JPH0538890U - ガラス基板の搬送機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板に傷や埃を付けることなく、また、基板
をカセット装填位置に正確に搬送することができるガラ
ス基板の搬送機構を実現する。 【構成】 移動ベース１１上のロータリーアクチュエー
タ１０を駆動し、回転部材１２を図中右回りに回転させ
る。すると、クランク１３と１４が回転中心の方向に引
き寄せられ、それにつれてアーム１５と１６の夫々の端
部がガイド溝１７，１８に沿って中心方向に引き寄せら
れる。この結果、２本のアーム１５，１６は互いに平行
な関係を維持した状態で近付けられ、ガラス基板Ｇに接
近する。ガラス基板Ｇの端部に爪１７，１８，１９が当
接すると、各爪のテーパにより、ガラス基板Ｇは各爪１
７，１８，１９の上に載せられる。その後、移動ベース
１１は直線状に移動させられ、ガラス基板はカセット装
填位置に搬送される。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、マスク基板やレチクルなどのガラス基板を搬送するにするに最適な ガラス基板の搬送機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】

表面にレジストが塗布されたマスク基板やレチクルなどのガラス基板は、例え ば、電子ビーム描画装置などに入れられて必要なパターンの描画が行われる。こ の場合、ガラス基板はその際、直接電子ビーム描画装置に入れられるのではなく 、カセットに装填され、カセットに装填された状態で自動的に電子ビーム描画装 置内にセットされるようにしている。従って、一般に、ガラス基板の表面へのレ ジストの塗布が終了した後、その基板をカセットに装填する作業が行われている 。図１は、ガラス基板を第１の位置からカセットに装填する第２の位置に搬送す る機構の従来例を示したもので、１はＵ字状のアームである。アーム１は、エア シリンダ２によってアームの２つの先端部でガラス基板Ｇを押すことができるよ うになっている。３，４は、台５上に平行に設けられた一対のレールであり、夫 々向かい合った方向に位置の調整ができるようになっている。ガラス基板Ｇはこ の２本のレール３，４上にセットされる。このような構成でガラス基板Ｇをレー ル３，４上に載せ、エアシリンダ２によってアーム１を図中矢印方向に移動させ る。このアームの移動によってアーム１の一方の先端部で基板Ｇ端部を押すこと になり、基板Ｇはレール３，４上を滑り、カセット装填位置Ｐにまでは搬送させ られる。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

上述した構成では、基板Ｇがレール３，４上を滑ることになり、その際、ガラ ス基板の表面に傷や埃が付いてしまう。もちろん、マスクやレチクルとなるガラ ス基板に傷や埃が付くことは好ましいことではなく、この傷や埃は、その後のパ ターン描画の際の不良の原因となる。従って、ガラス基板の表面や裏面がなるべ く他のものに触れずに搬送されることが望まれている。また、ガラス基板Ｇのサ イズは各種有り、一方から押すことによってガラス基板を移動させる場合、各種 サイズのガラス基板の中心を常にカセット装填位置Ｐの中心にセットすることは 困難であり、そのため、基板をカセットに装填する際に基板とカセットとの位置 関係が最初から狂ってしまい、正確に基板をカセットに装填することができなく なる。

【０００４】 本考案は、このような点に鑑みてなされたもので、その目的は、基板に傷や埃 を付けることなく、また、基板をカセット装填位置に正確に搬送することができ るガラス基板の搬送機構を実現するにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案に基づくガラス基板の搬送機構は、互いに平行に配置された一対のアー ムと、該一対のアームを相反した向きに平行移動させるための移動機構と、一方 のアームに設けられたテーパを有した爪と、他方のアームに設けられたテーパを 有した爪とを有し、該一対のアームを接近させることによりアーム間に配置した ガラス基板を前記各爪によって支持するようにしたガラス基板支持手段と、該ガ ラス基板の支持手段を第１の位置から第２の位置に搬送する手段を備えたことを 特徴としている。

【０００６】

【作用】

本考案に基づくガラス基板の大きさ判別機構は、一対のアームを接近させるこ とによりアーム間に配置したガラス基板を各アームに設けられた爪によって支持 するようにし、基板を支持した状態で一対のアームを第１の位置から第２の位置 に移動させ、ガラス基板の搬送を行う。

【０００７】

【実施例】

以下、図面を参照して本考案の実施例を詳細に説明する。図２は本考案の一実 施例を示しており、図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は側面図である。図中１０ はロータリーアクチュエータ、１１は移動ベーズであり、ロータリーアクチュエ ータ１０の回転によってクランク機構の回転軸１２が回転するように構成されて いる。１３と１４は夫々回転軸１２の両端に回転可能に係合されたクランク軸で あり、このクランク軸１３，１４の端部は、夫々アーム１５，１６に係合されて いる。また、アーム１５，１６の端部は、移動ベース１１に設けられたガイド溝 １７，１８に沿って移動できるように支持されている。アーム１５，１６は互い に平行に配置されており、アーム１５のアーム１６に対向する側部には一つの爪 １７が取り付けられており、また、アーム１６のアーム１５に対向する側部には 、二つの爪１８，１９が取り付けられている。これら爪１７，１８，１９は、夫 々テーパを有し、先端が薄く形成されている。このロータリーアクチュエータ１ ０，移動ベース１１，クランク機構の回転軸１２，クランク軸１３と１４，アー ム１５と１６は、ガラス基板の支持機構を構成している。このガラス基板支持機 構は、全体として図１に示したような台５に取り付けられたエアシリンダ２など に支持され、台５上を直線状に移動できるようになっている。なお、図中Ｇはガ ラス基板であり、ガラス基板Ｇは、台（図示せず）上に固定され、アーム１５， １６の長手方向に垂直な方向に伸びている２本のレール２０，２１上に載せられ る。

