JP2567191Y2 - パネル体の除塵装置 - Google Patents
パネル体の除塵装置Info
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- JP2567191Y2 JP2567191Y2 JP1992031327U JP3132792U JP2567191Y2 JP 2567191 Y2 JP2567191 Y2 JP 2567191Y2 JP 1992031327 U JP1992031327 U JP 1992031327U JP 3132792 U JP3132792 U JP 3132792U JP 2567191 Y2 JP2567191 Y2 JP 2567191Y2
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- panel body
- dust
- air outlet
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案はパネル体の除塵装置に関
する。
する。
【０００２】
【従来の技術】フィルム、金属箔、ガラス基板等のパネ
ル体に付着した塵を除去する場合、従来では、図８と図
９に示すような除塵装置を使用していた。
ル体に付着した塵を除去する場合、従来では、図８と図
９に示すような除塵装置を使用していた。
【０００３】即ち、この除塵装置は、エア排出室ａとエ
ア吸入室ｂとを有するクリーナヘッドｃを備え、エア排
出室ａには、複数の円筒型（セル型）の超音波発生器ｄ
…が設けられる。また、超音波発生器ｄ…は、千鳥状に
配設される。
ア吸入室ｂとを有するクリーナヘッドｃを備え、エア排
出室ａには、複数の円筒型（セル型）の超音波発生器ｄ
…が設けられる。また、超音波発生器ｄ…は、千鳥状に
配設される。
【０００４】しかして、この装置を使用してパネル体ｅ
に付着した塵を除去するには、クリーナヘッドｃの下方
位置においてパネル体ｅを矢印の如く進行させる。
に付着した塵を除去するには、クリーナヘッドｃの下方
位置においてパネル体ｅを矢印の如く進行させる。
【０００５】この際、各超音波発生器ｄ…を通過した
（超音波が乗った）エアがエア排出室ａから噴出され、
これにより、パネル体ｅの塵を、該パネル体ｅから剥離
させ、この塵をエア吸入室ｂに設けられたエア吸入口ｆ
から該吸入室ｂ内に吸入して、該パネル体ｅから塵を除
去していた。
（超音波が乗った）エアがエア排出室ａから噴出され、
これにより、パネル体ｅの塵を、該パネル体ｅから剥離
させ、この塵をエア吸入室ｂに設けられたエア吸入口ｆ
から該吸入室ｂ内に吸入して、該パネル体ｅから塵を除
去していた。
【０００６】
【考案が解決しようとする課題】上述の従来の装置で
は、超音波発生器ｄの噴出口は、スポット状であるの
で、各スポット間では、噴出エア及び超音波の伝播に波
が生じ、パネル体ｅの全幅にわたって均一な除塵効果を
得ることができなかった。
は、超音波発生器ｄの噴出口は、スポット状であるの
で、各スポット間では、噴出エア及び超音波の伝播に波
が生じ、パネル体ｅの全幅にわたって均一な除塵効果を
得ることができなかった。
【０００７】即ち、図９に示すように、パネル体ｅに当
たるエアには、強い部位ｇと弱い部位ｈとがあり、弱い
部位ｈでは塵をパネル体ｅから剥離させることができな
いからである。ここで、強い部位ｇとは、各超音波発生
器ｄのスポット状の噴出口に対面する部位をいい、弱い
部位ｈとは、噴出口からパネル体ｅに当たるエアの最大
離間部位をいう。
たるエアには、強い部位ｇと弱い部位ｈとがあり、弱い
部位ｈでは塵をパネル体ｅから剥離させることができな
いからである。ここで、強い部位ｇとは、各超音波発生
器ｄのスポット状の噴出口に対面する部位をいい、弱い
部位ｈとは、噴出口からパネル体ｅに当たるエアの最大
