JPH05182891A - 基板の位置決め装置 - Google Patents
基板の位置決め装置Info
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- JPH05182891A JPH05182891A JP4105297A JP10529792A JPH05182891A JP H05182891 A JPH05182891 A JP H05182891A JP 4105297 A JP4105297 A JP 4105297A JP 10529792 A JP10529792 A JP 10529792A JP H05182891 A JPH05182891 A JP H05182891A
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 サイズの異なる相似形の基板のプリアライメ
ントを確実に、かつ安定に行なうことができる位置決め
装置を提供する。 【構成】 基板をプリアライメントするときの押圧部材
を回動方式にし、基板の端面に当接する当接子と、回動
軸との配置関係を適当に定めることで、基板のサイズに
応じて変化する押圧力を発生させる。
ントを確実に、かつ安定に行なうことができる位置決め
装置を提供する。 【構成】 基板をプリアライメントするときの押圧部材
を回動方式にし、基板の端面に当接する当接子と、回動
軸との配置関係を適当に定めることで、基板のサイズに
応じて変化する押圧力を発生させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体素子製造用のフ
ォトマスクまたはレチクルなどの矩形状の基板、あるい
は半導体ウエハなどの円形状の基板の位置決め装置に関
するものである。
ォトマスクまたはレチクルなどの矩形状の基板、あるい
は半導体ウエハなどの円形状の基板の位置決め装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体素子の多種多様化に連れ
て、フォトマスク又はレチクル（以下、基板という）の
種類も増加している。基板は搬送過程において一度位置
決め（プリアライメント）する必要がある。これは、工
程の自動化に際し、基板外径に対する位置決め用マーク
がずれると、ウエハ上に露光されたパターンも基板外径
に対し位置がずれることとなり、位置決め用マークの検
索時間もしくは工程時間にも影響を及ぼすからである。
従って、基板は再現性良く位置決めされる必要がある。
て、フォトマスク又はレチクル（以下、基板という）の
種類も増加している。基板は搬送過程において一度位置
決め（プリアライメント）する必要がある。これは、工
程の自動化に際し、基板外径に対する位置決め用マーク
がずれると、ウエハ上に露光されたパターンも基板外径
に対し位置がずれることとなり、位置決め用マークの検
索時間もしくは工程時間にも影響を及ぼすからである。
従って、基板は再現性良く位置決めされる必要がある。
【０００３】このため、基板を扱う多くの装置には、基
板の端面と当接する複数の位置決めピン（ローラ）を持
ったプリアライメント機構が組み込まれ、基板を位置決
めピンに機械的に押し当てることで事前の位置決めを行
なっている。
板の端面と当接する複数の位置決めピン（ローラ）を持
ったプリアライメント機構が組み込まれ、基板を位置決
めピンに機械的に押し当てることで事前の位置決めを行
なっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが従来の位置決
め装置は同一サイズの基板にしか対応できず、異なるサ
イズの基板に対しては、そのローラピンの付け替え作業
に伴いチャンバー内に塵埃を持ち込む可能性があるなど
の不都合があった。尚、ここでいうチャンバーとは、そ
の種の位置決め装置が組み込まれた露光装置や検査装置
を正常な環境で収納するものを言う。
め装置は同一サイズの基板にしか対応できず、異なるサ
イズの基板に対しては、そのローラピンの付け替え作業
に伴いチャンバー内に塵埃を持ち込む可能性があるなど
の不都合があった。尚、ここでいうチャンバーとは、そ
の種の位置決め装置が組み込まれた露光装置や検査装置
を正常な環境で収納するものを言う。
【０００５】本発明は、複数種類のサイズの基板の各々
