JPH08141966A - ガラス基板のハンドリング機構 - Google Patents
ガラス基板のハンドリング機構Info
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- JPH08141966A JPH08141966A JP6304259A JP30425994A JPH08141966A JP H08141966 A JPH08141966 A JP H08141966A JP 6304259 A JP6304259 A JP 6304259A JP 30425994 A JP30425994 A JP 30425994A JP H08141966 A JPH08141966 A JP H08141966A
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- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- chuck
- sides
- handling mechanism
- air cylinder
- Prior art date
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
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- B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
- B65G49/066—Transporting devices for sheet glass being suspended; Suspending devices, e.g. clamps, supporting tongs
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- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
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- B65G49/067—Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 各種のサイズのガラス基板にフレキシブルに
適用でき、それぞれの4辺の中央部分をチャックするハ
ンドリング機構を提供する。 【構成】 ハンドリング機構5は、昇降機構51と、位置
合せ部52、4個のチャック部53とにより構成され、昇降
機構51は、搬送機構3の移動部33に固定されたエアシリ
ンダ511 と、これにより昇降する昇降アーム512 よりな
る。
適用でき、それぞれの4辺の中央部分をチャックするハ
ンドリング機構を提供する。 【構成】 ハンドリング機構5は、昇降機構51と、位置
合せ部52、4個のチャック部53とにより構成され、昇降
機構51は、搬送機構3の移動部33に固定されたエアシリ
ンダ511 と、これにより昇降する昇降アーム512 よりな
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、方形のガラス基板用
のハンドリング機構に関する。
のハンドリング機構に関する。
【0002】
【従来の技術】液晶パネルのカラーフィルタは方形のガ
ラス基板を素材として製作される。ガラス基板は、表面
に異物が付着するとカラーフィルタの特性が劣化するの
で、素材またはカラーフィルタが形成された段階で、異
物の有無が検査装置により検査される。なお、最近にお
いては液晶パネルの大型化に伴って、ガラス基板も大型
のものが使用されている。
ラス基板を素材として製作される。ガラス基板は、表面
に異物が付着するとカラーフィルタの特性が劣化するの
で、素材またはカラーフィルタが形成された段階で、異
物の有無が検査装置により検査される。なお、最近にお
いては液晶パネルの大型化に伴って、ガラス基板も大型
のものが使用されている。
【0003】図5により、最近における大型のガラス基
板1のサイズを説明すると、その縦幅WH と横幅WL
は、例えば、319×386mm2 ,339×396m
m2 ,484×406mm2 ,489×436mm2 な
どの各種があり、これらの厚さtは0.7mmまたは
1.2mmである。このような厚さtに比べて縦横の幅
が大きいため、ガラス基板1はあたかも紙のように湾曲
し易く、また破損し易い性質がある。
板1のサイズを説明すると、その縦幅WH と横幅WL
は、例えば、319×386mm2 ,339×396m
m2 ,484×406mm2 ,489×436mm2 な
どの各種があり、これらの厚さtは0.7mmまたは
1.2mmである。このような厚さtに比べて縦横の幅
が大きいため、ガラス基板1はあたかも紙のように湾曲
し易く、また破損し易い性質がある。
【0004】図6により、検査装置4に対するガラス基
