와 프로브바늘(32)의 위치결정에 이용된다. 또한 이 교정동작은 검사되는 LCD기판(2)의 종류가 바뀔 때나 프로브바늘(32)의 교환을 실시했을 ??에 실행하도록 미리 제어부(23)에 기억되어 있다.
그리고 촬상한 화상상의 얼라인먼트핀(33)의 단면 중심에 제 1 CCD카메라((34a)의 시야의 센터를 합치시킨다. 이렇게 함으로써 스테이지(3)의 설정위치(원점)로부터 X축방향 및 Y축방향의 어긋남량인 이동거리(X, Y, θ)가 검출된다(공정S3).
또한 이 때의 (X, Y)좌표를 스테이지(3)의 원점으로 하여 얼라인먼트핀(33)의 좌표위치가 보정된다.(공정S4).
상기의 공정(S1∼S4)에 의하여 얼라인먼트핀(33)의 위치로부터 소정 거리만큼 이간한 프로브바늘(32)의 위치를 설정한다.
이와 같이 프로브바늘(32)이 패드(P)에 맞붙게 되는 위치를 얼라인먼트핀(33)의 위치로부터 산출하고 있기 때문에 프로브바늘(32)의 변화(이물부착이나 변형 등)의 영향을 받지 않고 위치결정할 수 있다.
다음으로 검사되는 LCD기판(2)을 얼라인먼트하는 동작에 대하여 설명한다.
도 10에 나타내는 바와 같이 상카메라(34b)를 이용하여 기판(2)의 얼라인먼트마크(31a)(31b)의 위치를 각각 파악하고 이들 얼라인먼트마크(31a)(31b)를 위치맞춤한다(공정S5).
도 12에 나타내는 바와 같이 기판(2)의 소정의 위치결정위치로부터의 어긋남량(X2, Y2, θ2)을 산출한다(공정S6). 그리고 X축, Y축, θ회전의 각 구동모터(19)(14)(22)를 구동시키고 재치대(3)를 소정의 위치결정위치로 이동시킨다(공정S7). 이와 같은 공정(S5∼S7)을 실행함으로써 LCD기판(2)이 얼라인된다. 이들 공정(S5∼S7)은 검사되어야 할 기판(2)을 교환할 때마다 실시된다.
상기의 얼라인먼트후 Z축방향이동기구(7)에 의해 재치대(3)를 상승시키고 기판(2)의 패드(P)를 프로브바늘(32)의 선단으로 밀어낸다. 패드(P)와 프로브바늘(32)이 상호 접촉하는 위치로부터 다시 오버드라이브위치까지 재치대(3)를 상승시킨다. 그 후 프로브바늘(32)과 패드(P)의 접촉저항값이 소정의 범위내에서 안정되면 테스터(도시하지 않음)로부터 프로브바늘(32)을 통하여 패턴회로에 테스트신호를 보내고 패턴회로를 검사한다.
다음으로 검사완료의 기판(2)은 반송부(102)에 구비된 반송기구(104)에 의해 검사부(103)로부터 반입반출부(102)에 반송되고, 그 후 카세트(12)에 수납된다.
상기 실시형태의 검사방법 및 장치에 따르면 프로브바늘(32)의 얼라인먼트에 요하는 시간을 대폭으로 단축할 수 있고 시스템효율이 향상된다.
또 얼라인먼트핀을 보다 용이하게 인식할 수 있도록 이를 착색하면 얼라인먼트시간을 더욱 단축할 수 있다.
또 얼라인먼트핀을 표면의 콘트래스트가 변화하지 않는 세라믹 등의 재료를 이용하면 얼라인먼트핀의 인식을 일정하게 할 수 있기 때문에 측정정밀도가 안정된다.
다음으로 도 13∼도 18을 참조하면서 본 발명의 제 2 실시형태에 대하여 설명한다.
도 13에 나타내는 바와 같이 싱글스테이지형의 LCD프로버(200)는 핸들링부(211), 검사부(212), 카세트재치부(213)를 구비하고 있다. 핸들링부(211)와 카세트재치부(213)는 한 개의 유닛으로서 형성되어 있다. 이 유닛(211)(213)과 검사부(212)는 서로 분리할 수 있도록 착탈 가능하게 연결되어 있다. 핸들링부(211)에서는 LCD용 기판(2)이 카세트(C)에 로드 또는 언로드되게 되어 있다. LCD용 기판(2)은 예를 들면 세로 370mm×가로 470mm×두께 0. 7mm사이즈의 유리판이다.
검사부(212)에서는 핸들링부(211)로부터 받은 기판(2)을 프로브테스트하게 되어 있다. 핸들링부(211)는 최대 25장의 기판(2)을 수납할 수 있는 카세트(C)가 재치되는 카세트재치부(213)를 구비하고 있다. 또 핸들링부(211)에는 반송장치(214)가 설치되고 반송장치(214)에 의해 카세트(C)내로부터 기판(2)을 1장씩 꺼내게 되어 있다.
기판(2)을 출입시키기 위한 개구가 카세트(C) 정면의 전체면에 걸쳐서 형성되어 있다. 카세트(C)는 외부틀부재 및 중간보강부재로 이루어지고 외부틀부재의 내측에는 소정 피치간격으로 지지부(C1, C2, ……Cn)가 형성되어 있다. 도 14 및 도 20에 나타내는 바와 같이 기판(2)은 반송장치(트랜스퍼기구)(214)에 의하여 지지부(C1, C2)의 사이에 삽입되고 지지부(C1)에 의하여 수평지지되게 되어 있다.
또 LCD프로버(200)의 앞면측에는 자동반송차(도시하지 않음)용의 주행로(도시하지 않음)가 설치되고 자동반송차와 LCD프로버(200)의 사이에서 카세트(C)를 자동적으로 수수하게 되어 있다. 카세트(C)는 카세트재치부(213A)(213B)의 위에 각각 재치되게 되어 있다. 2개의 카세트재치부(213A)(213B)는 Y축방향으로 나열되어 있다. 또한 본 실시형태의 카세트재치부(213A)(213B)에는 2개의 카세트(C)를 받아들이도록 하고 있는데, 또한 3개 이상의 카세트(C)를 받아들이도록 카세트재치부를 연장형성해도 좋다.
