JPH02185375A - 研磨テープの製造方法及び製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、半導体や金属、セラミックなどのラッピング
やポリッシング、テクスチャリング等に使用される研磨
テープの製造方法及び製造装置に関するものである。

〔従来の技術〕

半導体や金属、セラミックなどのラッピングやポリッシ
ング、テクスチャリング等には、一般に、テープ本体の
表面に粘着剤により砥粒を付着させた研磨テープが使用
されている。この種の研磨テープにおいては、砥粒の先
端が同一平面上に位置していることが高い研磨制度を得
る上で重要であり、さもないと、砥粒の凹凸によって均
一な研磨を行うことができないばかりでなく、突出した
砥粒が加工時に脱落して遊離砥粒となり、ワークに深い
傷を付けるなどの不都合を生じ易い、ところが、従来の
研磨テープの多くは砥粒の先端か不揃いであり、そのた
め研磨精度に限界があり、精度の高い精密研磨を行なう
ことは困難であった。

即ち、一般にこの種の研磨テープは、第７図（Ａ）、（
Ｂ）に示すように、テープ本体４５上に接着剤４６で砥
粒４７を付着させる方法や、８８８図　（Ａ）〜（Ｅ）
に示すように、支持台５０上に載置した砥粒５１の回り
に鍍金処理を施すことによって該砥粒を鍍金金属層によ
り包み込み、その後に該鍍金金属層５２を支持台５０か
ら開離する方法（特公昭５５−３１ｉ４６９号公報参照
）等によって製造されていたが、いずれの方法において
も、粒度に幅がある砥粒の先端を同一平面上に揃えるこ
とは不可能に近く、研磨精度の高い研磨テープを得るこ
とは困難であった。

また、特開昭５０−２１８１０号公報に開示されている
ように、−旦シリコン樹脂上に保持させた砥粒としての
粉体を別の粘着テープに転移する方法もあるが、シリコ
ン樹脂上に保持された粉体な粘着テープに押し付けるよ
うにしているため、各粉体の先端を揃えることはできな
い。

［発明か解決しようとする課題］ 本発明の課題は、砥粒の先端が同一平面上にある研磨テ
ープを簡単に得ることができる研磨テープの製造方法お
よび製造装置を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記課題を解決するため、本発明の製造方法は、粘着テ
ープに砥粒を付着させて仮保持させる工程と、該粘着テ
ープに砥粒の突出量を設定するための可溶性物質からな
る薄膜をコーティングする工程と、上記粘着テープ上に
砥粒を覆うように樹脂をコーティングすることにより、
該砥粒を保持する研磨テープ本体を形成する工程と、上
記粘着テープを剥離する工程と、研磨テープ本体に付着
した薄膜を除去する工程と、を有することを特徴として
いる。

また１本発明の製造装置は、砥粒を仮保持させるための
粘着テープを供給する粘着テープ供給リールと、粘着テ
ープに砥粒を供給、付着させて仮保持させる砥粒供給手
段と、粘着テープに砥粒の突出量を設定する薄膜を形成
させるための可溶性物質を供給する可溶性物質供給手段
と、砥粒及び薄膜を仮保持する粘着テープ上に該砥粒を
保持する研磨テープ本体となる樹脂を供給するための樹
脂供給手段と、薄膜との境界面において粘着テープを剥
離して巻き取る粘着テープ用巻取リールと、研磨テープ
本体に付着した可溶性物質からなる薄膜を溶解、除去す
るための溶媒を収容した溶媒槽と、を有することを特徴
とするものである。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。

第１図は本発明の製造装置の第１実施例を示すもので、
この製造装置の構成を作用と共に説明すると次の通りで
ある。即ち、この製造装置は、砥粒２を仮保持させるた
めの粘着テープ３を供給する供給リール４を備えており
、該供給リール４から粘着剤３ａの塗布面を上にして連
続的に繰り出された粘着テープ３が、搬送ローラ５によ
りまず砥粒供給部６に搬送される。

この砥粒供給部６は、粘着テープ３上に砥粒２を供給す
る手段である供給ノズル７と、エアを噴射するエアノズ
ル８とを備え、供給ノズル７から比較的狭い粒度分布を
持つ砥粒２を粘着テープ３上に供給した後、エアノズル
８で非接着の砥粒２を吹き飛ばすことにより、第２図（
Ａ）に示すように、該砥粒２を粘着テープ３上に単層且
つ均一な状態で仮保持させるものである。このとき、各
砥粒２の粘着テープ３に当接する先端部は、該粘着テー
プ３によつて同一平面上に位置するように揃えられるこ
とになる。また、粘着テープ３から落下したりエアで吹
き飛ばされた非接着の砥粒２は、搬送ローラ５の下方に
位置するトレイ９によって捕集され、排出口ｌＯを通じ
て回収されるようになつている。