離間部位をいう。
【０００８】そこで、本考案では、パネル体の全体にわ
たって均一な除塵効果を示すことができるパネル体の除
塵装置を提供することを目的とする。
たって均一な除塵効果を示すことができるパネル体の除
塵装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本考案に係るパネル体の除塵装置は、パネル体に
エアを吹き付けるためのエア排出室とエアを吸引して該
パネル体に付着した塵を除去するためのエア吸入室とが
仕切壁にて仕切られた中空箱状のクリーナヘッドを備え
た除塵装置であって、微小寸法をもって上記パネル体に
対面する水平状のエア排出室底壁に、パネル体進行方向
と略直交する方向のスリット状のエア吹出口を開設する
と共に、上記微小寸法をもって上記パネル体に対面する
水平状のエア吸入室底壁に、上記エア吹出口に対して平
行状に配設されるエア吸入口を開設し、かつ、上記エア
吹出口と平行に配設されて該エア吹出口に連通連結され
ると共に空気の振動を増幅させる複数の水平部を上下に
有する連続溝を備え該連続溝を通過したエアが超音波の
乗った境界層破壊用エア流となって該エア吹出口から連
続して吹き出す超音波発生器を、上記エア排出室に内装
したものである。また、上記超音波発生器が、３０ＫＨ
ｚの倍数周波数の超音波を発生するものであってもよ
い。
めに、本考案に係るパネル体の除塵装置は、パネル体に
エアを吹き付けるためのエア排出室とエアを吸引して該
パネル体に付着した塵を除去するためのエア吸入室とが
仕切壁にて仕切られた中空箱状のクリーナヘッドを備え
た除塵装置であって、微小寸法をもって上記パネル体に
対面する水平状のエア排出室底壁に、パネル体進行方向
と略直交する方向のスリット状のエア吹出口を開設する
と共に、上記微小寸法をもって上記パネル体に対面する
水平状のエア吸入室底壁に、上記エア吹出口に対して平
行状に配設されるエア吸入口を開設し、かつ、上記エア
吹出口と平行に配設されて該エア吹出口に連通連結され
ると共に空気の振動を増幅させる複数の水平部を上下に
有する連続溝を備え該連続溝を通過したエアが超音波の
乗った境界層破壊用エア流となって該エア吹出口から連
続して吹き出す超音波発生器を、上記エア排出室に内装
したものである。また、上記超音波発生器が、３０ＫＨ
ｚの倍数周波数の超音波を発生するものであってもよ
い。
【００１０】
【作用】パネル体を進行方向に進行させつつ、エア排出
室内にエアを供給すれば、エア排出室内に設けられた超
音波発生器内をエアが流れて、エア（空気）の振動が増
幅し、超音波の乗った境界層破壊用エア流となってエア
吹出口から連続して吹き出される。
室内にエアを供給すれば、エア排出室内に設けられた超
音波発生器内をエアが流れて、エア（空気）の振動が増
幅し、超音波の乗った境界層破壊用エア流となってエア
吹出口から連続して吹き出される。
【００１１】この際、エア吹出口は、パネル体進行方向
と略直交する方向のスリット状として開設され、しか
も、超音波発生器の連続溝はエア吹出口と平行であるの
で、エア吹出口から吹き出すエア流は、パネル体進行方
向と略直交する方向に連続した均一なものとなる。
と略直交する方向のスリット状として開設され、しか
も、超音波発生器の連続溝はエア吹出口と平行であるの
で、エア吹出口から吹き出すエア流は、パネル体進行方
向と略直交する方向に連続した均一なものとなる。
【００１２】ところで、パネル体の表面をエアが高速で
流れるとこのパネル体上に境界層が発生しこの境界層内
にパネル体に付着している微粒子塵は閉じ込められる
が、この場合、上記境界層破壊用エア流がこの境界層を
破壊し、確実にパネル体上の微粒子塵をこのパネル体か
ら剥離することができる。
流れるとこのパネル体上に境界層が発生しこの境界層内
にパネル体に付着している微粒子塵は閉じ込められる
