JPH0768226A - 除塵装置 - Google Patents
除塵装置Info
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- JPH0768226A JPH0768226A JP23408394A JP23408394A JPH0768226A JP H0768226 A JPH0768226 A JP H0768226A JP 23408394 A JP23408394 A JP 23408394A JP 23408394 A JP23408394 A JP 23408394A JP H0768226 A JPH0768226 A JP H0768226A
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- Japan
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- air
- nozzle
- dust
- work
- ejection nozzle
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワークに付着した塵を除去する洗浄効果に優
れ、かつ、騒音を低減できる除塵装置を提供する。 【構成】 ケーシング4と、該ケーシング4に内設され
る超音波発生器6,6と、を備える。該ケーシング4内
は、仕切壁5によって、エア排出室2と、エア吸入室3
と、に分割される。外壁部27が該仕切壁5を包囲するよ
うに形成されている。底壁部8a,8bに、相互に接近
する方向に超音波エアを噴出する第1噴出ノズル11と第
2噴出ノズル12を、設ける。かつ、第1噴出ノズル11と
第2噴出ノズル12の間に、吸引ノズル9を配設する。
れ、かつ、騒音を低減できる除塵装置を提供する。 【構成】 ケーシング4と、該ケーシング4に内設され
る超音波発生器6,6と、を備える。該ケーシング4内
は、仕切壁5によって、エア排出室2と、エア吸入室3
と、に分割される。外壁部27が該仕切壁5を包囲するよ
うに形成されている。底壁部8a,8bに、相互に接近
する方向に超音波エアを噴出する第1噴出ノズル11と第
2噴出ノズル12を、設ける。かつ、第1噴出ノズル11と
第2噴出ノズル12の間に、吸引ノズル9を配設する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、除塵装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の除塵装置としては、図9に示すよ
うに、矢印a方向に走行するワークbの上方に、走行方
向に直交する方向に配設される除塵ヘッドmを備えてい
た。その除塵ヘッドmは、ケーシングc内を仕切壁dに
て下流側のエア排出室eと上流側のエア吸入室fとに分
けて、エア排出室eの底部に超音波発生器gを設けると
共にその超音波発生器gの下方に超音波エアを発生する
噴出ノズルhを開設し、かつ、エア吸入室fの底壁部に
吸引ノズルiを開設したものであった。
うに、矢印a方向に走行するワークbの上方に、走行方
向に直交する方向に配設される除塵ヘッドmを備えてい
た。その除塵ヘッドmは、ケーシングc内を仕切壁dに
て下流側のエア排出室eと上流側のエア吸入室fとに分
けて、エア排出室eの底部に超音波発生器gを設けると
共にその超音波発生器gの下方に超音波エアを発生する
噴出ノズルhを開設し、かつ、エア吸入室fの底壁部に
吸引ノズルiを開設したものであった。
【0003】この装置を使用してワークbに付着した塵
j…を除去するには、塵j…が付着したワークbの表面
に噴出ノズルhから超音波エアを斜め下方へ噴出し、そ
の超音波kといわゆるエアナイフとの相乗効果により、
塵j…をワークbから剥離させ、そのエアと塵j…を吸
引ノズルiからエア吸入室f内に吸入していた。
j…を除去するには、塵j…が付着したワークbの表面
に噴出ノズルhから超音波エアを斜め下方へ噴出し、そ
の超音波kといわゆるエアナイフとの相乗効果により、
塵j…をワークbから剥離させ、そのエアと塵j…を吸
引ノズルiからエア吸入室f内に吸入していた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のような