について、位置決め用のローラピンなどを付け替えるこ
ともなく、どのようなサイズの基板に対しても安定な位
置決めができる装置を提供することを目的としている。
について、位置決め用のローラピンなどを付け替えるこ
ともなく、どのようなサイズの基板に対しても安定な位
置決めができる装置を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、外形形状が相
似で互いにサイズの異なる少なくとも２枚の基板の夫々
を択一的にプリアライメントする位置決め装置であり、
基板の端面と対向配置されて基準となる位置決め部材
(2,4,5及び11,13,15) と、基板をその位置決め部材の方
向へ押圧する押圧部材(3,6,7及び11,13,15) とを備えた
装置に関するものである。
似で互いにサイズの異なる少なくとも２枚の基板の夫々
を択一的にプリアライメントする位置決め装置であり、
基板の端面と対向配置されて基準となる位置決め部材
(2,4,5及び11,13,15) と、基板をその位置決め部材の方
向へ押圧する押圧部材(3,6,7及び11,13,15) とを備えた
装置に関するものである。
【０００７】そして本発明では、押圧部材として、サイ
ズの異なる基板(10,12,14)の夫々の端面と当接可能な当
接子（位置決め部材:11,13,15)と、この当接子を基板の
面と平行な面内で所定の軸(28)を中心として回転させる
移動体（移動台:6,7) と、この移動体に付勢力を与える
付勢手段（捩じりばね29）とを設け、さらに当接子が基
板を押圧して位置決め部材(2,4,6) の方へ当接させたと
き、移動体(6,7) の回動角（θ1,θ2,θ3)を基板のサイ
ズに応じて異ならせると共に、基板のサイズが大きくな
るに従って当接子の押圧力が大きくなるように、移動体
(6,7) の回動軸(28)と当接子との各配置を定めるように
してある。
ズの異なる基板(10,12,14)の夫々の端面と当接可能な当
接子（位置決め部材:11,13,15)と、この当接子を基板の
面と平行な面内で所定の軸(28)を中心として回転させる
移動体（移動台:6,7) と、この移動体に付勢力を与える
付勢手段（捩じりばね29）とを設け、さらに当接子が基
板を押圧して位置決め部材(2,4,6) の方へ当接させたと
き、移動体(6,7) の回動角（θ1,θ2,θ3)を基板のサイ
ズに応じて異ならせると共に、基板のサイズが大きくな
るに従って当接子の押圧力が大きくなるように、移動体
(6,7) の回動軸(28)と当接子との各配置を定めるように
してある。
【０００８】
【作用】本発明においては、押圧部材を回動方式にし、
サイズの異なる基板に対して、その基板の大きさ、すな
わち質量に応じた大きさの押圧力を発生させることがで
きる。通常、大きなサイズの基板は質量も大きいので、
大きな押圧力で基板を基準となる位置決めピン（ロー
ラ）の方へ押圧する必要があるが、本発明による位置決
め装置の構成によれば、簡単な構造で基板サイズの大小
に適した押圧力が得られる。
サイズの異なる基板に対して、その基板の大きさ、すな
わち質量に応じた大きさの押圧力を発生させることがで
きる。通常、大きなサイズの基板は質量も大きいので、
大きな押圧力で基板を基準となる位置決めピン（ロー
ラ）の方へ押圧する必要があるが、本発明による位置決
め装置の構成によれば、簡単な構造で基板サイズの大小
に適した押圧力が得られる。
【０００９】
【実施例】以下、図に示す実施例について説明する。図
１は本発明の実施例の概略斜視図である。また、この実
施例では５，６，７インチの３種類のサイズの相似形基
板に適用する場合を例にとって示してある。
１は本発明の実施例の概略斜視図である。また、この実
施例では５，６，７インチの３種類のサイズの相似形基
板に適用する場合を例にとって示してある。
【００１０】図１において、10は最小サイズで示される
基板である。基板10は上下動可能な保持部材１によって
ほぼ水平に保持される。他のサイズの基板も同様に保持
されるが、この保持機構については後述する。
基板である。基板10は上下動可能な保持部材１によって
ほぼ水平に保持される。他のサイズの基板も同様に保持
されるが、この保持機構については後述する。