板1の搬送の概念を説明する。未検査用カセット2Aに
収容されたガラス基板1は、搬送機構3のチャック部3
a にチャックされて検査装置4まで搬送され、検査ステ
ージ4a に載置されて検査光学系3b により検査され
る。検査が終了すると、ふたたびチャックされて検査済
みカセット2Bに搬送されて収容される。
板1の搬送の概念を説明する。未検査用カセット2Aに
収容されたガラス基板1は、搬送機構3のチャック部3
a にチャックされて検査装置4まで搬送され、検査ステ
ージ4a に載置されて検査光学系3b により検査され
る。検査が終了すると、ふたたびチャックされて検査済
みカセット2Bに搬送されて収容される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】当初においては、ガラ
ス基板1はサイズが小さく、また検査数量も少なかった
ので、チャック部3a は1種類のサイズに適合する簡易
な構造のものが使用されていた。しかし、上記のように
各種のサイズのガラス基板1のそれぞれに対して、チャ
ック部3a を交換することは非能率であるので、これら
のいずれにも適用できるフレキシブルなチャック部を有
するハンドリング機構が要請されている。また、ガラス
基板1が小さいときは、そのチャック位置には問題が無
いが、上記のような大型サイズの場合は、チャック位置
が不適当であるとガラス基板1は湾曲して搬送に支障す
る問題がある。図7は、大型のガラス基板1を、異なる
チャック位置で支持した場合の湾曲状態の説明図で、
(a) はガラス基板1の4隅A1 〜A4 をチャック爪3b
により支持した場合を示し、ガラス基板1の4辺1a,1
b,1c,1d はそれぞれ下方に湾曲し、これが限度を越え
ると4隅A1 〜A4 がチャック爪3b から外れ、ガラス
基板1は落下して破損する恐れがある。この場合の各辺
1a 〜1d の湾曲は、ガラス基板1の中心をOとする
と、2隅A1,A2 と中心Oのなす3角形(A1 A2 O)
の自重により辺1a が湾曲すると考えてよい。他の各辺
1b 〜1d も同様である。これに対して(b) は、4辺1
a 〜1d のそれぞれの中点B1 〜B4 を支持した場合
で、この場合の湾曲は(a) に比べてかなり小さい。その
理由を説明すると、隣接する中点B1,B2 を結ぶ直線を
C1 、中点B3,B4 を結ぶ直線をC2 とし、直線C1 の
両側は、3角形(A2 B1 B2)と、3角形(B1 B2
O)の自重により下方に湾曲するが、これらの自重は、
(a) における3角形(A1 A2 O)の2分の1であるか
ら、それぞれの湾曲は小さい。また直線C1 の部分の湾
曲はさらに小さい。直線C2 の両側も同様であり、従っ
て、対応する2隅A2 とA4 とを結ぶA2 −A4 断面の
湾曲は、(c) に示すように小さい。A1 −A3 断面にお
いても同様である。以上により(b) の支持方法は、(a)
に比べて湾曲がかなり小さいことが理解される。上記の
フレキシブルなチャック部には、このような4辺の中点
または中央部分をチャックするものが適切である。この
発明は上記の問題点を考慮してなされたもので、各種の
サイズのガラス基板のいずれにもフレキシブルに適用で
き、各ガラス基板の4辺の中央部分をチャックするチャ
ック部を有するハンドリング機構を提供することを目的
とする。
ス基板1はサイズが小さく、また検査数量も少なかった
ので、チャック部3a は1種類のサイズに適合する簡易
な構造のものが使用されていた。しかし、上記のように
各種のサイズのガラス基板1のそれぞれに対して、チャ
ック部3a を交換することは非能率であるので、これら
のいずれにも適用できるフレキシブルなチャック部を有
するハンドリング機構が要請されている。また、ガラス
基板1が小さいときは、そのチャック位置には問題が無
いが、上記のような大型サイズの場合は、チャック位置
が不適当であるとガラス基板1は湾曲して搬送に支障す
る問題がある。図7は、大型のガラス基板1を、異なる
チャック位置で支持した場合の湾曲状態の説明図で、
(a) はガラス基板1の4隅A1 〜A4 をチャック爪3b
により支持した場合を示し、ガラス基板1の4辺1a,1
b,1c,1d はそれぞれ下方に湾曲し、これが限度を越え
ると4隅A1 〜A4 がチャック爪3b から外れ、ガラス
基板1は落下して破損する恐れがある。この場合の各辺
1a 〜1d の湾曲は、ガラス基板1の中心をOとする
と、2隅A1,A2 と中心Oのなす3角形(A1 A2 O)
の自重により辺1a が湾曲すると考えてよい。他の各辺
1b 〜1d も同様である。これに対して(b) は、4辺1
a 〜1d のそれぞれの中点B1 〜B4 を支持した場合
で、この場合の湾曲は(a) に比べてかなり小さい。その
理由を説明すると、隣接する中点B1,B2 を結ぶ直線を
C1 、中点B3,B4 を結ぶ直線をC2 とし、直線C1 の
両側は、3角形(A2 B1 B2)と、3角形(B1 B2