従来の除塵装置では、噴出ノズルhから出た超音波エア
がワークbの上流側へ一方向に進むため、ワークbの表
面に強力なエア境界層lが生じ易く、その境界層lを完
全に破ることができなかった。
従来の除塵装置では、噴出ノズルhから出た超音波エア
がワークbの上流側へ一方向に進むため、ワークbの表
面に強力なエア境界層lが生じ易く、その境界層lを完
全に破ることができなかった。
【0005】このため、塵j…がワークbから剥離しな
い場合があり、塵jがワークbに付着したまま下流側へ
流れてしまうことがあった。
い場合があり、塵jがワークbに付着したまま下流側へ
流れてしまうことがあった。
【0006】そこで、本発明は、上述の問題を解決し
て、境界層を完全に破ることができると共に、ワークに
付着した塵を効率よく除去することができ、かつ、優れ
たワークの洗浄効果を有する除塵装置を提供することを
目的とする。
て、境界層を完全に破ることができると共に、ワークに
付着した塵を効率よく除去することができ、かつ、優れ
たワークの洗浄効果を有する除塵装置を提供することを
目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明に係る除塵装置は、ケーシングと、該ケー
シングに内設される超音波発生器とを備え、該ケーシン
グは、内部にエア吸入室を有する仕切壁と、該仕切壁か
ら垂下されてスリット状の吸引ノズルを形成する2枚の
帯板状鉛直壁部と、該帯板状鉛直壁部の下端縁に連設さ
れる底壁部と、該底壁部の外端縁に連設されて仕切壁を
包囲する外壁部と、から構成されている。
めに、本発明に係る除塵装置は、ケーシングと、該ケー
シングに内設される超音波発生器とを備え、該ケーシン
グは、内部にエア吸入室を有する仕切壁と、該仕切壁か
ら垂下されてスリット状の吸引ノズルを形成する2枚の
帯板状鉛直壁部と、該帯板状鉛直壁部の下端縁に連設さ
れる底壁部と、該底壁部の外端縁に連設されて仕切壁を
包囲する外壁部と、から構成されている。
【0008】また、外壁部と仕切壁との間にエア排出室
が形成され、かつ、上記超音波発生器を、夫々、上記底
壁部に配設し、かつ、超音波発生器に連通すると共に、
相互に接近する方向に超音波エアを噴出する第1噴出ノ
ズルと第2噴出ノズルを、底壁部に設けた。
が形成され、かつ、上記超音波発生器を、夫々、上記底
壁部に配設し、かつ、超音波発生器に連通すると共に、
相互に接近する方向に超音波エアを噴出する第1噴出ノ
ズルと第2噴出ノズルを、底壁部に設けた。
【0009】また、第1噴出ノズルと第2噴出ノズルと
ワーク表面との間に、合流乱流空室を形成するも好まし
い。
ワーク表面との間に、合流乱流空室を形成するも好まし
い。
【0010】また、吸引ノズルの開口部の近傍の壁面
を、側面視に於て上方へ弧状に弯曲する凹面に形成し
て、合流乱流空室の一部を構成するのも望ましい。
を、側面視に於て上方へ弧状に弯曲する凹面に形成し
て、合流乱流空室の一部を構成するのも望ましい。
【0011】さらに、凹面の上流側端縁に第1噴出ノズ
ルを配設し、かつ、凹面の下流側端縁に第2噴出ノズル
を配設するのも好ましい。
ルを配設し、かつ、凹面の下流側端縁に第2噴出ノズル
を配設するのも好ましい。
【0012】
【作用】互いに接近する方向へ超音波エアを噴出させる
ことができる。また、2箇所の超音波発生器にエアを供
給するためのエア通路が仕切壁によって形成されてい
る。
ことができる。また、2箇所の超音波発生器にエアを供
給するためのエア通路が仕切壁によって形成されてい
る。
【0013】第1噴出ノズルと第2噴出ノズルの下方に
てワークを走行させれば、第1噴出ノズルと第2噴出ノ
ズルから噴出する超音波エアは、ワーク表面上を相互に
接近する方向に流れ、その後合流する。この超音波エア
の合流する部位にて、ワークに付着した塵に、180 °反
対の2方向から超音波エアが当たる。これにより、塵に
浮力が生じ、ワークから塵が剥離する。
てワークを走行させれば、第1噴出ノズルと第2噴出ノ
ズルから噴出する超音波エアは、ワーク表面上を相互に
接近する方向に流れ、その後合流する。この超音波エア
の合流する部位にて、ワークに付着した塵に、180 °反
対の2方向から超音波エアが当たる。これにより、塵に
