JPH0760211A - 除塵装置 - Google Patents
除塵装置Info
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- JPH0760211A JPH0760211A JP5240672A JP24067293A JPH0760211A JP H0760211 A JPH0760211 A JP H0760211A JP 5240672 A JP5240672 A JP 5240672A JP 24067293 A JP24067293 A JP 24067293A JP H0760211 A JPH0760211 A JP H0760211A
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- air
- nozzle
- dust
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- chamber
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
- B08B5/023—Cleaning travelling work
- B08B5/026—Cleaning moving webs
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/04—Cleaning by suction, with or without auxiliary action
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- Cleaning In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワークに付着した塵を除去する洗浄効果に優
れ、かつ、騒音を低減できる除塵装置を提供する。 【構成】 エア排出室２とエア吸入室３とを有するケー
シング４の下面側に、相互に接近する方向に超音波エア
を噴出する第１噴出ノズル11と第２噴出ノズル12を、設
ける。かつ、第１噴出ノズル11と第２噴出ノズル12の間
に、吸引ノズル９を配設する。第１噴出ノズル11と第２
噴出ノズル12とワークＷ表面との間に、合流乱流空室16
を形成する。吸引ノズル９の開口部を有する壁面17, 17
を、側面視に於て上方へ弧状に弯曲する凹面24に形成す
る。凹面24の上流側端縁に第１噴出ノズル11を配設し、
かつ、凹面24の下流側端縁に第２噴出ノズル12を配設す
る。
れ、かつ、騒音を低減できる除塵装置を提供する。 【構成】 エア排出室２とエア吸入室３とを有するケー
シング４の下面側に、相互に接近する方向に超音波エア
を噴出する第１噴出ノズル11と第２噴出ノズル12を、設
ける。かつ、第１噴出ノズル11と第２噴出ノズル12の間
に、吸引ノズル９を配設する。第１噴出ノズル11と第２
噴出ノズル12とワークＷ表面との間に、合流乱流空室16
を形成する。吸引ノズル９の開口部を有する壁面17, 17
を、側面視に於て上方へ弧状に弯曲する凹面24に形成す
る。凹面24の上流側端縁に第１噴出ノズル11を配設し、
かつ、凹面24の下流側端縁に第２噴出ノズル12を配設す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、除塵装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の除塵装置としては、図７に示すよ
うに、矢印ａ方向に走行するワークｂの上方に、走行方
向に直交する方向に配設される除塵ヘッドｍを備えてい
た。その除塵ヘッドｍは、ケーシングｃ内を仕切壁ｄに
て下流側のエア排出室ｅと上流側のエア吸入室ｆとに分
けて、エア排出室ｅの底部に超音波発生器ｇを設けると
共にその超音波発生器ｇの下方に超音波エアを発生する
噴出ノズルｈを開設し、かつ、エア吸入室ｆの底壁部に
吸引ノズルｉを開設したものであった。
うに、矢印ａ方向に走行するワークｂの上方に、走行方
向に直交する方向に配設される除塵ヘッドｍを備えてい
た。その除塵ヘッドｍは、ケーシングｃ内を仕切壁ｄに
て下流側のエア排出室ｅと上流側のエア吸入室ｆとに分
けて、エア排出室ｅの底部に超音波発生器ｇを設けると
共にその超音波発生器ｇの下方に超音波エアを発生する