O)の自重により下方に湾曲するが、これらの自重は、
(a) における3角形(A1 A2 O)の2分の1であるか
ら、それぞれの湾曲は小さい。また直線C1 の部分の湾
曲はさらに小さい。直線C2 の両側も同様であり、従っ
て、対応する2隅A2 とA4 とを結ぶA2 −A4 断面の
湾曲は、(c) に示すように小さい。A1 −A3 断面にお
いても同様である。以上により(b) の支持方法は、(a)
に比べて湾曲がかなり小さいことが理解される。上記の
フレキシブルなチャック部には、このような4辺の中点
または中央部分をチャックするものが適切である。この
発明は上記の問題点を考慮してなされたもので、各種の
サイズのガラス基板のいずれにもフレキシブルに適用で
き、各ガラス基板の4辺の中央部分をチャックするチャ
ック部を有するハンドリング機構を提供することを目的
とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の目的
を達成したガラス基板のハンドリング機構であって、前
記の搬送機構の移動部に結合され、昇降機構により昇降
する中空の+形フレームと、+形フレームの内部に配設
され、直交する2本のボールねじおよび2本のスライド
棒と、各ボールねじに歯合し、それぞれの回転により各
スライド棒に沿って、互いに離間または接近して、ガラ
ス基板の4辺に対して位置合せされる2個1組の移動ブ
ロックを2組有する位置合せ部、および各移動ブロック
にそれぞれ固定され、エアシリンダにより回動して、ガ
ラス基板の4辺の中央部分を、それぞれチャックするチ
ャック爪を有する4個のチャック部、とにより構成され
る。
を達成したガラス基板のハンドリング機構であって、前
記の搬送機構の移動部に結合され、昇降機構により昇降
する中空の+形フレームと、+形フレームの内部に配設
され、直交する2本のボールねじおよび2本のスライド
棒と、各ボールねじに歯合し、それぞれの回転により各
スライド棒に沿って、互いに離間または接近して、ガラ
ス基板の4辺に対して位置合せされる2個1組の移動ブ
ロックを2組有する位置合せ部、および各移動ブロック
にそれぞれ固定され、エアシリンダにより回動して、ガ
ラス基板の4辺の中央部分を、それぞれチャックするチ
ャック爪を有する4個のチャック部、とにより構成され
る。
【0007】
【作用】上記のハンドリング機構においては、位置合せ
部の各組の2個の移動ブロックは、中空の+形フレーム
の内部に配設された、直交する2本のボールねじにそれ
ぞれ歯合し、これらの回転により各スライド棒に沿っ
て、互いに離間または接近して、サイズの異なるガラス
基板の4辺に対して位置合せされる。これとともに、各
移動ブロックに固定された各チャック部のチャック爪
も、4辺に対して位置合せされる。搬送機構の移動部に
結合された+形フレームは、未検査のガラス基板を収容
したカセットの位置に移動して、昇降機構の動作により
下降し、各チャック部のチャック爪がエアシリンダの動
作により回動して、ガラス基板の4辺の中央部分をそれ
ぞれチャックし、ついで上昇して検査ステージに搬送さ
れ、ふたたび下降して、各チャック爪を解放してガラス
基板は検査ステージに載置される。検査済みのガラス基
板も同様のチャックと昇降により、検査ステージから検
査済みカセットに搬送されて収容される。上記におい
て、各チャック爪はガラス基板の4辺の中央部分をそれ
ぞれチャックするので、前記したように大型のガラス基
板でも湾曲が小さくて、落下などの恐れなく安定に搬送
される。
部の各組の2個の移動ブロックは、中空の+形フレーム
の内部に配設された、直交する2本のボールねじにそれ
ぞれ歯合し、これらの回転により各スライド棒に沿っ
て、互いに離間または接近して、サイズの異なるガラス
基板の4辺に対して位置合せされる。これとともに、各
移動ブロックに固定された各チャック部のチャック爪
も、4辺に対して位置合せされる。搬送機構の移動部に
結合された+形フレームは、未検査のガラス基板を収容
したカセットの位置に移動して、昇降機構の動作により
下降し、各チャック部のチャック爪がエアシリンダの動
作により回動して、ガラス基板の4辺の中央部分をそれ
ぞれチャックし、ついで上昇して検査ステージに搬送さ
れ、ふたたび下降して、各チャック爪を解放してガラス
基板は検査ステージに載置される。検査済みのガラス基
板も同様のチャックと昇降により、検査ステージから検
査済みカセットに搬送されて収容される。上記におい
て、各チャック爪はガラス基板の4辺の中央部分をそれ
ぞれチャックするので、前記したように大型のガラス基
板でも湾曲が小さくて、落下などの恐れなく安定に搬送
される。
【0008】
【実施例】図1〜図4はこの発明の一実施例を示し、図
1は、搬送機構3とこの発明のハンドリング機構5の構
成図、図2は位置合せ部52の構成を示す平面図、図3は
チャック部53の構成を示し、(a) は正面図、(b) は側面