【００１１】保持部材１の板幅はその上に最小サイズの
基板10を載置したとき基板10が両側に充分大きくはみ出
すような大きさに形成されている。
基板10を載置したとき基板10が両側に充分大きくはみ出
すような大きさに形成されている。
【００１２】図示しない基台上において、適当数の移動
台２〜７が全サイズの基板を包囲するように配置され、
基板の対応の辺に対して進退または回転可能に構成され
ている。すなわち、移動台２，３は、図示しないガイド
に沿って保持部材１の板幅方向（矢印Ａ方向）に進退可
能であり、各々の移動台２，３の下面に突設されたピン
21と基台上に突設されたピン22との間に引張ばね23を張
設して各移動台２，３に基板の対応辺に向かう力を付与
している。また、各移動台２，３には開放用のエアシリ
ンダ24がロッド25を介して連結されている。
台２〜７が全サイズの基板を包囲するように配置され、
基板の対応の辺に対して進退または回転可能に構成され
ている。すなわち、移動台２，３は、図示しないガイド
に沿って保持部材１の板幅方向（矢印Ａ方向）に進退可
能であり、各々の移動台２，３の下面に突設されたピン
21と基台上に突設されたピン22との間に引張ばね23を張
設して各移動台２，３に基板の対応辺に向かう力を付与
している。また、各移動台２，３には開放用のエアシリ
ンダ24がロッド25を介して連結されている。
【００１３】次に、保持部材１の先端側に配置される移
動台４，５は連結板８にて一体に連結され、保持部材１
の長手方向（矢印Ｂ方向）に進退可能である。連結板８
の下方には移動台２，３の場合と同様の方式によって引
張ばね（図示せず）及び開放用のエアシリンダ26がロッ
ド27を介して連結されている。
動台４，５は連結板８にて一体に連結され、保持部材１
の長手方向（矢印Ｂ方向）に進退可能である。連結板８
の下方には移動台２，３の場合と同様の方式によって引
張ばね（図示せず）及び開放用のエアシリンダ26がロッ
ド27を介して連結されている。
【００１４】移動台４，５の反対側に配置される移動台
６，７は枢軸28を中心として矢印Ｃ方向に回転可能であ
り、枢軸28と基台間に介装された捩りばね29により常に
基板の対応辺に向かう力が付与されている。また枢軸28
には水平方向にピン30が突設され、ピン30には開放用の
エアシリンダ31のロッド32が連結されている。この回転
方式による移動台６，７の構成は省スペース化を考慮し
たものである。
６，７は枢軸28を中心として矢印Ｃ方向に回転可能であ
り、枢軸28と基台間に介装された捩りばね29により常に
基板の対応辺に向かう力が付与されている。また枢軸28
には水平方向にピン30が突設され、ピン30には開放用の
エアシリンダ31のロッド32が連結されている。この回転
方式による移動台６，７の構成は省スペース化を考慮し
たものである。
【００１５】以上の移動台２〜７上には、さらに図２を
も参照して、最小サイズの基板10に対応する位置決め部
材11と、中間サイズの基板12に対応する位置決め部材13
と、最大サイズの基板14に対応する位置決め部材15とが
基板サイズの小から大にかけて順次上方へ所定量ずつ高
さ位置を異にし、かつ基板サイズに合わせて水平方向に
離して階段状に設けられている。
も参照して、最小サイズの基板10に対応する位置決め部
材11と、中間サイズの基板12に対応する位置決め部材13
と、最大サイズの基板14に対応する位置決め部材15とが
基板サイズの小から大にかけて順次上方へ所定量ずつ高
さ位置を異にし、かつ基板サイズに合わせて水平方向に
離して階段状に設けられている。
【００１６】各位置決め部材11，13，15は例えばローラ
ピンから構成され、図３に示すように、ある一つの移動
台上に偏心軸33を介して本体34が枢支され、本体34の上
面中心に立設した軸35にベアリング36を介して基板の端
面に当接するローラ37を軸支してなるものである。
ピンから構成され、図３に示すように、ある一つの移動
台上に偏心軸33を介して本体34が枢支され、本体34の上
面中心に立設した軸35にベアリング36を介して基板の端
面に当接するローラ37を軸支してなるものである。
【００１７】38は本体３４の偏心軸33の止めねじで、ロ
ーラ37の水平方向の位置を微調整後セットするものであ
る。ローラ37の水平方向の位置は軸35と偏心軸33との間