噴出ノズルｈを開設し、かつ、エア吸入室ｆの底壁部に
吸引ノズルｉを開設したものであった。
【０００３】この装置を使用してワークｂに付着した塵
ｊ…を除去するには、塵ｊ…が付着したワークｂの表面
に噴出ノズルｈから超音波エアを斜め下方へ噴出し、そ
の超音波ｋといわゆるエアナイフとの相乗効果により、
塵ｊ…をワークｂから剥離させ、そのエアと塵ｊ…を吸
引ノズルｉからエア吸入室ｆ内に吸入していた。
ｊ…を除去するには、塵ｊ…が付着したワークｂの表面
に噴出ノズルｈから超音波エアを斜め下方へ噴出し、そ
の超音波ｋといわゆるエアナイフとの相乗効果により、
塵ｊ…をワークｂから剥離させ、そのエアと塵ｊ…を吸
引ノズルｉからエア吸入室ｆ内に吸入していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のような
従来の除塵装置では、噴出ノズルｈから出た超音波エア
がワークｂの上流側へ一方向に進むため、ワークｂの表
面に強力なエア境界層ｌが生じ易く、その境界槽ｌを完
全に破ることができなかった。
従来の除塵装置では、噴出ノズルｈから出た超音波エア
がワークｂの上流側へ一方向に進むため、ワークｂの表
面に強力なエア境界層ｌが生じ易く、その境界槽ｌを完
全に破ることができなかった。
【０００５】このため、塵ｊ…がワークｂから剥離しな
い場合があり、塵ｊがワークｂに付着したまま下流側へ
流れてしまうことがあった。
い場合があり、塵ｊがワークｂに付着したまま下流側へ
流れてしまうことがあった。
【０００６】そこで、本発明は、上述の問題を解決し
て、境界層を完全に破ることができると共に、ワークに
付着した塵を効率よく除去することができ、かつ、優れ
たワークの洗浄効果を有する除塵装置を提供することを
目的とする。
て、境界層を完全に破ることができると共に、ワークに
付着した塵を効率よく除去することができ、かつ、優れ
たワークの洗浄効果を有する除塵装置を提供することを
目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明に係る除塵装置は、相互に接近する方向に
超音波エアを噴出する第１噴出ノズルと第２噴出ノズル
を、設けると共に、該第１噴出ノズルと第２噴出ノズル
の間に、吸引ノズルを配設したものである。
めに、本発明に係る除塵装置は、相互に接近する方向に
超音波エアを噴出する第１噴出ノズルと第２噴出ノズル
を、設けると共に、該第１噴出ノズルと第２噴出ノズル
の間に、吸引ノズルを配設したものである。
【０００８】また、第１噴出ノズルと第２噴出ノズルと
ワーク表面との間に、合流乱流空室を形成するも好まし
い。
ワーク表面との間に、合流乱流空室を形成するも好まし
い。
【０００９】また、吸引ノズルの開口部を有する壁面
を、側面視に於て上方へ弧状に弯曲する凹面に形成する
のも望ましい。
を、側面視に於て上方へ弧状に弯曲する凹面に形成する
のも望ましい。
【００１０】さらに、凹面の上流側端縁に第１噴出ノズ
ルを配設し、かつ、凹面の下流側端縁に第２噴出ノズル
を配設するのも好ましい。
ルを配設し、かつ、凹面の下流側端縁に第２噴出ノズル
を配設するのも好ましい。
【００１１】また、第１噴出ノズルと第２噴出ノズルと
吸引ノズルとを、エア排出室とエア吸入室とを有するケ
ーシングの下面側に、配設するも好ましい。
吸引ノズルとを、エア排出室とエア吸入室とを有するケ
ーシングの下面側に、配設するも好ましい。
【００１２】
【作用】第１噴出ノズルと第２噴出ノズルの下方にてワ
ークを走行させれば、第１噴出ノズルと第２噴出ノズル
から噴出する超音波エアは、ワーク表面上を相互に接近
する方向に流れ、その後合流する。この超音波エアの合
流する部位にて、ワークに付着した塵に、180 °反対の
２方向から超音波エアが当たる。これにより、塵に浮力
が生じ、ワークから塵が剥離する。
ークを走行させれば、第１噴出ノズルと第２噴出ノズル
から噴出する超音波エアは、ワーク表面上を相互に接近
する方向に流れ、その後合流する。この超音波エアの合
流する部位にて、ワークに付着した塵に、180 °反対の
２方向から超音波エアが当たる。これにより、塵に浮力
が生じ、ワークから塵が剥離する。
【００１３】また、超音波エアの合流により乱流が生じ
る。これにより、ワーク表面に生じる境界層が破壊され
る。あるいは、ワークに付着した塵の付着状態によって
は、除去され易い方向があることも考えられるが、本発
