JPH0478767A - カセット搬送用台車 - Google Patents
カセット搬送用台車Info
- Publication number
- JPH0478767A JPH0478767A JP19081390A JP19081390A JPH0478767A JP H0478767 A JPH0478767 A JP H0478767A JP 19081390 A JP19081390 A JP 19081390A JP 19081390 A JP19081390 A JP 19081390A JP H0478767 A JPH0478767 A JP H0478767A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- workpieces
- workpiece
- glass substrate
- trolley
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 46
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 42
- 238000000034 method Methods 0.000 description 18
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 239000010800 human waste Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Handcart (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
本発明は、たとえば液晶テレビを構成するガラス基板で
あるワークをカセットに収容し、クリーンルーム内のプ
ロセス装置間を搬送する際に用いられるカセット搬送用
台車に関する。
あるワークをカセットに収容し、クリーンルーム内のプ
ロセス装置間を搬送する際に用いられるカセット搬送用
台車に関する。
(従来の技術)
たとえば、液晶用テレビを構成するガラス基板は、近年
、大型化の傾向にある。このガラス基板に対して必要な
作業をなすプロセス装置間を搬送する際には、カセット
に上記ガラス基板を収容し、カセットごと台車に支持し
て搬送するのが一般的である。
、大型化の傾向にある。このガラス基板に対して必要な
作業をなすプロセス装置間を搬送する際には、カセット
に上記ガラス基板を収容し、カセットごと台車に支持し
て搬送するのが一般的である。
従来、第7図に示すように、上記カセットaはカセット
搬送用台車すに収納される。そして、クラス100ある
いはそれ以上の清浄なりリーンルーム内において、プロ
セス装置相互間を搬送される。上記搬送用台車すは、台
車本体Cの脚部下端にキャスタd・・・が設けられ、方
向変換自在になっている。台車本体Cの上部には手押し
用の把手eが設けられる。底部には傾斜台fが配置され
ていて、上記カセットaの一端部を載せ、これを傾斜し
た状態で支持する。台車によっては、台車本体Cの上面
部に上記傾斜台fを載せ、カセットaを傾斜して収納す
るものもある。
搬送用台車すに収納される。そして、クラス100ある
いはそれ以上の清浄なりリーンルーム内において、プロ
セス装置相互間を搬送される。上記搬送用台車すは、台
車本体Cの脚部下端にキャスタd・・・が設けられ、方
向変換自在になっている。台車本体Cの上部には手押し
用の把手eが設けられる。底部には傾斜台fが配置され
ていて、上記カセットaの一端部を載せ、これを傾斜し
た状態で支持する。台車によっては、台車本体Cの上面
部に上記傾斜台fを載せ、カセットaを傾斜して収納す
るものもある。
上記カセットa内に収容されるワークであるガラス基板
g・・・は、カセットaに対して垂直方向に、かつ互い
に所定間隙を存している。すなわち、カセットaにはガ
ラス基板g・・・が掛合できる溝が設けられ、互いに所
定間隙を存することによって、ガラス面相互の接触およ
び割れなどの損傷を防止するようになっている。
g・・・は、カセットaに対して垂直方向に、かつ互い
に所定間隙を存している。すなわち、カセットaにはガ
ラス基板g・・・が掛合できる溝が設けられ、互いに所
定間隙を存することによって、ガラス面相互の接触およ
び割れなどの損傷を防止するようになっている。
上記カセットaの一端部のみ傾斜台fに載せて傾斜した
状態とすることにより、搬送にともなう振動の影響を最
小限に抑制できる。なぜならば、ガラス基tEg・・・
を垂直状態のままで搬送すると、カセットaの掛止溝と
の隙間がガラス基板g・・・の両側面に生じるから、ガ
ラス基板gが振動し易い。
状態とすることにより、搬送にともなう振動の影響を最
小限に抑制できる。なぜならば、ガラス基tEg・・・
を垂直状態のままで搬送すると、カセットaの掛止溝と
の隙間がガラス基板g・・・の両側面に生じるから、ガ
ラス基板gが振動し易い。
これに対して、従来のようにカセットaを傾斜してガラ
ス基板g・・・を掛止溝の一端部側に当接させれば、振
動を抑制できる。上記ガラス基板g・・・の傾斜角度は
、たとえば100程度か最も振動を抑制可能である。
ス基板g・・・を掛止溝の一端部側に当接させれば、振