の相対偏心量のために本体34を偏心軸33のまわりに回動
することにより微小変位可能である。
ーラ37の水平方向の位置を微調整後セットするものであ
る。ローラ37の水平方向の位置は軸35と偏心軸33との間
の相対偏心量のために本体34を偏心軸33のまわりに回動
することにより微小変位可能である。
【００１８】各位置決め部材11，13，15の垂直方向の位
置（高さ位置）調整は、本体34の長さを変えることによ
ってローラ37の軸支位置を順次高くしていけばよい。な
お、移動台６，７に設けるローラピンは必ずしも偏心し
たものである必要はない。
置（高さ位置）調整は、本体34の長さを変えることによ
ってローラ37の軸支位置を順次高くしていけばよい。な
お、移動台６，７に設けるローラピンは必ずしも偏心し
たものである必要はない。
【００１９】図４は、上述した回転方式の移動台６，７
上に設置した位置決め部材11，13，15と各サイズの基板
10，12，14との枢軸28に対する位置関係を示す図であ
る。枢軸28は位置決め部材11，13，15の対応基板に対す
る押圧力が夫々の基板サイズに応じた荷重となるような
位置に設置されている。
上に設置した位置決め部材11，13，15と各サイズの基板
10，12，14との枢軸28に対する位置関係を示す図であ
る。枢軸28は位置決め部材11，13，15の対応基板に対す
る押圧力が夫々の基板サイズに応じた荷重となるような
位置に設置されている。
【００２０】いま、枢軸28の中心より位置決め部材11，
13，15の各中心までの距離をＬi(i=1,2,3)、対応の基板
10，12，14に対応する押圧力をＦi(i=1,2,3)、そしてＬ
i とＦi とのなす角をθi(i=1,2,3)とすれば、 Ｆi ＝ (Ｔ／Ｌi)・cos[(π/2)-θi] (i=1,2,3) （ただし、Ｔは捻りばね29のトルクで一定） となる。
13，15の各中心までの距離をＬi(i=1,2,3)、対応の基板
10，12，14に対応する押圧力をＦi(i=1,2,3)、そしてＬ
i とＦi とのなす角をθi(i=1,2,3)とすれば、 Ｆi ＝ (Ｔ／Ｌi)・cos[(π/2)-θi] (i=1,2,3) （ただし、Ｔは捻りばね29のトルクで一定） となる。
【００２１】ここで、Ｆ1,Ｆ2,Ｆ3 をそれぞれの基板の
質量に応じた力に近似させてＬi およびθi を決定し、
枢軸28の中心位置を決定するものである。すなわち、小
サイズの基板10の場合にはＦ1 は小さく、大サイズの基
板14の場合にはＦ3 は大きくなる。
質量に応じた力に近似させてＬi およびθi を決定し、
枢軸28の中心位置を決定するものである。すなわち、小
サイズの基板10の場合にはＦ1 は小さく、大サイズの基
板14の場合にはＦ3 は大きくなる。
【００２２】なお、移動台２，４，５上の位置決め部材
11，13，15側を位置決めのための基準とするために、移
動台２及び連結板８に対するストッパ（図示せず）を基
台上に設けることもできる。また、移動台２側の引張ば
ね23を移動台３側の引張ばね23よりも強力にし、移動台
４，５側の引張ばね（図示せず）の力を移動台６，７側
の捩りばね29の力よりも強く設計することによって、結
果的に基準側の位置決め部材11，13，15は他側の位置決
め部材よりも大きな荷重で対応の基板を押圧することが
できる。このため基準側の位置決め部材11，13，15は位
置決めストッパにより正しい位置に停止した後も、他側
の位置決め部材の力の影響を受けて基準位置より変位す
ることがなくなる。
11，13，15側を位置決めのための基準とするために、移
動台２及び連結板８に対するストッパ（図示せず）を基
台上に設けることもできる。また、移動台２側の引張ば
ね23を移動台３側の引張ばね23よりも強力にし、移動台
４，５側の引張ばね（図示せず）の力を移動台６，７側
の捩りばね29の力よりも強く設計することによって、結
果的に基準側の位置決め部材11，13，15は他側の位置決
め部材よりも大きな荷重で対応の基板を押圧することが
できる。このため基準側の位置決め部材11，13，15は位
置決めストッパにより正しい位置に停止した後も、他側
の位置決め部材の力の影響を受けて基準位置より変位す
ることがなくなる。
