JPH0562933A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法Info
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- JPH0562933A JPH0562933A JP22426191A JP22426191A JPH0562933A JP H0562933 A JPH0562933 A JP H0562933A JP 22426191 A JP22426191 A JP 22426191A JP 22426191 A JP22426191 A JP 22426191A JP H0562933 A JPH0562933 A JP H0562933A
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Abstract
どを埋め込む材料としてW(タングステン)などを使用
する場合の密着層であるTiN膜の形成方法に関するも
ので、より良いステップカバレージと、低抵抗化を図る
ことを目的とするものである。 【構成】 本発明は前記目的のために、TiN膜1,5
を形成するに先立って、その下地膜としてTiリッチな
TiSiX 膜1,4を形成するようにしたものである。
Description
クトホールなどを埋め込む材料としてW(タングステ
ン)などの膜を使用する際、その密着層であるTiN膜
の形成方法に関するものである。
埋め込み材として、CVD法によるブランケットW(タ
ングステン)膜を形成してからエッチ・バックして、コ
ンタクトホールや、コンタクト部のみにWを残すプロセ
スが良く使われている。そのプロセス及び膜構成の略図
を図2に示す。左側は密着層として反応性スパッタTi
Nとした場合、右側はCVDTiNとした場合である。
に該当する所に、層間絶縁膜(2,3)をエッチングす
ることによって、コンタクトホールを形成する(図2
(a))。次に後述のCVDのブランケットW膜(2,
7)を堆積する場合のそのブランケットW(2,7)の
膜剥れやアニールによる接合層との反応などを防止する
為に、ブランケットW膜(2,7)を堆積する前に、ウ
ェハ全面を反応性スパッタ法によって、TiN膜(図2
(b)左図)或いはCVD法(化学的気相成長法)(L
P−CVD法やPE−CVD法)によってTi/TiN
膜(2,4および2,5)を形成し(図2(b)右
図)、W膜の密着層として用いる。その後、CVD法ブ
ランケットW膜(2,7)を堆積する(図2(c))。
次に、RIE(反応性イオンエッチング)技術などによ
ってW膜(2,7)を層間絶縁膜(2,3)上まで全面
にエッチ・バックしてW膜(2,7)をコンタクト部内
のみに残しておく。その後、図示しないがAl系の配線
を形成する。
ずれの方法であっても、デバイスにおける微細化によっ
て、問題が生じてしまう。例えば、反応性スパッタTi
N膜の場合、コンタクト内に、まず抵抗を下げる為Ti
膜を堆積しておくが、微細化によって、膜の堆積が不十
分になり、極端な場合、コンタクト部内にはTiとTi
N膜がほとんど堆積されないこともありうる。又、CV
D法によるTiN膜の形成においては、TiN膜の底部
にTiリッチ(ある成分の量が多いこと。通常50%以
上)なTi膜を作っておく手法があるが、VLSIの微
細化に伴い、TiリッチなTiN膜の場合、十分なTi
Si2.0 膜が得られないことによる抵抗の上昇を生じ、
またTi膜を有する場合では、TiSi2.0 を作ると
き、接合部のSiを消費する為、接合部での接合破壊が
発生する恐れが生じてしまう。
全なTi或いはTiN膜の堆積、そしてTi膜のTiS
i2.0 膜になるシリサイディーション化による接合破壊
などの問題点を除去する為、CVD法(LP−CVD法
やPE−CVD法など)により、コンタクト内に十分な
TiSi2.0 膜が形成出来ると共に、接合部でのSiの
消費を抑えて、低抵抗のコンタクト部でのTiN膜の形
成技術を提供することを目的とする。
ために、CVDブランケットW膜の密着層として用いる
TiN膜の形成方法において、ステップカバレージの良
い、かつ、TiリッチなTiSiX 膜をTiN模の下地
膜として用いることによってコンタクト部の低抵抗化
や、デバイスの微細化による浅い接合での接合破壊を防
止することによって、高信頼性かつ、低抵抗のコンタク
ト配線にしたものである。
ば、CVD法でブランケットW膜の密着層として用いる
TiN膜を形成する時、最初にTiリッチなTiSiX
膜を形成してから、in−situ(大気にさらすこと
なく同一チャンバー内で処理すること)で、TiN膜を
形成するようにしたので、後工程の熱処理で、コンタク
ト部にTiSi2.0 膜を形成させる場合、下地が純Ti
膜ではなくTiリッチなTiSiX 膜である為、接合部
のSiの消費量を極力に減少出来、接合深さが浅くなっ
ても接合破壊の防止が出来ると共に、コンタクト部の低
抵抗化が図れる。
て説明すると、まず従来法と同じように層間絶縁膜
(1,3)をエッチングしてコンタクト部を形成する。
(図1(a))その後、後述のCVDブランケットW膜
(1,7)の密着層として用いるTiN膜(1,5)を
形成する前に、同じTiN膜形成チャンバ(in−si
tu)内で、まず、TiリッチなTiSiX 膜(1,
4)を全面に堆積してから、連続的にTiN膜(1,
5)を堆積する。このプロセスを更に詳細に説明する
と、まず膜形成チャンバーに上記コンタクト部形成済み
のウェハをセットしてから、例えばPE−CVD法の場
合SiH4 とTiCl4 ガスをソースガスとして用い
て、それぞれの流量比を1.5〜3.0にして1.0〜
2.0Torrの圧力、300℃〜600℃の温度で、
200W〜800Wのパワーをかけて組成xが約1.1
〜1.8になるTiリッチなTiSiX 膜(1,4)を
形成してから、SiH4 ガスを止める。その後圧力、温
度とパワーを同じにしても、変化させてもよいが、通常