각 카세트재치부(213A)(213B)에는 자동반송차의 아암(도시하지 않음)이 침입하기 위한 홈공간(215)이 형성되어 있다. 이 홈공간(215)의 폭은 카세트(C)의 폭보다도 좁다. 카세트(C)는 이 홈공간(15)을 걸치도록 카세트재치부(213)상에 재치된다. 또한 도시하고 있지 않지만 카세트재치부(213)의 재치면상에는 카세트(C)의 코너부에 걸어 맞추는 위치결정부재가 설치되어 있다.
또 핸들링부(211)의 측면에는 카세트(C)를 검출하는 카세트검출장치(216)가 홈공간(215)의 양측에 설치되어 있다. 이 카세트검출장치(216)는 발광부(216A) 및 수광부(216B)를 구비하고 있다. 발광부(216A)에는 예를 들면 발광다이오드를 이용한다. 이들 발광부(216A) 및 수광부(216B)는 홈공간(215)의 입구 양측에 설치되어 있다. 카세트(C)가 재치부(213)에 반입반출될 때에 발광부(216A) 및 수광부(216B)의 광축을 가로지르면, 그 검출신호가 콘트롤러(23)에 보내어지고 카세트(C)의 출입이 검지되게 되어 있다. 또 핸들링부(211)의 측면에는 자동반송차(도시하지 않음)와의 사이에서 예를 들면 광통신을 실시하는 통신수단(217)이 각 홈공간(215)의 아래쪽에 설치되어 있다. 이 통신수단(217)이 자동반송차와의 사이에서 광통신을 실시함으로써 카세트(C)가 반입반출되게 되어 있다.
제 1 물체검출장치(218A)가 좌측의 제 1 카세트재치부(213A)에, 제 2 물체검출장치(218B)가 우측의 제 2 카세트재치부(213B)에 각각 설치되어 있다. 제 1 물체검출장치(218A)는 발광부 및 수광부를 구비하고 있다. 카세트(C) 이외의 다른 장해물이 양자(218A)(218B)간의 광축을 차단하면 검출신호가 콘트롤러(23)에 보내어지고 각 구동부의 작동을 정지하는 동시에 경고등(219)을 점등하거나 경고부저를 울리도록 하고 있다.
카세트재치부(213)에는 계수장치(220)가 설치되어 있다. 계수장치(220)는 카세트(c)내의 기판(2)의 수납장수를 계수하기 위한 카운터이며 발광부(220A) 및 수광부(220B)를 구비하고 있다. 이들 발광부(220A) 및 수광부(220B)는 홈공간(215)의 양측에 형성된 개구부(221)에 설치되어 있다. 또 발광부(220A)와 수광부(220B)는 홈공간(215)의 아래쪽에서 서로 연결되어 있으며 볼나사 등의 구동기구(도시하지 않음)에 의하여 개구부(221)에서 승강하게 되어 있다. 계수장치(220)가 개구부(221)내를 승강하는 사이에 광선이 차단된 횟수를 카운트함으로써 기판(2)의 수납장수가 계수된다.
다음으로 카세트재치부에 설치되는 이오나이저에 대하여 설명한다. 제 1 및 제 2 카세트재치부(213A)(213B)는 실질적으로 같기 때문에 여기에서는 제 1 카세트재치부(213A)에 대하여 설명하고 제 2 카세트재치부(213B)의 설명은 생략한다.
제 1 카세트재치부(213A)의 제 1 이오나이저(222A) 및 제 2 이오나이저(222D)를 구비하고 있다. 제 1 이오나이저(222A)는 카세트재치부(213A)의 위에 직립해 있다. 제 1 이오나이저(222A)의 높이는 카세트(C)의 높이와 대략 같다. 한편 제 2 이오나이저(222D)는 이동재치위치의 윗쪽에 수평으로 설치되어 있다. 제 2 이오나이저(222D)의 길이는 카세트(C)의 폭길이와 대략 같다.
제 1 및 제 2 이오나이저(222A)(222D)에는 드라이질소가스 또는 드라이에어가 공급되게 되어 있으며 공급가스가 전극간을 통과하면 가스가 전리하여 이온화되게 되어 있다. 이온화한 가스가 카세트(C) 및 기판(2)에 접촉하면 정전하가 제거되게 되어 있다.
또 카세트(C)의 윗쪽에는 바코드리더와 같은 카세트식별장치(223)가 설치되어 있다. 이 카세트식별장치(223)에 의하여 카세트(C)의 상면에 형성된 바코드 등의 식별부호(224)를 판독하고 기판(2)을 로트단위로 식별하는 동시에, 그 판독내용에 따라서 검사부(212)가 동작하게 되어 있다. 또한 식별부호(224)는 카세트(로트)정보를 표시하는 것이다. 핸들링부(211)의 상황은 핸들링부(211)내에 설치된 각 센서로부터의 출력신호를 기초로 하여 핸들링부(211) 정면의 표시장치(225)에 표시된다. 이 표시장치(225)는 조작패널로서도 기능한다.
도 13에 나타내는 바와 같이 핸들링부(211)의 반송장치(214)는 카세트재치부(213)와 검사부(212)의 사이에 설치되어 있다. 이 반송장치(214)는 구동기구에 의하여 X축방향, Y축방향, Z축방향, Z축 주위에 θ회전되게 되어 있다. 또 반송장치(214)는 상하로 서로 평행하게 배치된 2개의 아암(226)(227)을 구비하고 있다. 각 아암(226)(227)은 지지판(228)에 의하여 각각 지지되어 있다.
도 13, 도 14에 나타내는 바와 같이 반송장치(214)는 정지시에는 Y축방향을 향하게 되어 있다. 각 아암(226)(227)은 지지판(228)상에서 이동할 수 있게 되어 있다. 이 지지판(228)은 승강구동기구의 볼나사(229)를 통하여 아래쪽의 회전체(230)에 연결되어 있다. 각 아암(226)(227)은 볼나사(229)를 통하여 Z축방향으로 이동하고 회전체(230)를 통하여 θ회전으로 정역회전하게 되어 있다. 또한 볼나사(229)는 도시하지 않는 너트(또는 웜기어) 및 모터에 의하여 회전된다.
도 14에 나타내는 바와 같이 회전체(230)는 X테이블(231)상에 설치되어 있다. 이 X테이블(231)의 아래쪽에는 정면측으로부터 가장 안쪽부에 이르기까지 기대(232)가 설치되어 있다. 이 기대(232)의 상면에는 정면측으로부터 가장 안쪽부에 이르기까지 X축방향의 볼나사(233) 및 1쌍의 평행레일(234)이 설치되어 있다. 볼나사(233)에는 X테이블(231)의 안쪽에 부착된 너트(235)가 나사식으로 맞추어지고 1쌍의 레일(234)에는 X테이블(231)의 안쪽에 부착된 걸어맞춤부재(236)가 걸어 맞추어져 있다. 볼나사(233)에는 서보모터(37)의 구동축이 연결되고 서보모터(37)에 의하여 X테이블(231)이 카세트재치부(213)를 따라서 왕복이동되게 되어 있다.
