JPH05253879A - 搬送方法及び搬送装置 - Google Patents
搬送方法及び搬送装置Info
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- JPH05253879A JPH05253879A JP5792192A JP5792192A JPH05253879A JP H05253879 A JPH05253879 A JP H05253879A JP 5792192 A JP5792192 A JP 5792192A JP 5792192 A JP5792192 A JP 5792192A JP H05253879 A JPH05253879 A JP H05253879A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は搬送方法及び搬送装置に関し、搬送
中の搬送物の振動を低減させた搬送方法及び搬送装置を
実現することを目的とする。 【構成】 過負荷発生時の逃げ機構を介して被搬送物を
支持して搬送するロボットによる搬送方法において、上
記被搬送物を搬送中は上記逃げ機構１１を真空吸着又は
電磁石を用いた固定手段１２により固定し、搬送中の被
搬送物の振動を低減させるように構成する。
中の搬送物の振動を低減させた搬送方法及び搬送装置を
実現することを目的とする。 【構成】 過負荷発生時の逃げ機構を介して被搬送物を
支持して搬送するロボットによる搬送方法において、上
記被搬送物を搬送中は上記逃げ機構１１を真空吸着又は
電磁石を用いた固定手段１２により固定し、搬送中の被
搬送物の振動を低減させるように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は搬送方法及び搬送装置に
関する。詳しくは、ロボット等で物体を搬送するとき、
過負荷などの検出機能（又はＲＣＣの逃げ機構）により
振動が発生するのを防止する方法に関する。
関する。詳しくは、ロボット等で物体を搬送するとき、
過負荷などの検出機能（又はＲＣＣの逃げ機構）により
振動が発生するのを防止する方法に関する。
【０００２】近年、半導体装置の製造工程において、ウ
エハ等の物体を移し換える時の搬送装置には、物体にダ
メージを与えない為に、過負荷を検出する機能を持たせ
ている。しかし、その検出機能が搬送中の振動の原因と
なることがあるので、その振動を低減させる必要があ
る。
エハ等の物体を移し換える時の搬送装置には、物体にダ
メージを与えない為に、過負荷を検出する機能を持たせ
ている。しかし、その検出機能が搬送中の振動の原因と
なることがあるので、その振動を低減させる必要があ
る。
【０００３】
【従来の技術】図７は従来のウエハ搬送用のロボットを
示す図である。この搬送ロボット１は、回転できる垂直
軸２と、該軸に取付けられた伸縮可能なアーム３と、該
アームの先端に取り付けられ、アームと平行な軸Ｘを中
心軸とする回転、及びアームと直角な軸Ｚを中心軸とす
る回転ができる搬送物吸着ユニット４とを具備して構成
されており、ウエハ５を樹脂カセット６と石英バスケッ
ト７との間を搬送できるようになっている。
示す図である。この搬送ロボット１は、回転できる垂直
軸２と、該軸に取付けられた伸縮可能なアーム３と、該
アームの先端に取り付けられ、アームと平行な軸Ｘを中
心軸とする回転、及びアームと直角な軸Ｚを中心軸とす
る回転ができる搬送物吸着ユニット４とを具備して構成
されており、ウエハ５を樹脂カセット６と石英バスケッ
ト７との間を搬送できるようになっている。
【０００４】そして、搬送物吸着ユニット４には、ウエ
ハ５をカセット６又はバスケット７に収容させるとき、
その溝８にあたり、ウエハ５を傷つけたり、発塵の原因
になるなどの問題があるため、過負荷を検出できるよう
になっている。そのため、ウエハ吸着ユニット４には図
８に示すように、ロボットのアームに取付けられる固定
板９とウエハ５を吸着保持する吸着板１０との間にばね
１１を設けて柔軟性を持たせ、過負荷を逃げると同時に
図示なき光ファイバセンサにより過負荷を検出できるよ
うになっている。
ハ５をカセット６又はバスケット７に収容させるとき、
その溝８にあたり、ウエハ５を傷つけたり、発塵の原因
になるなどの問題があるため、過負荷を検出できるよう