浮力が生じ、ワークから塵が剥離する。
【0014】また、超音波エアの合流により乱流が生じ
る。これにより、ワーク表面に生じる境界層が破壊され
る。あるいは、ワークに付着した塵の付着状態によって
は、除去され易い方向があることも考えられるが、本発
明では、異なる方向から噴出して、いずれかの方向の噴
出によって、塵が除去されることとなる。
る。これにより、ワーク表面に生じる境界層が破壊され
る。あるいは、ワークに付着した塵の付着状態によって
は、除去され易い方向があることも考えられるが、本発
明では、異なる方向から噴出して、いずれかの方向の噴
出によって、塵が除去されることとなる。
【0015】合流した超音波エアは吸引ノズル内に吸入
される。このため、第1噴出ノズルの上流側と第2噴出
ノズルの下流側にエアと音が漏れなくなる。
される。このため、第1噴出ノズルの上流側と第2噴出
ノズルの下流側にエアと音が漏れなくなる。
【0016】第1噴出ノズルと第2噴出ノズルの間に、
合流乱流空室を形成すれば、合流乱流空室内に強い乱流
が発生する。
合流乱流空室を形成すれば、合流乱流空室内に強い乱流
が発生する。
【0017】吸引ノズルの開口部を有する底壁部の壁面
を、側面視に於て上方へ弧状に弯曲する凹面に形成すれ
ば、合流したエアを吸引ノズル内に送り易くなる。
を、側面視に於て上方へ弧状に弯曲する凹面に形成すれ
ば、合流したエアを吸引ノズル内に送り易くなる。
【0018】底壁部の凹面の上流側端縁に第1噴出ノズ
ルを配設し、かつ、凹面の下流側端縁に第2噴出ノズル
を配設すれば、強い乱流が生じると共に、合流したエア
を吸引ノズル内に送り易くなる。
ルを配設し、かつ、凹面の下流側端縁に第2噴出ノズル
を配設すれば、強い乱流が生じると共に、合流したエア
を吸引ノズル内に送り易くなる。
【0019】
【実施例】以下、実施例を示す図面に基づいて本発明を
詳説する。
詳説する。
【0020】図1は、本発明に係る除塵装置の一実施例
の断面側面図を示し、この装置は、除塵ヘッド1と、図
外のブロワーユニットと、プラスチックフィルム等の長
尺薄肉連続体やガラス板等の板状体(枚葉)からなるワ
ークWを矢印Aで示す如く上流側から下流側へ走行させ
る図示省略の搬送手段と、を備えている。
の断面側面図を示し、この装置は、除塵ヘッド1と、図
外のブロワーユニットと、プラスチックフィルム等の長
尺薄肉連続体やガラス板等の板状体(枚葉)からなるワ
ークWを矢印Aで示す如く上流側から下流側へ走行させ
る図示省略の搬送手段と、を備えている。
【0021】しかして、除塵ヘッド1は、ワークWの走
行方向に直交する方向に配設されるケーシング4と、そ
のケーシング4内に設けられる超音波発生器6,6と、
からなる。
行方向に直交する方向に配設されるケーシング4と、そ
のケーシング4内に設けられる超音波発生器6,6と、
からなる。
【0022】上記ケーシング4は、円筒状の仕切壁5
と、該仕切壁5から垂下する2枚の帯板状鉛直壁部10,
10と、該帯板状鉛直壁部10,10の下端縁に連設される底
壁部8a,8bと、該底壁部8a,8bの外端縁に連設
される外壁部27と、から構成されている。
と、該仕切壁5から垂下する2枚の帯板状鉛直壁部10,
10と、該帯板状鉛直壁部10,10の下端縁に連設される底
壁部8a,8bと、該底壁部8a,8bの外端縁に連設
される外壁部27と、から構成されている。
【0023】また、上記外壁部27は仕切壁5を包囲する
ように形成され、該外壁部27と仕切壁5との間にはエア
排出室2が設けられている。
ように形成され、該外壁部27と仕切壁5との間にはエア
排出室2が設けられている。
【0024】即ち、ケーシング4内は、円筒状の仕切壁
5にて、その仕切壁5の外側のエア排出室2と、内側の
エア吸入室3とに分けられる。また、エア排出室2に
は、仮想線で示すようにエア供給路7が連通連結され、
かつ、エア吸入室3には、図示省略のエア吸入路が連通
連結される。
5にて、その仕切壁5の外側のエア排出室2と、内側の
エア吸入室3とに分けられる。また、エア排出室2に
は、仮想線で示すようにエア供給路7が連通連結され、
かつ、エア吸入室3には、図示省略のエア吸入路が連通
連結される。
【0025】そして、ブロワーユニットからエア供給路
7を介してエア排出室2にエアが供給され、エア吸入室
