JPH08141966A - ガラス基板のハンドリング機構 - Google Patents
ガラス基板のハンドリング機構Info
- Publication number
- JPH08141966A JPH08141966A JP6304259A JP30425994A JPH08141966A JP H08141966 A JPH08141966 A JP H08141966A JP 6304259 A JP6304259 A JP 6304259A JP 30425994 A JP30425994 A JP 30425994A JP H08141966 A JPH08141966 A JP H08141966A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- chuck
- sides
- handling mechanism
- air cylinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
- B65G49/066—Transporting devices for sheet glass being suspended; Suspending devices, e.g. clamps, supporting tongs
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/067—Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 各種のサイズのガラス基板にフレキシブルに
適用でき、それぞれの４辺の中央部分をチャックするハ
ンドリング機構を提供する。 【構成】 ハンドリング機構５は、昇降機構51と、位置
合せ部52、４個のチャック部53とにより構成され、昇降
機構51は、搬送機構３の移動部33に固定されたエアシリ
ンダ511 と、これにより昇降する昇降アーム512 よりな
る。
適用でき、それぞれの４辺の中央部分をチャックするハ
ンドリング機構を提供する。 【構成】 ハンドリング機構５は、昇降機構51と、位置
合せ部52、４個のチャック部53とにより構成され、昇降
機構51は、搬送機構３の移動部33に固定されたエアシリ
ンダ511 と、これにより昇降する昇降アーム512 よりな
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、方形のガラス基板用
のハンドリング機構に関する。
のハンドリング機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶パネルのカラーフィルタは方形のガ
ラス基板を素材として製作される。ガラス基板は、表面
に異物が付着するとカラーフィルタの特性が劣化するの
で、素材またはカラーフィルタが形成された段階で、異
物の有無が検査装置により検査される。なお、最近にお
いては液晶パネルの大型化に伴って、ガラス基板も大型
のものが使用されている。
ラス基板を素材として製作される。ガラス基板は、表面
に異物が付着するとカラーフィルタの特性が劣化するの
で、素材またはカラーフィルタが形成された段階で、異
物の有無が検査装置により検査される。なお、最近にお
いては液晶パネルの大型化に伴って、ガラス基板も大型
のものが使用されている。
【０００３】図５により、最近における大型のガラス基
板１のサイズを説明すると、その縦幅ＷH と横幅ＷL
は、例えば、３１９×３８６ｍｍ2 ，３３９×３９６ｍ
ｍ2 ，４８４×４０６ｍｍ2 ，４８９×４３６ｍｍ2 な
どの各種があり、これらの厚さｔは０．７ｍｍまたは
１．２ｍｍである。このような厚さｔに比べて縦横の幅
が大きいため、ガラス基板１はあたかも紙のように湾曲
し易く、また破損し易い性質がある。
板１のサイズを説明すると、その縦幅ＷH と横幅ＷL
は、例えば、３１９×３８６ｍｍ2 ，３３９×３９６ｍ
ｍ2 ，４８４×４０６ｍｍ2 ，４８９×４３６ｍｍ2 な
どの各種があり、これらの厚さｔは０．７ｍｍまたは
１．２ｍｍである。このような厚さｔに比べて縦横の幅
が大きいため、ガラス基板１はあたかも紙のように湾曲
し易く、また破損し易い性質がある。
【０００４】図６により、検査装置４に対するガラス基
板１の搬送の概念を説明する。未検査用カセット２Ａに
収容されたガラス基板１は、搬送機構３のチャック部３
a にチャックされて検査装置４まで搬送され、検査ステ
ージ４a に載置されて検査光学系３b により検査され