スループットを考慮すると少なくとも、温度を同じ条件
にして、NH3 とTiCl4 ガスをソースガスとして用
いて、それらの流量比を例えば、1/10〜1/20な
ど、ストイキオメトリな(生成エンタルピーが最少の化
学的に最も安定な)TiN膜(1,4)が形成出来る最
適条件にして、TiN膜(1,5)を形成する。その後
図1(a)のように、CVD法によるブランケットW膜
(1,7)を形成してから、RIE法などによってエッ
チ・バックする。この時、層間絶縁膜(1,3)上のT
iリッチTiSiX 膜(1,4)、TiN膜(1,5)
とブランケットW膜(1,7)をエッチオフしておく。
そうすればコンタクト部内の膜構成としては、Tiリッ
チなTiSiX 膜/TiN膜/W膜となる。又、ブラン
ケットW膜(1,7)を堆積する前に、TiSiX 膜
(1,4)のアニール工程を入れてもよい。このような
構造のコンタクト部においてはアニールを行えば、まず
TiリッチなTiSiX 膜(1,4)が下地の接合部の
Siを消費してTiSi2.0 になるが、TiSiX 膜
(1,4)の組成は約1.1〜1.8である為、同じ膜
厚を有する純Ti膜に比べて、TiSi2.0 膜になる為
のSiの必要量は、半分以下になる。これによって、十
分な厚さを有するTiSi2.0 膜が形成出来る。従って
抵抗は低くすることができると共に、接合部でのSiの
消費は、極めて低減出来る。この為、デバイスの微細化
によって接合深さが浅くなっても、接合破壊の防止が大
きく向上出来る。
例を示したが、W膜以外のMoやCrなどの高融点金
属、さらにはAlなどの金属でも同様の効果を得られ
る。
の製造方法によれば、CVD法でブランケットW膜の密
着層として用いるTiN膜を形成するに当たって、最初
にTiリッチなTiSiX 膜を形成してから、in−s
ituでTiN膜を形成するようにしたので、後工程の
熱処理でコンタクト部にTiSi2.0 膜を形成させる場
合、下地が純Ti膜ではなくTiリッチなTiSiX 膜
である為、接合部のSiの消費量を極力に減少出来、接
合深さが浅くなっても、接合破壊の防止が出来ると共
に、コンタクト部の低抵抗化が図れる。
Claims (1)
- 【請求項1】 高融点金属やその他の金属でコンタクト
ホールを埋め込むようなときに、前記金属とコンタクト
ホール底部の導電性シリコン膜との間の密着層として、 該TiN膜の形成を行なう装置内で、先ずTiリッチな
TiSiX 膜を形成してから、連続してTiN膜を形成
するようにしたことを特徴とする半導体装置の製造方
法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03224261A JP3085745B2 (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | 半導体装置の製造方法 |
US08/119,440 US5462895A (en) | 1991-09-04 | 1993-08-23 | Method of making semiconductor device comprising a titanium nitride film |
US08/423,144 US5525543A (en) | 1991-09-04 | 1995-04-17 | Method of making a semiconductor device using a titanium-rich silicide film |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03224261A JP3085745B2 (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0562933A true JPH0562933A (ja) | 1993-03-12 |
JP3085745B2 JP3085745B2 (ja) | 2000-09-11 |
Family
ID=16811006
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP03224261A Expired - Fee Related JP3085745B2 (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3085745B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0846050A (ja) * | 1994-08-01 | 1996-02-16 | Nec Corp | 半導体記憶装置およびその製造方法 |
WO1999035675A1 (fr) * | 1998-01-09 | 1999-07-15 | Tokyo Electron Limited | Procede pour former un film de titane par d.c.p.v. |
-
1991
- 1991-09-04 JP JP03224261A patent/JP3085745B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0846050A (ja) * | 1994-08-01 | 1996-02-16 | Nec Corp | 半導体記憶装置およびその製造方法 |
WO1999035675A1 (fr) * | 1998-01-09 | 1999-07-15 | Tokyo Electron Limited | Procede pour former un film de titane par d.c.p.v. |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3085745B2 (ja) | 2000-09-11 |
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