になっている。そのため、ウエハ吸着ユニット４には図
８に示すように、ロボットのアームに取付けられる固定
板９とウエハ５を吸着保持する吸着板１０との間にばね
１１を設けて柔軟性を持たせ、過負荷を逃げると同時に
図示なき光ファイバセンサにより過負荷を検出できるよ
うになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の搬送物吸着
ユニットでは、吸着板１０をばね１１を介して支持して
いるため、急激な搬送を行うと搬送物に振動が発生す
る。その結果カセット６やバスケット７にウエハを収容
しようとするとき、溝８に当たったり、あるいはウエハ
が吸着板１０から離れることがあるため、振動が収まる
まで待機せねばならないという問題があった。
ユニットでは、吸着板１０をばね１１を介して支持して
いるため、急激な搬送を行うと搬送物に振動が発生す
る。その結果カセット６やバスケット７にウエハを収容
しようとするとき、溝８に当たったり、あるいはウエハ
が吸着板１０から離れることがあるため、振動が収まる
まで待機せねばならないという問題があった。
【０００６】本発明は、搬送中の搬送物の振動を低減さ
せた搬送方法及び搬送装置を実現しようとする。
せた搬送方法及び搬送装置を実現しようとする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の搬送方法に於い
ては、過負荷発生時の逃げ機構を介して被搬送物を支持
して搬送するロボットによる搬送方法において、上記被
搬送物を搬送中は上記逃げ機構１１を真空吸着又は電磁
石を用いた固定手段１２により固定し、搬送中の被搬送
物の振動を低減させることを特徴とする。
ては、過負荷発生時の逃げ機構を介して被搬送物を支持
して搬送するロボットによる搬送方法において、上記被
搬送物を搬送中は上記逃げ機構１１を真空吸着又は電磁
石を用いた固定手段１２により固定し、搬送中の被搬送
物の振動を低減させることを特徴とする。
【０００８】また、本発明の搬送方法に於いては、被搬
送物支持部に過負荷発生時の逃げ機構を有する搬送装置
において、上記逃げ機構１１を真空吸着又は電磁石を用
いて固定する固定手段１２を設けて成ることを特徴とす
る。
送物支持部に過負荷発生時の逃げ機構を有する搬送装置
において、上記逃げ機構１１を真空吸着又は電磁石を用
いて固定する固定手段１２を設けて成ることを特徴とす
る。
【０００９】また、それに加えて、上記逃げ機構１１を
固定する固定手段１２に位置決め機能を持たせたことを
特徴とする。この構成を採ることにより、搬送中の搬送
物の振動を低減させた搬送方法及び搬送装置が得られ
る。
固定する固定手段１２に位置決め機能を持たせたことを
特徴とする。この構成を採ることにより、搬送中の搬送
物の振動を低減させた搬送方法及び搬送装置が得られ
る。
【００１０】
【作用】本発明では、図３に示すように、搬送物吸着ユ
ニット４の固定板９に吸着板１０を固定できる真空吸引
（又は電磁石）による固定手段１２を設けたことによ
り、搬送物（ウエハ５）を搬送中は同図（ｂ) に示すよ
うに固定手段１２を作動させて吸着板１０を固定でき
る。これにより搬送中の搬送物の振動を低減することが
できる。
ニット４の固定板９に吸着板１０を固定できる真空吸引
（又は電磁石）による固定手段１２を設けたことによ
り、搬送物（ウエハ５）を搬送中は同図（ｂ) に示すよ
うに固定手段１２を作動させて吸着板１０を固定でき
る。これにより搬送中の搬送物の振動を低減することが
できる。
【００１１】
【実施例】図１及び図２は本発明の搬送装置を示す図で
あり、図１は斜視図、図２は搬送物吸着ユニットを示す
図で、同図（ａ) は側面図、（ｂ）は（ａ）図のＺ矢視
図である。本実施例は、回転可能な垂直軸２と、該軸に
取り付けられた伸縮可能なアーム３と、アームと平行な
軸を中心軸とする回転、及びアームと直角な軸を中心軸
とする回転ができる搬送物吸着ユニット４を具備してい
ることは図７で説明した従来例と同様であり、異なると
ころは搬送物吸着ユニット４を改良したことである。
あり、図１は斜視図、図２は搬送物吸着ユニットを示す
図で、同図（ａ) は側面図、（ｂ）は（ａ）図のＺ矢視
図である。本実施例は、回転可能な垂直軸２と、該軸に
取り付けられた伸縮可能なアーム３と、アームと平行な