が、この場合、上記境界層破壊用エア流がこの境界層を
破壊し、確実にパネル体上の微粒子塵をこのパネル体か
ら剥離することができる。
【００１３】従って、パネル体から剥離した塵は、エア
吸入口からエア吸入室内に吸い込まれる。この際、エア
吸入口は、エア吹出口に対して平行状に配設されてお
り、剥離した塵は確実にエア吸入室内に吸入することが
できる。
吸入口からエア吸入室内に吸い込まれる。この際、エア
吸入口は、エア吹出口に対して平行状に配設されてお
り、剥離した塵は確実にエア吸入室内に吸入することが
できる。
【００１４】また、上記超音波はエアーナイフ作用によ
る粗塵のパネル体の表て面からの剥離効果を助長する。
る粗塵のパネル体の表て面からの剥離効果を助長する。
【００１５】
【実施例】以下、実施例を示す図面に基づいて本考案を
詳説する。
詳説する。
【００１６】図１と図２は本考案に係るパネル体の除塵
装置を示し、この装置は、クリーナヘッド１と、図示省
略のブロワーユニットと、パネル体２を矢印Ａの如く進
行方向に沿って走行させる搬送手段３と、を備えてい
る。
装置を示し、この装置は、クリーナヘッド１と、図示省
略のブロワーユニットと、パネル体２を矢印Ａの如く進
行方向に沿って走行させる搬送手段３と、を備えてい
る。
【００１７】しかして、クリーナヘッド１は、図１に示
すように、内部に仕切壁４を有する箱体５からなり、こ
の仕切壁４により、エア排出室６とエア吸入室７とに分
けられる。
すように、内部に仕切壁４を有する箱体５からなり、こ
の仕切壁４により、エア排出室６とエア吸入室７とに分
けられる。
【００１８】また、エア排出室６には図示省略のエア吐
出路が連通連結され、エア吸入室７には図示省略のエア
吸入路が連通連結される。
出路が連通連結され、エア吸入室７には図示省略のエア
吸入路が連通連結される。
【００１９】即ち、ブロワーユニットからエア吐出路を
介してエア排出室６にエアが供給され、エア吸入室７内
のエアがエア吸入路を介してブロワーユニットに戻る。
介してエア排出室６にエアが供給され、エア吸入室７内
のエアがエア吸入路を介してブロワーユニットに戻る。
【００２０】そして、エア排出室６の底壁８には、パネ
ル体進行方向Ａと略直交する方向のスリット状のエア吹
出口９が開設され、エア吸入室７の底壁１０には、該エ
ア吹出口９と平行状に配設されるエア吸入口１１が開設
される。即ち、このエア排出室底壁８とエア吸入室底壁
１０とは同一水平壁から構成され、パネル体２と微小寸
法Ｇをもって対向している。
ル体進行方向Ａと略直交する方向のスリット状のエア吹
出口９が開設され、エア吸入室７の底壁１０には、該エ
ア吹出口９と平行状に配設されるエア吸入口１１が開設
される。即ち、このエア排出室底壁８とエア吸入室底壁
１０とは同一水平壁から構成され、パネル体２と微小寸
法Ｇをもって対向している。
【００２１】即ち、エア吹出口９は、下方に向って順次
エア吸入口11側へ傾斜し、エア吸入口11は、下方に向っ
て順次エア吹出口９側へ傾斜している。
エア吸入口11側へ傾斜し、エア吸入口11は、下方に向っ
て順次エア吹出口９側へ傾斜している。
【００２２】また、エア排出室６には、超音波発生器12
が設けられる。即ち、超音波発生器12はエア排出室６と
底壁８に立設される。
が設けられる。即ち、超音波発生器12はエア排出室６と
底壁８に立設される。
【００２３】この超音波発生器12は、エア吹出口９と平
行な連続溝13を有するブロック体からなり、連続溝13
は、鉛直部14と、該鉛直部14に連通連結される上下一対
の水平部15，15とからなる。
行な連続溝13を有するブロック体からなり、連続溝13
は、鉛直部14と、該鉛直部14に連通連結される上下一対
の水平部15，15とからなる。
【００２４】なお、例えば、ヘッド１の幅寸法Ｗは100m
m 位とすると共にヘッド１の高さ寸法Ｈを50mm位とし、
