JPH0938608A - 除塵装置 - Google Patents
除塵装置Info
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- JPH0938608A JPH0938608A JP7209986A JP20998695A JPH0938608A JP H0938608 A JPH0938608 A JP H0938608A JP 7209986 A JP7209986 A JP 7209986A JP 20998695 A JP20998695 A JP 20998695A JP H0938608 A JPH0938608 A JP H0938608A
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- work
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 多数のバキューム用小孔を有する2個の第1
・第2ロール2a,2bを、ワークパスラインLがS又
は逆S字状を描いて走行するように配置する。さらに、
第1・第2ロール2a,2bの外周面5,5に接近して
第1・第2超音波集塵機3a,3bを配設している。そ
して、外周面5,5に吸引されたワーク1と第1・第2
超音波集塵機3a,3bの集塵凹面4,4との間に小間
隙部6を形成する。 【効果】 ワーク1の両面に付着した塵を確実に除去す
ることができる。
・第2ロール2a,2bを、ワークパスラインLがS又
は逆S字状を描いて走行するように配置する。さらに、
第1・第2ロール2a,2bの外周面5,5に接近して
第1・第2超音波集塵機3a,3bを配設している。そ
して、外周面5,5に吸引されたワーク1と第1・第2
超音波集塵機3a,3bの集塵凹面4,4との間に小間
隙部6を形成する。 【効果】 ワーク1の両面に付着した塵を確実に除去す
ることができる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、除塵装置に関す
る。
る。
【0002】
【従来の技術】プラスチックフィルムや紙等の長尺薄肉
連続体や、一枚一枚が分離したプラスチックフィルムや
紙等の枚葉から成るワークに付着した塵を除去する装置
として、例えば、超音波集塵装置が利用されていた。
連続体や、一枚一枚が分離したプラスチックフィルムや
紙等の枚葉から成るワークに付着した塵を除去する装置
として、例えば、超音波集塵装置が利用されていた。
【0003】この装置は、超音波エアーをワークに噴出
し、エアーと共に塵を吸引するもので、例えば、本出願
人は既に特願平5−240672号等に提案している。
し、エアーと共に塵を吸引するもので、例えば、本出願
人は既に特願平5−240672号等に提案している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
従来の除塵装置では、除塵時に薄い枚葉のワークを高速
で確実に保持して走行させる手段が未解決であり、ま
た、ワークの片面に付着した塵しか除去できなかった。
従来の除塵装置では、除塵時に薄い枚葉のワークを高速
で確実に保持して走行させる手段が未解決であり、ま
た、ワークの片面に付着した塵しか除去できなかった。
【0005】そこで、本発明は、上述の問題を解決し
て、ワークの両面から塵を効率よく除去する除塵装置を
提供することを目的とする。
て、ワークの両面から塵を効率よく除去する除塵装置を
提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明に係る除塵装置
は、超音波エアーを噴出してワークに付着の塵を吸引す
る超音波集塵機と、ワークを吸引して該超音波集塵機の
集塵凹面に沿って該ワークを弯曲状に走行させると共に
該集塵凹面に対応する上記ワークの一面と反対の他面を
吸引する多数のバキューム用小孔を有するロールと、を
備えたものである。
は、超音波エアーを噴出してワークに付着の塵を吸引す
る超音波集塵機と、ワークを吸引して該超音波集塵機の
集塵凹面に沿って該ワークを弯曲状に走行させると共に
該集塵凹面に対応する上記ワークの一面と反対の他面を
吸引する多数のバキューム用小孔を有するロールと、を
備えたものである。
【0007】また、多数のバキューム用小孔を有する2
個の第1・第2ロールを、ワークパスラインがS又は逆
S字状を描いて走行するように配置し、さらに、上記第
1・第2ロールの夫々の外周面に接近して設けられて、
該外周面に吸引されたワークと小間隙部を形成し、該小
間隙部に対応する集塵凹面を有する2個の第1・第2超