動を抑制できる。上記ガラス基板g・・・の傾斜角度は
、たとえば100程度か最も振動を抑制可能である。
第8図に示すように、上記カセットaを作業者が持って
、ローダh上から台車本体すに移載し、あるいはその逆
に台車本体すからローダh上に移載するようになってい
る。
、ローダh上から台車本体すに移載し、あるいはその逆
に台車本体すからローダh上に移載するようになってい
る。
(発明が解決しようとする課題)
ところで、上記ガラス基板g・・・のごときワークは、
近年大型化の傾向にある。それにともなって、搬送時に
許容できるゴミの付着量範囲が非常に小さくなり、現在
、はとんどゴミを付着させてはいけないレベルに達して
いる。
近年大型化の傾向にある。それにともなって、搬送時に
許容できるゴミの付着量範囲が非常に小さくなり、現在
、はとんどゴミを付着させてはいけないレベルに達して
いる。
しかるに、ガラス基板g・・・の搬送時において、カセ
ッ)aの一端部を傾斜台りに載せてガラス基板g・・・
をある程度傾斜させることにより、搬送にともなう振動
の抑制を得られる反面、浮遊するゴミ粒子が付着し易い
状態となる。上記ガラス基板g・・・を完全に垂直に立
位して搬送すれば、ガラス基板g・・・の上部よりゴミ
粒子が落下しても、ゴミ粒子はガラス基板g・・・に付
着し難いことは分かっている。しかしながら、従来の搬
送状態では、ガラス基板g・・・かわずかでも傾斜して
いるところから、垂直に落下してくるゴミ粒子に対する
接触面積が増加するため、垂直姿勢に比べてゴミ粒子の
付着量か多くなる。
ッ)aの一端部を傾斜台りに載せてガラス基板g・・・
をある程度傾斜させることにより、搬送にともなう振動
の抑制を得られる反面、浮遊するゴミ粒子が付着し易い
状態となる。上記ガラス基板g・・・を完全に垂直に立
位して搬送すれば、ガラス基板g・・・の上部よりゴミ
粒子が落下しても、ゴミ粒子はガラス基板g・・・に付
着し難いことは分かっている。しかしながら、従来の搬
送状態では、ガラス基板g・・・かわずかでも傾斜して
いるところから、垂直に落下してくるゴミ粒子に対する
接触面積が増加するため、垂直姿勢に比べてゴミ粒子の
付着量か多くなる。
また、このような搬送用台車を用いると、特に台車本体
すに対してカセットaを移載する際に、作業者がカセッ
トaを直接持ち上げなければならない。そし、て、作業
者が動作することによって、いわゆる人体ゴミが発塵し
、作業者に最も近い位置にあるカセットaのガラス基板
g・・・に付着し易い。
すに対してカセットaを移載する際に、作業者がカセッ
トaを直接持ち上げなければならない。そし、て、作業
者が動作することによって、いわゆる人体ゴミが発塵し
、作業者に最も近い位置にあるカセットaのガラス基板
g・・・に付着し易い。
作業者が何らかの動作をなせば、人体ゴミの発塵がとも
ない、これを完全に抑制することはできない。したがっ
て、作業者とガラス基板g・・・とを常に離間させ、あ
るい全(隔離した状態にすれば、人体ゴミの影響を無視
できる。
ない、これを完全に抑制することはできない。したがっ
て、作業者とガラス基板g・・・とを常に離間させ、あ
るい全(隔離した状態にすれば、人体ゴミの影響を無視
できる。
たとえば、上記カセットaを、防塵ケースのように完全
密閉したものに収納し、防塵ケースごと移載すれば、人
体ゴミが付着せずにすむ。その反面、当然、防塵ケース
には蓋体があって、カセットaの出し入れにともない蓋
体を開閉する。そのとき、防塵ケース本体あるいは蓋体
からゴミが発塵して、ガラス基板g・・・に付着する恐
れかある。
密閉したものに収納し、防塵ケースごと移載すれば、人
体ゴミが付着せずにすむ。その反面、当然、防塵ケース
には蓋体があって、カセットaの出し入れにともない蓋
体を開閉する。そのとき、防塵ケース本体あるいは蓋体
からゴミが発塵して、ガラス基板g・・・に付着する恐
れかある。
このような防塵ケースを用いても、防塵ケース自体の洗
浄管理を徹底しなければならず、手間がかかる。そして
、蓋体を開閉するのはやはり作業者が行うのであるから
、人体ゴミが付着する恐れがある。
浄管理を徹底しなければならず、手間がかかる。そして
、蓋体を開閉するのはやはり作業者が行うのであるから
、人体ゴミが付着する恐れがある。
作業者をクリーンルーム内に入れずに、すべて遠隔操作
で行なうか、あるいはロボットを装備して完全無人化に
よる自動操作をなせば、人体ゴミに関わる不具合の発生
のないのは当然である。
で行なうか、あるいはロボットを装備して完全無人化に
よる自動操作をなせば、人体ゴミに関わる不具合の発生
のないのは当然である。
しかしながら、このような作業場を構成するには、極め
て膨大な投資をなすことによってはじめて可能であり、
さらにその制御が複雑化して、コストがかさむ。したが
って従来と同様、ローコストで行なえる手動による作業
が望ましく、かつ人体ゴミの発塵による影響を可能な限
り抑制しなければならない。
て膨大な投資をなすことによってはじめて可能であり、
さらにその制御が複雑化して、コストがかさむ。したが
って従来と同様、ローコストで行なえる手動による作業
が望ましく、かつ人体ゴミの発塵による影響を可能な限
り抑制しなければならない。