かつ、エア排出室６の底壁８の肉厚寸法Ｔを３mm位とす
る。
m 位とすると共にヘッド１の高さ寸法Ｈを50mm位とし、
かつ、エア排出室６の底壁８の肉厚寸法Ｔを３mm位とす
る。
【００２５】そして、超音波発生器12の鉛直部14の幅寸
法Ｂを１mm位とし、水平部15の高さ寸法Ｃを３mm位と
し、水平部15の幅寸法Ｄを６mm位とし、水平部15，15間
寸法Ｅを６mm位とし、上面16からの上方の水平部15まで
の寸法Ｆを６mm位とするのが好ましい。
法Ｂを１mm位とし、水平部15の高さ寸法Ｃを３mm位と
し、水平部15の幅寸法Ｄを６mm位とし、水平部15，15間
寸法Ｅを６mm位とし、上面16からの上方の水平部15まで
の寸法Ｆを６mm位とするのが好ましい。
【００２６】さらに、エア吹出口９の傾斜角度θを10°
位とし、エア吹出口９の幅寸法Ｉを0.6mm 位とし、エア
吹出口９とエア吸入口11との間の寸法Ｊを20mmとするの
が好ましい。
位とし、エア吹出口９の幅寸法Ｉを0.6mm 位とし、エア
吹出口９とエア吸入口11との間の寸法Ｊを20mmとするの
が好ましい。
【００２７】さらに、エア吸入口11は、図５に示すよう
に、例えば、小幅部11ａと中幅部11ｂと大幅部11ｃとか
らなり、小幅部11ａの幅寸法ｗ1 が２mmとされ、中幅部
11ｂの幅寸法ｗ2 が６mm位とされ、大幅部11ｃの幅寸法
ｗ3 が10mm位とされる。
に、例えば、小幅部11ａと中幅部11ｂと大幅部11ｃとか
らなり、小幅部11ａの幅寸法ｗ1 が２mmとされ、中幅部
11ｂの幅寸法ｗ2 が６mm位とされ、大幅部11ｃの幅寸法
ｗ3 が10mm位とされる。
【００２８】これは、エア吸入方向が矢印Ｘ方向である
場合に、このエア吸入口11から吸入力が全長において略
同一になるように設定している。即ち、順次吸入側から
遠ざかるに従って吸入力が小さくなるので、これに応じ
て、遠ざかるに従って幅寸法を大としている。
場合に、このエア吸入口11から吸入力が全長において略
同一になるように設定している。即ち、順次吸入側から
遠ざかるに従って吸入力が小さくなるので、これに応じ
て、遠ざかるに従って幅寸法を大としている。
【００２９】従って、上述の如く構成された超音波発生
器12によれば、900 〜1600mmAqの圧力で100 〜200m/sec
の速度でエアが連続溝13を通過すれば、その風速と連続
溝13の凹凸によって空気振動が生じ、20ＫＨｚ以上の特
定周波数を有する超音波を得ることができる。
器12によれば、900 〜1600mmAqの圧力で100 〜200m/sec
の速度でエアが連続溝13を通過すれば、その風速と連続
溝13の凹凸によって空気振動が生じ、20ＫＨｚ以上の特
定周波数を有する超音波を得ることができる。
【００３０】即ち、この場合、図３に示すように、30Ｋ
Ｈｚの倍数周波数の超音波を得ることができる。
Ｈｚの倍数周波数の超音波を得ることができる。
【００３１】次に、搬送手段３は、図４に示すように、
挾持機構18を備え、該挾持機構18にてパネル体２を水平
状に保持しつつ図示省略の駆動機構にて矢印Ａ方向に走
行させる。
挾持機構18を備え、該挾持機構18にてパネル体２を水平
状に保持しつつ図示省略の駆動機構にて矢印Ａ方向に走
行させる。
【００３２】即ち、挾持機構18は、前後一対の掴持体19
ａ，19ｂを有し、該掴持体19ａ，19ｂがパネル体２の前
後端部２ａ，２ｂを掴持する。
ａ，19ｂを有し、該掴持体19ａ，19ｂがパネル体２の前
後端部２ａ，２ｂを掴持する。
【００３３】具体的には、パネル体２の前後端部２ａ，
２ｂは、夫々、凸アール面状とされ、掴持体19ａ，19ｂ
の対向面に凹溝20ａ，20ｂが形成され、この凹溝20ａ，
20ｂに端部２ａ，２ｂが嵌合し、パネル体２が水平状に
保持される。
２ｂは、夫々、凸アール面状とされ、掴持体19ａ，19ｂ