또 상하아암(226)(227)은 서로 독립적으로 구동되게 되어 있다. 예를 들면 상아암(226)이 카세트(C)내로부터 기판(2)을 꺼내고 검사부(212)의 기판재치대(244)상에 기판(2)을 로드하는 한편 하아암(227)이 기판재치대(244)로부터 검사완료의 기판(2)을 언로드할 수 있다. 또 각 아암(226)(227)의 상면에는 구멍이 형성되고 각각의 안쪽면측에 부착된 도시하지 않는 흡인배관 및 진공배기장치(도시하지 않음)를 통하여 기판(2)을 진공흡착하게 되어 있다.
이하의 설명에서는 상아암(226)을 로드아암이라 하고 하아암(227)을 언로드아암이라 하기로 한다. 로드아암(226)은 연결부재(239)를 통하여 Y축방향구동기구(240)에 연결되어 있다. 이에 따라 로드아암(226)은 지지판(228)상에서 Y축방향으로 왕복이동할 수 있게 되어 있다. 이 Y축방향구동기구(240)는 펄스모터(240A)와, 회전롤러(240B)와, 타이밍벨트(240C)를 구비하고 있다. 펄스모터(240A)는 지지판(228)의 긴쪽방향측틀의 선단부에 설치되어 있다. 회전롤러(240B)는 지지판(228)의 긴쪽방향측틀의 후단부에 설치되어 있다. 타이밍벨트(240C)는 무단상을 이루고 펄스모터(240A)의 풀리와 회전롤러(240B)의 사이에 놓여져 있다. 이 타이밍벨트(240C)에 연결부재(239)를 통하여 로드아암(226)이 연결되어 있다.
언로드아암(227)은 지지판(228)상에서 상기의 Y축방향구동기구(240)와 똑같은 구동기구(도시하지 않음)에 연결되어 있다. 각 아암(226)(227)은 각각 지지판(228)상을 Y축방향으로 서로 독립하여 왕복이동하게 되어 있다. 또한 Y축방향구동기구(240)는 볼나사기구로 해도 좋다.
도 14 및 도 19에 나타내는 바와 같이 회전체(230)의 위에는 Z축 주위에 정역θ회전하는 프리얼라인먼트기구(342(242))가 설치되어 있다. 이 프리얼라인먼트기구(342(242))에 의하여 카세트(C)로부터 받은 기판(2)을 검사부(212)의 기판재치대에 인도하기 전에 프리얼라인먼트하게 되어 있다. 이 프리얼라인먼트기구(342(242))의 재치면(342A(242A))에는 진공배기펌프(도시하지 않음)에 연통하는 구멍(342B(242B))이 개구하고 재치면(342A(242A))에 기판(2)이 흡착지지되게 되어 있다.
지지판(228)에는 상기 프리얼라인먼트기구(342(242))의 윗쪽에서 개구하는 개구부(329A(229A))가 형성되어 있다. 로드아암(226) 및 언로드아암(227)을 하강시켰을 때에 개구부(329A(229A))로부터 지지판(228)의 윗쪽으로 돌출하고 각 아암(226)(227)으로부터 기판(2)을 받아서 기판(2)을 프리얼라인먼트하게 되어 있다.
또 카세트재치부(213)로부터 검사부(212)에 기판(2)을 반송하는 경로에는 기판식별장치(243)가 설치되어 있다. 이 기판식별장치(243)는 로드아암(226)에서 지지한 기판(2)으로부터 식별부호(바코드 등)를 판독하게 되어 있다. 식별부호의 판독에 의해 검사부(12)에 인도하는 기판(2)을 개별적으로 식별하고, 그 식별내용에 따라서 프로브테스트하게 되어 있다. 또한 상기 식별부호는 기판(2)의 장점을 나타내는 정보가 표시되어 있다.
또한 기판재치대(244)가 검사부(212)내에서 X축방향, Y축방향, Z축방향으로 각각 이동하고, 또한 θ회전할 수 있게 설치되어 있다. 이 기판재치대(244)는 도13에 나타내는 바와 같이 Z베이스(244D)상에 설치되어 있다. 이 Z베이스(244D)는 X테이블(246) 상면에 각각 설치된 볼나사(247) 및 평행레일(248)을 통하여 X축방향으로 이동할 수 있게 되어 있다. 또 X테이블(246)은 기대(249) 상면에 각각 설치된 볼나사(250) 및 평행레일(251)을 통하여 Y축방향으로 이동할 수 있게 되어 있다.
상기 기판재치대(244)는 알루미늄 또는 그 합금에 의하여 만들어져 있다. 이 기판재치대(244)의 표면에는 광택제거처리로서 알루미늄의 양극산화처리(알루마이트처리)가 실시되고 있다. 도 15에 나타내는 바와 같이 이 알루마이트처리된 다공질층막(244a)에 의하여 알루미늄금속(244b)이 피복되어 있다. 이 다공질층막(244a)의 미세구멍은 필요에 따라서 적절히 조정할 수 있다. 또한 본 실시예에서는 알루마이트처리후에 염색처리에 의해 기판재치대(244)의 표면이 흑색을 나타내게 되어 있다. 이와 같은 흑색알루마이트처리를 실시함으로써 얼라인먼트시의 조사광이 θ테이블(244A)에 입사했을 때에 기판재치면으로부터의 반사광이 저감되기 때문에 헐레이션이 방지된다. 그 결과 기판(2)의 얼라인먼트마크(31a)(31b)를 선명하게 검출할 수 있다.
상기 기판재치대(244)는 θ테이블(244A)과, 리프터핀(244B)과, θ베이스(244C)와, 볼스크류(244E)를 구비하고 있다. 4개의 리프터핀(244B)은 θ테이블(244A)의 윗쪽으로 돌출하여 기판(2)을 지지하게 되어 있다. θ테이블(244A)은 θ베이스(244C)상의 크로스롤러베어링(244J)을 통하여 회전 가능하게 지지되어 있다. Z베이스(244D)는 θ베이스(244C)의 아래쪽에 설치되어 있다. 볼스크류(244E)는 Z베이스(244D)에 설치되어 있다. θ베이스(244C)의 안쪽면에는 볼스크류(244E)의 너트가 연결되어 있으며 볼스크류(244E)의 회전에 의하여 기판재치대(244)가 승강하게 되어 있다.