音波集塵機を、備えたものである。
個の第1・第2ロールを、ワークパスラインがS又は逆
S字状を描いて走行するように配置し、さらに、上記第
1・第2ロールの夫々の外周面に接近して設けられて、
該外周面に吸引されたワークと小間隙部を形成し、該小
間隙部に対応する集塵凹面を有する2個の第1・第2超
音波集塵機を、備えたものである。
【0008】また、ロールが、吸入孔の貫設された固定
中空軸と、ワークと直接に接触する回転円筒壁部と、該
回転円筒壁部の内面に対して小間隙部をもって先端縁が
接近するように配設されると共に基端縁が上記固定中空
軸に固着された2枚の固定羽根と、を備え、該固定羽根
の成す所定の中心角度の範囲に上記吸入孔が開口し、該
固定羽根の間に位置する上記回転円筒壁部がワークの吸
着面を構成し、上記固定中空軸の中の空気を排出する真
空引き用配管を該固定中空軸に接続したものである。
中空軸と、ワークと直接に接触する回転円筒壁部と、該
回転円筒壁部の内面に対して小間隙部をもって先端縁が
接近するように配設されると共に基端縁が上記固定中空
軸に固着された2枚の固定羽根と、を備え、該固定羽根
の成す所定の中心角度の範囲に上記吸入孔が開口し、該
固定羽根の間に位置する上記回転円筒壁部がワークの吸
着面を構成し、上記固定中空軸の中の空気を排出する真
空引き用配管を該固定中空軸に接続したものである。
【0009】さらに、ロールの吸着面に対して超音波集
塵機の集塵凹面が対応する円弧範囲より、上記吸着面の
円弧範囲を大きくした。しかして、中心角度を、60°≦
θ≦130 °の範囲に設定した。
塵機の集塵凹面が対応する円弧範囲より、上記吸着面の
円弧範囲を大きくした。しかして、中心角度を、60°≦
θ≦130 °の範囲に設定した。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を詳説
する。
する。
【0011】図1は、本発明に係る除塵装置の実施の一
形態の側面図を示し、この除塵装置は枚葉状───一枚
一枚分離した長方形───フィルム又は紙等のワーク1
を清浄するものである。
形態の側面図を示し、この除塵装置は枚葉状───一枚
一枚分離した長方形───フィルム又は紙等のワーク1
を清浄するものである。
【0012】2はロールであって、同図では2個の第1
・第2ロール2a,2bを接近して、かつ、(同図の)
上下に位置をずらせて配置し、3は超音波集塵機であっ
て、同図では2個の第1・第2超音波集塵機3a,3b
を、夫々上記第1・第2ロール2a,2bに接近して配
設する。
・第2ロール2a,2bを接近して、かつ、(同図の)
上下に位置をずらせて配置し、3は超音波集塵機であっ
て、同図では2個の第1・第2超音波集塵機3a,3b
を、夫々上記第1・第2ロール2a,2bに接近して配
設する。
【0013】図2に示すように、ロール2は、固定中空
軸8と、ワーク1と直接に接触する回転円筒壁部9と、
を備えている。
軸8と、ワーク1と直接に接触する回転円筒壁部9と、
を備えている。
【0014】また、図2及び図3に示す如く、ロール2
は多数のバキューム用小孔10…を有している。具体的に
は、上記バキューム用小孔10の孔径は 0.5〜3mmで、1
〜6mmのピッチで上記ロール2に該バキューム用小孔10
が設けられている。
は多数のバキューム用小孔10…を有している。具体的に
は、上記バキューム用小孔10の孔径は 0.5〜3mmで、1
〜6mmのピッチで上記ロール2に該バキューム用小孔10
が設けられている。
【0015】しかして、図2及び図4に示すように、固
定中空軸8に、2枚の固定羽根12,12の基端縁13,13に
て該固定羽根12,12を固着し、回転円筒壁部9の内面11
に対して(0.5〜2mmの)小間隙部tをもって上記固定羽
根12,12の先端縁14,14が接近するように配設されてい
る。
定中空軸8に、2枚の固定羽根12,12の基端縁13,13に
て該固定羽根12,12を固着し、回転円筒壁部9の内面11
に対して(0.5〜2mmの)小間隙部tをもって上記固定羽
根12,12の先端縁14,14が接近するように配設されてい
る。
【0016】また、図4、図7、図8及び図9に示す如
く、ロール2の吸着面16───2枚の固定羽根12,12が
成す中心角度θの範囲内でワーク1がロール2に吸着す
る面───の円弧範囲が、超音波集塵機3の集塵凹面4
が対応する円弧範囲よりも、1.5〜4.0 倍大きく設定さ
れている。このため、超音波集塵機3にて超音波エアー
E1 ,E2 の噴出及び吸引を強力に行なっても、ワーク
1がロール2表面から浮上がったり(振動したり)する