明では、異なる方向から噴出して、いずれかの方向の噴
出によって、塵が除去されることとなる。
る。これにより、ワーク表面に生じる境界層が破壊され
る。あるいは、ワークに付着した塵の付着状態によって
は、除去され易い方向があることも考えられるが、本発
明では、異なる方向から噴出して、いずれかの方向の噴
出によって、塵が除去されることとなる。
【００１４】合流した超音波エアは吸引ノズル内に吸入
される。このため、第１噴出ノズルの上流側と第２噴出
ノズルの下流側にエアと音が漏れなくなる。
される。このため、第１噴出ノズルの上流側と第２噴出
ノズルの下流側にエアと音が漏れなくなる。
【００１５】第１噴出ノズルと第２噴出ノズルの間に、
合流乱流空室を形成すれば、合流乱流空室内に強い乱流
が発生する。
合流乱流空室を形成すれば、合流乱流空室内に強い乱流
が発生する。
【００１６】吸引ノズルの開口部を有する壁面を、側面
視に於て上方へ弧状に弯曲する凹面に形成すれば、合流
したエアを吸引ノズル内に送り易くる。
視に於て上方へ弧状に弯曲する凹面に形成すれば、合流
したエアを吸引ノズル内に送り易くる。
【００１７】凹面の上流側端縁に第１噴出ノズルを配設
し、かつ、凹面の下流側端縁に第２噴出ノズルを配設す
れば、強い乱流が生じると共に、合流したエアを吸引ノ
ズル内に送り易くなる。
し、かつ、凹面の下流側端縁に第２噴出ノズルを配設す
れば、強い乱流が生じると共に、合流したエアを吸引ノ
ズル内に送り易くなる。
【００１８】第１噴出ノズルと第２噴出ノズルと吸引ノ
ズルとを、エア排出室とエア吸入室とを有するケーシン
グの下面側に、配設すれば、取扱が容易となる。
ズルとを、エア排出室とエア吸入室とを有するケーシン
グの下面側に、配設すれば、取扱が容易となる。
【００１９】
【実施例】以下、実施例を示す図面に基づいて本発明を
詳説する。
詳説する。
【００２０】図１は、本発明に係る除塵装置の一実施例
の断面側面図を示し、この装置は、除塵ヘッド１と、図
外のブロワーユニットと、プラスチックフィルム等の長
尺薄肉連続体やガラス板等の板状体（枚葉）からなるワ
ークＷを矢印Ａで示す如く上流側から下流側へ走行させ
る図示省略の搬送手段と、を備えている。
の断面側面図を示し、この装置は、除塵ヘッド１と、図
外のブロワーユニットと、プラスチックフィルム等の長
尺薄肉連続体やガラス板等の板状体（枚葉）からなるワ
ークＷを矢印Ａで示す如く上流側から下流側へ走行させ
る図示省略の搬送手段と、を備えている。
【００２１】しかして、除塵ヘッド１は、ワークＷの走
行方向に直交する方向に配設されるケーシング４と、そ
のケーシング４内に設けられる超音波発生器６，６と、
からなる。
行方向に直交する方向に配設されるケーシング４と、そ
のケーシング４内に設けられる超音波発生器６，６と、
からなる。
【００２２】ケーシング４内は、円筒状の仕切壁５に
て、その仕切壁５の外側のエア排出室２と、内側のエア
吸入室３とに分けられる。エア排出室２には、仮想線で
示すようにエア供給路７が連通連結され、かつ、エア吸
入室３には、図示省略のエア吸入路が連通連結される。
て、その仕切壁５の外側のエア排出室２と、内側のエア
吸入室３とに分けられる。エア排出室２には、仮想線で
示すようにエア供給路７が連通連結され、かつ、エア吸
入室３には、図示省略のエア吸入路が連通連結される。
【００２３】そして、ブロワーユニットからエア供給路
７を介してエア排出室２にエアが供給され、エア吸入室
３内のエアがエア吸入路を介してブロワーユニットに戻
るように構成されている。
７を介してエア排出室２にエアが供給され、エア吸入室
３内のエアがエア吸入路を介してブロワーユニットに戻
るように構成されている。
【００２４】また、ケーシング４の底壁８の上流側寄り
と下流側寄りに、相互に接近する方向に超音波エアを噴
出する第１噴出ノズル11と第２噴出ノズル12を、設ける
と共に、第１噴出ノズル11と第２噴出ノズル12の間に、
吸引ノズル９を配設する。
と下流側寄りに、相互に接近する方向に超音波エアを噴
出する第１噴出ノズル11と第２噴出ノズル12を、設ける
と共に、第１噴出ノズル11と第２噴出ノズル12の間に、
吸引ノズル９を配設する。
【００２５】具体的には、ケーシング４の底壁８と仕切
壁５との間に、ケーシング４と平行であって相互に平行
に並ぶ帯板状鉛直壁部10, 10を連続状に形成し、かつ、