도 17A에 나타내는 바와 같이 θ테이블(244A)은 θ베이스(244C)의 상부에 설치된 크로스롤러베어링(244J)의 위에 재치되어 있다. 이 θ테이블(244A)의 4곳의 관통구멍(244H)내에 4개의 리프터핀(244B)이 설치되어 있다.
θ베이스(244C)를 아래쪽으로 이동시켰을 때에는 도 17B에 나타내는 바와 같이 θ베이스(244C)에 설치된 4개의 리프터핀(244B)의 하단을 Z베이스(244D)가 밀어 올리고 리프터핀(244B)의 상단부에 설치된 바큠패드(244G)가 기판(2)의 하면을 밀어 올리게 되어 있다. 또한 리프터핀(244B)의 내부통로는 배기관(244U)에 연통해 있으며 바큠패드(244G)에 기판(2)이 흡착되게 되어 있다.
도 16A에 나타내는 바와 같이 θ테이블(244A) 및 θ베이스(244C)의 기판재치면(24 4c)에는 홈(252A)(252B)(253A)(253B)(254A)(254B)(255A)(255B)이 각각 형성되어 있다. 이 중 홈(252A)(252B)(253A)(253B)(254A)(254B)은 직사각형의 재치면의 외주윤곽과 동심직사각형상을 이루는 무단상 홈이며 재치면의 외주측으로부터 내측을 향하여 소정 피치간격으로 형성되어 있다. 이 때문에 홈(252A)(252B)(253A)(253 B)(254A)(254B)은 각각 외주길이를 달리 하고 있다. 한편 가장 내주의 홈(255A)(255B)은 동심원상을 이루는 무단상 홈이다.
도 16B에 나타내는 바와 같이 홈(252A)과 홈(252B), 홈(253A)과 (253B), 홈(254A)과 (254B)는 연통홈(252C)(253C)(254C)을 통하여 각각 재치대(244)의 내부에서 연통하고 있다. 또 도시하고 있지 않지만 가장 내주의 홈(255A)(255B)도 서로 내부에서 연통하고 있다. 또한 홈(252A)과 연통홈(252C)의 교차점에는 소정 간격을 두고 12개의 구멍(252D)이 형성되어 있다. 이들 구멍(252D)은 둘레틀재치부(244C)의 내부에 형성된 통로(도시하지 않음) 및 배관(256)을 통하여 진공배기펌프(257)에 연통하고 있다. 또한 배관(256)에는 전동밸브(258)가 설치되어 있다.
진공배기펌프(257) 및 전동밸브(258)는 각각 제어배선(259)(260)을 통하여 콘트롤러(261)에 접속되고 콘트롤러(261)에 의하여 배기제어되게 되어 있다.
둘레틀재치부(244C)의 각 홈(252A)(252B)(253A)(253B)(254A)(254B)과, 중앙재치부(244A)의 각 홈(255A)(255B)의 각각의 흡착작용은 진공배기펌프(257)를 구동시킨 상태에서 콘트롤러(261)에 의해 각 전동밸브(258)의 개폐를 제어하여 개별적으로 제어할 수 있다. 예를 들면 기판재치대(244)가 반송장치(214)로부터 기판(2)을 받을 때에 도 17B에 나타내는 바와 같이 θ테이블(244A)의 홈(255A)(255B)내를 배기하면 θ테이블(244A)에 의하여 기판(2)을 흡착지지할 수 있다. 이에 따라 기판(2)을 정지한 상태에서 확실하며, 또한 안정적으로 지지할 수 있고 반송장치(214)와의 사이의 기판(2)의 수수를 원활하게 실시할 수 있다.
한편 콘트롤러(261)에 의하여 각 전동밸브(258)의 개폐를 제어함으로써 도 16A에 나타내는 바와 같이 대사이즈의 기판(2A)을 지지하는 경우에는 전부의 홈(252A)(252B)(253A)(253B)(254A)(254B)(255A)(255B)내를 배기한다. 한편 소사이즈의 기판(2B)을 지지하는 경우에는 내측의 홈(253A)(253B)(254A)(254B)(255A)(255B)내만을 배기하고 가장 외주의 홈(252A)(252B)내는 배기하지 않는다. 또한 기판(2)의 흡착지지를 해제하면 각 흡착홈(252A∼255B)은 대기개방된다.
또 상기 검사부(212)내의 얼라인먼트위치에는 도 13 및 도 18에 나타내는 바와 같이 가늘고 긴 형상의 얼라인먼트기구(262)가 X축방향을 향하여 헤드플레이트(263)상에 고정되어 있다.
이 얼라인먼트기구(262)는 기판(2)을 지지한 기판재치대(244)가 얼라인먼트위치에 도달했을 때에 도 10에 나타내는 바와 같이 기판(2)의 2개의 얼라인먼트마크(31a)(31b)를 검출하고 이들 크로스마크(31a)(31b)를 기준으로 하여 기판(2)을 얼라인먼트하게 되어 있다.
얼라인먼트기구(262)는 광원(262B)과, 제 1 반사경(262C)과, 제 2 반사경(262D)과, 제 3 반사경(262E)과, 구동수단(262F)을 구비하고 있다. 광원(262B)은 가늘고 긴 형상의 광주리체(262A)내의 일단부에 수납된 조명용의 광원이다. 제 1 반사경(262D)은, 이 광원(262B)측에 설치되어 있다. 제 2 반사경(262D)은 이 반사경(262C)으로부터 이간한 위치에서 서로 대향하여 설치되어 있다. 제 3 반사경(262E)은 이들 양자(262C)(262D)간에 위치하고 이들보다도 약간 윗쪽에 설치되어 있다. 구동수단(262F)은, 이 반사경(262E)을 제 1 및 제 2 반사경(262C)(262D)의 사이에 진퇴운동시키는 전자플랜져 등을 구비하고 있다. 또 제 1 반사경(262C)의 아래쪽에는 이에 대향하는 CCD카메라(264)가 설치되어 있다. 또한 상기 광주리체(262A)는 하면이 개구하고, 이 개구가 헤드플레이트(263)에 의하여 폐지되어 있다.