次に、砥粒２を仮保持せしめられた粘着テープ３は薄膜
形成部１２に送られ、搬送ローラ５の上方に位置する供
給ノズル１３から砥粒付着面上に融解状態の可溶性物質
１４ａが供給されることにより、第２図（Ｂ）に示すよ
うに、この可溶性物質によって砥粒２の一部が埋入する
厚さの薄膜１４がコーティングされる。上記可溶性物質
とは、水、酸、アルカリ、有機溶剤等の溶媒に溶は易い
物質のことであって、例えばポリビニルアルコール（Ｐ
ＶＡ）のような水に溶は易い物質を使用することができ
る。また、該可溶性物質は、それを砥粒２の上から供給
しても次第に粘着テープ３上に流下するので、該砥粒２
の回りに付着して薄膜を形成するおそれは少ないか、砥
粒２に付着しにくいものを使用することにより、薄膜の
形成をより効果的に防止することができる。また、搬送
ローラ５の下方にはトレイ１５か配設され、このトレイ
１５によって余分の可溶性物質が捕集され、回収される
ようになっている。

続いて、薄膜１４を施された上記粘着テープ３は乾燥部
１７に送られ、該薄１１！１４の乾燥、固化が行われる
。この乾燥部１７は、粘着テープ３の上下に位置する一
対の隔壁１８．１８の外側にファン１９とフィルタ２０
とをそれぞれ備え、これらのファン１９により粘着テー
プ３の進行方向と反対方向の気流を生じさせて、この気
流を粘着テープ３と向流接触させることによって薄膜１
４を乾燥させるものである。

薄膜１４が乾燥した粘着テープ３は、研磨テープ本体形
成部２２に送られる。この研磨テープ本体形成部２２は
、溶解状態の樹脂２３ａを粘着テープ３上に供給する供
給ノズル２４と、供給された樹脂の厚さ及びテープ全体
の幅を所要寸法となるように調整するスリット２５とを
備え、上記供給ノズルｚ４によって砥粒２及び薄膜１４
を覆うように樹脂をコーティングされた粘着テープ３が
スリット２５を通過することにより、第２図（Ｃ）に示
すように、砥粒２を保持する研磨テープ本体２３が該粘
着テープ３上に被設されるようになっている。なお、粘
着テープ３上に供給された余分な樹脂は、搬送ローラ５
の下方のトレイ２６により捕集されて回収されるように
なっている。

かくして研磨テープ本体２３が被設された粘着テープ３
は、乾燥部２８に送られ、ここで上記研磨テープ本体２
３が乾燥、固化される。この乾燥部２８の構成は上記薄
膜１４の乾燥部１７と実質的に同一であるので、同一構
成部分に同一符合を付してその説明は省略する。

上記乾燥部２８の後段には粘着テープ３の巻取リール３
０が配設されており、研磨テープ本体２３を被設された
粘着テープ３が乾燥部２８を出ると、該粘着テープ３は
薄膜１４との境界面において研磨テープ本体２３から剥
離され、巻取り−ル３０に巻き取られる。この時の状態
を第２図（Ｄ）に詳細に示している。

粘着テープ３が剥離された研磨テープ本体２３（第２図
（Ｅ））は、その砥粒保持面に付着した薄膜１４を除去
するために薄膜除去部３２叩送られる。

この薄膜除去部３２には、可溶性物質からなる薄膜１４
を溶解させるための溶媒３４を収容した溶媒槽３３が設
けられ、研磨テープ本体２３がこの溶媒３４中を通過す
る間に薄ｆｉ１４が溶解して除去されるようになってお
り、この薄膜１４の除去により、第２図（Ｆ）に示すよ
うに、砥粒２が薄膜１４の厚さ分だけ表面に突出した研
磨テープｌが形成される。ここで、上記可溶性物質１４
ａとしてポリビニルアルコールか使用されている場合に
は、溶媒３４として水か使用される。

薄膜１４が除去された研磨テープｌは、乾燥部３６に送
られて乾燥された後、巻取リール３７に巻き取られる。

この乾燥部３６の構成は実質的に上記乾燥部１７．２８
と同一であるから、同一部分に同一符号を付してその説
明は省略する。

かくして得られた研磨テープ１においては、各砥粒２の
研磨テープ本体２３から突出する先端部が、上記粘着テ
ープ３に仮保持されたときに該粘着テープ３により同一
平面上に位置するように揃えられているから、各砥粒２
が不揃いになるようなことがない、また、該砥粒２の突
出量ａは、上記薄膜１４の厚さを調整することによって
任意に設定することができる。

なお、上記実施例では、粘着テープ３に砥粒２を付着さ
せた後に薄膜１４をコーティングするようにしているが
、それとは逆に、先ず薄膜１４をコーティングしてから
砥粒２を付着させるようにしてもよい。