本発明は上記事情に着目してなされたものであり、その
目的とするところは、可能な限り作業者がワークから離
間した状態でワークの搬送およびプロセス装置に対する
移載作業を手動に行えるようにして、人体ゴミの影響を
最小限に抑制でき、かつワークを垂直状態に支持してカ
セットに収納するとともにワークを直接クランプするこ
とにより、ゴミの付着抑制化および搬送時の振動吸収に
よるワークの保護を得られるカセット搬送用台車を提供
することにある。
目的とするところは、可能な限り作業者がワークから離
間した状態でワークの搬送およびプロセス装置に対する
移載作業を手動に行えるようにして、人体ゴミの影響を
最小限に抑制でき、かつワークを垂直状態に支持してカ
セットに収納するとともにワークを直接クランプするこ
とにより、ゴミの付着抑制化および搬送時の振動吸収に
よるワークの保護を得られるカセット搬送用台車を提供
することにある。
[発明の構成]
(課題を解決するための手段および作用)すなわち本発
明は、互いに所定間隔を存するとともに露出した状態で
複数枚のワークをカセットに収容し、このカセットを支
持して所望位置相互間を搬送するものにおいて、台車本
体に上記カセットを介してワークを垂直に立位して支持
し、この台車本体にクランプ機構を設けて上記ワークを
直接クランプし、ハンドリング機構を操作することによ
り、クランプ機構が上記ワークをクランプした状態のま
ま上記カセットを前後方向に移動可能であり、かつワー
クを上下方向に昇降操作することにより上記クランプ機
構からワークを着脱自在であり、上記台車本体に台車本
体の搬送移動にともなう振動を吸収する防振部材を設け
たことを特徴とするカセット搬送用台車である。
明は、互いに所定間隔を存するとともに露出した状態で
複数枚のワークをカセットに収容し、このカセットを支
持して所望位置相互間を搬送するものにおいて、台車本
体に上記カセットを介してワークを垂直に立位して支持
し、この台車本体にクランプ機構を設けて上記ワークを
直接クランプし、ハンドリング機構を操作することによ
り、クランプ機構が上記ワークをクランプした状態のま
ま上記カセットを前後方向に移動可能であり、かつワー
クを上下方向に昇降操作することにより上記クランプ機
構からワークを着脱自在であり、上記台車本体に台車本
体の搬送移動にともなう振動を吸収する防振部材を設け
たことを特徴とするカセット搬送用台車である。
このような構成であるから、ハンドリング機構を操作す
る作業者はワークから離間した位置となり、かつワーク
を垂直に立位するとともに確実にクランプして搬送でき
る。
る作業者はワークから離間した位置となり、かつワーク
を垂直に立位するとともに確実にクランプして搬送でき
る。
(実施例)
以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
第1図は、ワークであるガラス基板1・・・をカセット
2に収容し、そのカセット2を搬送用台車Sに載置して
搬送している状態を示す。上記搬送用台車Sは、台車本
体3の脚部4に防振部材5・・・を介してキャスタ6・
・・が設けられ、移動および方向変換可能である。上記
防振部材5は、たとえば防振ゴムであり、搬送にともな
う振動を吸収するようになっている。上記台車本体3の
上端部には手押し用の把手7が設けられる。
2に収容し、そのカセット2を搬送用台車Sに載置して
搬送している状態を示す。上記搬送用台車Sは、台車本
体3の脚部4に防振部材5・・・を介してキャスタ6・
・・が設けられ、移動および方向変換可能である。上記
防振部材5は、たとえば防振ゴムであり、搬送にともな
う振動を吸収するようになっている。上記台車本体3の
上端部には手押し用の把手7が設けられる。
第1図および第2図に示すように、上記カセット2は、
下部および両側部に亘って支持杆8・・・が設けられ、
これらの間は開放している。上記支持杆8・・・の相対
向する部位には、所定間隔を存して図示しない掛止溝が
設けられる。上記ガラス基板1・・・は、カセット2の
上記掛止溝に1枚ずつ掛合した状態で収納される。そし
て、各ガラス基板1・・・は全で垂直方向に立位する状
態になっている。
下部および両側部に亘って支持杆8・・・が設けられ、
これらの間は開放している。上記支持杆8・・・の相対
向する部位には、所定間隔を存して図示しない掛止溝が
設けられる。上記ガラス基板1・・・は、カセット2の
上記掛止溝に1枚ずつ掛合した状態で収納される。そし
て、各ガラス基板1・・・は全で垂直方向に立位する状
態になっている。
一方、台車本体3の上面部に、前後方向に沿って互いに
並行な一対のガイドレール9.9が敷設され、ベースプ
レート10の底面に設けられる直線ガイドベアリング1
1.11が摺動自在に掛合している。上記ベースプレー
ト10は平面略矩形状になっていて、この上面隅部には
上下スライド軸12・・・が立設され、上下スライド用
軸受け13・・・を介してカセットプレート14が設け
られる。したがって、上記カセットプレート14は上下
スライド用軸受け13・・・を介して上下スライド軸1
2・・・に沿って上下動自在に支持される。
並行な一対のガイドレール9.9が敷設され、ベースプ
レート10の底面に設けられる直線ガイドベアリング1