の対向面に凹溝20ａ，20ｂが形成され、この凹溝20ａ，
20ｂに端部２ａ，２ｂが嵌合し、パネル体２が水平状に
保持される。
【００３４】従って、この挾持機構18を有する搬送手段
３を使用すれば、パネル体２の表て面21及び裏面22に接
触することなく該パネル体２を水平状に保持することが
でき、この状態で矢印Ａ方向に走行させることができ
る。
３を使用すれば、パネル体２の表て面21及び裏面22に接
触することなく該パネル体２を水平状に保持することが
でき、この状態で矢印Ａ方向に走行させることができ
る。
【００３５】また、ヘッド１はパネル体２に対して近接
する状態に配設されるが、パネル体２の表て面21とヘッ
ド１の下面23までの寸法Ｇ（図１参照）を、例えば１〜
３mm位とするのが好ましい。
する状態に配設されるが、パネル体２の表て面21とヘッ
ド１の下面23までの寸法Ｇ（図１参照）を、例えば１〜
３mm位とするのが好ましい。
【００３６】次に、上述の如く構成された除塵装置を使
用してパネル体２の表て面21に付着した塵Ｒを除去する
方法を説明する。
用してパネル体２の表て面21に付着した塵Ｒを除去する
方法を説明する。
【００３７】搬送手段３の挾持機構18にて水平状に保持
されたパネル体２を図１と図２に示すように矢印Ａ方向
に走行させる。
されたパネル体２を図１と図２に示すように矢印Ａ方向
に走行させる。
【００３８】この際、ブロワーユニットからクリーナヘ
ッド１のエア排出室６に900 〜1600mmAqの圧力のエアを
供給する。
ッド１のエア排出室６に900 〜1600mmAqの圧力のエアを
供給する。
【００３９】エア排出室６に供給されたエアは高速（10
0 〜200m/sec）で超音波発生器12の連続溝13を通過し、
この連続溝13を通過したエアは、超音波が乗ったエア流
となってエア吹出口９から矢印の如く、該エア吹出口９
の傾斜角度θに平行に吹き出される。
0 〜200m/sec）で超音波発生器12の連続溝13を通過し、
この連続溝13を通過したエアは、超音波が乗ったエア流
となってエア吹出口９から矢印の如く、該エア吹出口９
の傾斜角度θに平行に吹き出される。
【００４０】ところで、粗塵（例えば、50〜80μｍ）
は、図７に示すように、エア流のいわゆるエアーナイフ
作用にてパネル体２の表て面21から遊離されるが、パネ
ル体２の表て面21をエアが高速で流れるとパネル体２に
付着している微粒子塵は、境界層25内に閉じ込められ除
塵が困難となる。
は、図７に示すように、エア流のいわゆるエアーナイフ
作用にてパネル体２の表て面21から遊離されるが、パネ
ル体２の表て面21をエアが高速で流れるとパネル体２に
付着している微粒子塵は、境界層25内に閉じ込められ除
塵が困難となる。
【００４１】しかし、この場合、図６に示すように、発
生する超音波が境界層25を破壊し、パネル体２の表て面
21から微粒子塵を剥離する。即ち、超音波の振動エネル
ギーが境界層25を破壊し、パネル体２から微粒子塵を剥
離し、さらに、超音波はエアーナイフ作用による粗塵の
パネル体２の表て面21からの遊離効果を助長する。
生する超音波が境界層25を破壊し、パネル体２の表て面
21から微粒子塵を剥離する。即ち、超音波の振動エネル
ギーが境界層25を破壊し、パネル体２から微粒子塵を剥
離し、さらに、超音波はエアーナイフ作用による粗塵の
パネル体２の表て面21からの遊離効果を助長する。
【００４２】従って、パネル体２の表て面21に付着した
塵Ｒは確実に剥離され、エア吸入室７内のエアが50〜25
0mmAq の圧力にてブロワーユニットに吸入されるので、
エア吸入口11近傍のエアと共に、矢印の如く、剥離した
塵Ｒはエア吸入室７に吸入される。
塵Ｒは確実に剥離され、エア吸入室７内のエアが50〜25
0mmAq の圧力にてブロワーユニットに吸入されるので、
エア吸入口11近傍のエアと共に、矢印の如く、剥離した