第３図は本発明の製造装置の第２実施例の薄膜形成部４
２の構成を示すもので、可溶性物質が砥粒２の回りに付
着しないようにしたものである。即ち、この第２実施例
では、粘着テープ３として第４図に示すような多数の細
孔４３を有する多孔質のものか使用され、上記薄膜形成
部４２においては、粘着テープ３の下部に可溶性物質１
４ａの供給手段としての槽４４か配設され、該槽４４内
に溶解した可溶性物質１４ａがポンプ４５により常時溝
たされている。そして、砥粒２を保持した粘着テープ３
がこの槽４４の上を通過するときに、第５図に示すよう
に、細孔４３を通じて粘着テープ３の上面に可溶性物質
１４ａが滲出し、所定厚さの薄膜１４が形成される。こ
のとき、粘着テープ３の上方に薄膜１４の厚さを検出す
るレーザ厚さセンサ４６と、粘着テープ３上に滲出した
可溶性物質の液面を検出するレーザ液面センサ４７とを
配設しておくことにより、薄膜１４の管理を容易に行う
ことができる。

なお、第３図中４８は粘着テープ３の下面に付着した可
溶性物質１４ａを除去する部材、４９は槽から溢れ出た
可溶性物質１４ａを受ける受皿である。

上記第２実施例のその他の構成は、実質的に第１図のも
のと同じである。

第６図は本発明の製造装置の第３実施例を示すもので、
この装置においては、粘着テープ３を粘着剤塗布面を下
向きにして供給し、始めに薄膜形成部１２において該粘
着テープ３に可溶性物質１４ａを供給して薄膜１４を形
成した後、砥粒供給部６において静電植毛法を利用して
砥粒２を供給、付着するように構成されており、その他
の構成及び作用は実質的に上記第１実施例のものと同じ
であるから、同一部分に同一符合を付してその説明は省
略する。

上記砥粒供給部６は、粘着テープ３を挾んで該粘着テニ
ブ３に近接する上部電極４０と上下動自在の下部電極４
１とを配設し、上部電極４０を接地すると共に下部電極
４１に負の高電圧を印加して、供給ノズル７を通じて該
下部電極４１上に供給した砥粒２を上部電極４０に吸引
させて粘着テープ３に付着させるように構成されている
。

なお、上記第３実施例において、砥粒供給部６を薄膜形
成部１２の前に配設しても良いことは勿論である。

［発明の効果］ このように本発明によれば、砥粒を粘着テープに付着さ
せることによってそれらの先端を揃えた状態とした後、
該砥粒を研磨テープ本体に保持させるようにしたので、
各砥粒の先端が同一平面上に位置する研磨テープを簡単
且つ確実に得ることができ、しかも、薄膜の厚さを調整
することによって砥粒の突出量を任意に設定することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の製造装置のＩ８１実施例を示す構成図
、第２図（＾）〜（Ｆ）は研磨テープの形成過程を示す
説明図、第３図は本発明の製造装置の第２実施例におけ
る要部の構成図、第４図は第２実施例に使用される粘着
テープの部分平面図、第５図は第２実施例の作用を説明
する要部拡大断面図、第６図は本発明の製造装置の第３
実施例を示す構成図、第７図（Ａ）、（Ｂ）及び８８８
図（＾）〜（Ｅ）はそれぞれ従来の研磨テープの製造方
法の説明図である。 ｌ　・・研磨テープ、 ２　　・砥粒、 ３　・粘着テープ、 ４　・粘着テープ供給リール、 ７・・砥粒供給ノズル。 １３・・可溶性物質供給ノズル、 １４・・薄膜、 ４ａ ２３・ ３ａ ２４・ ３０・ ３３・ ３４・ ４４・ ・可溶性物質、 ・研磨テープ本体、 ・樹脂、 ・樹脂供給ノズル。 ・粘着テープ巻取リール、 ・溶媒槽、 ・溶媒、 ・槽。 特許出願人　スピードファム株式会社 （外１名）　−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、粘着テープに砥粒を付着させて仮保持させる工程と
   、 該粘着テープに砥粒の突出量を設定するための可溶性物
   質からなる薄膜をコーティングする工程と、 上記粘着テープ上に砥粒を覆うように樹脂をコーティン
   グすることにより、該砥粒を保持する研磨テープ本体を
   形成する工程と、 上記粘着テープを剥離する工程と、 研磨テープ本体に付着した薄膜を除去する工程と、 を有することを特徴とする研磨テープの製造方法。 ２、砥粒を仮保持させるための粘着テープを供給する粘
   着テープ供給リールと、 粘着テープに砥粒を供給、付着させて仮保持させる砥粒
   供給手段と、 粘着テープに砥粒の突出量を設定する薄膜を形成させる
   ための可溶性物質を供給する可溶性物質供給手段と、 砥粒及び薄膜を仮保持する粘着テープ上に該砥粒を保持
   する研磨テープ本体となる樹脂を供給するための樹脂供
   給手段と 薄膜との境界面において粘着テープ、を剥離して巻き取
   る粘着テープ用巻取リールと、 研磨テープ本体に付着した可溶性物質からなる薄膜を溶
   解、除去するための溶媒を収容した溶媒槽と、 を有することを特徴とする研磨テープの製造装置。