る。検査が終了すると、ふたたびチャックされて検査済
みカセット２Ｂに搬送されて収容される。
板１の搬送の概念を説明する。未検査用カセット２Ａに
収容されたガラス基板１は、搬送機構３のチャック部３
a にチャックされて検査装置４まで搬送され、検査ステ
ージ４a に載置されて検査光学系３b により検査され
る。検査が終了すると、ふたたびチャックされて検査済
みカセット２Ｂに搬送されて収容される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】当初においては、ガラ
ス基板１はサイズが小さく、また検査数量も少なかった
ので、チャック部３a は１種類のサイズに適合する簡易
な構造のものが使用されていた。しかし、上記のように
各種のサイズのガラス基板１のそれぞれに対して、チャ
ック部３a を交換することは非能率であるので、これら
のいずれにも適用できるフレキシブルなチャック部を有
するハンドリング機構が要請されている。また、ガラス
基板１が小さいときは、そのチャック位置には問題が無
いが、上記のような大型サイズの場合は、チャック位置
が不適当であるとガラス基板１は湾曲して搬送に支障す
る問題がある。図７は、大型のガラス基板１を、異なる
チャック位置で支持した場合の湾曲状態の説明図で、
(a) はガラス基板１の４隅Ａ1 〜Ａ4 をチャック爪３b
により支持した場合を示し、ガラス基板１の４辺１a,１
b,１c,１d はそれぞれ下方に湾曲し、これが限度を越え
ると４隅Ａ1 〜Ａ4 がチャック爪３b から外れ、ガラス
基板１は落下して破損する恐れがある。この場合の各辺
１a 〜１d の湾曲は、ガラス基板１の中心をＯとする
と、２隅Ａ1,Ａ2 と中心Ｏのなす３角形（Ａ1 Ａ2 Ｏ）
の自重により辺１a が湾曲すると考えてよい。他の各辺
１b 〜１d も同様である。これに対して(b) は、４辺１
a 〜１d のそれぞれの中点Ｂ1 〜Ｂ4 を支持した場合
で、この場合の湾曲は(a) に比べてかなり小さい。その
理由を説明すると、隣接する中点Ｂ1,Ｂ2 を結ぶ直線を
Ｃ1 、中点Ｂ3,Ｂ4 を結ぶ直線をＣ2 とし、直線Ｃ1 の
両側は、３角形（Ａ2 Ｂ1 Ｂ2)と、３角形（Ｂ1 Ｂ2
Ｏ）の自重により下方に湾曲するが、これらの自重は、
(a) における３角形（Ａ1 Ａ2 Ｏ）の２分の１であるか
ら、それぞれの湾曲は小さい。また直線Ｃ1 の部分の湾
曲はさらに小さい。直線Ｃ2 の両側も同様であり、従っ
て、対応する２隅Ａ2 とＡ4 とを結ぶＡ2 −Ａ4 断面の
湾曲は、(c) に示すように小さい。Ａ1 −Ａ3 断面にお
いても同様である。以上により(b) の支持方法は、(a)
に比べて湾曲がかなり小さいことが理解される。上記の
フレキシブルなチャック部には、このような４辺の中点
または中央部分をチャックするものが適切である。この
発明は上記の問題点を考慮してなされたもので、各種の
サイズのガラス基板のいずれにもフレキシブルに適用で
き、各ガラス基板の４辺の中央部分をチャックするチャ
ック部を有するハンドリング機構を提供することを目的
とする。
ス基板１はサイズが小さく、また検査数量も少なかった
ので、チャック部３a は１種類のサイズに適合する簡易
な構造のものが使用されていた。しかし、上記のように
各種のサイズのガラス基板１のそれぞれに対して、チャ
ック部３a を交換することは非能率であるので、これら
のいずれにも適用できるフレキシブルなチャック部を有
するハンドリング機構が要請されている。また、ガラス
基板１が小さいときは、そのチャック位置には問題が無
いが、上記のような大型サイズの場合は、チャック位置
が不適当であるとガラス基板１は湾曲して搬送に支障す
る問題がある。図７は、大型のガラス基板１を、異なる
チャック位置で支持した場合の湾曲状態の説明図で、
(a) はガラス基板１の４隅Ａ1 〜Ａ4 をチャック爪３b
により支持した場合を示し、ガラス基板１の４辺１a,１
b,１c,１d はそれぞれ下方に湾曲し、これが限度を越え
ると４隅Ａ1 〜Ａ4 がチャック爪３b から外れ、ガラス
基板１は落下して破損する恐れがある。この場合の各辺
１a 〜１d の湾曲は、ガラス基板１の中心をＯとする
と、２隅Ａ1,Ａ2 と中心Ｏのなす３角形（Ａ1 Ａ2 Ｏ）
の自重により辺１a が湾曲すると考えてよい。他の各辺
１b 〜１d も同様である。これに対して(b) は、４辺１
a 〜１d のそれぞれの中点Ｂ1 〜Ｂ4 を支持した場合