【０００８】 上述した構成において、移動ベース１１上のロータリーアクチュエータ１０を 駆動し、回転軸１２を図中右回りに回転させる。すると、クランク軸１３と１４ がクランク機構の回転中心の方向に引き寄せられ、それにつれてアーム１５と１ ６の夫々の端部がガイド溝１７，１８に沿って中心方向に引き寄せられる。この 結果、２本のアーム１５，１６は互いに平行な関係を維持した状態で近付けられ 、ガラス基板Ｇに接近する。ガラス基板Ｇの端部に爪１７，１８，１９が当接す ると、爪の先端位置はガラス基板Ｇの底部位置より僅かに下にされており、その 結果、各爪のテーパにより、ガラス基板Ｇは各爪１７，１８，１９の上に載せら れることになる。図３の（ａ）はガラス基板Ｇと各爪とが当接していない状態、 （ｂ）はアーム１６が接近し、各爪によって基板ＧをΔｚ持ち上げた状態を示し ている。なお、図３では、爪１９のみが示されている。

【０００９】 このようにしてガラス基板Ｇがアーム１５，１６に取り付けられた爪１７，１ ８，１９上に載せられると、ガラス基板支持機構全体がカセット装填位置まで移 動させられる。図４はこの支持機構の移動機構を示す図であり、移動ベース１は 、エアシリンダ２２に取り付けられている。支持機構は、ガラス基板Ｇを位置Ｒ で挟みつけて持ち上げ、その後、支持機構はエアシリンダ２２によって直線状に 、カセット装填位置Ｐにまで移動させられる。支持機構がカセット装填位置Ｐに まで移動させられた後、ロータリーアクチュエータ１０によって回転部材が逆方 向（左回り）に回転させられ、アーム１５，１６が互いに離れる方向に直線状に 動かされる。その結果、各爪１７，１８，１９はガラス基板から離され、基板は カセット装填位置の所定場所にセットされる。その後、図示していないが、カセ ットにガラス基板が装填される。このような動作でガラス基板Ｇは所定の位置に 搬送されるが、ガラス基板の搬送の途中でガラス基板が何等他の部材と接触して 滑らされるようなことはなく、ガラス基板の表面と裏面に傷や埃が付くことは防 止される。また、図４において二点鎖線で示したよりサイズの小さいガラス基板 Ｇｓを搬送するに際しても、ガラス基板Ｇを支持する位置Ｒの中心とガラス基板 Ｇの中心とを常に一致させることができ、また、カセット装填位置Ｐと搬送され たサイズの小さなガラス基板Ｇｓの中心位置とを常に一致させることができる。 すなわち、どのようなサイズの基板でも、搬送距離を図で示したＬとすることが できる。その結果、どのようなサイズの基板でも正確にカセット装填位置の中心 に位置させることができ、ガラス基板をカセットに正確に装填することができる 。

【００１０】 以上、本考案の一実施例を詳述したが、本考案はこの実施例に限定されない。 例えば、アーム１５，１６を駆動する手段としてクランク機構を用いたが、ラッ クアンドピニオン機構を用いても良い。また、アームを動かすためのロータリー アクチュエータは、空気圧を用いなくともモータでも可能であり、更に、クラン クの中心を回転させるアクチュエータの代わりに、ガイド溝をスライドさせるエ アシリンダやリニアモータを用いることも可能である。また、前記実施例では基 板支持の安定性，経済性及び加工の容易性から、一方のアームに１個の爪、他方 のアームに２個の爪を設けて、３点支持構造と成したが、例えば、各アームに夫 々２個の爪を設けて４点支持構造に成してもよい。更にまた、基板の支持機構を 搬送するエアシリンダもリニアモータなどで代用することができる。

【００１１】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案に基づくガラス基板の搬送機構は、一対のアーム を接近させることによりアーム間に配置したガラス基板を各アームに設けられた 爪によって支持するようにし、基板を支持した状態で一対のアームを第１の位置 から第２の位置に移動させ、ガラス基板の搬送を行うようにしたので、ガラス基 板の搬送の途中でガラス基板が何等他の部材と接触して滑らされるようなことは なく、ガラス基板の表面と裏面に傷や埃が付くことは防止される。また、どのよ うなサイズの基板でも正確にカセット装填位置の中心に位置させることができ、 ガラス基板をカセットに正確に装填することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来のガラス基板の搬送機構の一例を示す図で
ある。

【図２】本考案に基づくガラス基板の搬送機構の内、基
板の支持機構の一実施例を示す図である。

【図３】爪によるガラス基板の支持の様子を示す図であ
る。

【図４】基板の支持機構を搬送する機構を示す図であ
る。

【符号の説明】

１０…ロータリーアクチュエータ １１…移動ベース １２…回転部材 １３，１４…クランク １５，１６…アーム １７，１８，１９…爪 ２０，２１…レール ２２…エアシリンダ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに平行に配置された一対のアーム
   と、該一対のアームを相反した向きに平行移動させるた
   めの移動機構と、一方のアームに設けられたテーパを有
   した爪と、他方のアームに設けられたテーパを有した爪
   とを有し、該一対のアームを接近させることによりアー
   ム間に配置したガラス基板を前記各爪によって支持する
   ようにしたガラス基板支持手段と、該ガラス基板の支持
   手段を第１の位置から第２の位置に搬送する手段を備え
   たガラス基板の搬送機構。