ことがなく、スムーズに弯曲しつつ走行案内される。
く、ロール2の吸着面16───2枚の固定羽根12,12が
成す中心角度θの範囲内でワーク1がロール2に吸着す
る面───の円弧範囲が、超音波集塵機3の集塵凹面4
が対応する円弧範囲よりも、1.5〜4.0 倍大きく設定さ
れている。このため、超音波集塵機3にて超音波エアー
E1 ,E2 の噴出及び吸引を強力に行なっても、ワーク
1がロール2表面から浮上がったり(振動したり)する
ことがなく、スムーズに弯曲しつつ走行案内される。
【0017】さらに、2枚の固定羽根12,12の成す所定
の中心角度θが60°≦θ≦130 °である範囲で、固定中
空軸8には吸入孔15が開口している。特に、60°未満で
あると、ロール2の吸着面16に確実に吸着して弯曲させ
るのが難しく、逆に、130 °を越えると多量のエアーを
真空引きで排出せねばならず、大型の真空発生装置を要
する。なお、図4及び図7に於て、中心角度θを90°と
している。
の中心角度θが60°≦θ≦130 °である範囲で、固定中
空軸8には吸入孔15が開口している。特に、60°未満で
あると、ロール2の吸着面16に確実に吸着して弯曲させ
るのが難しく、逆に、130 °を越えると多量のエアーを
真空引きで排出せねばならず、大型の真空発生装置を要
する。なお、図4及び図7に於て、中心角度θを90°と
している。
【0018】また、超音波集塵機3は、図5に示すよう
に、ケーシング18内を円筒状の仕切壁19にて外側のエア
ー排出室20と、内側のエアー吸入室21とに分けられてい
る。
に、ケーシング18内を円筒状の仕切壁19にて外側のエア
ー排出室20と、内側のエアー吸入室21とに分けられてい
る。
【0019】しかして、エアー排出室20の底部には2個
の超音波発生器22,22が設けられていて、該超音波発生
器22,22は、図6に示す如く、連続溝26を有するブロッ
ク体から成り、該連続溝26は、鉛直部47と該鉛直部47に
連通連結される上下一対の水平部48,48とから成る。
の超音波発生器22,22が設けられていて、該超音波発生
器22,22は、図6に示す如く、連続溝26を有するブロッ
ク体から成り、該連続溝26は、鉛直部47と該鉛直部47に
連通連結される上下一対の水平部48,48とから成る。
【0020】しかして、エアー排出室20には仮想線で示
すようにエアー供給路23が連通連結され、エアー吸入室
21には図示省略の吸入器が連通連結されていて、該エア
ー吸入室21は底部に集塵凹面4を有している。
すようにエアー供給路23が連通連結され、エアー吸入室
21には図示省略の吸入器が連通連結されていて、該エア
ー吸入室21は底部に集塵凹面4を有している。
【0021】また、超音波発生器22,22の下方に超音波
エアーE1 ,E2 を発生する2個の第1・第2噴出ノズ
ル24a,24bを、かつ、エアー吸入室21の底壁部に吸引
ノズル25を開設している。
エアーE1 ,E2 を発生する2個の第1・第2噴出ノズ
ル24a,24bを、かつ、エアー吸入室21の底壁部に吸引
ノズル25を開設している。
【0022】さらに、第1・第2噴出ノズル24a,24b
とワーク1の間に合流乱流空室27を形成する。
とワーク1の間に合流乱流空室27を形成する。
【0023】次に、上述の如く構成された除塵装置を使
用して、ワーク1に付着した塵28を除去する方法を説明
する。
用して、ワーク1に付着した塵28を除去する方法を説明
する。
【0024】図6に示す如く、図示省略のブロワーユニ
ットから超音波集塵機3のエアー排出室20にエアーを供
給する。
ットから超音波集塵機3のエアー排出室20にエアーを供
給する。
【0025】エアー排出室20に供給されたエアーは、超
音波発生器22,22の連続溝26,26を通過し、この連続溝
26,26を通過したエアーは、超音波エアーE1 ,E2 と
なり、第1・第2噴出ノズル24a,24bから吹き出され
る。
音波発生器22,22の連続溝26,26を通過し、この連続溝
26,26を通過したエアーは、超音波エアーE1 ,E2 と
なり、第1・第2噴出ノズル24a,24bから吹き出され
る。
【0026】そして、超音波エアーE1 ,E2 は相互に
接近する方向に流れて合流乱流空室27の中間部で合流す
るので、該合流乱流空室27にはエアーの乱流が生じる。
接近する方向に流れて合流乱流空室27の中間部で合流す
るので、該合流乱流空室27にはエアーの乱流が生じる。
【0027】ところで、ワーク1の一面29をエアーが一
方向に高速で流れると該一面29に境界層30が生じるが、