제 1 반사경(262C)은 CCD카메라(264)의 렌즈(264A)의 광축에 대하여 45°의 경사각도로 교차하도록 경면을 제 2 및 제 3 반사경(262D)(262E)을 향하여 배치하고 있다. 또 제 1 반사경(262C)은 광원(262B)의 광선을 투과하는 하프밀러로서 형성되어 있다. 이들 제 2 및 제 3 반사경(262D)(262E)은 어느쪽이나 제 1 반사경(262C)과는 그 경사방향이 반대로 되어 있으며 이들 양자(262D)(262E)의 간격은 크로스마크(31a)(31b)의 간격과 일치하게 되어 있다. 또한 헤드플레이트(263)에는 각 반사경(262C)(262D)(262E)의 아래쪽에 위치하는 개구부(263A)(263B)(263C)가 형성되어 있다. 또한 이들 개구부(263A)(263B)(263C)는 일체화한 가늘고 긴 형상의 개구부로서 형성해도 좋다.
따라서 크로스마크(31a)를 검출하는 경우에는 도 18에 나타내는 바와 같이 구동수단(262F)에 의해 제 3 반사경(262E)을 광주리체(262A)의 윗쪽으로 후퇴시킨 상태로한다. 이 상태에서 광원(262B)을 ON하면, 그 광선은 제 1 반사경(262C)을 투과하여 제 2 반사경(262D)에 도달하고, 그래서 진행방향을 90° 변경하고 개구부(263C)를 통하여 크로스마크(31a)에 입사한다. 크로스마크(31a)로부터의 반사광선은 제 2 반사경(262D), 제 1 반사경(262C)에 의해 진행방향이 변경되어 개구부(263A)를 통하여 CCD카메라(264)에 도달한다. 이에 따라 크로스마크(31a)는 CCD카메라(264)에 의해 촬상되게 된다.
한편 크로스마크(31b)를 검출하는 경우에는 제 3 반사경(262E)을 광주리체(262A)내에 진출시킨다. 이에 따라 광원(262B)은 제 3 반사경(262E)을 통하여 그 아래쪽의 크로스마크(31b)를 조명하고 후에는 상기한 바와 같이 그 크로스마크(31b)가 CCD카메라(264)에 의하여 촬상된다.
또 CCD카메라(264)로부터의 화상신호는 화상처리수단(도시하지 않음)에 의해 화상처리되어 검사부(212)의 정면에 설치된 표시장치(265)에 송신되고, 그 표시화면에 크로스마크(31a) 또는 (31b)가 비추어지게 되어 있다. 따라서 크로스마크(31a)(31 b)를 잇는 선이 X축방향으로부터 경사해 있으면 컴퓨터를 통하여 기판재치대(244)를 회전시킴으로써 얼라인먼트할 수 있다.
또 상기 CCD카메라(264)는 헤드플레이트(263)에 고정된 프로브바늘(32)을 촬상하고 검사시의 기준이 되는 2개의 프로브바늘을 기초로 하여 기판재치대(244)의 위치결정을 실시하게 되어 있다. 이 기판재치대(244)는 기판(2)을 검사부(212)의 프로브바늘(32)의 바로 아래까지 이동한 후에 기판재치대(244)를 상승시켜서 프로브바늘(32)에 패드(P)를 접촉시키고 테스트하게 되어 있다. 또한 기판재치대(244)와 프로브바늘(32)의 상호간 거리는 정전용량센서 등으로 이루어지는 하이트센서(도시하지 않음)에 의하여 검출되게 되어 있다.
다음으로 상기 장치에 있어서의 얼라인먼트동작에 대하여 설명한다.
기판재치대(244)상에 기판(2)을 흡착지지하면 얼라인먼트기구(262)를 통하여 기판(2)의 크로스마크(31a)(31b)를 검출하고 이들 검출신호를 기초로 하여 기판재치대(244)를 이동시키고 기판(2)을 얼라인먼트한다. 이 때 얼라인먼트기구(262)에서는 광원(262B)에 의해 크로스마크(31a)(31b)를 조명하는데, 이와 동시에 기판(2)으로부터 외측으로 튀어나온 기판재치대(244)의 재치면(244c)도 조명된다. 그러나 재치면(244c)이 흑색이기 때문에 재치면(244c)으로부터의 반사광이 대폭으로 저감되고 표시장치(265)의 표시화면에서의 헐레이션이 방지된다. 얼라인먼트마크(31a)(31b)를 표시화면상에 선명하게 비추어내고 기판(2)의 얼라인먼트를 정확하며, 또한 확실하게 실시할 수 있다. 그 후에 프로브바늘(32)의 아래쪽까지 기판(2)을 이동하고 프로브테스트한다.
프로브테스트중에 반송장치(214)가 카세트(C)까지 이동하여 다음의 기판(2)을 꺼내고, 또한 얼라인먼트위치까지 이동하여 검사의 종료를 대기한다. 검사가 종료되면 기판재치대(244)가 얼라인먼트위치측에 와서 이미 대기하고 있는 반송장치(214)와 대치한다. 그러면 반송장치(214)의 언로드아암(227)이 기판재치대(244)를 향하여 진출하고 검사완료의 기판(2)을 언로드하는 한편 로드아암(226)이 진출하여 기판재치대(244)상에 다음에 검사해야 할 기판(2)을 로드한다. 이후는 똑같은 동작을 반복한다.
다음으로 도 19∼도 22를 참조하면서 제 3 실시형태에 대하여 설명한다. 제 3 실시형태와 상기 실시형태가 공통하는 부분에 대해서의 설명은 생략한다.
도 19에 나타내는 바와 같이 검사장치(314)는 핸들링부(311) 및 검사부(312)를 구비하고 있다. 핸들링부(311)는 기판(2)을 로드/언로드하기 위한 로드아암(326)을 구비하고 있다. 로드아암(326)은 2개의 평행아암부재(326A)를 구비하고 있다.
도 19에 나타내는 바와 같이 X테이블(331)의 아래쪽에는 기대(3320가 설치되어 있다. 이 기대(332)의 상면에는 X축방향의 볼나사(333)와, 이 볼나사(333)를 끼우는 한쌍의 레일(334)이 각각 설치되어 있다. 볼나사(333)에는 X테이블(331)의 안쪽면에 부착된 너트(335)가 나사식으로 맞추어지고 한쌍의 레일(334)에는 X테이블(331)의 안쪽면에 부착된 걸어맞춤부재(336)가 걸어 맞추어지고 볼나사(333)에 연결된 펄스모터(337)에 의해 X테이블(331)이 카세트재치부(313)를 따라서 왕복이동하게 되어 있다.