【００２３】図５は保持部材１の基板10，12，14の保持
機構を示す斜視図であり、最小サイズの基板10の載置面
1a，中間サイズの基板12の載置面1b及び最大サイズの基
板14の載置面1cが水平に階段状に設けられている。そし
て各載置面1a，1b，1cにはそれぞれの基板を吸着するた
めの吸引口40a,40b,40c が設けられ、それぞれ図示しな
いホースを介して真空発生装置に連結されている。
機構を示す斜視図であり、最小サイズの基板10の載置面
1a，中間サイズの基板12の載置面1b及び最大サイズの基
板14の載置面1cが水平に階段状に設けられている。そし
て各載置面1a，1b，1cにはそれぞれの基板を吸着するた
めの吸引口40a,40b,40c が設けられ、それぞれ図示しな
いホースを介して真空発生装置に連結されている。
【００２４】この実施例の作用を説明すれば、保持部材
１は、所定の受入位置でわずかに上昇することによっ
て、所要の基板を対応の載置面にほぼ水平に吸着し保持
することができる。すなわち、最小サイズの基板10は載
置面1a上に、中間サイズの基板12は載置面1b上に、最大
サイズの基板14は載置面1c上に保持される。
１は、所定の受入位置でわずかに上昇することによっ
て、所要の基板を対応の載置面にほぼ水平に吸着し保持
することができる。すなわち、最小サイズの基板10は載
置面1a上に、中間サイズの基板12は載置面1b上に、最大
サイズの基板14は載置面1c上に保持される。
【００２５】次に、保持部材１上に保持された基板を保
持部材１に対し位置決めするには、例えば最小サイズの
基板10について説明すると、基板10を保持部材１により
本実施例装置上に搬入してそのまま所定の位置まで加工
させる。この基板10の加工動作に先立って本実施例装置
のすべての移動台２〜７を基板10及び保持部材１との干
渉を避けるべく開放用のエアシリンダ24，26，31によっ
て外側に開放させておくことはもちろんである。
持部材１に対し位置決めするには、例えば最小サイズの
基板10について説明すると、基板10を保持部材１により
本実施例装置上に搬入してそのまま所定の位置まで加工
させる。この基板10の加工動作に先立って本実施例装置
のすべての移動台２〜７を基板10及び保持部材１との干
渉を避けるべく開放用のエアシリンダ24，26，31によっ
て外側に開放させておくことはもちろんである。
【００２６】次いで、保持部材１の真空吸着を解除して
基準側の移動台２，４，５をそれぞれのばね力によって
基板10に向かって移動させ、それらの移動台上に設けら
れている位置決め部材11を基板10の対応の辺の端部に当
接させる。その後、対向側の移動台３，６，７を上記と
同様にばねの力によって移動させ、それらの移動台上に
設けられている位置決め部材11を基板10の対応の辺に当
接させる。
基準側の移動台２，４，５をそれぞれのばね力によって
基板10に向かって移動させ、それらの移動台上に設けら
れている位置決め部材11を基板10の対応の辺の端部に当
接させる。その後、対向側の移動台３，６，７を上記と
同様にばねの力によって移動させ、それらの移動台上に
設けられている位置決め部材11を基板10の対応の辺に当
接させる。
【００２７】基板10に対する位置決め部材11の押圧力は
引張ばね23および捻りばね29のばね力を設定することに
よって定まるので、かくして基板10は保持部材１に保持
された状態でその保持部材１に対し外形を位置決めされ
る。その後、保持部材１の真空吸着を行なって基板10を
吸着させてから、各移動台２〜７をもとの位置に退避さ
せる。退避の順序は移動台３，６，７が先で移動台２，
４，５が後である。
引張ばね23および捻りばね29のばね力を設定することに
よって定まるので、かくして基板10は保持部材１に保持
された状態でその保持部材１に対し外形を位置決めされ
る。その後、保持部材１の真空吸着を行なって基板10を
吸着させてから、各移動台２〜７をもとの位置に退避さ
せる。退避の順序は移動台３，６，７が先で移動台２，
４，５が後である。
【００２８】中間サイズの基板12あるいは最大サイズの
基板14の位置決めの場合も、それぞれの位置決め部材1
3，15がそれよりも小さいサイズの基板に対して所定量
だけ上方に高くなった第２の高さ位置を有するので、上
記の場合と同様に位置決めを行なうことができる。