で、この場合の湾曲は(a) に比べてかなり小さい。その
理由を説明すると、隣接する中点Ｂ1,Ｂ2 を結ぶ直線を
Ｃ1 、中点Ｂ3,Ｂ4 を結ぶ直線をＣ2 とし、直線Ｃ1 の
両側は、３角形（Ａ2 Ｂ1 Ｂ2)と、３角形（Ｂ1 Ｂ2
Ｏ）の自重により下方に湾曲するが、これらの自重は、
(a) における３角形（Ａ1 Ａ2 Ｏ）の２分の１であるか
ら、それぞれの湾曲は小さい。また直線Ｃ1 の部分の湾
曲はさらに小さい。直線Ｃ2 の両側も同様であり、従っ
て、対応する２隅Ａ2 とＡ4 とを結ぶＡ2 −Ａ4 断面の
湾曲は、(c) に示すように小さい。Ａ1 −Ａ3 断面にお
いても同様である。以上により(b) の支持方法は、(a)
に比べて湾曲がかなり小さいことが理解される。上記の
フレキシブルなチャック部には、このような４辺の中点
または中央部分をチャックするものが適切である。この
発明は上記の問題点を考慮してなされたもので、各種の
サイズのガラス基板のいずれにもフレキシブルに適用で
き、各ガラス基板の４辺の中央部分をチャックするチャ
ック部を有するハンドリング機構を提供することを目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の目的
を達成したガラス基板のハンドリング機構であって、前
記の搬送機構の移動部に結合され、昇降機構により昇降
する中空の＋形フレームと、＋形フレームの内部に配設
され、直交する２本のボールねじおよび２本のスライド
棒と、各ボールねじに歯合し、それぞれの回転により各
スライド棒に沿って、互いに離間または接近して、ガラ
ス基板の４辺に対して位置合せされる２個１組の移動ブ
ロックを２組有する位置合せ部、および各移動ブロック
にそれぞれ固定され、エアシリンダにより回動して、ガ
ラス基板の４辺の中央部分を、それぞれチャックするチ
ャック爪を有する４個のチャック部、とにより構成され
る。
を達成したガラス基板のハンドリング機構であって、前
記の搬送機構の移動部に結合され、昇降機構により昇降
する中空の＋形フレームと、＋形フレームの内部に配設
され、直交する２本のボールねじおよび２本のスライド
棒と、各ボールねじに歯合し、それぞれの回転により各
スライド棒に沿って、互いに離間または接近して、ガラ
ス基板の４辺に対して位置合せされる２個１組の移動ブ
ロックを２組有する位置合せ部、および各移動ブロック
にそれぞれ固定され、エアシリンダにより回動して、ガ
ラス基板の４辺の中央部分を、それぞれチャックするチ
ャック爪を有する４個のチャック部、とにより構成され
る。
【０００７】
【作用】上記のハンドリング機構においては、位置合せ
部の各組の２個の移動ブロックは、中空の＋形フレーム
の内部に配設された、直交する２本のボールねじにそれ
ぞれ歯合し、これらの回転により各スライド棒に沿っ
て、互いに離間または接近して、サイズの異なるガラス
基板の４辺に対して位置合せされる。これとともに、各
移動ブロックに固定された各チャック部のチャック爪
も、４辺に対して位置合せされる。搬送機構の移動部に
結合された＋形フレームは、未検査のガラス基板を収容
したカセットの位置に移動して、昇降機構の動作により
下降し、各チャック部のチャック爪がエアシリンダの動
作により回動して、ガラス基板の４辺の中央部分をそれ
ぞれチャックし、ついで上昇して検査ステージに搬送さ
れ、ふたたび下降して、各チャック爪を解放してガラス
基板は検査ステージに載置される。検査済みのガラス基
板も同様のチャックと昇降により、検査ステージから検
査済みカセットに搬送されて収容される。上記におい
て、各チャック爪はガラス基板の４辺の中央部分をそれ
ぞれチャックするので、前記したように大型のガラス基
板でも湾曲が小さくて、落下などの恐れなく安定に搬送
される。
部の各組の２個の移動ブロックは、中空の＋形フレーム
の内部に配設された、直交する２本のボールねじにそれ
ぞれ歯合し、これらの回転により各スライド棒に沿っ
て、互いに離間または接近して、サイズの異なるガラス
基板の４辺に対して位置合せされる。これとともに、各
移動ブロックに固定された各チャック部のチャック爪
も、４辺に対して位置合せされる。搬送機構の移動部に
結合された＋形フレームは、未検査のガラス基板を収容
したカセットの位置に移動して、昇降機構の動作により
下降し、各チャック部のチャック爪がエアシリンダの動
作により回動して、ガラス基板の４辺の中央部分をそれ
ぞれチャックし、ついで上昇して検査ステージに搬送さ