아암(326)327)에 대하여 더욱 상세히 서술한다. 각 아암(326)(327)은 실질적으로 동일형상으로 형성되어 있다. 각 아암(326)(327)은 서로 독립하여 구동하게 되어 있다.
도 19, 20, 22에 나타내는 바와 같이 로드아암(326)은, 그 분기지지부(326A, 326A)의 폭방향의 중심을 지나는 긴쪽방향의 축선이 기판(2)의 폭(W)을 4등분하는 선중 외측의 2개의 선상에 위치하도록 형성되어 있다. 따라서 예를 들면 세로 550mm×가로 650mm×두께 0. 7mm와 같은 대형이며 두께가 얇은 기판(2)의 경우이어도 로드아암(326)의 분기지지부(326A, 326A)에 의해 이 LCD용 기판(2)을 지지하면 각 분기지지부(326A, 326A)에 의해 기판(2)의 휘어짐량은 3곳으로 분산되고, 각 부위에서의 휘어짐량을 크게 경감할 수 있다. 이 때문에 도 20에 나타내는 바와 같이 카세트(C)로부터 기판(2)을 꺼낼 때에, 그 기판(2)을 로드아암(326)에 의하여 카세트(C)내에서 들어 올려도, 그 바로 위의 기판(2)에 들어 올린 기판(2)이 접촉하는 일은 없다.
도 20에 나타내는 바와 같이 본 실시형태에서는 분기지지부(326A, 326A)의 간격을 기판(2)의 양측단으로부터 전체폭(W)의 약 (1/4)W의 지점에 위치하도록 하고 있기 때문에 각 분기지지부(326A, 326A)의 외측(기판둘레틀부)에 있어서의 휘어짐량과 양 분기지지부(326A)(326A)의 중간(기판중앙부)에 있어서의 휘어짐량이 대략 같아진다. 기판(2)을 로드아암(326)상에 정치했을 때의 휘어짐량과 기판(2)을 들어 올리는 때의 휘어짐량이 대략 동등해지고 꺼냄시의 기판(2)은 거의 상하로 흔들리는 일 없이 안정되어 있다.
상기 실시형태의 반송장치에 따르면 기판(2)의 휘어짐을 분기지지부(326A, 326A)에 의하여 3곳으로 분산하기 때문에 개개의 휘어짐량은 작아진다. 이 때문에 세로 550mm×가로 650mm×두께 0. 7mm와 같은 대형이며 얇은 LCD용 기판(2)이어도 손상을 받는 일 없이 안전하며, 또한 확실하게 기판(2)을 반송할 수 있다.
다음으로 도 23∼26을 참조하면서 제 4 실시형태에 대하여 설명한다. 또한 본 실시형태가 상기 실시형태와 공통하는 부분의 설명은 생략한다.
도 13, 23, 25에 나타내는 바와 같이 본 실시형태의 카세트재치부(213)에는 2개의 제 1 이오나이저(222A)가 설치되고 핸들링부(211)에는 1개의 제 2 이오나이저(222D)가 설치되어 있다. 2개의 제 1 이오나이저(222A)는 카세트재치부(213)에 재치된 카세트(C)의 개구를 양측에서 끼우도록 각각 배치되어 있다.
도 23에 나타내는 바와 같이 제 1 이오나이저(222A)는 Z축방향을 직렬배열된 복수의 방전실(272)을 갖는다. 각 방전실(272)내에는 1쌍의 바늘(271, 271)이 각각 설치되어 있다. 또 각 방전실(272)내에는 가스공급원(도시하지 않음)에 연통하는 가스공급통로(도시하지 않음)가 개구하고 있으며, 드라이에어나 드라이질소가스가 각 방전실(272)내에 방출되게 되어 있다. 각 방전실(272)내로 1쌍의 바늘(271, 271)의 사이에서 방전을 발생시키면 가스분자가 해리하여 이온이 발생한다. 발생이온은 카세트(C)를 향하여 공급되게 되어 있다.
또한 각 제 1 이오나이저(222A)는 진동기구(261∼267)를 구비하고 있다. 이 진동기구는 모터(260)와, 구동풀리(261)와, 벨트(262)와, 종동풀리(263)와, 수직연결축(264)으로 이루어져 있으며 제 1 이오나이저(222A)를 Z축 주위에 요동시킬 수 있게 되어 있다. 제 1 이오나이저(222A)의 요동각도는 15°∼45°의 범위인 것이 바람직하다.
도 24에 나타내는 바와 같이 각 이오나이저(222A)의 방전용의 전원 및 모터(260)의 구동용 전원은 어느쪽이나 로더콘트롤러(222B)에 접속되어 있다. 그리고 이 로더콘트롤러(222B)는 컴퓨터(222C)로부터의 신호를 기초로 하여 이오나이저(222A)를 제어하게 되어 있다. 이 컴퓨터(222C)에는 상기 물체검출장치(218) 및 기판센서(222E)가 접속되어 있다. 물체검출장치(218)로부터의 신호를 기초로 하여 로더콘트롤러(222B)를 통하여 제 1 이오나이저(222A)는 작동하게 되어 있다. 각 이오나이저(222A)는 로더콘트롤러(222B)의 제어하에서 간헐적으로 작동하고 카세트(C)의 정전하를 제거하도록 하고 있다.
도 25에 나타내는 바와 같이 반송장치(214)를 이용하여 카세트(C)로부터 검사부(212)에 기판(2)을 반송하는 경로에는 기판(2)의 정전하를 개개로 제거하기 위한 제 2 이오나이저(222D)가 설치되어 있다. 이 반송경로는 카세트재치부(213)와 검사부(212)의 사이에 형성되어 있다. 이 제 2 이오나이저(222D)는 반송경로중에서도 검사부(212)에 기판(2)을 인도하기 위해 대기하는 위치에 설치되어 있다. 이 제 2 이오나이저(222D)는 제 1 이오나이저(222A)와 실질적으로 같은 기능를 갖는다. 이 제 2 이오나이저(222D)의 이온공급부는 반송장치(214)의 로드아암(226)에서 지지된 기판(2)의 윗쪽에 이와 대향하도록 설치되어 있다. 또 기판(2)의 윗쪽에서 소저의 각도만큼 정역회전하도록 상기한 진동기구(260∼264)와 실질적으로 같은 기구가 이 제 2 이오나이저(222D)에 부착되어 있다.
또한 제 2 이오나이저(222D)의 제어계통은 도 24에 나타내는 바와 같이 예를 들면 로드아암(226)에 설치된 기판센서(222E)의 검출신호를 기초로 하여 소정 시간을 경과한 후에 작동하게 되어 있다.