基板14の位置決めの場合も、それぞれの位置決め部材1
3，15がそれよりも小さいサイズの基板に対して所定量
だけ上方に高くなった第２の高さ位置を有するので、上
記の場合と同様に位置決めを行なうことができる。
【００２９】以上のように、基板のサイズに合わせて複
数の位置決め部材11，13，15を設けることによって移動
台２〜７の移動ストロークがわずかになると共に、異な
るサイズの基板であっても、常にその中心は装置の定位
置に位置決めされる。
数の位置決め部材11，13，15を設けることによって移動
台２〜７の移動ストロークがわずかになると共に、異な
るサイズの基板であっても、常にその中心は装置の定位
置に位置決めされる。
【００３０】次に、図６は本実施例装置を搬送工程に組
み込んだ場合のシステム全体を示すものであり、同図に
おいて、保持部材１を上下動させるためのエレベーショ
ン機構41は上部に保持部材１を旋回させるための回転駆
動部42を備えている。回転駆動部42はスライダー43を支
持しており、このスライダー43はアーム方式に形成され
た保持部材１を水平方向に進退させる。回転駆動部42の
周囲には、ロード側のマスクカセット44と、アンロード
側のマスクカセット45と、露光装置及び検査装置側のマ
スクホルダ46と、図１に示した実施例装置を取りつけた
プリアライメント装置（基台）47とが配置されている。
マスクカセット44および45には複数枚の基板Ｍを保持部
材１の厚さ分以上の間隔を空けて段積み状態で装填可能
である。またマスクホルダ46はＸＹ移動ステージを含ん
でいる。
み込んだ場合のシステム全体を示すものであり、同図に
おいて、保持部材１を上下動させるためのエレベーショ
ン機構41は上部に保持部材１を旋回させるための回転駆
動部42を備えている。回転駆動部42はスライダー43を支
持しており、このスライダー43はアーム方式に形成され
た保持部材１を水平方向に進退させる。回転駆動部42の
周囲には、ロード側のマスクカセット44と、アンロード
側のマスクカセット45と、露光装置及び検査装置側のマ
スクホルダ46と、図１に示した実施例装置を取りつけた
プリアライメント装置（基台）47とが配置されている。
マスクカセット44および45には複数枚の基板Ｍを保持部
材１の厚さ分以上の間隔を空けて段積み状態で装填可能
である。またマスクホルダ46はＸＹ移動ステージを含ん
でいる。
【００３１】図６のシステムによる搬送シーケンスを説
明すると次のとおりである。なお、図６において保持部
材１の載置部中心の軌跡を矢印で示す。
明すると次のとおりである。なお、図６において保持部
材１の載置部中心の軌跡を矢印で示す。
【００３２】先ず、保持部材１が点Ｐ0 にあるときか
ら、回転駆動部42によって保持部材１を反時計方向に回
転させ、点Ｐ1 にて位置決めした後、スライダー43によ
って点Ｐ1 から保持部材１を伸ばし、基板Ｍの下方に進
入させる。次いで保持部材１を上方にわずかに持ち上げ
て真空吸着してから点Ｐ2 まで後退させる。その後、点
Ｐ2 から点Ｐ3 まで保持部材１を時計方向に回転し、そ
のまま真っ直ぐにプリアライメント装置47まで降下さ
せ、基板Ｍのサイズに応じた高さ位置で保持部材１の真
空吸着を解除して、前述のように基板Ｍの位置決め（プ
リアライメント）を行なう。
ら、回転駆動部42によって保持部材１を反時計方向に回
転させ、点Ｐ1 にて位置決めした後、スライダー43によ
って点Ｐ1 から保持部材１を伸ばし、基板Ｍの下方に進
入させる。次いで保持部材１を上方にわずかに持ち上げ
て真空吸着してから点Ｐ2 まで後退させる。その後、点
Ｐ2 から点Ｐ3 まで保持部材１を時計方向に回転し、そ
のまま真っ直ぐにプリアライメント装置47まで降下さ
せ、基板Ｍのサイズに応じた高さ位置で保持部材１の真
空吸着を解除して、前述のように基板Ｍの位置決め（プ
リアライメント）を行なう。
【００３３】位置決め完了後、再度、真空吸着を行ない
つつ保持部材１を点Ｐ4 まで上昇させてからスライダー
43によって腕を伸ばし、マスクホルダ46の上方で停止さ
せてからわずかに降下させることによって基板Ｍをマス
クホルダ46に受け渡す。このときは保持部材１の真空吸
着を解除しておく。
つつ保持部材１を点Ｐ4 まで上昇させてからスライダー