3内のエアがエア吸入路を介してブロワーユニットに戻
るように構成されている。
7を介してエア排出室2にエアが供給され、エア吸入室
3内のエアがエア吸入路を介してブロワーユニットに戻
るように構成されている。
【0026】ここで、仕切壁5は外壁部27の略中央に位
置するため、エア供給路7より流れ出たエアが円筒状の
仕切壁5の外周面を沿うように、該仕切壁5と外壁部27
との間を通って下方の超音波発生器6,6に均等に流れ
込む。
置するため、エア供給路7より流れ出たエアが円筒状の
仕切壁5の外周面を沿うように、該仕切壁5と外壁部27
との間を通って下方の超音波発生器6,6に均等に流れ
込む。
【0027】また、ケーシング4の底壁部8a,8b
に、相互に接近する方向に超音波エアを噴出する第1噴
出ノズル11と第2噴出ノズル12を、設けると共に、第1
噴出ノズル11と第2噴出ノズル12の間に、吸引ノズル9
を配設する。
に、相互に接近する方向に超音波エアを噴出する第1噴
出ノズル11と第2噴出ノズル12を、設けると共に、第1
噴出ノズル11と第2噴出ノズル12の間に、吸引ノズル9
を配設する。
【0028】具体的には、ケーシング4の底壁部8a,
8bと仕切壁5との間に、ケーシング4と平行であって
相互に平行に並ぶ帯板状鉛直壁部10, 10を連続状に形成
し、かつ、その帯板状鉛直壁部10, 10の間の空間部をエ
ア吸入室3内とケーシング4の外部に連通させて、ケー
シング4に平行なスリット状の吸引ノズル9を形成す
る。
8bと仕切壁5との間に、ケーシング4と平行であって
相互に平行に並ぶ帯板状鉛直壁部10, 10を連続状に形成
し、かつ、その帯板状鉛直壁部10, 10の間の空間部をエ
ア吸入室3内とケーシング4の外部に連通させて、ケー
シング4に平行なスリット状の吸引ノズル9を形成す
る。
【0029】さらに、吸引ノズル9の開口部の近傍の壁
面17, 17が、側面視に於て上方へ弧状に弯曲する凹面24
に形成され、かつ、合流乱流空室16の一部を構成する。
面17, 17が、側面視に於て上方へ弧状に弯曲する凹面24
に形成され、かつ、合流乱流空室16の一部を構成する。
【0030】また、エア排出室2の下半部は、仕切壁5
と帯板状鉛直壁部10, 10により、上流側排出室2aと下
流側排出室2bとに分けられる。そして、上流側排出室
2aの底部と、下流側排出室2bの底部に、超音波発生
器6,6を固定する。
と帯板状鉛直壁部10, 10により、上流側排出室2aと下
流側排出室2bとに分けられる。そして、上流側排出室
2aの底部と、下流側排出室2bの底部に、超音波発生
器6,6を固定する。
【0031】超音波発生器6は、図2に示すように、第
1噴出ノズル11又は第2噴出ノズル12に平行な連続溝13
を有するブロック体からなり、連続溝13は、鉛直部14と
該鉛直部14に連通連結される上下一対の水平部15, 15と
からなる。
1噴出ノズル11又は第2噴出ノズル12に平行な連続溝13
を有するブロック体からなり、連続溝13は、鉛直部14と
該鉛直部14に連通連結される上下一対の水平部15, 15と
からなる。
【0032】前記第1噴出ノズル11と第2噴出ノズル12
は、夫々、上流側排出室2aの底壁部8aと、下流側排
出室2bの底壁部8bに、開設される。つまり、第1噴
出ノズル11と第2噴出ノズル12と吸引ノズル9とを、ケ
ーシング4の下面側に、配設する。さらに、第1噴出ノ
ズル11と第2噴出ノズル12は、超音波発生器6の連続溝
13に連通連結される。
は、夫々、上流側排出室2aの底壁部8aと、下流側排
出室2bの底壁部8bに、開設される。つまり、第1噴
出ノズル11と第2噴出ノズル12と吸引ノズル9とを、ケ
ーシング4の下面側に、配設する。さらに、第1噴出ノ
ズル11と第2噴出ノズル12は、超音波発生器6の連続溝
13に連通連結される。
【0033】また、凹面24の上流側端縁をなす角部に第
1噴出ノズル11を開口させ、かつ、凹面24の下流側端縁
をなす角部に第2噴出ノズル12を開口させる。つまり、
凹面24の上流側端縁に第1噴出ノズル11を配設し、か
つ、凹面24の下流側端縁に第2噴出ノズル12を配設す
る。
1噴出ノズル11を開口させ、かつ、凹面24の下流側端縁
をなす角部に第2噴出ノズル12を開口させる。つまり、