塵Ｒはエア吸入室７に吸入される。
【００４３】即ち、ヘッド１の下方位置を通過したパネ
ル体２は、その表て面21に付着した塵Ｒが確実に除去さ
れる。
ル体２は、その表て面21に付着した塵Ｒが確実に除去さ
れる。
【００４４】この場合、勿論、エア吹出口９の長さ寸法
Ｌ1 、及びエア吸入口11の長さ寸法Ｌ2 をパネル体２の
幅寸法Ｗａより長く設定するのが好ましい。
Ｌ1 、及びエア吸入口11の長さ寸法Ｌ2 をパネル体２の
幅寸法Ｗａより長く設定するのが好ましい。
【００４５】なお、本考案は上述の実施例に限定され
ず、本考案の要旨を逸脱しない範囲で設計変更自由であ
り、例えば、超音波発生器12としては、発生する超音波
の周波数が、風速と、連続溝13の溝形状と、連続溝13の
寸法と、等にて決定されるので、連続溝13の鉛直部14の
幅寸法Ｂや高さ寸法、連続溝13の水平部15の幅寸法Ｄや
高さ寸法Ｃ等を自由に変更することができる。
ず、本考案の要旨を逸脱しない範囲で設計変更自由であ
り、例えば、超音波発生器12としては、発生する超音波
の周波数が、風速と、連続溝13の溝形状と、連続溝13の
寸法と、等にて決定されるので、連続溝13の鉛直部14の
幅寸法Ｂや高さ寸法、連続溝13の水平部15の幅寸法Ｄや
高さ寸法Ｃ等を自由に変更することができる。
【００４６】また、連続溝13の水平部15を増加すること
により、発生する超音波を増幅することができるので、
水平部15の数としても２個に限るものではない。
により、発生する超音波を増幅することができるので、
水平部15の数としても２個に限るものではない。
【００４７】さらに、エア吹出口９の幅寸法Ｉとしても
自由に変更することができ、例えば、0.5 〜1.2mm とす
ることも可能である。
自由に変更することができ、例えば、0.5 〜1.2mm とす
ることも可能である。
【００４８】そして、エア吹出口９の傾斜角度θとして
も、パネル体２の走行速度等に応じて自由に変更するこ
とができ、エア吸入口11としても、勿論、小幅部11ａと
中幅部11ｂと大幅部11ｃとを有さない直線状のものであ
ってもよく、その傾斜角度としても自由に変更すること
ができる。要は、エア吹出口９から吹き出されるエア量
の90〜95％位を吸い込めればよい。
も、パネル体２の走行速度等に応じて自由に変更するこ
とができ、エア吸入口11としても、勿論、小幅部11ａと
中幅部11ｂと大幅部11ｃとを有さない直線状のものであ
ってもよく、その傾斜角度としても自由に変更すること
ができる。要は、エア吹出口９から吹き出されるエア量
の90〜95％位を吸い込めればよい。
【００４９】また、パネル体２としては、例えば、ガラ
ス板、プラスチック板、セラミックス板、金属板等であ
り、その大きさは種々である。即ち、パネル体２の大き
さに対応して、ヘッド１の大きさや肉厚寸法等を変更す
ることができる。
ス板、プラスチック板、セラミックス板、金属板等であ
り、その大きさは種々である。即ち、パネル体２の大き
さに対応して、ヘッド１の大きさや肉厚寸法等を変更す
ることができる。
【００５０】さらに、搬送手段３としては、パネル体２
の下面（裏面22）を吸着する吸着機構を有するものであ
ってもよく、ベルトコンベアを使用するものであっても
よい。
の下面（裏面22）を吸着する吸着機構を有するものであ
ってもよく、ベルトコンベアを使用するものであっても
よい。
【００５１】ところで、除塵作業中は、エアがエア吹出
口９を通過する際に発生する音、エアをエア吸入室７へ
吸引する際に発生する音、超音波発生器12から発生する
可聴域の音等により、騒音が発生するので、消音カバー
をヘッド１に付設するも好ましい。
口９を通過する際に発生する音、エアをエア吸入室７へ
吸引する際に発生する音、超音波発生器12から発生する
可聴域の音等により、騒音が発生するので、消音カバー