図、図4はガラス基板1のチャック状態の説明図であ
る。図1において、搬送機構3は、支持台31に設けた2
条のガイドレール32と、これに沿って移動する移動部33
を有し、適当な場所に、検査ステージ4a と未検査用カ
セット2A、および検査済み用カセット2Bが配置され
る。ハンドリング機構5は、昇降機構51と、位置合せ部
52、4個のチャック部53とにより構成される。昇降機構
51は、搬送機構3の移動部33に固定されたエアシリンダ
511 と、これにより昇降する昇降アーム512 よりなる。
図2において、位置合せ部52は、昇降アーム512 の先端
に軸支された中空の+形フレーム521 と、+形フレーム
521 の内部にそれぞれ配設され、互いに直交し、中央部
の左右が右ねじと左ねじとされた2本のボールねじ522
、および2本のスライド棒523 、各ボールねじ522 の
左右に歯合した4個の移動ブロック524 、各ボールねじ
522 を回転する2個のノブ525 、ならびに、各移動ブロ
ック524 の位置を示す4個のスケール526 よりなる。図
3(a),(b) において、4個のチャック部53は同一構成
で、移動ブロック524に適当な間隔で固定された2枚の
固定板532 と、両固定板532 の点p1 の位置に軸支さ
れ、両端に逆L形アーム534 を有する回転シャフト533
、両固定板532 の点p2 の位置にそれぞれ軸支された
2個の直線形アーム535 、直線形アーム535と逆L形ア
ーム534 を、点p3,p4 で連結する2個の「ヘ」形アー
ム536 、両「ヘ」形アーム535 の下端を接続する接続板
537 とを有し、接続板537 に対して2個のチャック爪53
1 が適当な間隔で固定される。また、両直線形アーム53
5 の上端に結合された2個のエアシリンダ538 と、回転
シャフト533 に固定された回動板539 、これに対する2
個のストッパST1,ST2 とが設けられる。
1は、搬送機構3とこの発明のハンドリング機構5の構
成図、図2は位置合せ部52の構成を示す平面図、図3は
チャック部53の構成を示し、(a) は正面図、(b) は側面
図、図4はガラス基板1のチャック状態の説明図であ
る。図1において、搬送機構3は、支持台31に設けた2
条のガイドレール32と、これに沿って移動する移動部33
を有し、適当な場所に、検査ステージ4a と未検査用カ
セット2A、および検査済み用カセット2Bが配置され
る。ハンドリング機構5は、昇降機構51と、位置合せ部
52、4個のチャック部53とにより構成される。昇降機構
51は、搬送機構3の移動部33に固定されたエアシリンダ
511 と、これにより昇降する昇降アーム512 よりなる。
図2において、位置合せ部52は、昇降アーム512 の先端
に軸支された中空の+形フレーム521 と、+形フレーム
521 の内部にそれぞれ配設され、互いに直交し、中央部
の左右が右ねじと左ねじとされた2本のボールねじ522
、および2本のスライド棒523 、各ボールねじ522 の
左右に歯合した4個の移動ブロック524 、各ボールねじ
522 を回転する2個のノブ525 、ならびに、各移動ブロ
ック524 の位置を示す4個のスケール526 よりなる。図
3(a),(b) において、4個のチャック部53は同一構成
で、移動ブロック524に適当な間隔で固定された2枚の
固定板532 と、両固定板532 の点p1 の位置に軸支さ
れ、両端に逆L形アーム534 を有する回転シャフト533
、両固定板532 の点p2 の位置にそれぞれ軸支された
2個の直線形アーム535 、直線形アーム535と逆L形ア
ーム534 を、点p3,p4 で連結する2個の「ヘ」形アー
ム536 、両「ヘ」形アーム535 の下端を接続する接続板
537 とを有し、接続板537 に対して2個のチャック爪53
1 が適当な間隔で固定される。また、両直線形アーム53
5 の上端に結合された2個のエアシリンダ538 と、回転
シャフト533 に固定された回動板539 、これに対する2
個のストッパST1,ST2 とが設けられる。
【0009】以下各図により、ガラス基板1のチャック
手順を説明する。まず、各スケール526 を参照しながら
各ノブ525 を回転して、各組の2個の移動ブロック524
を互いに離隔または接近し、チャック対象のガラス基板
1のサイズに対して位置合せする。また、各チャック爪
531 を、図3(b) の(イ) に示す待避状態とすると、回動
板539 とストッパST1 により、各アームは安定する。
ここで昇降機構51を動作して、位置合せ部52とともに各
チャック部53を下降し、待避している各チャック爪531
をガラス基板1の4辺に対応させる。ついで各エアシリ
ンダ538 を動作して、直線形アーム535 の上端を矢印C
5 の方向に押圧すると、点p3 が矢印C2 の方向に移動
し、点p2 とp3 の間隔が大きくなり、さらに押圧する
と、逆L形アーム534 が矢印C3 の方向に回転する。こ