도 26에 나타내는 바와 같이 기판재치대(244)는 원형재치부(244A)를 상단에 갖는 로드(244B)와, 이 로드(244B)의 원형재치부(244A)를 둘러싸는 직사각형상의 재치판(244C)과, 이 재치판(244C)의 아래쪽에 설치된 광주리체(244D)와, 이 광주리체(244D)내에 설치된 구동원 예를 들면 에어실린더(244E)를 구비하고 있다. 그리고 재치판(244C)의 안쪽면에는 에어실린더(244E)의 실린더로드가 연결되고 에어실린더(244E)에 의해 재치판(244C)이 로드(244B)의 원형재치부(244A)로부터 하강하게 되어 있다. 또 원형재치부(244A) 및 재치판(244C)에는 기판(2)을 흡착하기 위한 구멍(도시하지 않음)이 형성되어 있다. 이 원형재치부(244A)는 재치판(244C)의 중앙부에 형성된 오목부(244F)내에 수납되고, 수납된 상태에서 이들 양자(244A)(244C)의 표면에 단차가 생기지 않게 되어 있다. 그리고 이 오목부(244F)의 중심에 로드(244B)의 관통구멍(244G)이 형성되어 있다.
본 발명에 따르면 기판을 위치결정할 때에 검사부 근처에 설치된 위치맞춤용의 기준체(제 2 위치맞춤부재)의 위치를 검출하고, 이 검출값에 의해 미리 기억된 기판에 맞붙이는 검사부의 맞붙음위치를 구하고, 이 맞붙음위치에 기판을 재치한 재치대를 이동하여 위치결정하기 때문에 기판의 위치맞춤의 정밀도를 일정하게 유지할 수 있다.
또 본 발명에 따르면 얼라인먼트기구를 이용하여 재치대상의 기판을 조명하여 얼라인먼트마크를 검출하고, 이 얼라인먼트마크를 기준으로 하여 기판을 얼라인먼트한 후에 기판을 테스트한다. 이 얼라인먼트시에 재치대의 재치면의 표면에는 광택제거처리가 실시되어 있기 때문에 기판으로부터 튀어나온 재치면에서는 조명광이 난반사하여 반사광에 기인한 헐레이션을 초래하는 일이 없이 기판의 얼라인먼트마크를 선명하게 검출할 수 있다. 따라서 얼라인먼트마크를 기준으로 한 얼라인먼트를 정확하게 실시할 수 있다.
또한 본 발명에 따르면 아암으로 기판을 들어 올렸을 때에 기판의 휘어짐이 3곳으로 분산하기 때문에 기판 중앙부 및 양단부의 어느쪽인가에 있어서도 종래보다도 휘어짐량이 작아진다.

Claims (27)

  1. 접촉자에 대하여 기판의 패드를 위치맞춤하고 패드를 접촉자에 접촉시켜서 기판에 형성된 패턴회로에 테스트신호를 보내어 이를 검사하는 기판검사방법은,
    기판이 재치되는 재치대의 위치정보 및 접촉자의 위치정보를 초기설정데이터로서 미리 기억해 두는 공정과,
    재치대에 대하여 일정거리의 위치에 설치된 제 1 위치맞춤부재를 재치대와 함께 이동시키고, 이 제 1 위치맞춤부재를 접촉자에 대하여 일정거리의 위치에 고정된 제 2 위치맞춤부재에 대하여 얼라인하는 교정공정과,
    상기 교정위치로부터 접촉자/패드의 상호접촉위치까지의 거리를 미리 기억된 초기설정데이터를 기초로 하여 산출하고, 그 산출결과를 기초로 하여 재치대를 이동시키고 패드를 접촉자에 대하여 위치결정하는 공정과,
    재치대상의 기판의 패드를 접촉자에 접촉시키고 기판의 패턴회로에 테스트신호를 보내어 이를 검사하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 기판검사방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    제 2 위치맞춤부재는 패드를 접촉자에 접촉시키는 검사섹션의 근처에 설치되고 상기 위치결정공정에 있어서의 재치대의 이동거리는 짧은 것을 특징으로 하는 기판검사방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    제 2 위치맞춤부재는 패드를 접촉자에 접촉시키고 기판의 패턴회로에 테스트신호를 보내어 이를 검사하는 검사섹션으로부터 떨어진 지점에 설치되고 상기 위치결정공정에 있어서의 재치대의 이동거리는 긴 것을 특징으로 하는 기판검사방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    제 1 위치맞춤부재는 재치대에 부착되고, 이 제 1 위치맞춤부재를 재치대와 함께 적어도 X축방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판검사방법.