れ、ふたたび下降して、各チャック爪を解放してガラス
基板は検査ステージに載置される。検査済みのガラス基
板も同様のチャックと昇降により、検査ステージから検
査済みカセットに搬送されて収容される。上記におい
て、各チャック爪はガラス基板の４辺の中央部分をそれ
ぞれチャックするので、前記したように大型のガラス基
板でも湾曲が小さくて、落下などの恐れなく安定に搬送
される。
【０００８】
【実施例】図１〜図４はこの発明の一実施例を示し、図
１は、搬送機構３とこの発明のハンドリング機構５の構
成図、図２は位置合せ部52の構成を示す平面図、図３は
チャック部53の構成を示し、(a) は正面図、(b) は側面
図、図４はガラス基板１のチャック状態の説明図であ
る。図１において、搬送機構３は、支持台31に設けた２
条のガイドレール32と、これに沿って移動する移動部33
を有し、適当な場所に、検査ステージ４a と未検査用カ
セット２Ａ、および検査済み用カセット２Ｂが配置され
る。ハンドリング機構５は、昇降機構51と、位置合せ部
52、４個のチャック部53とにより構成される。昇降機構
51は、搬送機構３の移動部33に固定されたエアシリンダ
511 と、これにより昇降する昇降アーム512 よりなる。
図２において、位置合せ部52は、昇降アーム512 の先端
に軸支された中空の＋形フレーム521 と、＋形フレーム
521 の内部にそれぞれ配設され、互いに直交し、中央部
の左右が右ねじと左ねじとされた２本のボールねじ522
、および２本のスライド棒523 、各ボールねじ522 の
左右に歯合した４個の移動ブロック524 、各ボールねじ
522 を回転する２個のノブ525 、ならびに、各移動ブロ
ック524 の位置を示す４個のスケール526 よりなる。図
３(a),(b) において、４個のチャック部53は同一構成
で、移動ブロック524に適当な間隔で固定された２枚の
固定板532 と、両固定板532 の点ｐ1 の位置に軸支さ
れ、両端に逆Ｌ形アーム534 を有する回転シャフト533
、両固定板532 の点ｐ2 の位置にそれぞれ軸支された
２個の直線形アーム535 、直線形アーム535と逆Ｌ形ア
ーム534 を、点ｐ3,ｐ4 で連結する２個の「ヘ」形アー
ム536 、両「ヘ」形アーム535 の下端を接続する接続板
537 とを有し、接続板537 に対して２個のチャック爪53
1 が適当な間隔で固定される。また、両直線形アーム53
5 の上端に結合された２個のエアシリンダ538 と、回転
シャフト533 に固定された回動板539 、これに対する２
個のストッパＳＴ1,ＳＴ2 とが設けられる。
１は、搬送機構３とこの発明のハンドリング機構５の構
成図、図２は位置合せ部52の構成を示す平面図、図３は
チャック部53の構成を示し、(a) は正面図、(b) は側面
図、図４はガラス基板１のチャック状態の説明図であ
る。図１において、搬送機構３は、支持台31に設けた２
条のガイドレール32と、これに沿って移動する移動部33
を有し、適当な場所に、検査ステージ４a と未検査用カ
セット２Ａ、および検査済み用カセット２Ｂが配置され
る。ハンドリング機構５は、昇降機構51と、位置合せ部
52、４個のチャック部53とにより構成される。昇降機構
51は、搬送機構３の移動部33に固定されたエアシリンダ
511 と、これにより昇降する昇降アーム512 よりなる。
図２において、位置合せ部52は、昇降アーム512 の先端
に軸支された中空の＋形フレーム521 と、＋形フレーム
521 の内部にそれぞれ配設され、互いに直交し、中央部
の左右が右ねじと左ねじとされた２本のボールねじ522
、および２本のスライド棒523 、各ボールねじ522 の
左右に歯合した４個の移動ブロック524 、各ボールねじ
522 を回転する２個のノブ525 、ならびに、各移動ブロ
ック524 の位置を示す４個のスケール526 よりなる。図
３(a),(b) において、４個のチャック部53は同一構成
で、移動ブロック524に適当な間隔で固定された２枚の
固定板532 と、両固定板532 の点ｐ1 の位置に軸支さ
れ、両端に逆Ｌ形アーム534 を有する回転シャフト533
、両固定板532 の点ｐ2 の位置にそれぞれ軸支された
２個の直線形アーム535 、直線形アーム535と逆Ｌ形ア
ーム534 を、点ｐ3,ｐ4 で連結する２個の「ヘ」形アー
ム536 、両「ヘ」形アーム535 の下端を接続する接続板
537 とを有し、接続板537 に対して２個のチャック爪53