その帯板状鉛直壁部10, 10の間の空間部をエア吸入室３
内とケーシング４の外部に連通させて、ケーシング４に
平行なスリット状の吸引ノズル９を形成する。
壁５との間に、ケーシング４と平行であって相互に平行
に並ぶ帯板状鉛直壁部10, 10を連続状に形成し、かつ、
その帯板状鉛直壁部10, 10の間の空間部をエア吸入室３
内とケーシング４の外部に連通させて、ケーシング４に
平行なスリット状の吸引ノズル９を形成する。
【００２６】さらに、吸引ノズル９の開口部を有する壁
面17, 17を、側面視に於て上方へ弧状に弯曲する凹面24
に形成する。
面17, 17を、側面視に於て上方へ弧状に弯曲する凹面24
に形成する。
【００２７】また、エア排出室２の下半部は、仕切壁５
と帯板状鉛直壁部10, 10により、上流側排出室２ａと下
流側排出室２ｂとに分けられる。そして、上流側排出室
２ａの底部と、下流側排出室２ｂの底部に、超音波発生
器６，６を固定する。
と帯板状鉛直壁部10, 10により、上流側排出室２ａと下
流側排出室２ｂとに分けられる。そして、上流側排出室
２ａの底部と、下流側排出室２ｂの底部に、超音波発生
器６，６を固定する。
【００２８】超音波発生器６は、図２に示すように、第
１噴出ノズル11又は第２噴出ノズル12に平行な連続溝13
を有するブロック体からなり、連続溝13は、鉛直部14と
該鉛直部14に連通連結される上下一対の水平部15, 15と
からなる。
１噴出ノズル11又は第２噴出ノズル12に平行な連続溝13
を有するブロック体からなり、連続溝13は、鉛直部14と
該鉛直部14に連通連結される上下一対の水平部15, 15と
からなる。
【００２９】前記第１噴出ノズル11と第２噴出ノズル12
は、夫々、上流側排出室２ａの底壁部８ａと、下流側排
出室２ｂの底壁部８ｂに、開設される。つまり、第１噴
出ノズル11と第２噴出ノズル12と吸引ノズル９とを、ケ
ーシング４の下面側に、配設する。さらに、第１噴出ノ
ズル11と第２噴出ノズル12は、超音波発生器６の連続溝
13に連通連結される。
は、夫々、上流側排出室２ａの底壁部８ａと、下流側排
出室２ｂの底壁部８ｂに、開設される。つまり、第１噴
出ノズル11と第２噴出ノズル12と吸引ノズル９とを、ケ
ーシング４の下面側に、配設する。さらに、第１噴出ノ
ズル11と第２噴出ノズル12は、超音波発生器６の連続溝
13に連通連結される。
【００３０】また、凹面24の上流側端縁をなす角部に第
１噴出ノズル11を開口させ、かつ、凹面24の下流側端縁
をなす角部に第２噴出ノズル12を開口させる。つまり、
凹面24の上流側端縁に第１噴出ノズル11を配設し、か
つ、凹面24の下流側端縁に第２噴出ノズル12を配設す
る。
１噴出ノズル11を開口させ、かつ、凹面24の下流側端縁
をなす角部に第２噴出ノズル12を開口させる。つまり、
凹面24の上流側端縁に第１噴出ノズル11を配設し、か
つ、凹面24の下流側端縁に第２噴出ノズル12を配設す
る。
【００３１】第１噴出ノズル11と第２噴出ノズル12は、
下方へ行くにつれて相互に接近する方向に傾斜する。な
お、図６に示すように、ワークＷがローラー25に沿って
曲がりつつ送られるシート体（ウエブ）の場合、第１噴
出ノズル11と第２噴出ノズル12の傾斜角度θ1 ，θ2 は
実質的に各々θ1 ′，θ2 ′となる。つまり、θ1 ′＝
（θ1 ＋θ／２），θ2 ′＝（θ2 ＋θ／２）となる。
そして、第１噴出ノズル11の傾斜角度θ1 と、第２噴出
ノズル12の傾斜角度θ2 は、夫々、10°〜30°程度の範
囲とし、特に好ましくは約20°とする。
下方へ行くにつれて相互に接近する方向に傾斜する。な
お、図６に示すように、ワークＷがローラー25に沿って
曲がりつつ送られるシート体（ウエブ）の場合、第１噴
出ノズル11と第２噴出ノズル12の傾斜角度θ1 ，θ2 は
実質的に各々θ1 ′，θ2 ′となる。つまり、θ1 ′＝
（θ1 ＋θ／２），θ2 ′＝（θ2 ＋θ／２）となる。
そして、第１噴出ノズル11の傾斜角度θ1 と、第２噴出
ノズル12の傾斜角度θ2 は、夫々、10°〜30°程度の範
囲とし、特に好ましくは約20°とする。
【００３２】また、ケーシング４の下端面とワークＷ表
面との間の間隔寸法Ｓは、１〜２mm程度とするのが好ま
しい。さらに、第１噴出ノズル11と第２噴出ノズル12の