1.11が摺動自在に掛合している。上記ベースプレー
ト10は平面略矩形状になっていて、この上面隅部には
上下スライド軸12・・・が立設され、上下スライド用
軸受け13・・・を介してカセットプレート14が設け
られる。したがって、上記カセットプレート14は上下
スライド用軸受け13・・・を介して上下スライド軸1
2・・・に沿って上下動自在に支持される。
第1図のみに示すように、上記ベースプレート10の把
手7側端部略中央には、操作レバー15の一端部が支承
具16を介して回動自在に枢支される。上記操作レバー
15の他端部は、上記把手7の上方まで延出される。上
記支承具16側の操作レバー15には回動レバー17が
一体に連結され、この一端部に上記ベースプレート10
の底面に当接する上下動ローラ18が設けられる。した
がって、上記操作レバー15を下方に回動操作すれば、
回動レバー17とともに上下動ローラ18は上方に回動
してベースプレート10を押し上げ、この状態から操作
レバー15を上方に回動操作すれば上下動ローラ18は
ベースプレート10の降下をなす。
手7側端部略中央には、操作レバー15の一端部が支承
具16を介して回動自在に枢支される。上記操作レバー
15の他端部は、上記把手7の上方まで延出される。上
記支承具16側の操作レバー15には回動レバー17が
一体に連結され、この一端部に上記ベースプレート10
の底面に当接する上下動ローラ18が設けられる。した
がって、上記操作レバー15を下方に回動操作すれば、
回動レバー17とともに上下動ローラ18は上方に回動
してベースプレート10を押し上げ、この状態から操作
レバー15を上方に回動操作すれば上下動ローラ18は
ベースプレート10の降下をなす。
再び第1図および第2図に示すように、上記カセットプ
レート14は、その後端部が上記上下スライド用軸受け
13・・・を介して上下スライド軸12・・・に支持さ
れ、前端部はこれよりも突出していて、ここに上記カセ
ット2を支持している。なお、カセット2の幅寸法はカ
セットプレート14の幅寸法よりも大であり、支持され
た状態で両側端部はカセットプレート14両側縁から突
出している。上記カセットプレート14の上面から位置
決めピン19・・・が突出していて、カセット2に設け
られる位置決め用穴20・・・に掛合する。したがって
、上記操作レバー15を上下方向に操作することにより
、カセット2を載置した状態でカセットプレート14が
上下動し、かつ操作レバー15を前後方向に操作するこ
とにより、直線ガイドベアリング11.11がガイドレ
ール9.9に沿って移動し、上記ベースプレート10と
ともにカセット2を載置したカセットプレート14が移
動することとなる。このようにして、上記カセット2に
対するハンドリング21機構が構成される。
レート14は、その後端部が上記上下スライド用軸受け
13・・・を介して上下スライド軸12・・・に支持さ
れ、前端部はこれよりも突出していて、ここに上記カセ
ット2を支持している。なお、カセット2の幅寸法はカ
セットプレート14の幅寸法よりも大であり、支持され
た状態で両側端部はカセットプレート14両側縁から突
出している。上記カセットプレート14の上面から位置
決めピン19・・・が突出していて、カセット2に設け
られる位置決め用穴20・・・に掛合する。したがって
、上記操作レバー15を上下方向に操作することにより
、カセット2を載置した状態でカセットプレート14が
上下動し、かつ操作レバー15を前後方向に操作するこ
とにより、直線ガイドベアリング11.11がガイドレ
ール9.9に沿って移動し、上記ベースプレート10と
ともにカセット2を載置したカセットプレート14が移
動することとなる。このようにして、上記カセット2に
対するハンドリング21機構が構成される。
一方、台車本体3の上面前端部にはクランプ機構22が
設けられる。すなわち、台車本体3の上面前端部て、か
つその左右両側には一対のブラ)1ット23,23が立
設される。これらブラケット23.23は、互いに略し
字状に折曲形成されていて、その先端部にピン24.2
4を介してクランプレバ−25,25が回動自在に枢支
される。
設けられる。すなわち、台車本体3の上面前端部て、か
つその左右両側には一対のブラ)1ット23,23が立
設される。これらブラケット23.23は、互いに略し
字状に折曲形成されていて、その先端部にピン24.2
4を介してクランプレバ−25,25が回動自在に枢支
される。
上記クランプレバ−25,25もまた略し字状に折曲形
成されていて、直交部が上記ピン24゜24に枢支され
る。また、上記直交部には略し字状に折曲形成される板
ばね26,26の一片部か取着される。板ばね26,2
6の他片部は上記カセットプレート14側に突出してい
て、カセット2を搬送する状態で、カセットプレート1
4の両側部に設けられる抑えローラ27,27が当接し
て彎曲酸する。すなわち、板ばね26,26を介してク
ランプレバ−25,25は互いに内側に回動するよう付
勢される。そしてこの状態で、クランプレバ−25,2
5の端部はカセット2内に挿入するとともに支持杆8・
・・相互間からガラス基板1・・・の露出する両側縁に
当接する。上記ガラス基板1・・・においては、その両
側縁にクランプレバ−25,25が弾性的に当接すると