43によって腕を伸ばし、マスクホルダ46の上方で停止さ
せてからわずかに降下させることによって基板Ｍをマス
クホルダ46に受け渡す。このときは保持部材１の真空吸
着を解除しておく。
【００３４】また、基板Ｍのアンロードは次のように行
なう。すなわち、点Ｐ0 からマスクホルダ46の下方に保
持部材１を進入させ、保持部材１をわずかに上昇させた
後、点Ｐ4 の位置で上昇させ、点Ｐ5 に位置決めする。
その後、保持部材１を時計方向に回転させ、点Ｐ6 で保
持部材１を伸ばし、基板Ｍをマスクカセット45内の所定
のスロット位置に挿入し、保持部材１を少し下げてか
ら、点Ｐ7 まで引っ込める。このとき、基板Ｍはマスク
カセット45内の段部（スロット）に載せられる。その
後、保持部材１を点Ｐ7 から反時計方向に点Ｐ0 まで回
転し、もとの位置に復帰させる。
なう。すなわち、点Ｐ0 からマスクホルダ46の下方に保
持部材１を進入させ、保持部材１をわずかに上昇させた
後、点Ｐ4 の位置で上昇させ、点Ｐ5 に位置決めする。
その後、保持部材１を時計方向に回転させ、点Ｐ6 で保
持部材１を伸ばし、基板Ｍをマスクカセット45内の所定
のスロット位置に挿入し、保持部材１を少し下げてか
ら、点Ｐ7 まで引っ込める。このとき、基板Ｍはマスク
カセット45内の段部（スロット）に載せられる。その
後、保持部材１を点Ｐ7 から反時計方向に点Ｐ0 まで回
転し、もとの位置に復帰させる。
【００３５】以上に述べた実施例では、移動台２〜７と
位置決め部材11，13，15とが基板に対して下側に配置さ
れるような構成としたが、図１に示したプリアライメン
ト装置の天地を逆にして、これらが基板の上側に配置さ
れるような構成としてもよいことは述べるまでもない。
その場合、サイズが一番小さい基板は、最も上昇した位
置で位置決め部材11と当接して位置決めされ、サイズの
大きい基板は小さい木場にょりも所定量だけ降下した位
置で位置決め部材13または15と当接して位置決めされ
る。また本発明はマスクやレチクルのような矩形基板の
位置決めの他に、半導体ウエハ等のような円形基板の位
置決めに対しても適用でき、全く同様の効果を得ること
ができる。
位置決め部材11，13，15とが基板に対して下側に配置さ
れるような構成としたが、図１に示したプリアライメン
ト装置の天地を逆にして、これらが基板の上側に配置さ
れるような構成としてもよいことは述べるまでもない。
その場合、サイズが一番小さい基板は、最も上昇した位
置で位置決め部材11と当接して位置決めされ、サイズの
大きい基板は小さい木場にょりも所定量だけ降下した位
置で位置決め部材13または15と当接して位置決めされ
る。また本発明はマスクやレチクルのような矩形基板の
位置決めの他に、半導体ウエハ等のような円形基板の位
置決めに対しても適用でき、全く同様の効果を得ること
ができる。
【００３６】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、異なる
サイズの基板を択一的にプリアライメントする際、基板
の大きさ（質量）に適合した押圧力を発生するように押
圧部材を構成したので、小さな基板から大きな基板ま
で、確実に安定したプリアライメントが達成される。更
に押圧部材は回転方式であるため、構造がコンパクトに
なるといった利点もある。
サイズの基板を択一的にプリアライメントする際、基板
の大きさ（質量）に適合した押圧力を発生するように押
圧部材を構成したので、小さな基板から大きな基板ま
で、確実に安定したプリアライメントが達成される。更
に押圧部材は回転方式であるため、構造がコンパクトに
なるといった利点もある。
【図１】本発明の一実施例による位置決め装置の概略的
な構成を示す概略の斜視図である。
な構成を示す概略の斜視図である。
【図２】図１中のＩＩ−ＩＩ線矢視断面図である。
【図３】各位置決め部材（ローラピン）の構造を示す断
面図である。
面図である。
【図４】回転方式の移動体上のローラピン配置と各サイ
ズの基板の位置関係の説明図である。
ズの基板の位置関係の説明図である。
【図５】保持部材の保持機構の構造を示す斜視図であ
る。
る。
【図６】搬送系を含めたシステム全体の概略的な構成を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【符号の説明】 10,12,14：レチクル（基板）、 2,3,4,5：直動式の移動