1 が適当な間隔で固定される。また、両直線形アーム53
5 の上端に結合された２個のエアシリンダ538 と、回転
シャフト533 に固定された回動板539 、これに対する２
個のストッパＳＴ1,ＳＴ2 とが設けられる。
【０００９】以下各図により、ガラス基板１のチャック
手順を説明する。まず、各スケール526 を参照しながら
各ノブ525 を回転して、各組の２個の移動ブロック524
を互いに離隔または接近し、チャック対象のガラス基板
１のサイズに対して位置合せする。また、各チャック爪
531 を、図３(b) の(イ) に示す待避状態とすると、回動
板539 とストッパＳＴ1 により、各アームは安定する。
ここで昇降機構51を動作して、位置合せ部52とともに各
チャック部53を下降し、待避している各チャック爪531
をガラス基板１の４辺に対応させる。ついで各エアシリ
ンダ538 を動作して、直線形アーム535 の上端を矢印Ｃ
5 の方向に押圧すると、点ｐ3 が矢印Ｃ2 の方向に移動
し、点ｐ2 とｐ3 の間隔が大きくなり、さらに押圧する
と、逆Ｌ形アーム534 が矢印Ｃ3 の方向に回転する。こ
のような各アームの動作により、チャック爪531 は矢印
Ｃ4 のように、はじめは下回りしながら漸次に上向きに
回動して、(ロ) に示すようにガラス基板１の底面に侵入
し、ストッパＳＴ2 により停止する。４個のチャック部
53はこのような動作を同時に行い、ガラス基板１は４辺
の中央部分がチャックされる。図４において、ガラス基
板１の４辺１a 〜１ｄの中央部分は、４個のチャック部
53のチャック爪531 によりチャックされており、前記し
たように、ガラス基板１が大型であっても湾曲が小さい
ので、落下などの恐れなく安定に保持されて、両カセッ
ト２Ａ，２Ｂと検査ステージ４a の相互間を搬送され
る。
手順を説明する。まず、各スケール526 を参照しながら
各ノブ525 を回転して、各組の２個の移動ブロック524
を互いに離隔または接近し、チャック対象のガラス基板
１のサイズに対して位置合せする。また、各チャック爪
531 を、図３(b) の(イ) に示す待避状態とすると、回動
板539 とストッパＳＴ1 により、各アームは安定する。
ここで昇降機構51を動作して、位置合せ部52とともに各
チャック部53を下降し、待避している各チャック爪531
をガラス基板１の４辺に対応させる。ついで各エアシリ
ンダ538 を動作して、直線形アーム535 の上端を矢印Ｃ
5 の方向に押圧すると、点ｐ3 が矢印Ｃ2 の方向に移動
し、点ｐ2 とｐ3 の間隔が大きくなり、さらに押圧する
と、逆Ｌ形アーム534 が矢印Ｃ3 の方向に回転する。こ
のような各アームの動作により、チャック爪531 は矢印
Ｃ4 のように、はじめは下回りしながら漸次に上向きに
回動して、(ロ) に示すようにガラス基板１の底面に侵入
し、ストッパＳＴ2 により停止する。４個のチャック部
53はこのような動作を同時に行い、ガラス基板１は４辺
の中央部分がチャックされる。図４において、ガラス基
板１の４辺１a 〜１ｄの中央部分は、４個のチャック部
53のチャック爪531 によりチャックされており、前記し
たように、ガラス基板１が大型であっても湾曲が小さい
ので、落下などの恐れなく安定に保持されて、両カセッ
ト２Ａ，２Ｂと検査ステージ４a の相互間を搬送され
る。
【００１０】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明のハンド
リング機構においては、位置合せ部により、各チャック
部のチャック爪は、異なるサイズのガラス基板に位置合
せされて、それぞれが確実にチャックされ、またガラス
基板はその４辺の中央部分がチャックされるので、大型
のガラス基板でも湾曲が小さくて、落下などの危険が無
く安定に搬送できるもので、大型化された各種のサイズ
のガラス基板にフレキシブルに適用でき、かつその搬送
の安定化に寄与する効果には大きいものがある。
リング機構においては、位置合せ部により、各チャック
部のチャック爪は、異なるサイズのガラス基板に位置合
せされて、それぞれが確実にチャックされ、またガラス
基板はその４辺の中央部分がチャックされるので、大型
のガラス基板でも湾曲が小さくて、落下などの危険が無
く安定に搬送できるもので、大型化された各種のサイズ
のガラス基板にフレキシブルに適用でき、かつその搬送
の安定化に寄与する効果には大きいものがある。
【図１】図１は、この発明のハンドリング機構の一実施