ころから、垂直状態のままクランプされることになる。
成されていて、直交部が上記ピン24゜24に枢支され
る。また、上記直交部には略し字状に折曲形成される板
ばね26,26の一片部か取着される。板ばね26,2
6の他片部は上記カセットプレート14側に突出してい
て、カセット2を搬送する状態で、カセットプレート1
4の両側部に設けられる抑えローラ27,27が当接し
て彎曲酸する。すなわち、板ばね26,26を介してク
ランプレバ−25,25は互いに内側に回動するよう付
勢される。そしてこの状態で、クランプレバ−25,2
5の端部はカセット2内に挿入するとともに支持杆8・
・・相互間からガラス基板1・・・の露出する両側縁に
当接する。上記ガラス基板1・・・においては、その両
側縁にクランプレバ−25,25が弾性的に当接すると
ころから、垂直状態のままクランプされることになる。
なお、クランプレバ−25,25の他端部と上記ブラケ
ット23.23の直交部との間には、それぞれ引張りば
ね28.28が張設される。これら引張りばね28,2
8は、ガラス基板l・・・両側縁からクランプレバ−2
5,25の端部が離間する方向に弾性的に付勢している
。ただし、カセット2の搬送時において、上記板ばね2
6.26がカセットプレート14の抑えローラ27,2
7に掛止している時に発生する力は、上記引張りばね2
8,28により発生、する力よりも大きくかつそのとき
の両者の差によって発生するガラス基板1・・・のクラ
ンプ力が大きくなり過ぎないように2つのばねのばね定
数を設定している。
ット23.23の直交部との間には、それぞれ引張りば
ね28.28が張設される。これら引張りばね28,2
8は、ガラス基板l・・・両側縁からクランプレバ−2
5,25の端部が離間する方向に弾性的に付勢している
。ただし、カセット2の搬送時において、上記板ばね2
6.26がカセットプレート14の抑えローラ27,2
7に掛止している時に発生する力は、上記引張りばね2
8,28により発生、する力よりも大きくかつそのとき
の両者の差によって発生するガラス基板1・・・のクラ
ンプ力が大きくなり過ぎないように2つのばねのばね定
数を設定している。
第5図に示すように、このようなりランプ機構22の上
方にカセット2を載置したカセットプレート14がある
とき、クランプレバ−25,25は引張りばね28,2
8の弾性力を受けて、その−片部がブラケット23.2
3の水平片部に沿うよう略水平方向に延出し、それまで
ガラス基板1・・・をクランプしていた他片部は略垂直
方向に突出する。上記クランプレバ−25、25+、:
設置:i ラれる板ばね26,26の一片部は、略水平
方向に突出し、再びカセットプレー)14が降下したと
き上記抑えローラ27,27と掛止する位置にある。
方にカセット2を載置したカセットプレート14がある
とき、クランプレバ−25,25は引張りばね28,2
8の弾性力を受けて、その−片部がブラケット23.2
3の水平片部に沿うよう略水平方向に延出し、それまで
ガラス基板1・・・をクランプしていた他片部は略垂直
方向に突出する。上記クランプレバ−25、25+、:
設置:i ラれる板ばね26,26の一片部は、略水平
方向に突出し、再びカセットプレー)14が降下したと
き上記抑えローラ27,27と掛止する位置にある。
しかして、再び第1図および第2図に示すように、カセ
ット2にワークであるガラス基板1・・・を所定間隙を
存して、かつ垂直方向に立てた状態にして収容する。そ
して、カセットプレート14に設けられる位置決めピン
19・・−をカセット2に設けられる位置決め用穴20
・・・に掛合して、カセット2をカセットプレート14
上に載置する。上記クランプ機構22のクランプレバ−
25,25はカセット2に露出するガラス基板1・・・
の両側部に接触し、かつ弾性的にクランプする。
ット2にワークであるガラス基板1・・・を所定間隙を
存して、かつ垂直方向に立てた状態にして収容する。そ
して、カセットプレート14に設けられる位置決めピン
19・・−をカセット2に設けられる位置決め用穴20
・・・に掛合して、カセット2をカセットプレート14
上に載置する。上記クランプ機構22のクランプレバ−
25,25はカセット2に露出するガラス基板1・・・
の両側部に接触し、かつ弾性的にクランプする。
作業者Mは、台車本体3から突出する把手7をもって一
方のプロセス装置から他方のプロセス装置へクリーンル
ーム内を搬送する。上記クリーンルームの天体Yからは
、図中破線矢印で示すクリンエアーシャワーが降り注い
ている。
方のプロセス装置から他方のプロセス装置へクリーンル
ーム内を搬送する。上記クリーンルームの天体Yからは
、図中破線矢印で示すクリンエアーシャワーが降り注い
ている。
クリーンルームの床面にある程度の凹凸があり、台車本
体3の移動にともなってキャスタ6・・・から振動が伝
達しても、これらの間に介在する防振ゴム5・・・かそ
の振動を可能な限り吸収する。すなわち、台車本体3上
にあるカセット2およびガラス基板1・・・にその振動
が伝達することは極めて少ない。
体3の移動にともなってキャスタ6・・・から振動が伝
達しても、これらの間に介在する防振ゴム5・・・かそ
の振動を可能な限り吸収する。すなわち、台車本体3上