合流乱流空室27ではエアーの乱流により境界層30が生じ
難く、かつ、生じた境界層30も破壊される。よって、エ
アーがワーク1の一面29に直接当たり、いわゆるエアナ
イフの効果により該ワーク1の一面29から塵28…を剥離
させることができ、この剥離した塵28…は吸引ノズル25
を通り、エアー吸入室21内に吸入される。したがって、
該塵28…が除去される。
方向に高速で流れると該一面29に境界層30が生じるが、
合流乱流空室27ではエアーの乱流により境界層30が生じ
難く、かつ、生じた境界層30も破壊される。よって、エ
アーがワーク1の一面29に直接当たり、いわゆるエアナ
イフの効果により該ワーク1の一面29から塵28…を剥離
させることができ、この剥離した塵28…は吸引ノズル25
を通り、エアー吸入室21内に吸入される。したがって、
該塵28…が除去される。
【0028】次に、図2にもどって、固定中空軸8に真
空引き用配管36に接続することで、吸入孔7からエアー
が吸入されて上記固定中空軸8の中が真空度−600mmHg
以上となるので、図7に示す如く、2枚の固定羽根12,
12の成す所定の中心角度θの範囲内で、回転円筒壁部9
に設けられた多数のバキューム用小孔10…にワーク1の
他面31が付けられる。
空引き用配管36に接続することで、吸入孔7からエアー
が吸入されて上記固定中空軸8の中が真空度−600mmHg
以上となるので、図7に示す如く、2枚の固定羽根12,
12の成す所定の中心角度θの範囲内で、回転円筒壁部9
に設けられた多数のバキューム用小孔10…にワーク1の
他面31が付けられる。
【0029】また、図2に示すように、ロール2の基端
に設けられたプーリー45にモータ43のベルト46を取付
け、該モータ43を駆動させれば、第1・第2ロール2
a,2bのギア44,44が夫々噛合するので、図1に示す
如く、該第1ロール2aは矢印C方向に、かつ、該第2
ロール2bは矢印D方向に回転する。
に設けられたプーリー45にモータ43のベルト46を取付
け、該モータ43を駆動させれば、第1・第2ロール2
a,2bのギア44,44が夫々噛合するので、図1に示す
如く、該第1ロール2aは矢印C方向に、かつ、該第2
ロール2bは矢印D方向に回転する。
【0030】したがって、図1に示す如く、まず、ワー
ク1の一面29に付着した塵は第1超音波集塵機3aにて
除去されるが、この時ワークの他面31は第1ロール2a
に形成された多数のバキューム用小孔10…に吸い付けら
れて集塵凹面4と小間隙部6を確保しつつ、円滑に高速
で弯曲走行させることができる。
ク1の一面29に付着した塵は第1超音波集塵機3aにて
除去されるが、この時ワークの他面31は第1ロール2a
に形成された多数のバキューム用小孔10…に吸い付けら
れて集塵凹面4と小間隙部6を確保しつつ、円滑に高速
で弯曲走行させることができる。
【0031】さらに、ワーク1の一面29は第2ロール2
bに形成された多数のバキューム用小孔10…にて吸い付
けられ、同様に円滑に高速で弯曲走行して、他面31の塵
は第2超音波集塵機3bにて吸引除去される。特に、小
さな枚葉のワークであっても、高速で第1ロールから第
2ロールへスムーズに受け渡しされる。
bに形成された多数のバキューム用小孔10…にて吸い付
けられ、同様に円滑に高速で弯曲走行して、他面31の塵
は第2超音波集塵機3bにて吸引除去される。特に、小
さな枚葉のワークであっても、高速で第1ロールから第
2ロールへスムーズに受け渡しされる。
【0032】また、実施の他の形態として、図8(a)
に示すように中心角度θを60°≦θ<90°の範囲に、ま
た、図8(b)に示すように中心角度θを90°<θ≦13
0 °の範囲に設定したロール2を用いることもできる。
に示すように中心角度θを60°≦θ<90°の範囲に、ま
た、図8(b)に示すように中心角度θを90°<θ≦13
0 °の範囲に設定したロール2を用いることもできる。
【0033】しかして、実施のさらに他の形態として、
図9に示す如く、搬送手段32を備え、該搬送手段32のワ
ーク誘導部33には所定ピッチで長手方向に多数の棒状体
が設けられている。
図9に示す如く、搬送手段32を備え、該搬送手段32のワ
ーク誘導部33には所定ピッチで長手方向に多数の棒状体
が設けられている。
【0034】また、ワークパスラインLが超音波集塵機
3の底面に略水平方向になるように、搬送手段32が取付
けられる。
3の底面に略水平方向になるように、搬送手段32が取付
けられる。
【0035】したがって、重力だけで簡単に超音波集塵
機3の底面に誘導される。また、搬送ベルトが不要とな