凹面24の上流側端縁に第1噴出ノズル11を配設し、か
つ、凹面24の下流側端縁に第2噴出ノズル12を配設す
る。
【0034】第1噴出ノズル11と第2噴出ノズル12は、
下方へ行くにつれて相互に接近する方向に傾斜する。な
お、図6に示すように、ワークWがローラー25に沿って
曲がりつつ送られるシート体(ウエブ)の場合、第1噴
出ノズル11と第2噴出ノズル12の傾斜角度θ1 ,θ2 は
実質的に各々θ1 ′,θ2 ′となる。つまり、θ1 ′=
(θ1 +θ/2),θ2 ′=(θ2 +θ/2)となる。
そして、第1噴出ノズル11の傾斜角度θ1 と、第2噴出
ノズル12の傾斜角度θ2 は、夫々、10°〜30°程度の範
囲とし、特に好ましくは約20°とする。
下方へ行くにつれて相互に接近する方向に傾斜する。な
お、図6に示すように、ワークWがローラー25に沿って
曲がりつつ送られるシート体(ウエブ)の場合、第1噴
出ノズル11と第2噴出ノズル12の傾斜角度θ1 ,θ2 は
実質的に各々θ1 ′,θ2 ′となる。つまり、θ1 ′=
(θ1 +θ/2),θ2 ′=(θ2 +θ/2)となる。
そして、第1噴出ノズル11の傾斜角度θ1 と、第2噴出
ノズル12の傾斜角度θ2 は、夫々、10°〜30°程度の範
囲とし、特に好ましくは約20°とする。
【0035】また、ケーシング4の下端面とワークW表
面との間の間隔寸法Sは、1〜2mm程度とするのが好ま
しい。さらに、第1噴出ノズル11と第2噴出ノズル12の
下方開口部の相互間隔寸法Xは、30〜40mm程度とするの
が好ましい(図1参照)。
面との間の間隔寸法Sは、1〜2mm程度とするのが好ま
しい。さらに、第1噴出ノズル11と第2噴出ノズル12の
下方開口部の相互間隔寸法Xは、30〜40mm程度とするの
が好ましい(図1参照)。
【0036】また、第1噴出ノズル11と第2噴出ノズル
12とワークW表面との間に、合流乱流空室16を形成す
る。即ち、ケーシング4の凹面24とその下方のワークW
の上面との間の空間が、合流乱流空室16となる。
12とワークW表面との間に、合流乱流空室16を形成す
る。即ち、ケーシング4の凹面24とその下方のワークW
の上面との間の空間が、合流乱流空室16となる。
【0037】なお、エア吸入室3の他端側にエア吸入路
が連通連結されてエアが他端側へ吸入される場合、吸引
ノズル9の吸引力が全長において略同一になるように、
吸引ノズル9の開口幅寸法Vをエア吸入室3の一端側か
ら他端側へ、段階的に又は無段階で、次第に縮幅させる
のも好ましい。
が連通連結されてエアが他端側へ吸入される場合、吸引
ノズル9の吸引力が全長において略同一になるように、
吸引ノズル9の開口幅寸法Vをエア吸入室3の一端側か
ら他端側へ、段階的に又は無段階で、次第に縮幅させる
のも好ましい。
【0038】次に、上述の如く構成された除塵装置を使
用して、ワークWに付着した塵Rを除去する方法を説明
する。
用して、ワークWに付着した塵Rを除去する方法を説明
する。
【0039】ワークWを、図2の矢印A方向に0.01〜10
m/sec 程度の速度で走行させる。この際、ブロワーユ
ニットから除塵ヘッド1のエア排出室2に1200〜1800mm
Aq程度の圧力のエアを供給する。
m/sec 程度の速度で走行させる。この際、ブロワーユ
ニットから除塵ヘッド1のエア排出室2に1200〜1800mm
Aq程度の圧力のエアを供給する。
【0040】エア排出室2に供給されたエアは高速( 1
40〜 200m/sec 程度)で、上流側と下流側の超音波発
生器6,6の連続溝13,13を通過し、この連続溝13,13
を通過したエアは、超音波エアE1 ,E2 (30〜 120K
Hz 程度の周波数の超音波が乗ったエア流)となって、
第1噴出ノズル11と第2噴出ノズル12から、傾斜角度θ
1 ,θ2 に平行に吹き出される。
40〜 200m/sec 程度)で、上流側と下流側の超音波発
生器6,6の連続溝13,13を通過し、この連続溝13,13
を通過したエアは、超音波エアE1 ,E2 (30〜 120K
Hz 程度の周波数の超音波が乗ったエア流)となって、
第1噴出ノズル11と第2噴出ノズル12から、傾斜角度θ
1 ,θ2 に平行に吹き出される。
【0041】そして、超音波エアE1 ,E2 は、相互に