にあるカセット2およびガラス基板1・・・にその振動
が伝達することは極めて少ない。
そしてまた、この状態でクランプ機構22かガラス基板
]・・・をクランプしているので、搬送中におけるガラ
ス基板1・・・の振動を完全に抑制でき、割れなどの不
具合発生かない。ガラス基板1・・・は、カセット2に
露出して収容されるとともに互いに狭小の間隙を存して
いるので、クリーンルーム内でダウンフローに沿って下
方に流れるゴミがそれぞれのガラス面に接触することも
有り得る。しかしながら、全てのガラス基板1・・・は
垂直に立位しているので、上方より落下してくるゴミ粒
子がガラス基板1に接触する面積は微小であり、ガラス
面に付着するゴミ粒子はほとんど無い。
]・・・をクランプしているので、搬送中におけるガラ
ス基板1・・・の振動を完全に抑制でき、割れなどの不
具合発生かない。ガラス基板1・・・は、カセット2に
露出して収容されるとともに互いに狭小の間隙を存して
いるので、クリーンルーム内でダウンフローに沿って下
方に流れるゴミがそれぞれのガラス面に接触することも
有り得る。しかしながら、全てのガラス基板1・・・は
垂直に立位しているので、上方より落下してくるゴミ粒
子がガラス基板1に接触する面積は微小であり、ガラス
面に付着するゴミ粒子はほとんど無い。
第3図に示すように、目的のプロセス装置Pまで台車本
体3を移動したら、作業者Mは握りの位置を把手7から
操作レバー15に変え、これを押し下げる。上下動ロー
ラ18は一体に回動してカセットプレート14を押し上
げ、カセット2は上昇する。再び第5図に示すように、
カセットプレート14の抑えローラ27,27か板ばね
26゜26から離間し、ガラス基板1・・・かクリップ
レバー25.25の端部から離間してクランプが解除さ
れる。同時に、クリップレバー25.25に引張りばね
28.28の弾性力が作用し、クリップしていた端部が
垂直に向くよう回動する。
体3を移動したら、作業者Mは握りの位置を把手7から
操作レバー15に変え、これを押し下げる。上下動ロー
ラ18は一体に回動してカセットプレート14を押し上
げ、カセット2は上昇する。再び第5図に示すように、
カセットプレート14の抑えローラ27,27か板ばね
26゜26から離間し、ガラス基板1・・・かクリップ
レバー25.25の端部から離間してクランプが解除さ
れる。同時に、クリップレバー25.25に引張りばね
28.28の弾性力が作用し、クリップしていた端部が
垂直に向くよう回動する。
第4図に示すように、作業者Mは操作レバー15を押し
下げた状態のまま、今度は操作レバー15を前方に押し
付ける。ガイドレール9,9に沿ってベースプレート1
0がスライドし、ベースプレート10上の上下スライド
軸12・・・やカセットプレート14およびカセット2
が一体になって前方にスライドする。それぞれの寸法関
係から、上記カセット2およびカセットプレート14前
端部はプロセス装置Pの上方部位に対向するようスライ
ドする。上記カセット2が所定位置に到達したら、作業
者Mは操作レバー15を押し上げる。
下げた状態のまま、今度は操作レバー15を前方に押し
付ける。ガイドレール9,9に沿ってベースプレート1
0がスライドし、ベースプレート10上の上下スライド
軸12・・・やカセットプレート14およびカセット2
が一体になって前方にスライドする。それぞれの寸法関
係から、上記カセット2およびカセットプレート14前
端部はプロセス装置Pの上方部位に対向するようスライ
ドする。上記カセット2が所定位置に到達したら、作業
者Mは操作レバー15を押し上げる。
第6図に示すように、プロセス装置Pの上部に設けられ
る受は台30.30は左右一対に分かれていて、これら
の間にカセットプレート14の端部が降下して介挿され
る。上記カセット2は、その両側部かカセットプレート
14の両側部から突出していて、この突出両端部が上記
プロセス装置Pの受は台30.30上に支持される。す
なわち、カセット2.のプロセス装置Pへの搬送が終了
する。
る受は台30.30は左右一対に分かれていて、これら
の間にカセットプレート14の端部が降下して介挿され
る。上記カセット2は、その両側部かカセットプレート
14の両側部から突出していて、この突出両端部が上記
プロセス装置Pの受は台30.30上に支持される。す
なわち、カセット2.のプロセス装置Pへの搬送が終了
する。
操作レバー15の押し上げ操作はさらに継続して行い、
カセットプレート14がカセット2から離間するまで降
下したことを確認し、今度は操作レバー15を手前に引
いてカセットプレート14をプロセス装置Pから引き出
す。
カセットプレート14がカセット2から離間するまで降
下したことを確認し、今度は操作レバー15を手前に引
いてカセットプレート14をプロセス装置Pから引き出
す。
結局、これら全ての作業を作業者Mが、カセット2から
離間した位置で行うこととなり、操作にともなう人体ゴ
ミの発塵があっても、カセット2に収容されるガラス基
板1・・・まで影響を及ぼすことかない。
離間した位置で行うこととなり、操作にともなう人体ゴ
ミの発塵があっても、カセット2に収容されるガラス基
板1・・・まで影響を及ぼすことかない。
なお、作業によっては、プロセス装置Pの受は台30.