  5. 검사되어야 할 패턴회로에 접속된 다수의 패드를 갖는 기판이 재치되는 재치대와,
    상기 재치대상의 기판의 패드에 각각 접촉시키는 다수의 접촉자를 구비한 검사부와,
    기판이 재치되는 재치대의 위치정보 및 접촉자의 위치정보를 각각 파악하고 이들 정보를 초기설정데이터로서 미리 기억해 두는 초기설정수단과,
    상기 검사부의 접촉자의 위치를 검출하는 제 1 검출수단과,
    상기 재치대상의 기판의 위치를 검출하는 제 2 검출수단과,
    제 1 및 제 2 검출수단에 의해 각각 얻어진 위치검출결과와, 상기 초기설정수단으로부터 불러낸 초기설정데이터를 기초로 하여 재치대상에 있어서의 기판의 위치어긋남량을 산출하는 연산수단과,
    산출된 상기 위치어긋남량을 기초로 하여 상기 재치대를 상기 검사부로 이동시키고 기판의 패드를 접촉자에 접촉시키는 이동수단을 갖는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  6. 얼라인먼트마크부착의 액정표시체용 기판이 재치되는 재치대와,
    상기 재치대상의 액정표시체용 기판의 패드에 각각 접촉되는 다수의 접촉자를 구비한 검사부와,
    상기 재치대상의 액정표시체용 기판에 빛을 조사하면서 상기 얼라인먼트마크를 검출하는 검출수단과,
    상기 얼라인먼트마크의 검출결과를 기초로 하여 기판과 접촉자를 위치맞춤하고 패드를 접촉자에 접촉시켜서 기판의 회로를 테스트하는 수단을 구비하고,
    상기 재치대는 빛의 반사율을 저감하는 광택제거처리된 기판재치면을 갖는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 기판재치면은 흑색알루마이트처리되어 있는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 재치대는 기판의 중앙부를 지지하는 제 1 재치면을 갖는 중앙재치부와,
    상기 제 1 재치면의 주위에 일정한 면을 구비하는 제 2 재치면을 갖고, 이 제 2 재치면에 의하여 기판의 둘레틀부를 지지하는 둘레틀재치부와,
    상기 둘레틀재치부를 하강시키는 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 재치대는 배기수단에 연통하는 배기통로와,
    상기 배기통로에 연통하여 기판의 외주단부와 실질적으로 동심배치되도록 상기 기판재치면에 형성된 복수개의 고리상 홈과,
    이들 복수개의 고리상 홈중 적어도 2개의 홈을 서로 연통시키는 적어도 1개의 연통홈과,
    상기 연통홈 및 상기 고리상 홈중 적어도 한쪽으로 상기 배기통로가 개구하고 있는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 재치대는 배기수단에 연통하는 배기통로와,
    상기 배기통로에 연통하여 기판의 외주단부와 실질적으로 동심배치되도록 상기 기판재치면에 형성된 복수개의 고리상 홈과,
    이들 복수개의 고리상 홈중 적어도 2개의 홈을 서로 연통시키는 적어도 1개의 연통홈과,
    상기 연통홈 및 상기 고리상 홈중 적어도 한쪽으로 상기 배기통로가 개구하고 있는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 재치대는 배기수단에 연통하는 배기통로와,
    상기 배기통로에 연통하여 기판의 외주단부와 실질적으로 동심배치되도록 상기 기판재치면에 형성된 복수개의 고리상 홈과,
    이들 복수개의 고리상 홈중 적어도 2개의 홈을 서로 연통시키는 적어도 1개의 연통홈과,
    상기 연통홈 및 상기 고리상 홈중 적어도 한쪽으로 상기 배기통로가 개구하고 있는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  12. 제 9 항에 있어서,
    상기 복수개의 고리상 홈은 면적을 달리 하는 복수종류의 액정표시체용 기판에 대응하여 배치되고,
    또한 각 고리상 홈에 연통하는 배기통로를 배기하는 수단을 개별적으로 제어하는 제어수단을 갖는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  13. 제 10 항에 있어서,
    상기 복수개의 고리상 홈은 면적을 달리 하는 복수종류의 액정표시체용 기판에 대응하여 배치되고,
    또한 각 고리상 홈에 연통하는 배기통로를 배기하는 수단을 개별적으로 제어하는 제어수단을 갖는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 복수개의 고리상 홈은 면적을 달리 하는 복수종류의 액정표시체용 기판에 대응하여 배치되고,
    또한 각 고리상 홈에 연통하는 배기통로를 배기하는 수단을 개별적으로 제어하는 제어수단을 갖는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  15. 검사되어야 할 패턴회로에 접속된 다수의 패드를 갖는 기판이 재치되는 재치대와,
    상기 재치대상의 기판의 패드에 각각 접촉되는 다수의 접촉자를 구비한 검사부와,
    복수의 기판이 수납되는 적어도 1개의 카세트를 갖는 로드/언로드부와,
    상기 로드/언로드부의 카세트내로부터 기판을 실질적으로 수평으로 반출하고 또는 카세트내에 기판을 실질적으로 수평으로 반입하는 아암을 갖는 반송수단과,
    상기 아암은 기판을 지지했을 때에 발생하는 기판의 휘어짐을 적어도 3곳으로 분산하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 아암은 기판을 이간한 2곳에서 각각 지지하기 위해 기판의 긴쪽방향으로 연장되는 1쌍의 평행아암부재를 갖는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 1쌍의 평행아암부재는 기판을 카세트에 수납했을 때의 휘어짐량과, 기판을 들어 올릴 때의 휘어짐량이 실질적으로 동등해지도록 그 상호간격을 설정하고 있는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  18. 제 16 항에 있어서,
    상기 1쌍의 평행아암부재는 기판을 카세트에 수납했을 때의 휘어짐량과, 기판을 들어 올릴 때의 휘어짐량이 실질적으로 동등해지도록 그 상호간격을 설정하고 있는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  19. 제 17 항에 있어서,
    상기 1쌍의 평행아암부재로 기판을 지지했을 때에 한쪽의 아암부재의 긴쪽 중심이 기판의 한쪽단부로부터 기판전체폭의 4분의 1의 지점에 위치하고 다른쪽의 아암부재의 긴쪽 중심이 기판의 다른쪽단부로부터 기판전체폭의 4분의 1의 지점에 위치하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  20. 제 18 항에 있어서,
    상기 1쌍의 평행아암부재로 기판을 지지했을 때에 한쪽의 아암부재의 긴쪽 중심이 기판의 한쪽단부로부터 기판전체폭의 4분의 1의 지점에 위치하고 다른쪽의 아암부재의 긴쪽 중심이 기판의 다른쪽단부로부터 기판전체폭의 4분의 1의 지점에 위치하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  21. 검사되어야 할 패턴회로에 접속된 다수의 패드를 갖는 기판이 재치되는 재치대와,
    상기 재치대상의 기판의 패드에 각각 접촉되는 다수의 접촉자를 구비한 검사부와,
    복수의 기판이 수납되는 적어도 1개의 카세트를 갖는 로드/언로드부와,
    상기 로드/언로드부의 카세트내로부터 기판을 실질적으로 수평으로 반출하고 또는 카세트내에 기판을 실질적으로 수평으로 반입하는 아암을 갖는 반송수단과,
    상기 반송수단에 의해 카세트에 반입반출되는 기판 또는 그 카세트가 갖는 정전하를 제거하기 위해 이온화가스를 상기 기판 또는 그 카세트에 공급하는 정전하제거수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 정전하제거수단은,
    카세트가 갖는 정전하를 제거하는 제 1 이오나이저와,
    반송수단에 의해 카세트에 반입반출되는 기판이 갖는 정전하를 제거하는 제 2 이오나이저를 갖는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  23. 제 22 항에 있어서,
    상기 제 1 이오나이저는 카세트의 개구를 끼우도록 그 양측에 각각 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  24. 제 21 항에 있어서,
    상기 정전하제거수단은 반송수단이 재치대를 대기하는 위치에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  25. 제 22 항에 있어서,
    상기 정전하제거수단은 반송수단이 재치대를 대기하는 위치에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  26. 제 23 항에 있어서,
    상기 정전하제거수단은 반송수단이 재치대를 대기하는 위치에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  27. 제 21 항에서 제 26 항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 정전하제거수단의 이온화가스공급부를 진동 가능하게 한 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
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