接近する方向に流れて合流乱流空室16の中間部で合流す
る。これにより、合流乱流空室16内にエアの乱流が生じ
る。
接近する方向に流れて合流乱流空室16の中間部で合流す
る。これにより、合流乱流空室16内にエアの乱流が生じ
る。
【0042】ところで、ワークW表面をエアが一方向に
高速で流れるとワークW表面に境界層20が生じる。この
ため、ワークWに付着している微小な塵R(例えば直径
1〜10μm)は、境界層20内に閉じ込められる。
高速で流れるとワークW表面に境界層20が生じる。この
ため、ワークWに付着している微小な塵R(例えば直径
1〜10μm)は、境界層20内に閉じ込められる。
【0043】しかし、合流乱流空室16内ではエアの乱流
により、境界層20が生じ難く、かつ、生じた境界層20も
破壊される。
により、境界層20が生じ難く、かつ、生じた境界層20も
破壊される。
【0044】しかも、図3の略図で示すように、境界層
20は超音波21, 21によっても破壊される。これにより、
ワークW表面にエアが直接当たり、いわゆるエアナイフ
の効果により塵RをワークW表面から剥離させることが
できる。
20は超音波21, 21によっても破壊される。これにより、
ワークW表面にエアが直接当たり、いわゆるエアナイフ
の効果により塵RをワークW表面から剥離させることが
できる。
【0045】さらに、図4に拡大して示すように、超音
波エアE1 ,E2 の合流点では、塵Rに 180°反対の2
方向(ワークWの上流側と下流側)から超音波エアE
1 ,E2 が当たり、塵Rに矢印B方向の浮力が生じる。
これにより、塵RをワークW表面から確実に剥離させる
ことができる。
波エアE1 ,E2 の合流点では、塵Rに 180°反対の2
方向(ワークWの上流側と下流側)から超音波エアE
1 ,E2 が当たり、塵Rに矢印B方向の浮力が生じる。
これにより、塵RをワークW表面から確実に剥離させる
ことができる。
【0046】図2にもどって、ワークW表面から剥離し
た塵Rは、吸引ノズル9を通り、エア吸入室3内に吸入
される。こうして、塵Rが除去される。
た塵Rは、吸引ノズル9を通り、エア吸入室3内に吸入
される。こうして、塵Rが除去される。
【0047】図5は、本発明の除塵装置の他の実施例を
示し、この場合、2個の除塵ヘッド1,1を上流側と下
流側に平行に隣接させて設けている。
示し、この場合、2個の除塵ヘッド1,1を上流側と下
流側に平行に隣接させて設けている。
【0048】このようにすれば、ワークW表面から塵R
を除去する効率をより高くすることができ、かつ、より
確実に塵Rを除去し得る。
を除去する効率をより高くすることができ、かつ、より
確実に塵Rを除去し得る。
【0049】なお、上記2個の除塵ヘッド1,1を一体
状に形成するも自由である。そして、その場合、上流側
の除塵ヘッド1の下流側エア排出室2bと、下流側の除
塵ヘッド1の上流側エア排出室2aとの間の壁部を省略
して相互に連通状とするのも好ましい。
状に形成するも自由である。そして、その場合、上流側
の除塵ヘッド1の下流側エア排出室2bと、下流側の除
塵ヘッド1の上流側エア排出室2aとの間の壁部を省略
して相互に連通状とするのも好ましい。
【0050】次に実験例を示す。
【0051】図8に示すように、長方形のガラス板23に
2mm平方のポイントP1 〜P8 を1列に等間隔にマーキ
ングした。そして、液晶表示板に使用される直径5μm
のスペーサビーズを、各ポイントP1 〜P8 に300 〜40
0 個ずつ散布した。
2mm平方のポイントP1 〜P8 を1列に等間隔にマーキ
ングした。そして、液晶表示板に使用される直径5μm
のスペーサビーズを、各ポイントP1 〜P8 に300 〜40
0 個ずつ散布した。
【0052】上記のようにスペーサビーズを散布したガ
ラス板23を6枚作成し、これをワークWとして、図9に
示した従来の除塵装置と、図1に示した本発明の除塵装
置にて、夫々、3枚ずつ除塵を行った。なお、噴出する
エアの圧力を1600mmAqに設定し、除塵ヘッドとワーク表
面との間の間隔寸法を4〜5mmに設定した。
ラス板23を6枚作成し、これをワークWとして、図9に
示した従来の除塵装置と、図1に示した本発明の除塵装
置にて、夫々、3枚ずつ除塵を行った。なお、噴出する