下方開口部の相互間隔寸法Ｘは、30〜40mm程度とするの
が好ましい（図１参照）。
面との間の間隔寸法Ｓは、１〜２mm程度とするのが好ま
しい。さらに、第１噴出ノズル11と第２噴出ノズル12の
下方開口部の相互間隔寸法Ｘは、30〜40mm程度とするの
が好ましい（図１参照）。
【００３３】また、第１噴出ノズル11と第２噴出ノズル
12とワークＷ表面との間に、合流乱流空室16を形成す
る。即ち、ケーシング４の凹面24とその下方のワークＷ
の上面との間の空間が、合流乱流空室16となる。
12とワークＷ表面との間に、合流乱流空室16を形成す
る。即ち、ケーシング４の凹面24とその下方のワークＷ
の上面との間の空間が、合流乱流空室16となる。
【００３４】なお、エア吸入室３の他端側にエア吸入路
が連通連結されてエアが他端側へ吸入される場合、吸引
ノズル９の吸引力が全長において略同一になるように、
吸引ノズル９の開口幅寸法Ｖをエア吸入室３の一端側か
ら他端側へ、段階的に又は無段階で、次第に縮幅させる
のも好ましい。
が連通連結されてエアが他端側へ吸入される場合、吸引
ノズル９の吸引力が全長において略同一になるように、
吸引ノズル９の開口幅寸法Ｖをエア吸入室３の一端側か
ら他端側へ、段階的に又は無段階で、次第に縮幅させる
のも好ましい。
【００３５】次に、上述の如く構成された除塵装置を使
用して、ワークＷに付着した塵Ｒを除去する方法を説明
する。
用して、ワークＷに付着した塵Ｒを除去する方法を説明
する。
【００３６】ワークＷを、図２の矢印Ａ方向に0.01〜10
ｍ／sec 程度の速度で走行させる。この際、ブロワーユ
ニットから除塵ヘッド１のエア排出室２に1200〜1800mm
Aq程度の圧力のエアを供給する。
ｍ／sec 程度の速度で走行させる。この際、ブロワーユ
ニットから除塵ヘッド１のエア排出室２に1200〜1800mm
Aq程度の圧力のエアを供給する。
【００３７】エア排出室２に供給されたエアは高速（ 1
40〜 200ｍ／sec 程度）で、上流側と下流側の超音波発
生器６，６の連続溝13，13を通過し、この連続溝13，13
を通過したエアは、超音波エアＥ1 ，Ｅ2 （30〜 120Ｋ
Ｈz 程度の周波数の超音波が乗ったエア流）となって、
第１噴出ノズル11と第２噴出ノズル12から、傾斜角度θ
1 ，θ2 に平行に吹き出される。
40〜 200ｍ／sec 程度）で、上流側と下流側の超音波発
生器６，６の連続溝13，13を通過し、この連続溝13，13
を通過したエアは、超音波エアＥ1 ，Ｅ2 （30〜 120Ｋ
Ｈz 程度の周波数の超音波が乗ったエア流）となって、
第１噴出ノズル11と第２噴出ノズル12から、傾斜角度θ
1 ，θ2 に平行に吹き出される。
【００３８】そして、超音波エアＥ1 ，Ｅ2 は、相互に
接近する方向に流れて合流乱流空室16の中間部で合流す
る。これにより、合流乱流空室16内にエアの乱流が生じ
る。
接近する方向に流れて合流乱流空室16の中間部で合流す
る。これにより、合流乱流空室16内にエアの乱流が生じ
る。
【００３９】ところで、ワークＷ表面をエアが一方向に
高速で流れるとワークＷ表面に境界層20が生じる。この
ため、ワークＷに付着している微小な塵Ｒ（例えば直径
１〜10μｍ）は、境界層20内に閉じ込められる。
高速で流れるとワークＷ表面に境界層20が生じる。この
ため、ワークＷに付着している微小な塵Ｒ（例えば直径
１〜10μｍ）は、境界層20内に閉じ込められる。
【００４０】しかし、合流乱流空室16内ではエアの乱流
により、境界層20が生じ難く、かつ、生じた境界層20も
破壊される。
により、境界層20が生じ難く、かつ、生じた境界層20も
破壊される。
【００４１】しかも、図３の略図で示すように、境界層
20は超音波21, 21によっても破壊される。これにより、
ワークＷ表面にエアが直接当たり、いわゆるエアナイフ
の効果により塵ＲをワークＷ表面から剥離させることが
できる。
20は超音波21, 21によっても破壊される。これにより、
ワークＷ表面にエアが直接当たり、いわゆるエアナイフ
の効果により塵ＲをワークＷ表面から剥離させることが
できる。
【００４２】さらに、図４に拡大して示すように、超音
波エアＥ1 ，Ｅ2 の合流点では、塵Ｒに 180°反対の２
方向（ワークＷの上流側と下流側）から超音波エア
Ｅ1 ，Ｅ2 が当たり、塵Ｒに矢印Ｂ方向の浮力が生じ