30上に支持されるカセット2を、上記搬送用台車Sで
受けて他のプロセス装置へ搬送する場合もある。このと
きは、これまで説明したのと全く逆の操作をなす。すな
わち、カセットプレート14前端部を、支持されるカセ
ット2の下方部位である受は台30.30相互間に介挿
する。
30上に支持されるカセット2を、上記搬送用台車Sで
受けて他のプロセス装置へ搬送する場合もある。このと
きは、これまで説明したのと全く逆の操作をなす。すな
わち、カセットプレート14前端部を、支持されるカセ
ット2の下方部位である受は台30.30相互間に介挿
する。
そして操作レバー15を押し下げてカセットプレート1
4を上昇させ、上記カセットプレート14上に突出する
位置決めピン19・・・を、カセット2の位置決め用穴
20・・・に挿入して、カセットプレート14上にカセ
ット2を移載する。
4を上昇させ、上記カセットプレート14上に突出する
位置決めピン19・・・を、カセット2の位置決め用穴
20・・・に挿入して、カセットプレート14上にカセ
ット2を移載する。
つぎに、上記操作レバー15を手前側−杯まで引いてカ
セット2をプロセス装置Pから離間し、さらに操作レバ
ー15を押し上げてカセット2を下降させると、クリッ
プ機構22はガラス基板1・・・に掛合する。すなわち
、カセットプレート14の抑えローラ27,27は板ば
ね26,26に当接してこれを彎曲変形させながらクラ
ンプレバ−25,25ごと引張りばね28,28の弾性
力に抗し回動付勢する。カセットプレート14が完全に
下降した状態でクランプレバ−25,25の端部はガラ
ス基板1・・・の両側縁に弾性的に当接し、これをクラ
ンプすることになる。
セット2をプロセス装置Pから離間し、さらに操作レバ
ー15を押し上げてカセット2を下降させると、クリッ
プ機構22はガラス基板1・・・に掛合する。すなわち
、カセットプレート14の抑えローラ27,27は板ば
ね26,26に当接してこれを彎曲変形させながらクラ
ンプレバ−25,25ごと引張りばね28,28の弾性
力に抗し回動付勢する。カセットプレート14が完全に
下降した状態でクランプレバ−25,25の端部はガラ
ス基板1・・・の両側縁に弾性的に当接し、これをクラ
ンプすることになる。
このように、プロセス装置Pから搬送用台車Sにカセッ
ト2を移載する場合においても、作業者Mはカセット2
から離間した位置で操作するので、作業にともなう人体
ゴミの影響はほとんどない。
ト2を移載する場合においても、作業者Mはカセット2
から離間した位置で操作するので、作業にともなう人体
ゴミの影響はほとんどない。
なお上記実施例においては、ハンドリング機構21をカ
セット2から離間し、かつそのほとんど大部分はカセッ
トプレート14の下部に位置するので、動作にともなう
発塵の影響が極めて少ない。
セット2から離間し、かつそのほとんど大部分はカセッ
トプレート14の下部に位置するので、動作にともなう
発塵の影響が極めて少ない。
また、ワークト・・とじてガラス基板を適用して説明し
たが、これに限定されるものではなく、要はゴミ粒子の
付着を避けるべきものの搬送すべてに適用できる。
たが、これに限定されるものではなく、要はゴミ粒子の
付着を避けるべきものの搬送すべてに適用できる。
[発明の効果]
以上説明したように本発明によれば、ワークを垂直に立
てた状態で、かつワークをクランプ機構で直接クランプ
するようにしたので、ゴミ粒子のワークへの付着の抑制
化を図れるとともに搬送にともなう振動からワークの保
護をなし、損傷事故を確実に阻止する。上記カセットの
搬送動作および他のプロセス装置に対する移載動作をハ
ンドリング機構を介して行なうようにしたので、作業者
はカセットから離間した位置になり、人体ゴミの発塵の
影響はほとんとない。防振部材を設けたので、搬送にと
もなうワークへの振動を吸収する。
てた状態で、かつワークをクランプ機構で直接クランプ
するようにしたので、ゴミ粒子のワークへの付着の抑制
化を図れるとともに搬送にともなう振動からワークの保
護をなし、損傷事故を確実に阻止する。上記カセットの
搬送動作および他のプロセス装置に対する移載動作をハ
ンドリング機構を介して行なうようにしたので、作業者
はカセットから離間した位置になり、人体ゴミの発塵の
影響はほとんとない。防振部材を設けたので、搬送にと
もなうワークへの振動を吸収する。
作業者が手動で台車および各機構に対する必要な操作を
行なうので、ローコストを保持できるなとの種々の効果
を奏する。
行なうので、ローコストを保持できるなとの種々の効果
を奏する。
第1図ないし第6図は本発明の一実施例を示し、第1図
はカセット搬送用台車とその搬送状態を示す図、第2図
は第1図の■−■線に沿う縦断面図、第3図および第4
図は互いに第1図とは異なるカセット搬送用台車の搬送
状態を示す図、第5図は第2図とは異なる状態を示すカ
セット搬送用台車の一部縦断面図、第6図はカセット移
載時の概略正面図、第7図および第8図は本発明の従来
例を示し、第7図はカセット搬送用台車とその搬送状態
を示す図、第8図はカセット移載時の概略説明図である
。 2・・・カセット、1・・・ワーク(ガラス基板)22
・・・クランプ機構、21・・・ハンドリング機構、5
・・・防振部材(防振ゴム)。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第1図
はカセット搬送用台車とその搬送状態を示す図、第2図
は第1図の■−■線に沿う縦断面図、第3図および第4
図は互いに第1図とは異なるカセット搬送用台車の搬送
状態を示す図、第5図は第2図とは異なる状態を示すカ
セット搬送用台車の一部縦断面図、第6図はカセット移
載時の概略正面図、第7図および第8図は本発明の従来
例を示し、第7図はカセット搬送用台車とその搬送状態
を示す図、第8図はカセット移載時の概略説明図である
。 2・・・カセット、1・・・ワーク(ガラス基板)22
・・・クランプ機構、21・・・ハンドリング機構、5
・・・防振部材(防振ゴム)。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第1図
Claims (1)
- 互いに所定間隔を存するとともに露出した状態になる複
数枚のワークをカセットにで収容し、このカセットを支
持して所望位置相互間を搬送するものにおいて、上記カ
セットを介しワークを垂直に立位して支持する台車本体
と、この台車本体に設けられ上記ワークを直接クランプ