をヘッド１に付設するも好ましい。
【００５２】
【考案の効果】本考案は上述の如く構成されているの
で、次に記載する効果を奏する。
で、次に記載する効果を奏する。
【００５３】空気の振動が増幅されて、超音波の乗った
境界層破壊用エア流が、パネル体進行方向Ａと略直交す
る方向のスリット状のエア吹出口９から均一に吹き出さ
れる。つまり、パネル体２の表面をエアが高速で流れる
とこのパネル体２上に境界層が発生しこの境界層内にパ
ネル体２に付着している微粒子塵は閉じ込められようと
するが、この場合、上記境界層破壊用エア流がこの境界
層を破壊し、確実にパネル体２上の微粒子塵をこのパネ
ル体２から剥離することができる。そして、その剥離し
た塵Ｒは、エア吹出口９に対して平行状に配設されたエ
ア吸入口１１から確実にエア吸入室７へ吸い込まれ、該
パネル体２上の塵Ｒは除去される。特に、この場合、１
μｍ〜２０μｍの超微粒子の除塵に好適である。
境界層破壊用エア流が、パネル体進行方向Ａと略直交す
る方向のスリット状のエア吹出口９から均一に吹き出さ
れる。つまり、パネル体２の表面をエアが高速で流れる
とこのパネル体２上に境界層が発生しこの境界層内にパ
ネル体２に付着している微粒子塵は閉じ込められようと
するが、この場合、上記境界層破壊用エア流がこの境界
層を破壊し、確実にパネル体２上の微粒子塵をこのパネ
ル体２から剥離することができる。そして、その剥離し
た塵Ｒは、エア吹出口９に対して平行状に配設されたエ
ア吸入口１１から確実にエア吸入室７へ吸い込まれ、該
パネル体２上の塵Ｒは除去される。特に、この場合、１
μｍ〜２０μｍの超微粒子の除塵に好適である。
【００５４】また、超音波の乗ったエア流は、そのいわ
ゆるエアーナイフ作用と、超音波による除塵作用とを具
備し、パネル体２上の塵Ｒは完全に除去される。
ゆるエアーナイフ作用と、超音波による除塵作用とを具
備し、パネル体２上の塵Ｒは完全に除去される。
【図１】本考案の一実施例を示す要部拡大断面図であ
る。
る。
【図２】除塵状態を示す簡略平面図である。
【図３】超音波発生器から発生する超音波の周波数を示
すグラフ図である。
すグラフ図である。
【図４】搬送手段を示す断面図である。
【図５】エア吸入口の斜視図である。
【図６】超音波による除塵作用を説明する説明図であ
る。
る。
【図７】エアによるエアーナイフ作用を説明する説明図
である。
である。
【図８】従来例を示す要部断面平面図である。
【図９】要部簡略側面図である。
２ パネル体 ６ エア排出室 ７ エア吸入室 ８ 底壁 ９ エア吹出口 10 底壁 11 エア吸入口 12 超音波発生器 13 連続溝 Ａ 進行方向 Ｒ 塵
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−284376（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−15620（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−138136（ＪＰ，Ａ) 特表 昭62−502804（ＪＰ，Ａ) 武藤知雄著、微粒子／静電気除去の新 技術、建設設備と配管工事、日本工業出 版、1980年３月号、Ｖｏｌ．18 Ｎｏ. ３、81頁−82頁
Claims (2)
- 【請求項１】 パネル体２にエアを吹き付けるためのエ
ア排出室６とエアを吸引して該パネル体２に付着した塵
Ｒを除去するためのエア吸入室７とが仕切壁４にて仕切
られた中空箱状のクリーナヘッド１を備えた除塵装置で
あって、微小寸法Ｇをもって上記パネル体２に対面する
水平状のエア排出室底壁８に、パネル体進行方向Ａと略
直交する方向のスリット状のエア吹出口９を開設すると
共に、上記微小寸法Ｇをもって上記パネル体２に対面す
る水平状のエア吸入室底壁１０に、上記エア吹出口９に