例における構成図である。
例における構成図である。
【図２】図２は位置合せ部の構成を示す平面図である。
【図３】図３はチャック部の構成を示し、(a) は正面
図、(b) は側面図である。
図、(b) は側面図である。
【図４】図４はガラス基板のチャック状態の説明図であ
る。
る。
【図５】図５は、大型のガラス基板のサイズの説明図で
ある。
ある。
【図６】図６は、検査装置に対するガラス基板の搬送概
念の説明図である。
念の説明図である。
【図７】図７は、大型のガラス基板に生ずる湾曲の説明
図であって、(a) は、コーナで支持した場合の説明図、
(b) は、中点で支持した場合の説明図である。
図であって、(a) は、コーナで支持した場合の説明図、
(b) は、中点で支持した場合の説明図である。
１…ガラス基板、１a 〜１d …ガラス基板の４辺、２
Ａ，２Ｂ…カセット、３…搬送機構、31…支持台、32…
ガイドレール、33…移動部、４…検査装置、４a …検査
ステージ、４b …検査光学系、５…この発明のハンドリ
ング機構、51…昇降機構、511 …エアシリンダ、512 …
昇降アーム、52…位置合せ部、521 …中空の＋形フレー
ム、522 …ボールねじ、523 …スライド棒、524 …移動
ブロック、525 …ノブ、526 …スケール、53…チャック
部、531 …チャック爪、532 …固定板、533 …回転シャ
フト、534 …逆Ｌ形アーム、535 …直線形アーム、536
…ヘ形アーム、537 …接続板、538 …エアシリンダ 539 …回動板、ＳＴ1,ＳＴ2 …ストッパ。
Ａ，２Ｂ…カセット、３…搬送機構、31…支持台、32…
ガイドレール、33…移動部、４…検査装置、４a …検査
ステージ、４b …検査光学系、５…この発明のハンドリ
ング機構、51…昇降機構、511 …エアシリンダ、512 …
昇降アーム、52…位置合せ部、521 …中空の＋形フレー
ム、522 …ボールねじ、523 …スライド棒、524 …移動
ブロック、525 …ノブ、526 …スケール、53…チャック
部、531 …チャック爪、532 …固定板、533 …回転シャ
フト、534 …逆Ｌ形アーム、535 …直線形アーム、536
…ヘ形アーム、537 …接続板、538 …エアシリンダ 539 …回動板、ＳＴ1,ＳＴ2 …ストッパ。
Claims (1)
- 【請求項１】各種のサイズの方形のガラス基板を対象と
し、該ガラス基板をチャックして、カセットと検査ステ
ージの間を搬送する搬送機構において、該搬送機構の移
動部に結合され、昇降機構により昇降する中空の＋形フ
レームと、該＋形フレームの内部にそれぞれ配設され、
直交する２本のボールねじ、および２本のスライド棒
と、該各ボールねじに歯合し、それぞれの回転により該
各スライド棒に沿って、互いに離間または接近して、前
記ガラス基板の４辺に対して位置合せされる２個１組の
移動ブロックを２組有する位置合せ部、および該各移動
ブロックに固定され、エアシリンダにより回動して、該
ガラス基板の４辺の中央部分を、それぞれチャックする
チャック爪を有する４個のチャック部、とにより構成さ
れたことを特徴とする、ガラス基板のハンドリング機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6304259A JPH08141966A (ja) | 1994-11-14 | 1994-11-14 | ガラス基板のハンドリング機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6304259A JPH08141966A (ja) | 1994-11-14 | 1994-11-14 | ガラス基板のハンドリング機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08141966A true JPH08141966A (ja) | 1996-06-04 |
Family
ID=17930907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6304259A Pending JPH08141966A (ja) | 1994-11-14 | 1994-11-14 | ガラス基板のハンドリング機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08141966A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100648468B1 (ko) * | 2004-07-28 | 2006-11-24 | 주식회사 디이엔티 | 다종 유리 기판 검사 장치 및 검사 방법 |