するクランプ機構と、このクランプ機構が上記ワークを
クランプした状態のまま上記カセットを前後方向に移動
操作可能であり、かつ上記カセットを上下方向に昇降操
作することにより上記クランプ機構からワークを着脱自
在にするハンドリング機構と、上記台車本体に設けられ
台車本体の搬送移動にともなう振動を吸収する防振部材
とを具備したことを特徴とするカセット搬送用台車。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19081390A JPH0478767A (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | カセット搬送用台車 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19081390A JPH0478767A (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | カセット搬送用台車 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0478767A true JPH0478767A (ja) | 1992-03-12 |
Family
ID=16264178
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19081390A Pending JPH0478767A (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | カセット搬送用台車 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0478767A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0644671U (ja) * | 1991-02-13 | 1994-06-14 | 株式会社バンガード | 携帯用運搬車における支持体の解除装置 |
JPH07165083A (ja) * | 1993-12-16 | 1995-06-27 | Murata Mach Ltd | 手押し台車 |
US5991951A (en) * | 1996-06-03 | 1999-11-30 | Minolta Co., Ltd. | Running and working robot not susceptible to damage at a coupling unit between running unit and working unit |
US6783374B2 (en) | 1999-12-21 | 2004-08-31 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Electronic component, coaxial connector, and communication device |
-
1990
- 1990-07-20 JP JP19081390A patent/JPH0478767A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0644671U (ja) * | 1991-02-13 | 1994-06-14 | 株式会社バンガード | 携帯用運搬車における支持体の解除装置 |
JPH07165083A (ja) * | 1993-12-16 | 1995-06-27 | Murata Mach Ltd | 手押し台車 |
US5991951A (en) * | 1996-06-03 | 1999-11-30 | Minolta Co., Ltd. | Running and working robot not susceptible to damage at a coupling unit between running unit and working unit |
US6783374B2 (en) | 1999-12-21 | 2004-08-31 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Electronic component, coaxial connector, and communication device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3997348B2 (ja) | 基板用搬送装置 | |
JPH0478767A (ja) | カセット搬送用台車 | |
KR20210075168A (ko) | 물품 이송탑재 설비 | |
JPH0713220Y2 (ja) | 基板搬送装置における基板保持装置 | |
JP5777409B2 (ja) | 部品供給装置 | |
JP2002321626A (ja) | 台 車 | |
JP5676168B2 (ja) | 研削装置 | |
JP5478865B2 (ja) | ワーク搬送装置 | |
JP2000183126A (ja) | 基板の自動取り出し装置 | |
JP2005064431A (ja) | 基板搬送装置及び基板搬送方法 | |
JP3976531B2 (ja) | 基板受渡機構、及びフォトマスクの製造方法 | |
JPH07186968A (ja) | ワーク搬送台車 | |
JP3282699B2 (ja) | 基板搬送載置機構 | |
JP3085892B2 (ja) | 方向反転装置 | |
JP2564432Y2 (ja) | 基板移載用調整治具 | |
JP2019156581A (ja) | 搬送装置 | |
JP3004239B2 (ja) | 板状物移載装置 | |
JPH08141966A (ja) | ガラス基板のハンドリング機構 | |
CN108974869B (zh) | 一种翻转装置 | |
JP4522622B2 (ja) | 板状物搬出入装置並びに板状物の搬出方法及び搬入方法 | |
JP7279663B2 (ja) | 台車連結システム | |
KR100552282B1 (ko) | 유리 기판의 자동 투입 장치 및 그 사용 방법 | |
JP3108839B2 (ja) | ワーク反転装置 | |
KR200254413Y1 (ko) | 수동대차 | |
JPS6243339B2 (ja) |