る。これにより、塵ＲをワークＷ表面から確実に剥離さ
せることができる。
波エアＥ1 ，Ｅ2 の合流点では、塵Ｒに 180°反対の２
方向（ワークＷの上流側と下流側）から超音波エア
Ｅ1 ，Ｅ2 が当たり、塵Ｒに矢印Ｂ方向の浮力が生じ
る。これにより、塵ＲをワークＷ表面から確実に剥離さ
せることができる。
【００４３】図２にもどって、ワークＷ表面から剥離し
た塵Ｒは、吸引ノズル９を通り、エア吸入室３内に吸入
される。こうして、塵Ｒが除去される。
た塵Ｒは、吸引ノズル９を通り、エア吸入室３内に吸入
される。こうして、塵Ｒが除去される。
【００４４】図５は、本発明の除塵装置の他の実施例を
示し、この場合、２個の除塵ヘッド１，１を上流側と下
流側に平行に隣接させて設けている。
示し、この場合、２個の除塵ヘッド１，１を上流側と下
流側に平行に隣接させて設けている。
【００４５】このようにすれば、ワークＷ表面から塵Ｒ
を除去する効率をより高くすることができ、かつ、より
確実に塵Ｒを除去し得る。
を除去する効率をより高くすることができ、かつ、より
確実に塵Ｒを除去し得る。
【００４６】なお、上記２個の除塵ヘッド１，１を一体
状に形成するも自由である。そして、その場合、上流側
の除塵ヘッド１の下流側エア排出室２ｂと、下流側の除
塵ヘッド１の上流側エア排出室２ａとの間の壁部を省略
して相互に連通状とするのも好ましい。
状に形成するも自由である。そして、その場合、上流側
の除塵ヘッド１の下流側エア排出室２ｂと、下流側の除
塵ヘッド１の上流側エア排出室２ａとの間の壁部を省略
して相互に連通状とするのも好ましい。
【００４７】次に実験例を示す。
【００４８】図６に示すように、長方形のガラス板23に
２mm平方のポイントＰ1 〜Ｐ8 を１列に等間隔にマーキ
ングした。そして、液晶表示板に使用される直径５μm
のスペーサビーズを、各ポイントＰ1 〜Ｐ8 に300 〜40
0 個ずつ散布した。
２mm平方のポイントＰ1 〜Ｐ8 を１列に等間隔にマーキ
ングした。そして、液晶表示板に使用される直径５μm
のスペーサビーズを、各ポイントＰ1 〜Ｐ8 に300 〜40
0 個ずつ散布した。
【００４９】上記のようにスペーサビーズを散布したガ
ラス板23を６枚作成し、これをワークＷとして、図７に
示した従来の除塵装置と、図１に示した本発明の除塵装
置にて、夫々、３枚ずつ除塵を行った。なお、噴出する
エアの圧力を1600mmAqに設定し、除塵ヘッドとワーク表
面との間の間隔寸法を４〜５mmに設定した。
ラス板23を６枚作成し、これをワークＷとして、図７に
示した従来の除塵装置と、図１に示した本発明の除塵装
置にて、夫々、３枚ずつ除塵を行った。なお、噴出する
エアの圧力を1600mmAqに設定し、除塵ヘッドとワーク表
面との間の間隔寸法を４〜５mmに設定した。
【００５０】上述の除塵終了後、ガラス板23の各ポイン
トＰ1 〜Ｐ8 に残留したスペーサビーズの個数を数えた
結果を次の表１に示す。
トＰ1 〜Ｐ8 に残留したスペーサビーズの個数を数えた
結果を次の表１に示す。
【００５１】
【表１】
【００５２】表１から、本発明の除塵装置は、従来のも
のよりも優れた除塵能力を有することが分かった。
のよりも優れた除塵能力を有することが分かった。
【００５３】
【発明の効果】本発明は上述の如く構成されているの
で、次に記載する効果を奏する。
で、次に記載する効果を奏する。
【００５４】（図７に示すように）ワークＷに対して付
着位置26にて付着した塵ＲはワークＷから除去され易い
方向と除去され難い方向とを有する（方向性を有する）
ことがある。つまり、図７の左の塵は図の左方向からの
超音波エアＥ2 にて吹き飛ばされ易く、また、同図の右
の塵は逆に右方向からの超音波エアＥ1 にて吹き飛ばさ
れ易い。このような塵Ｒの付着状態にあって、本発明で
は異なる方向から超音波エアＥ1 ，Ｅ2 が吹き付けられ
るので、確実に除去が行なわれる。従って、ワークＷに
付着した塵Ｒを効率良く除去することができ、優れたワ
ークＷの洗浄効果を有するものとし得る。
着位置26にて付着した塵ＲはワークＷから除去され易い
方向と除去され難い方向とを有する（方向性を有する）
ことがある。つまり、図７の左の塵は図の左方向からの
超音波エアＥ2 にて吹き飛ばされ易く、また、同図の右
の塵は逆に右方向からの超音波エアＥ1 にて吹き飛ばさ
れ易い。このような塵Ｒの付着状態にあって、本発明で