軸を中心軸とする回転、及びアームと直角な軸を中心軸
とする回転ができる搬送物吸着ユニット４を具備してい
ることは図７で説明した従来例と同様であり、異なると
ころは搬送物吸着ユニット４を改良したことである。
【００１２】即ち、本実施例における搬送物吸着ユニッ
ト４は図２に示すように、アームに取り付けられる固定
板９と、該固定板９にばね（過負荷発生時の逃げ機構）
１１を介して取り付けられた吸着板１０と、該吸着板１
０を固定板９に固定するための固定手段１２からなり、
該固定手段１２は吸着板１０に対し僅かな距離（逃げ機
構の作用を阻害しない程度の距離）を隔てて真空吸着面
１３を対向させたもので、該吸着面１３には真空通路１
４を開口させている。
ト４は図２に示すように、アームに取り付けられる固定
板９と、該固定板９にばね（過負荷発生時の逃げ機構）
１１を介して取り付けられた吸着板１０と、該吸着板１
０を固定板９に固定するための固定手段１２からなり、
該固定手段１２は吸着板１０に対し僅かな距離（逃げ機
構の作用を阻害しない程度の距離）を隔てて真空吸着面
１３を対向させたもので、該吸着面１３には真空通路１
４を開口させている。
【００１３】このように構成された本実施例装置を用い
た本発明の搬送方法を図３により説明する。先ず、ウエ
ハをカセットより取り出すときは、図３（ａ) に示すよ
うに吸着板の真空吸引口１５から真空吸引し、ウエハ５
を吸着し、カセットから引き上げる。次いで搬送に移る
前に、図３（ｂ) に示すように固定手段１２の真空吸引
口１６から真空吸引して真空吸着面１３に吸着板１０を
吸着し固定する。次いで図３（ｂ) の状態を維持してウ
エハ５をバスケットまで搬送する。ここで、固定手段１
２は吸着板１０の吸着を解除し、吸着ユニットは下降し
てウエハ５をバスケットに挿入する。また逆方向も同様
にして搬送する。
た本発明の搬送方法を図３により説明する。先ず、ウエ
ハをカセットより取り出すときは、図３（ａ) に示すよ
うに吸着板の真空吸引口１５から真空吸引し、ウエハ５
を吸着し、カセットから引き上げる。次いで搬送に移る
前に、図３（ｂ) に示すように固定手段１２の真空吸引
口１６から真空吸引して真空吸着面１３に吸着板１０を
吸着し固定する。次いで図３（ｂ) の状態を維持してウ
エハ５をバスケットまで搬送する。ここで、固定手段１
２は吸着板１０の吸着を解除し、吸着ユニットは下降し
てウエハ５をバスケットに挿入する。また逆方向も同様
にして搬送する。
【００１４】このようにウエハを搬送することにより、
ウエハを吸着保持している吸着板１０は固定手段１２に
よって固定板９に固定されるため搬送中の振動は低減さ
れる。従ってバスケット又はカセットへのウエハ挿入待
機時間が節減でき高速搬送が可能となる。また、ウエハ
のカセット又はバスケットからの取り出し、又は挿入時
は固定手段１２の吸着作用を解除するため、ウエハが溝
に当たるような場合の過負荷発生時の逃げ機構の機能を
阻害することはない。
ウエハを吸着保持している吸着板１０は固定手段１２に
よって固定板９に固定されるため搬送中の振動は低減さ
れる。従ってバスケット又はカセットへのウエハ挿入待
機時間が節減でき高速搬送が可能となる。また、ウエハ
のカセット又はバスケットからの取り出し、又は挿入時
は固定手段１２の吸着作用を解除するため、ウエハが溝
に当たるような場合の過負荷発生時の逃げ機構の機能を
阻害することはない。
【００１５】なお、上記の固定手段１２には位置決め機
能を付与することができる。図４（ａ) は固定手段１２
の真空通路１４の開口部に円錐形の窪み１７を形成し、
吸着板１０には該窪み１７に嵌合する突起１８を設けた
ものである。そして吸着板１０を吸着固定した場合は図
４（ｂ) に示すように円錐状の窪み１７と円錐状の突起
１８とが嵌合し吸着板１０の縦・横方向の位置決めをす
ることができる。
能を付与することができる。図４（ａ) は固定手段１２
の真空通路１４の開口部に円錐形の窪み１７を形成し、
吸着板１０には該窪み１７に嵌合する突起１８を設けた
ものである。そして吸着板１０を吸着固定した場合は図
４（ｂ) に示すように円錐状の窪み１７と円錐状の突起
１８とが嵌合し吸着板１０の縦・横方向の位置決めをす
ることができる。
【００１６】ここで位置決めは、１つは搬送中の位置決
めで他の１つはカセットなどに入れる直前までこの位置