のような各アームの動作により、チャック爪531 は矢印
C4 のように、はじめは下回りしながら漸次に上向きに
回動して、(ロ) に示すようにガラス基板1の底面に侵入
し、ストッパST2 により停止する。4個のチャック部
53はこのような動作を同時に行い、ガラス基板1は4辺
の中央部分がチャックされる。図4において、ガラス基
板1の4辺1a 〜1dの中央部分は、4個のチャック部
53のチャック爪531 によりチャックされており、前記し
たように、ガラス基板1が大型であっても湾曲が小さい
ので、落下などの恐れなく安定に保持されて、両カセッ
ト2A,2Bと検査ステージ4a の相互間を搬送され
る。
手順を説明する。まず、各スケール526 を参照しながら
各ノブ525 を回転して、各組の2個の移動ブロック524
を互いに離隔または接近し、チャック対象のガラス基板
1のサイズに対して位置合せする。また、各チャック爪
531 を、図3(b) の(イ) に示す待避状態とすると、回動
板539 とストッパST1 により、各アームは安定する。
ここで昇降機構51を動作して、位置合せ部52とともに各
チャック部53を下降し、待避している各チャック爪531
をガラス基板1の4辺に対応させる。ついで各エアシリ
ンダ538 を動作して、直線形アーム535 の上端を矢印C
5 の方向に押圧すると、点p3 が矢印C2 の方向に移動
し、点p2 とp3 の間隔が大きくなり、さらに押圧する
と、逆L形アーム534 が矢印C3 の方向に回転する。こ
のような各アームの動作により、チャック爪531 は矢印
C4 のように、はじめは下回りしながら漸次に上向きに
回動して、(ロ) に示すようにガラス基板1の底面に侵入
し、ストッパST2 により停止する。4個のチャック部
53はこのような動作を同時に行い、ガラス基板1は4辺
の中央部分がチャックされる。図4において、ガラス基
板1の4辺1a 〜1dの中央部分は、4個のチャック部
53のチャック爪531 によりチャックされており、前記し
たように、ガラス基板1が大型であっても湾曲が小さい
ので、落下などの恐れなく安定に保持されて、両カセッ
ト2A,2Bと検査ステージ4a の相互間を搬送され
る。
【0010】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明のハンド
リング機構においては、位置合せ部により、各チャック
部のチャック爪は、異なるサイズのガラス基板に位置合
せされて、それぞれが確実にチャックされ、またガラス
基板はその4辺の中央部分がチャックされるので、大型
のガラス基板でも湾曲が小さくて、落下などの危険が無
く安定に搬送できるもので、大型化された各種のサイズ
のガラス基板にフレキシブルに適用でき、かつその搬送
の安定化に寄与する効果には大きいものがある。
リング機構においては、位置合せ部により、各チャック
部のチャック爪は、異なるサイズのガラス基板に位置合
せされて、それぞれが確実にチャックされ、またガラス
基板はその4辺の中央部分がチャックされるので、大型
のガラス基板でも湾曲が小さくて、落下などの危険が無
く安定に搬送できるもので、大型化された各種のサイズ
のガラス基板にフレキシブルに適用でき、かつその搬送
の安定化に寄与する効果には大きいものがある。
【図1】図1は、この発明のハンドリング機構の一実施
例における構成図である。
例における構成図である。
【図2】図2は位置合せ部の構成を示す平面図である。
【図3】図3はチャック部の構成を示し、(a) は正面
図、(b) は側面図である。
図、(b) は側面図である。
【図4】図4はガラス基板のチャック状態の説明図であ
る。
る。
【図5】図5は、大型のガラス基板のサイズの説明図で
ある。
ある。
【図6】図6は、検査装置に対するガラス基板の搬送概
念の説明図である。
念の説明図である。
【図7】図7は、大型のガラス基板に生ずる湾曲の説明
図であって、(a) は、コーナで支持した場合の説明図、
(b) は、中点で支持した場合の説明図である。
図であって、(a) は、コーナで支持した場合の説明図、
(b) は、中点で支持した場合の説明図である。
1…ガラス基板、1a 〜1d …ガラス基板の4辺、2
A,2B…カセット、3…搬送機構、31…支持台、32…
ガイドレール、33…移動部、4…検査装置、4a …検査
ステージ、4b …検査光学系、5…この発明のハンドリ
ング機構、51…昇降機構、511 …エアシリンダ、512 …
昇降アーム、52…位置合せ部、521 …中空の+形フレー
ム、522 …ボールねじ、523 …スライド棒、524 …移動
ブロック、525 …ノブ、526 …スケール、53…チャック
部、531 …チャック爪、532 …固定板、533 …回転シャ
フト、534 …逆L形アーム、535 …直線形アーム、536
…ヘ形アーム、537 …接続板、538 …エアシリンダ 539 …回動板、ST1,ST2 …ストッパ。
A,2B…カセット、3…搬送機構、31…支持台、32…