エアの圧力を1600mmAqに設定し、除塵ヘッドとワーク表
面との間の間隔寸法を4〜5mmに設定した。
【0053】上述の除塵終了後、ガラス板23の各ポイン
トP1 〜P8 に残留したスペーサビーズの個数を数えた
結果を次の表1に示す。
トP1 〜P8 に残留したスペーサビーズの個数を数えた
結果を次の表1に示す。
【0054】
【表1】
【0055】表1から、本発明の除塵装置は、従来のも
のよりも優れた除塵能力を有することが分かった。
のよりも優れた除塵能力を有することが分かった。
【0056】
【発明の効果】本発明は上述の如く構成されているの
で、次に記載する効果を奏する。
で、次に記載する効果を奏する。
【0057】(図7に示すように)ワークWに対して付
着位置26にて付着した塵RはワークWから除去され易い
方向と除去され難い方向とを有する(方向性を有する)
ことがある。つまり、図7の左の塵は図の左方向からの
超音波エアE2 にて吹き飛ばされ易く、また、同図の右
の塵は逆に右方向からの超音波エアE1 にて吹き飛ばさ
れ易い。このような塵Rの付着状態にあって、本発明で
は異なる方向から超音波エアE1 ,E2 が吹き付けられ
るので、確実に除去が行なわれる。従って、ワークWに
付着した塵Rを効率良く除去することができ、優れたワ
ークWの洗浄効果を有するものとし得る。
着位置26にて付着した塵RはワークWから除去され易い
方向と除去され難い方向とを有する(方向性を有する)
ことがある。つまり、図7の左の塵は図の左方向からの
超音波エアE2 にて吹き飛ばされ易く、また、同図の右
の塵は逆に右方向からの超音波エアE1 にて吹き飛ばさ
れ易い。このような塵Rの付着状態にあって、本発明で
は異なる方向から超音波エアE1 ,E2 が吹き付けられ
るので、確実に除去が行なわれる。従って、ワークWに
付着した塵Rを効率良く除去することができ、優れたワ
ークWの洗浄効果を有するものとし得る。
【0058】また、第1噴出ノズル11の上流側と第2噴
出ノズル12の下流側にエアが漏れないようにすることが
でき、ワークWから剥離した塵Rを、確実に吸引ノズル
9内に送ることができる。さらに、外部への音漏れを防
止でき、騒音を低減させ得る。
出ノズル12の下流側にエアが漏れないようにすることが
でき、ワークWから剥離した塵Rを、確実に吸引ノズル
9内に送ることができる。さらに、外部への音漏れを防
止でき、騒音を低減させ得る。
【0059】ケーシング4を押出加工にて容易に製造可
能であり、また、エア供給路7から流れ出たエアを超音
波発生器6に導くためのエア通路を作る必要がない。よ
って、部品点数が極めて少なくてすむ。
能であり、また、エア供給路7から流れ出たエアを超音
波発生器6に導くためのエア通路を作る必要がない。よ
って、部品点数が極めて少なくてすむ。
【0060】エア排出室2が、仕切壁5(エア吸入室
3)を囲むように設けられているので、従来のようなエ
ア排出室2とエア吸入室3とが上流と下流方向に並列し
ている場合とは異なり、ケーシング4をコンパクトにで
きる。
3)を囲むように設けられているので、従来のようなエ
ア排出室2とエア吸入室3とが上流と下流方向に並列し
ている場合とは異なり、ケーシング4をコンパクトにで
きる。
【0061】第1噴出ノズル11と第2噴出ノズル12と吸
引ノズル9とを、エア排出室2とエア吸入室3とを有す
るケーシング4の下面側に、配設すれば、除塵装置の組
立てが容易となり、かつ、第1噴出ノズル11,第2噴出
ノズル12,吸引ノズル9の位置決めを容易に行い得る。
引ノズル9とを、エア排出室2とエア吸入室3とを有す
るケーシング4の下面側に、配設すれば、除塵装置の組
立てが容易となり、かつ、第1噴出ノズル11,第2噴出
ノズル12,吸引ノズル9の位置決めを容易に行い得る。
【図1】本発明の一実施例の断面側面図である。
【図2】要部拡大断面側面図である。
【図3】使用状態を説明する簡略図である。
【図4】使用状態を説明する要部拡大断面図である。
【図5】他の実施例の要部断面側面図である。
【図6】別の使用状態を説明する要部拡大断面図であ
る。
る。
【図7】作用を説明する簡略図である。
【図8】実験例のワークを示す平面図である。
【図9】従来例を示す断面側面図である。