決めを行っておくと、搬送中のトラブルを低減すること
ができる。（過負荷逃げ機構にばね性をもたせているた
め不定位置になり易い。）また図４の突起１８を図５の
如く半球状としても同様な効果が得られる。
めで他の１つはカセットなどに入れる直前までこの位置
決めを行っておくと、搬送中のトラブルを低減すること
ができる。（過負荷逃げ機構にばね性をもたせているた
め不定位置になり易い。）また図４の突起１８を図５の
如く半球状としても同様な効果が得られる。
【００１７】図６は本発明の搬送装置の他の実施例にお
ける搬送物吸着ユニットを示す図である。同図において
図２と同一部分は同一符号を付して示した。本実施例は
基本的には図２に示した前実施例と同様であり、異なる
ところは、固定手段１２を変更したことである。即ち固
定手段１２は前実施例では真空吸引機構を用いたが本実
施例では電磁石１９を用いたことである。このように構
成された本実施例は、電磁石１９を作動させることによ
り吸着板１０を吸引して固定することができる。従っ
て、ウエハの搬送において前実施例と同様な効果が得ら
れる。また、図４，図５と同様な位置決め機構を設ける
ことも可能である。
ける搬送物吸着ユニットを示す図である。同図において
図２と同一部分は同一符号を付して示した。本実施例は
基本的には図２に示した前実施例と同様であり、異なる
ところは、固定手段１２を変更したことである。即ち固
定手段１２は前実施例では真空吸引機構を用いたが本実
施例では電磁石１９を用いたことである。このように構
成された本実施例は、電磁石１９を作動させることによ
り吸着板１０を吸引して固定することができる。従っ
て、ウエハの搬送において前実施例と同様な効果が得ら
れる。また、図４，図５と同様な位置決め機構を設ける
ことも可能である。
【００１８】
【発明の効果】本発明に依れば、搬送物吸着ユニットの
吸着板を固定する固定手段を設けたことにより、搬送中
の搬送物の振動を低減することができ高速搬送が可能と
なる。また過負荷などの為に取り付け部に柔軟性を持た
せた吸着板の位置決めが可能となる。
吸着板を固定する固定手段を設けたことにより、搬送中
の搬送物の振動を低減することができ高速搬送が可能と
なる。また過負荷などの為に取り付け部に柔軟性を持た
せた吸着板の位置決めが可能となる。
【図１】本発明の搬送装置の実施例を示す斜視図であ
る。
る。
【図２】本発明の搬送装置の実施例における搬送物吸着
ユニットを示す図で、（ａ）は側面図、（ｂ）は（ａ）
図のＺ矢視図である。
ユニットを示す図で、（ａ）は側面図、（ｂ）は（ａ）
図のＺ矢視図である。
【図３】本発明の搬送方法を説明するための図である。
【図４】本発明の搬送装置の実施例における固定手段の
位置決め機構を示す図で、（ａ）は吸着前の状態、
（ｂ）は吸着状態を示す図である。
位置決め機構を示す図で、（ａ）は吸着前の状態、
（ｂ）は吸着状態を示す図である。
【図５】本発明の搬送装置の実施例における固定手段の
他の位置決め機構を示す図である。
他の位置決め機構を示す図である。
【図６】本発明の搬送装置の他の実施例における搬送物
吸着ユニットを示す図である。
吸着ユニットを示す図である。
【図７】従来の搬送装置を示す図である。
【図８】従来の搬送装置における搬送物吸着ユニットを
示す図で、（ａ）は側面図、（ｂ）は（ａ）図のＺ矢視
図、（ｃ）は（ａ）図のｃ−ｃ線における断面図であ
る。
示す図で、（ａ）は側面図、（ｂ）は（ａ）図のＺ矢視
図、（ｃ）は（ａ）図のｃ−ｃ線における断面図であ
る。
１…ロボット ２…垂直軸 ３…アーム ４…搬送物吸着ユニット ９…固定板 １０…吸着板 １１…ばね（過負荷逃げ機構） １２…固定手段 １３…真空吸着面 １４…真空通路 １５，１６…真空吸引口 １７…窪み １８…突起 １９…電磁石
Claims (3)
- 【請求項１】 過負荷発生時の逃げ機構を介して被搬送
物を支持して搬送するロボットによる搬送方法におい
て、 上記被搬送物を搬送中は上記逃げ機構（１１）を真空吸
着又は電磁石を用いた固定手段（１２）により固定し、
搬送中の被搬送物の振動を低減させることを特徴とする
搬送方法。 - 【請求項２】 被搬送物支持部に過負荷発生時の逃げ機
構を有する搬送装置において、 上記逃げ機構（１１）を真空吸着又は電磁石を用いて固