ガイドレール、33…移動部、4…検査装置、4a …検査
ステージ、4b …検査光学系、5…この発明のハンドリ
ング機構、51…昇降機構、511 …エアシリンダ、512 …
昇降アーム、52…位置合せ部、521 …中空の+形フレー
ム、522 …ボールねじ、523 …スライド棒、524 …移動
ブロック、525 …ノブ、526 …スケール、53…チャック
部、531 …チャック爪、532 …固定板、533 …回転シャ
フト、534 …逆L形アーム、535 …直線形アーム、536
…ヘ形アーム、537 …接続板、538 …エアシリンダ 539 …回動板、ST1,ST2 …ストッパ。
Claims (1)
- 【請求項1】各種のサイズの方形のガラス基板を対象と
し、該ガラス基板をチャックして、カセットと検査ステ
ージの間を搬送する搬送機構において、該搬送機構の移
動部に結合され、昇降機構により昇降する中空の+形フ
レームと、該+形フレームの内部にそれぞれ配設され、
直交する2本のボールねじ、および2本のスライド棒
と、該各ボールねじに歯合し、それぞれの回転により該
各スライド棒に沿って、互いに離間または接近して、前
記ガラス基板の4辺に対して位置合せされる2個1組の
移動ブロックを2組有する位置合せ部、および該各移動
ブロックに固定され、エアシリンダにより回動して、該
ガラス基板の4辺の中央部分を、それぞれチャックする
チャック爪を有する4個のチャック部、とにより構成さ
れたことを特徴とする、ガラス基板のハンドリング機
構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6304259A JPH08141966A (ja) | 1994-11-14 | 1994-11-14 | ガラス基板のハンドリング機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6304259A JPH08141966A (ja) | 1994-11-14 | 1994-11-14 | ガラス基板のハンドリング機構 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08141966A true JPH08141966A (ja) | 1996-06-04 |
Family
ID=17930907
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6304259A Pending JPH08141966A (ja) | 1994-11-14 | 1994-11-14 | ガラス基板のハンドリング機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08141966A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100648468B1 (ko) * | 2004-07-28 | 2006-11-24 | 주식회사 디이엔티 | 다종 유리 기판 검사 장치 및 검사 방법 |
KR100889009B1 (ko) * | 2007-03-06 | 2009-03-19 | 장대환 | 누적공차 최소화 및 다기종 센터링기능이 구비되는 이송및 삽입 적재장치 및 방법 |
KR101405055B1 (ko) * | 2012-10-30 | 2014-06-10 | 장대환 | 자동차의 브레이크 모듈 조립용 로봇 핸드 |
WO2022118544A1 (ja) * | 2020-12-02 | 2022-06-09 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
-
1994
- 1994-11-14 JP JP6304259A patent/JPH08141966A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100648468B1 (ko) * | 2004-07-28 | 2006-11-24 | 주식회사 디이엔티 | 다종 유리 기판 검사 장치 및 검사 방법 |
KR100889009B1 (ko) * | 2007-03-06 | 2009-03-19 | 장대환 | 누적공차 최소화 및 다기종 센터링기능이 구비되는 이송및 삽입 적재장치 및 방법 |
KR101405055B1 (ko) * | 2012-10-30 | 2014-06-10 | 장대환 | 자동차의 브레이크 모듈 조립용 로봇 핸드 |
WO2022118544A1 (ja) * | 2020-12-02 | 2022-06-09 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
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