るので、ワーク1を搬送する段階で該ワーク1に塵が付
着しにくい。
機3の底面に誘導される。また、搬送ベルトが不要とな
るので、ワーク1を搬送する段階で該ワーク1に塵が付
着しにくい。
【0036】なお、この除塵装置に、ブラシ又は粘着ロ
ール等を配設するも好ましい。また、ワークパスライン
LがS字状を描くように第1・第2ロール2a,2bを
配設するも好ましい。しかして、ロール2と超音波集塵
機3を4個以上の複数個とするも好ましい。
ール等を配設するも好ましい。また、ワークパスライン
LがS字状を描くように第1・第2ロール2a,2bを
配設するも好ましい。しかして、ロール2と超音波集塵
機3を4個以上の複数個とするも好ましい。
【0037】
【発明の効果】本発明は、上述の構成により次のような
著大な効果を奏する。
著大な効果を奏する。
【0038】(請求項1によれば、)ワーク1の他面31
が、ロール2に設けられた多数のバキューム用小孔10…
にて該ロール2表面に確実に保持されるので、上記ワー
ク1がロール2表面から浮き上がることなく上記ロール
2にスムーズに弯曲走行させることができる。また、ワ
ーク1の一面29に付着した塵は、超音波集塵機3にて確
実に、かつ、迅速に除去される。
が、ロール2に設けられた多数のバキューム用小孔10…
にて該ロール2表面に確実に保持されるので、上記ワー
ク1がロール2表面から浮き上がることなく上記ロール
2にスムーズに弯曲走行させることができる。また、ワ
ーク1の一面29に付着した塵は、超音波集塵機3にて確
実に、かつ、迅速に除去される。
【0039】(請求項2によれば、)ワーク1は第1・
第2ロール2a,2bの表面に確実に保持されているの
で、第1ロール2aから第2ロール2bへスムーズに受
け渡しされることができる。また、第1・第2超音波集
塵機3a,3bにてワーク1の両面に付着した塵が確実
に除去される。しかして、ワーク1が集塵凹面4に接触
して傷付くことも防止できる。
第2ロール2a,2bの表面に確実に保持されているの
で、第1ロール2aから第2ロール2bへスムーズに受
け渡しされることができる。また、第1・第2超音波集
塵機3a,3bにてワーク1の両面に付着した塵が確実
に除去される。しかして、ワーク1が集塵凹面4に接触
して傷付くことも防止できる。
【0040】(請求項3によれば、)2枚の固定羽根1
2,12が成す中心角度θの範囲内が真空引きされるの
で、この範囲内で確実にワーク1をロール2表面に吸着
させることができる。また、この中心角度θの範囲外か
らはほとんど空気を排出せずに済むため、無駄な真空引
きが不要となる。
2,12が成す中心角度θの範囲内が真空引きされるの
で、この範囲内で確実にワーク1をロール2表面に吸着
させることができる。また、この中心角度θの範囲外か
らはほとんど空気を排出せずに済むため、無駄な真空引
きが不要となる。
【0041】(請求項4によれば、)ワーク1がロール
2表面から浮き上がることを防止でき、かつ、スムーズ
にロール2に弯曲走行させることができる。
2表面から浮き上がることを防止でき、かつ、スムーズ
にロール2に弯曲走行させることができる。
【0042】(請求項5によれば、)中心角度θが60°
≦θ≦130 °の範囲内であれば、ワーク1は集塵凹面4
に対して小間隙部tを有しつつ、ロール2にスムーズに
誘導案内されることができる。
≦θ≦130 °の範囲内であれば、ワーク1は集塵凹面4
に対して小間隙部tを有しつつ、ロール2にスムーズに
誘導案内されることができる。
【図1】本発明の実施の一形態を示す側面図である。
【図2】ロールの側面図である。
【図3】バキューム用小孔の配置状態を説明する簡略図
である。
である。
【図4】図2のA−A断面図である。
【図5】超音波集塵機の断面側面図である。
【図6】使用状態を説明する簡略図である。
【図7】別の使用状態を説明する簡略図である。
【図8】実施の他の形態を示す側面図である。
【図9】実施のさらに他の形態を示す側面図である。
1 ワーク 2 ロール 2a 第1ロール 2b 第2ロール 3 超音波集塵機 3a 第1超音波集塵機 3b 第2超音波集塵機 4 集塵凹面 5 外周面 6 小間隙部 7 吸入孔 8 固定中空軸 9 回転円筒壁部 10 バキューム用小孔 11 内面 12 固定羽根 13 基端縁 14 先端縁 16 吸着面 29 一面 31 他面 36 真空引き用配管 L ワークパスライン t 小間隙部 θ 中心角度
Claims (5)
- 【請求項1】 超音波エアーを噴出してワーク1に付着
の塵を吸引する超音波集塵機3と、ワーク1を吸引して
該超音波集塵機3の集塵凹面4に沿って該ワーク1を弯