| KR100889009B1 (ko) * | 2007-03-06 | 2009-03-19 | 장대환 | 누적공차 최소화 및 다기종 센터링기능이 구비되는 이송및 삽입 적재장치 및 방법 |
| KR101405055B1 (ko) * | 2012-10-30 | 2014-06-10 | 장대환 | 자동차의 브레이크 모듈 조립용 로봇 핸드 |
| WO2022118544A1 (ja) * | 2020-12-02 | 2022-06-09 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
-
1994
- 1994-11-14 JP JP6304259A patent/JPH08141966A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100648468B1 (ko) * | 2004-07-28 | 2006-11-24 | 주식회사 디이엔티 | 다종 유리 기판 검사 장치 및 검사 방법 |
| KR100889009B1 (ko) * | 2007-03-06 | 2009-03-19 | 장대환 | 누적공차 최소화 및 다기종 센터링기능이 구비되는 이송및 삽입 적재장치 및 방법 |
| KR101405055B1 (ko) * | 2012-10-30 | 2014-06-10 | 장대환 | 자동차의 브레이크 모듈 조립용 로봇 핸드 |
| WO2022118544A1 (ja) * | 2020-12-02 | 2022-06-09 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2007039157A (ja) | 搬送装置、真空処理装置および搬送方法 | |
| JPH08244909A (ja) | カセット内のガラス基板整列方法 | |
| JP2000208587A (ja) | 基板搬送装置及び基板搬送方法 | |
| TW457615B (en) | Mechanism and method for supporting substrate to be coated with film | |
| JP2001274232A (ja) | 基板処理装置 | |
| TW419718B (en) | Substrate transferring apparatus | |
| JPH08141966A (ja) | ガラス基板のハンドリング機構 | |
| TWI260062B (en) | Substrate carrier device | |
| JP2837332B2 (ja) | 搬送アーム | |
| JP2578845Y2 (ja) | 自動基板裁断装置における位置決め機能を有する搬送機 | |
| JP3531044B2 (ja) | 液晶表示装置用ガラス基板の移載方法および該方法に用いる装置 | |
| US20060280586A1 (en) | Substrate conveyance apparatus | |
| JPH07153816A (ja) | 基板移載方法および装置 | |
| JP3282699B2 (ja) | 基板搬送載置機構 | |
| JPH06117964A (ja) | フィルム基板の載置台 | |
| JPH10239855A (ja) | 基板搬送装置 | |
| JPH1018033A (ja) | 基板の保持部材、基板の収納体、基板の搬送方法及び基板の処理装置 | |
| JP4255676B2 (ja) | 基板運搬装置 | |
| JP4474672B2 (ja) | 基板移載装置 | |
| JP2002019958A (ja) | 基板ハンドリング設備 | |
| JP2002252272A (ja) | ガラス基板搬送装置及び露光装置 | |
| JP2003118834A (ja) | ガラス基板搬送装置 | |
| JP3712816B2 (ja) | 表示デバイス用ガラス基板及び表示デバイス用ガラス基板保持装置 | |
| JP2000108069A (ja) | 基板搬送用トレイ | |
| JP2513261Y2 (ja) | 搬入搬出装置 |