対して平行状に配設されるエア吸入口１１を開設し、か
つ、上記エア吹出口９と平行に配設されて該エア吹出口
９に連通連結されると共に空気の振動を増幅させる複数
の水平部１５…を上下に有する連続溝１３を備え該連続
溝１３を通過したエアが超音波の乗った境界層破壊用エ
ア流となって該エア吹出口９から連続して吹き出す超音
波発生器１２を、上記エア排出室６に内装したことを特
徴とするパネル体の除塵装置。 - 【請求項２】 上記超音波発生器１２が、３０ＫＨｚの
倍数周波数の超音波を発生する請求項１記載のパネル体
の除塵装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992031327U JP2567191Y2 (ja) | 1992-04-13 | 1992-04-13 | パネル体の除塵装置 |
| DE69305405T DE69305405T2 (de) | 1992-04-13 | 1993-01-05 | System zum Entfernen von Staub für plattenähnliche Körper |
| EP93100065A EP0565811B1 (en) | 1992-04-13 | 1993-01-05 | Dust removing system for panellike bodies |
| US08/000,715 US5388304A (en) | 1992-04-13 | 1993-01-05 | Dust removing system for panellike bodies |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992031327U JP2567191Y2 (ja) | 1992-04-13 | 1992-04-13 | パネル体の除塵装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0580573U JPH0580573U (ja) | 1993-11-02 |
| JP2567191Y2 true JP2567191Y2 (ja) | 1998-03-30 |
Family
ID=12328172
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992031327U Expired - Lifetime JP2567191Y2 (ja) | 1992-04-13 | 1992-04-13 | パネル体の除塵装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5388304A (ja) |
| EP (1) | EP0565811B1 (ja) |
| JP (1) | JP2567191Y2 (ja) |
| DE (1) | DE69305405T2 (ja) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2820599B2 (ja) * | 1993-08-31 | 1998-11-05 | 株式会社伸興 | 除塵装置 |
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|---|---|
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| DE69305405T2 (de) | 1997-03-27 |
| JPH0580573U (ja) | 1993-11-02 |
| EP0565811A1 (en) | 1993-10-20 |
| EP0565811B1 (en) | 1996-10-16 |
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