は異なる方向から超音波エアＥ1 ，Ｅ2 が吹き付けられ
るので、確実に除去が行なわれる。従って、ワークＷに
付着した塵Ｒを効率良く除去することができ、優れたワ
ークＷの洗浄効果を有するものとし得る。
【００５５】また、第１噴出ノズル11の上流側と第２噴
出ノズル12の下流側にエアが漏れないようにすることが
でき、ワークＷから剥離した塵Ｒを、確実に吸引ノズル
９内に送ることができる。さらに、外部への音漏れを防
止でき、騒音を低減させ得る。
出ノズル12の下流側にエアが漏れないようにすることが
でき、ワークＷから剥離した塵Ｒを、確実に吸引ノズル
９内に送ることができる。さらに、外部への音漏れを防
止でき、騒音を低減させ得る。
【００５６】第１噴出ノズル11と第２噴出ノズル12と吸
引ノズル９とを、エア排出室２とエア吸入室３とを有す
るケーシング４の下面側に、配設すれば、除塵装置の組
立てが容易となり、かつ、第１噴出ノズル11，第２噴出
ノズル12，吸引ノズル９の位置決めを容易に行い得る。
引ノズル９とを、エア排出室２とエア吸入室３とを有す
るケーシング４の下面側に、配設すれば、除塵装置の組
立てが容易となり、かつ、第１噴出ノズル11，第２噴出
ノズル12，吸引ノズル９の位置決めを容易に行い得る。
【図１】本発明の一実施例の断面側面図である。
【図２】要部拡大断面側面図である。
【図３】使用状態を説明する簡略図である。
【図４】使用状態を説明する要部拡大断面図である。
【図５】他の実施例の要部断面側面図である。
【図６】別の使用状態を説明する要部拡大断面図であ
る。
る。
【図７】作用を説明する簡略図である。
【図８】実験例のワークを示す平面図である。
【図９】従来例を示す断面側面図である。
９ 吸引ノズル 11 第１噴出ノズル 12 第２噴出ノズル 16 合流乱流空室 17 壁面 24 凹面 Ｅ1 超音波エア Ｅ2 超音波エア Ｗ ワーク
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年１０月１６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００２】
【従来の技術】従来の除塵装置としては、図９に示すよ
うに、矢印ａ方向に走行するワークｂの上方に、走行方
向に直交する方向に配設される除塵ヘッドｍを備えてい
た。その除塵ヘッドｍは、ケーシングｃ内を仕切壁ｄに
て下流側のエア排出室ｅと上流側のエア吸入室ｆとに分
けて、エア排出室ｅの底部に超音波発生器ｇを設けると
共にその超音波発生器ｇの下方に超音波エアを発生する
噴出ノズルｈを開設し、かつ、エア吸入室ｆの底壁部に
吸引ノズルｉを開設したものであった。
うに、矢印ａ方向に走行するワークｂの上方に、走行方
向に直交する方向に配設される除塵ヘッドｍを備えてい
た。その除塵ヘッドｍは、ケーシングｃ内を仕切壁ｄに
て下流側のエア排出室ｅと上流側のエア吸入室ｆとに分
けて、エア排出室ｅの底部に超音波発生器ｇを設けると
共にその超音波発生器ｇの下方に超音波エアを発生する
噴出ノズルｈを開設し、かつ、エア吸入室ｆの底壁部に
吸引ノズルｉを開設したものであった。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４８】図８に示すように、長方形のガラス板２３
に２ｍｍ平方のポイントＰ１〜Ｐ８を１列に等間隔にマ
ーキングした。そして、液晶表示板に使用される直径５
μｍのスペーサビーズを、各ポイントＰ１〜Ｐ８に３０
０〜４００個ずつ散布した。
に２ｍｍ平方のポイントＰ１〜Ｐ８を１列に等間隔にマ
ーキングした。そして、液晶表示板に使用される直径５
μｍのスペーサビーズを、各ポイントＰ１〜Ｐ８に３０
０〜４００個ずつ散布した。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４９】上記のようにスペーサビーズを散布したガ
ラス板２３を６枚作成し、これをワークＷとして、図９
に示した従来の除塵装置と、図１に示した本発明の除塵
装置にて、夫々、３枚ずつ除塵を行った。なお、噴出す
るエアの圧力を１６００ｍｍＡｑに設定し、除塵ヘッド
とワーク表面との間の間隔寸法を４〜５ｍｍに設定し
た。
ラス板２３を６枚作成し、これをワークＷとして、図９
に示した従来の除塵装置と、図１に示した本発明の除塵
装置にて、夫々、３枚ずつ除塵を行った。なお、噴出す