2 エア排出室 3 エア吸入室 4 ケーシング 5 仕切壁 6 超音波発生器 8a 底壁部 8b 底壁部 9 吸引ノズル 10 帯板状鉛直壁部 11 第1噴出ノズル 12 第2噴出ノズル 16 合流乱流空室 17 壁面 24 凹面 27 外壁部 E1 超音波エア E2 超音波エア W ワーク
Claims (4)
- 【請求項1】 ケーシング4と、該ケーシング4に内設
される超音波発生器6,6とを備え、該ケーシング4
は、内部にエア吸入室3を有する仕切壁5と、該仕切壁
5から垂下されてスリット状の吸引ノズル9を形成する
2枚の帯板状鉛直壁部10,10と、該帯板状鉛直壁部10,
10の下端縁に連設される底壁部8a,8bと、該底壁部
8a,8bの外端縁に連設されて仕切壁5を包囲する外
壁部27と、から成ると共に、該外壁部27と仕切壁5との
間にエア排出室2が形成され、かつ、上記超音波発生器
6,6を、夫々、上記底壁部8a,8bに配設し、か
つ、超音波発生器6,6に連通すると共に、相互に接近
する方向に超音波エアE1 ,E2 を噴出する第1噴出ノ
ズル11と第2噴出ノズル12を、底壁部8a,8bに設け
たことを特徴とする除塵装置。 - 【請求項2】 第1噴出ノズル11と第2噴出ノズル12と
ワークW表面との間に、合流乱流空室16を形成した請求
項1記載の除塵装置。 - 【請求項3】 吸引ノズル9の開口部の近傍の壁面17,
17を、側面視に於て上方へ弧状に弯曲する凹面24に形成
して、合流乱流空室16の一部を構成した請求項2記載の
除塵装置。 - 【請求項4】 凹面24の上流側端縁に第1噴出ノズル11
を配設し、かつ、凹面24の下流側端縁に第2噴出ノズル
12を配設した請求項3記載の除塵装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23408394A JPH0768226A (ja) | 1994-09-02 | 1994-09-02 | 除塵装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23408394A JPH0768226A (ja) | 1994-09-02 | 1994-09-02 | 除塵装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5240672A Division JP2820599B2 (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 除塵装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0768226A true JPH0768226A (ja) | 1995-03-14 |
Family
ID=16965347
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23408394A Pending JPH0768226A (ja) | 1994-09-02 | 1994-09-02 | 除塵装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0768226A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101987271A (zh) * | 2009-07-29 | 2011-03-23 | 株式会社伸兴 | 除尘装置以及除尘*** |
CN114130757A (zh) * | 2020-09-03 | 2022-03-04 | 拓秀有限会社 | 清除器头 |
-
1994
- 1994-09-02 JP JP23408394A patent/JPH0768226A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101987271A (zh) * | 2009-07-29 | 2011-03-23 | 株式会社伸兴 | 除尘装置以及除尘*** |
CN114130757A (zh) * | 2020-09-03 | 2022-03-04 | 拓秀有限会社 | 清除器头 |
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