台、 6,7：回動式の移動台、11,13,15：ローラピン、2
8：回動軸、29：捩じりばね。
台、 6,7：回動式の移動台、11,13,15：ローラピン、2
8：回動軸、29：捩じりばね。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西方 昭雄 東京都品川区西大井１丁目６番３号 日本 光学工業株式会社大井製作所内 (72)発明者 松本 康久 東京都品川区西大井１丁目６番３号 日本 光学工業株式会社大井製作所内
Claims (2)
- 【請求項１】 外形形状が相似で互いにサイズの異なる
少なくとも２枚の基板の夫々の中心をほぼ同一位置にプ
リアライメントするために、前記サイズの異なる基板の
うち任意の１枚の基板の端面と対向配置される位置決め
部材と、前記任意の一枚の基板の端面を前記位置決め部
材へ当接させるように該基板を押圧する押圧部材とを備
えた基板の位置決め装置において、 前記押圧部材が、前記サイズの異なる基板の夫々の端面
と当接可能な当接子、この当接子を前記基板の面と平行
な面内で所定の軸を中心として回転させる移動体、およ
び前記当接子を前記基板の端面方向へ押圧するための付
勢力を前記移動体に与える付勢部材を有し、 前記当接子が前記基板を押圧して前記位置決め部材へ当
接させたときに基板のサイズが大きくなるに従って前記
当接子の押圧力が大きくなるように前記移動体の回転中
心と前記当接子との各配置を設定したことを特徴とする
基板の位置決め装置。 - 【請求項２】 前記当接子が、前記移動体上の互いに異
なる位置に設けられて夫々前記サイズの異なる基板の夫
々の端面と当接する複数個の当接子からなると共に、こ
れら複数個の当接子が前記基板のサイズの応じて基板の
面と垂直方向に高さを異ならせて階段状に構成されてい
ることを特徴とする請求項１に記載の基板の位置決め装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10529792A JPH07114233B2 (ja) | 1992-04-01 | 1992-04-01 | 基板の位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10529792A JPH07114233B2 (ja) | 1992-04-01 | 1992-04-01 | 基板の位置決め装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60068538A Division JPH079925B2 (ja) | 1985-04-02 | 1985-04-02 | 基板の位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05182891A true JPH05182891A (ja) | 1993-07-23 |
| JPH07114233B2 JPH07114233B2 (ja) | 1995-12-06 |
Family
ID=14403763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10529792A Expired - Lifetime JPH07114233B2 (ja) | 1992-04-01 | 1992-04-01 | 基板の位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07114233B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1992
- 1992-04-01 JP JP10529792A patent/JPH07114233B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07114233B2 (ja) | 1995-12-06 |
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|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |