JP3217110B2 - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JP3217110B2 JP3217110B2 JP5792192A JP5792192A JP3217110B2 JP 3217110 B2 JP3217110 B2 JP 3217110B2 JP 5792192 A JP5792192 A JP 5792192A JP 5792192 A JP5792192 A JP 5792192A JP 3217110 B2 JP3217110 B2 JP 3217110B2
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- Japan
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- suction
- plate
- suction plate
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は搬送装置に関する。
詳しくは、ロボット等で物体を搬送するとき、過負荷な
どの検出機能（又はＲＣＣの逃げ機構）により振動が発
生するのを防止可能とした搬送装置に関する。
詳しくは、ロボット等で物体を搬送するとき、過負荷な
どの検出機能（又はＲＣＣの逃げ機構）により振動が発
生するのを防止可能とした搬送装置に関する。
【０００２】近年、半導体装置の製造工程において、ウ
エハ等の物体を移し換える時の搬送装置には、物体にダ
メージを与えない為に、過負荷を検出する機能を持たせ
ている。しかし、その検出機能が搬送中の振動の原因と
なることがあるので、その振動を低減させる必要があ
る。
エハ等の物体を移し換える時の搬送装置には、物体にダ
メージを与えない為に、過負荷を検出する機能を持たせ
ている。しかし、その検出機能が搬送中の振動の原因と
なることがあるので、その振動を低減させる必要があ
る。
【０００３】
【従来の技術】図６は従来のウエハ搬送用のロボットを
示す図である。この搬送ロボット１は、回転できる垂直
軸２と、該軸に取付けられた伸縮可能なアーム３とを具
備し、該アームの先端にアームと平行な軸Ｘを中心軸と
する回転、及びアームと直角な軸Ｚを中心軸とする回転
ができる搬送物吸着用の搬送装置４が取付けられて構成
されており、ウエハ５を樹脂カセット６と石英バスケッ
ト７との間を搬送できるようになっている。
示す図である。この搬送ロボット１は、回転できる垂直
軸２と、該軸に取付けられた伸縮可能なアーム３とを具
備し、該アームの先端にアームと平行な軸Ｘを中心軸と
する回転、及びアームと直角な軸Ｚを中心軸とする回転
ができる搬送物吸着用の搬送装置４が取付けられて構成
されており、ウエハ５を樹脂カセット６と石英バスケッ
ト７との間を搬送できるようになっている。
【０００４】そして、搬送装置４には、ウエハ５をカセ
ット６又はバスケット７に収容させるとき、その溝８に
あたり、ウエハ５を傷つけたり、発塵の原因になるなど
の問題があるため、過負荷を検出できるようになってい
る。そのため、ウエハ吸着ユニット４には図７に示すよ
うに、ロボットのアームに取付けられる固定板９とウエ
ハ５を吸着保持する吸着板１０との間にばね１１を設け
て柔軟性を持たせ、過負荷を逃げると同時に図示なき光
ファイバセンサにより過負荷を検出できるようになって
いる。
ット６又はバスケット７に収容させるとき、その溝８に
あたり、ウエハ５を傷つけたり、発塵の原因になるなど
の問題があるため、過負荷を検出できるようになってい
る。そのため、ウエハ吸着ユニット４には図７に示すよ
うに、ロボットのアームに取付けられる固定板９とウエ
ハ５を吸着保持する吸着板１０との間にばね１１を設け
て柔軟性を持たせ、過負荷を逃げると同時に図示なき光
ファイバセンサにより過負荷を検出できるようになって
いる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の搬送装置で
は、吸着板１０をばね１１を介して支持しているため、
急激な搬送を行うと搬送物に振動が発生する。その結果
カセット６やバスケット７にウエハを収容しようとする
とき、溝８に当たったり、あるいはウエハが吸着板１０
から離れることがあるため、振動が収まるまで待機せね
ばならないという問題があった。
は、吸着板１０をばね１１を介して支持しているため、
急激な搬送を行うと搬送物に振動が発生する。その結果
カセット６やバスケット７にウエハを収容しようとする
とき、溝８に当たったり、あるいはウエハが吸着板１０
から離れることがあるため、振動が収まるまで待機せね
ばならないという問題があった。
【０００６】本発明は、搬送中の搬送物の振動を低減さ
せた搬送装置を実現しようとする。
せた搬送装置を実現しようとする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の搬送装置に於い
ては、被搬送物を吸着支持する吸着板１０と、該吸着板
１０を吸着する真空通路１４を有する固定板９とを具備
し、該固定板９に前記吸着板１０を過負荷発生時の逃げ
機構となるばね１１を介して支持させてなり、被搬送物
を前記吸着板１０に吸着支持させて搬送する搬送装置に
おいて、前記固定板９の真空通路１４の開口部に円錐状
の窪み１７を設けると共に、該窪み１７に対向して前記
吸着板１０に円錐状または半球状の突起１８を設け、前
記窪み１７に突起１８を真空吸着したとき前記吸着板１
０を位置決めして固定可能としたことを特徴とする。
ては、被搬送物を吸着支持する吸着板１０と、該吸着板
１０を吸着する真空通路１４を有する固定板９とを具備
し、該固定板９に前記吸着板１０を過負荷発生時の逃げ
機構となるばね１１を介して支持させてなり、被搬送物
を前記吸着板１０に吸着支持させて搬送する搬送装置に
おいて、前記固定板９の真空通路１４の開口部に円錐状
の窪み１７を設けると共に、該窪み１７に対向して前記
吸着板１０に円錐状または半球状の突起１８を設け、前
記窪み１７に突起１８を真空吸着したとき前記吸着板１
０を位置決めして固定可能としたことを特徴とする。
【０００８】また、それに加えて、上記逃げ機構１１を
固定する固定手段１２に位置決め機能を持たせたことを
特徴とする。この構成を採ることにより、搬送中の搬送
物の振動を低減させた搬送装置が得られる。
固定する固定手段１２に位置決め機能を持たせたことを
特徴とする。この構成を採ることにより、搬送中の搬送
物の振動を低減させた搬送装置が得られる。
【０００９】
【作用】本発明では、図３に示すように、搬送装置４の
固定板９に吸着板１０を固定できる真空吸引による固定
手段１２を設けたことにより、搬送物（ウエハ５）を搬
送中は同図（ｂ) に示すように固定手段１２を作動させ
て吸着板１０を固定できる。これにより搬送中の搬送物
の振動を低減することができる。また、固定手段の真空
通路１４の開口部に設けた窪み１７と被搬送物を支持す
る吸着板１０に設けた突起１８との嵌合により吸着板１
０の位置決めができる。
固定板９に吸着板１０を固定できる真空吸引による固定
手段１２を設けたことにより、搬送物（ウエハ５）を搬
送中は同図（ｂ) に示すように固定手段１２を作動させ
て吸着板１０を固定できる。これにより搬送中の搬送物
の振動を低減することができる。また、固定手段の真空
通路１４の開口部に設けた窪み１７と被搬送物を支持す
る吸着板１０に設けた突起１８との嵌合により吸着板１
０の位置決めができる。
【００１０】
【実施例】図１及び図２は本発明の搬送装置を示す図で
あり、図１はロボットと共に示す斜視図、図２は正面及
び側面を示す図で、同図（ａ) は側面図、（ｂ）は
（ａ）図のＺ矢視図（ｃ）は（ａ）図のｃ部拡大図であ
る。本実施例の搬送装置は、図１に示すように回転可能
な垂直軸２と、該軸に取り付けられた伸縮可能なアーム
３とを具備するロボットに、アームと平行な軸を中心軸
とする回転、及びアームと直角な軸を中心軸とする回転
ができるように取付けられることは図６で説明した従来
例と同様である。
あり、図１はロボットと共に示す斜視図、図２は正面及
び側面を示す図で、同図（ａ) は側面図、（ｂ）は
（ａ）図のＺ矢視図（ｃ）は（ａ）図のｃ部拡大図であ
る。本実施例の搬送装置は、図１に示すように回転可能
な垂直軸２と、該軸に取り付けられた伸縮可能なアーム
３とを具備するロボットに、アームと平行な軸を中心軸
とする回転、及びアームと直角な軸を中心軸とする回転
ができるように取付けられることは図６で説明した従来
例と同様である。
【００１１】本実施例の搬送装置４は図２に示すよう
に、ロボットのアームに取り付けられる固定板９と、該
固定板９にばね（過負荷発生時の逃げ機構）１１を介し
て取り付けられた吸着板１０と、該吸着板１０を固定板
９に固定するための固定手段１２からなり、該固定手段
１２は吸着板１０に対し僅かな距離（逃げ機構の作用を
阻害しない程度の距離）を隔てて真空吸着面１３を対向
させたもので、該吸着面１３には真空通路１４を開口さ
せている。
に、ロボットのアームに取り付けられる固定板９と、該
固定板９にばね（過負荷発生時の逃げ機構）１１を介し
て取り付けられた吸着板１０と、該吸着板１０を固定板
９に固定するための固定手段１２からなり、該固定手段
１２は吸着板１０に対し僅かな距離（逃げ機構の作用を
阻害しない程度の距離）を隔てて真空吸着面１３を対向
させたもので、該吸着面１３には真空通路１４を開口さ
せている。
【００１２】
また、前記固定手段１２は、図２（Ｃ）に
示すように固定板９の真空通路１４の開口部に円錐形の
窪み１７を設けると共に、吸着板１０には前記窪み１７
に嵌合できる円錐形の突起１８を設けて位置決め機構を
も兼ねている。
示すように固定板９の真空通路１４の開口部に円錐形の
窪み１７を設けると共に、吸着板１０には前記窪み１７
に嵌合できる円錐形の突起１８を設けて位置決め機構を
も兼ねている。
【００１３】このように構成された本実施例の搬送装置
の作用を図３により説明する。先ず、ウエハをカセット
より取り出すときは、図３（ａ) に示すように吸着板の
真空吸引口１５から真空吸引し、ウエハ５を吸着し、カ
セットから引き上げる。次いで搬送に移る前に、図３
（ｂ) に示すように固定手段１２の真空吸引口１６から
真空吸引して真空吸着面１３に吸着板１０を吸着し固定
する。次いで図３（ｂ) の状態を維持してウエハ５をバ
スケットまで搬送する。ここで、固定手段１２は吸着板
１０の吸着を解除し、吸着ユニットは下降してウエハ５
をバスケットに挿入する。また逆方向も同様にして搬送
する。
の作用を図３により説明する。先ず、ウエハをカセット
より取り出すときは、図３（ａ) に示すように吸着板の
真空吸引口１５から真空吸引し、ウエハ５を吸着し、カ
セットから引き上げる。次いで搬送に移る前に、図３
（ｂ) に示すように固定手段１２の真空吸引口１６から
真空吸引して真空吸着面１３に吸着板１０を吸着し固定
する。次いで図３（ｂ) の状態を維持してウエハ５をバ
スケットまで搬送する。ここで、固定手段１２は吸着板
１０の吸着を解除し、吸着ユニットは下降してウエハ５
をバスケットに挿入する。また逆方向も同様にして搬送
する。
【００１４】このようにウエハを搬送することにより、
ウエハを吸着保持している吸着板１０は固定手段１２に
よって固定板９に固定されるため搬送中の振動は低減さ
れる。従ってバスケット又はカセットへのウエハ挿入待
機時間が節減でき高速搬送が可能となる。また、ウエハ
のカセット又はバスケットからの取り出し、又は挿入時
は固定手段１２の吸着作用を解除するため、ウエハが溝
に当たるような場合の過負荷発生時の逃げ機構の機能を
阻害することはない。
ウエハを吸着保持している吸着板１０は固定手段１２に
よって固定板９に固定されるため搬送中の振動は低減さ
れる。従ってバスケット又はカセットへのウエハ挿入待
機時間が節減でき高速搬送が可能となる。また、ウエハ
のカセット又はバスケットからの取り出し、又は挿入時
は固定手段１２の吸着作用を解除するため、ウエハが溝
に当たるような場合の過負荷発生時の逃げ機構の機能を
阻害することはない。
【００１５】また、上記の固定手段１２は吸着板１０を
吸着固定した場合は図４（ｂ) に示すように円錐状の窪
み１７と円錐状の突起１８とが嵌合し吸着板１０の縦・
横方向の位置決めをすることができる。
吸着固定した場合は図４（ｂ) に示すように円錐状の窪
み１７と円錐状の突起１８とが嵌合し吸着板１０の縦・
横方向の位置決めをすることができる。
【００１６】ここで位置決めは、１つは搬送中の位置決
めで他の１つはカセットなどに入れる直前までこの位置
決めを行っておくと、搬送中のトラブルを低減すること
ができる。（過負荷逃げ機構にばね性をもたせているた
め不定位置になり易い。）また図４の突起１８を図５の
如く半球状としても同様な効果が得られる。
めで他の１つはカセットなどに入れる直前までこの位置
決めを行っておくと、搬送中のトラブルを低減すること
ができる。（過負荷逃げ機構にばね性をもたせているた
め不定位置になり易い。）また図４の突起１８を図５の
如く半球状としても同様な効果が得られる。
【００１７】
【発明の効果】本発明に依れば、搬送物吸着用の吸着板
を固定する固定手段を設けたことにより、搬送中の搬送
物の振動を低減することができ高速搬送が可能となる。
また過負荷などの為に取り付け部に柔軟性を持たせた吸
着板の位置決めが可能となる。
を固定する固定手段を設けたことにより、搬送中の搬送
物の振動を低減することができ高速搬送が可能となる。
また過負荷などの為に取り付け部に柔軟性を持たせた吸
着板の位置決めが可能となる。
【図１】本発明の搬送装置をロボットと共に示す斜視図
である。
である。
【図２】本発明の搬送装置の実施例を示す図で、（ａ）
は側面図、（ｂ）は（ａ）図のＺ矢視図、（ｃ）は
（ａ）図のｃ部拡大図である。
は側面図、（ｂ）は（ａ）図のＺ矢視図、（ｃ）は
（ａ）図のｃ部拡大図である。
【図３】本発明の搬送装置の実施例の作用を説明するた
めの図である。
めの図である。
【図４】本発明の搬送装置の実施例における固定手段の
位置決め機構を示す図で、（ａ）は吸着前の状態、
（ｂ）は吸着状態を示す図である。
位置決め機構を示す図で、（ａ）は吸着前の状態、
（ｂ）は吸着状態を示す図である。
【図５】本発明の搬送装置の実施例における固定手段の
他の位置決め機構を示す図である。
他の位置決め機構を示す図である。
【図６】従来の搬送装置をロボットと共に示す図であ
る。
る。
【図７】従来の搬送装置を示す図で、（ａ）は側面図、
（ｂ）は（ａ）図のＺ矢視図、（ｃ）は（ａ）図のｃ−
ｃ線における断面図である。
（ｂ）は（ａ）図のＺ矢視図、（ｃ）は（ａ）図のｃ−
ｃ線における断面図である。
１…ロボット ２…垂直軸 ３…アーム ４…搬送装置 ９…固定板 １０…吸着板 １１…ばね（過負荷逃げ機構） １２…固定手段 １３…真空吸着面 １４…真空通路 １５，１６…真空吸引口 １７…窪み １８…突起
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B25J 17/02 B25J 15/00 - 15/08 H01L 21/68 B65G 49/07 B23Q 7/04
Claims (1)
- 【請求項１】 被搬送物を吸着支持する吸着板（１０）
と、該吸着板（１０）を吸着する真空通路（１４）を有
する固定板（９）とを具備し、該固定板（９）に前記吸
着板（１０）を過負荷発生時の逃げ機構となるばね（１
１）を介して支持させてなり、被搬送物を前記吸着板
（１０）に吸着支持させて搬送する搬送装置において、前記固定板（９）の 真空通路（１４）の開口部に円錐状
の窪み（１７）を設けると共に、該窪み（１７）に対向
して前記吸着板（１０）に円錐状または半球状の突起
（１８）を設け、前記窪み（１７）に突起（１８）を真
空吸着したとき前記吸着板（１０）を位置決めして固定
可能としたことを特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5792192A JP3217110B2 (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5792192A JP3217110B2 (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05253879A JPH05253879A (ja) | 1993-10-05 |
| JP3217110B2 true JP3217110B2 (ja) | 2001-10-09 |
Family
ID=13069470
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5792192A Expired - Fee Related JP3217110B2 (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3217110B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6481951B1 (en) * | 1999-09-16 | 2002-11-19 | Applied Materials, Inc. | Multiple sided robot blade for semiconductor processing equipment |
| US8182009B2 (en) * | 2008-03-13 | 2012-05-22 | Xyratex Technology, Ltd. | End effector |
| TWI769804B (zh) * | 2020-05-29 | 2022-07-01 | 日商歐姆龍股份有限公司 | 機器人的關節結構 |
| CN111890383B (zh) * | 2020-08-11 | 2021-09-24 | 江苏昱博自动化设备有限公司 | 一种四路旋转座式助力机械手 |
-
1992
- 1992-03-16 JP JP5792192A patent/JP3217110B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05253879A (ja) | 1993-10-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000328 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010626 |
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