曲状に走行させると共に該集塵凹面4に対応する上記ワ
ーク1の一面29と反対の他面31を吸引する多数のバキュ
ーム用小孔10…を有するロール2と、を備えたことを特
徴とする除塵装置。 - 【請求項2】 多数のバキューム用小孔10…を有する2
個の第1・第2ロール2a,2bを、ワークパスライン
LがS又は逆S字状を描いて走行するように配置し、さ
らに、上記第1・第2ロール2a,2bの夫々の外周面
5,5に接近して設けられて、該外周面5,5に吸引さ
れたワーク1と小間隙部6を形成し、該小間隙部6に対
応する集塵凹面4,4を有する2個の第1・第2超音波
集塵機3a,3bを、備えたことを特徴とする集塵装
置。 - 【請求項3】 ロール2が、吸入孔7の貫設された固定
中空軸8と、ワーク1と直接に接触する回転円筒壁部9
と、該回転円筒壁部9の内面11に対して小間隙部tをも
って先端縁14が接近するように配設されると共に基端縁
13が上記固定中空軸8に固着された2枚の固定羽根12,
12と、を備え、該固定羽根12,12の成す所定の中心角度
θの範囲に上記吸入孔7が開口し、該固定羽根12,12の
間に位置する上記回転円筒壁部9がワーク1の吸着面16
を構成し、上記固定中空軸8の中の空気を排出する真空
引き用配管36を該固定中空軸8に接続した請求項1又は
2記載の除塵装置。 - 【請求項4】 ロール2の吸着面16に対して超音波集塵
機3の集塵凹面4が対応する円弧範囲より、上記吸着面
16の円弧範囲を大きくした請求項1又は2記載の除塵装
置。 - 【請求項5】 中心角度θを、60°≦θ≦130 °の範囲
に設定した請求項3又は4記載の除塵装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7209986A JPH0938608A (ja) | 1995-07-25 | 1995-07-25 | 除塵装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7209986A JPH0938608A (ja) | 1995-07-25 | 1995-07-25 | 除塵装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0938608A true JPH0938608A (ja) | 1997-02-10 |
Family
ID=16581974
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7209986A Pending JPH0938608A (ja) | 1995-07-25 | 1995-07-25 | 除塵装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0938608A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010099578A (ja) * | 2008-10-23 | 2010-05-06 | Suzuki Ritsuko | フィルム状物の表面処理装置 |
CN103028582A (zh) * | 2011-09-30 | 2013-04-10 | 武藏野机械有限公司 | 薄膜状工件的除水*** |
JP7096627B1 (ja) * | 2022-02-28 | 2022-07-06 | 有限会社タクショー | クリーナヘッド及び除塵装置 |
-
1995
- 1995-07-25 JP JP7209986A patent/JPH0938608A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010099578A (ja) * | 2008-10-23 | 2010-05-06 | Suzuki Ritsuko | フィルム状物の表面処理装置 |
CN103028582A (zh) * | 2011-09-30 | 2013-04-10 | 武藏野机械有限公司 | 薄膜状工件的除水*** |
JP2013075253A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-25 | Musashino Kikai:Kk | フィルム状ワークの水切りシステム |
JP7096627B1 (ja) * | 2022-02-28 | 2022-07-06 | 有限会社タクショー | クリーナヘッド及び除塵装置 |
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