るエアの圧力を１６００ｍｍＡｑに設定し、除塵ヘッド
とワーク表面との間の間隔寸法を４〜５ｍｍに設定し
た。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
Claims (5)
- 【請求項１】 相互に接近する方向に超音波エアＥ1 ,
Ｅ2 を噴出する第１噴出ノズル11と第２噴出ノズル12
を、設けると共に、該第１噴出ノズル11と第２噴出ノズ
ル12の間に、吸引ノズル９を配設したことを特徴とする
除塵装置。 - 【請求項２】 第１噴出ノズル11と第２噴出ノズル12と
ワークＷ表面との間に、合流乱流空室16を形成した請求
項１記載の除塵装置。 - 【請求項３】 吸引ノズル９の開口部を有する壁面17,
17を、側面視に於て上方へ弧状に弯曲する凹面24に形成
した請求項１記載の除塵装置。 - 【請求項４】 凹面24の上流側端縁に第１噴出ノズル11
を配設し、かつ、凹面24の下流側端縁に第２噴出ノズル
12を配設した請求項３記載の除塵装置。 - 【請求項５】 第１噴出ノズル11と第２噴出ノズル12と
吸引ノズル９とを、エア排出室２とエア吸入室３とを有
するケーシング４の下面側に、配設した請求項１記載の
除塵装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5240672A JP2820599B2 (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 除塵装置 |
| TW082109119A TW231974B (en) | 1993-08-31 | 1993-11-02 | Dust sweeping device |
| US08/169,206 US5457847A (en) | 1993-08-31 | 1993-12-20 | Dust removing system |
| KR1019930030761A KR970009001B1 (ko) | 1993-08-31 | 1993-12-29 | 제진장치 |
| DE69409314T DE69409314T2 (de) | 1993-08-31 | 1994-01-14 | System zum Entfernen von Staub |
| EP94100511A EP0640411B1 (en) | 1993-08-31 | 1994-01-14 | Dust removing system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5240672A JP2820599B2 (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 除塵装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23408394A Division JPH0768226A (ja) | 1994-09-02 | 1994-09-02 | 除塵装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0760211A true JPH0760211A (ja) | 1995-03-07 |
| JP2820599B2 JP2820599B2 (ja) | 1998-11-05 |
Family
ID=17062992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5240672A Expired - Fee Related JP2820599B2 (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 除塵装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5457847A (ja) |
| EP (1) | EP0640411B1 (ja) |
| JP (1) | JP2820599B2 (ja) |
| KR (1) | KR970009001B1 (ja) |
| DE (1) | DE69409314T2 (ja) |
| TW (1) | TW231974B (ja) |
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