定する固定手段（１２）を設けて成ることを特徴とする
搬送装置。 - 【請求項３】 上記逃げ機構（１１）を固定する固定手
段（１２）に位置決め機能を持たせたことを特徴とする
請求項２の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5792192A JP3217110B2 (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5792192A JP3217110B2 (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05253879A true JPH05253879A (ja) | 1993-10-05 |
| JP3217110B2 JP3217110B2 (ja) | 2001-10-09 |
Family
ID=13069470
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5792192A Expired - Fee Related JP3217110B2 (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3217110B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001127139A (ja) * | 1999-09-16 | 2001-05-11 | Applied Materials Inc | 半導体処理装置用多面ロボットブレード |
| JP2011513887A (ja) * | 2008-03-13 | 2011-04-28 | ザイラテックス インターナショナル | エンドエフェクタ |
| CN111890383A (zh) * | 2020-08-11 | 2020-11-06 | 江苏昱博自动化设备有限公司 | 一种四路旋转座式助力机械手 |
| WO2021241181A1 (ja) * | 2020-05-29 | 2021-12-02 | オムロン株式会社 | ロボットの関節構造 |
-
1992
- 1992-03-16 JP JP5792192A patent/JP3217110B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001127139A (ja) * | 1999-09-16 | 2001-05-11 | Applied Materials Inc | 半導体処理装置用多面ロボットブレード |
| JP4596619B2 (ja) * | 1999-09-16 | 2010-12-08 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 基板処理システム、システム内で基板を移載する方法、基板処理システム用ロボットブレード、及び基板処理システム用ロボット |
| JP2011513887A (ja) * | 2008-03-13 | 2011-04-28 | ザイラテックス インターナショナル | エンドエフェクタ |
| WO2021241181A1 (ja) * | 2020-05-29 | 2021-12-02 | オムロン株式会社 | ロボットの関節構造 |
| US11865704B2 (en) | 2020-05-29 | 2024-01-09 | Omron Corporation | Joint structure for robot |
| CN111890383A (zh) * | 2020-08-11 | 2020-11-06 | 江苏昱博自动化设备有限公司 | 一种四路旋转座式助力机械手 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3217110B2 (ja) | 2001-10-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000328 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010626 |
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