JP2005012033A - 搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウエハを搬送するための搬送アーム10を備えている搬送装置において、搬送アーム10のアーム本体11の先端に半導体ウエハを真空吸着するための吸着孔13を有する先端部12を回転可能に設けた。アーム本体11を支持する支持部に配置されたモータ57を駆動して半導体ウエハの変形状態に応じて先端部12を回転させる。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は搬送装置に関し、特に大口径の半導体ウエハを搬送する搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体の製造プロセスでは半導体ウエハを自動的に搬送する搬送装置が用いられている。
【0003】
搬送装置としては半導体ウエハを搬送するための搬送アームを備えるものが知られている。
【0004】
この搬送装置では、半導体ウエハの下面を真空吸着し、回路パターンが形成されている上面を上向きにして半導体ウエハが搬送される。
【0005】
半導体ウエハの吸着は搬送アームの先端部に設けられた吸着孔によって行われる。
【0006】
【特許文献】
特開平11−33948号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年の半導体ウエハの大型化に伴い、吸着力を高めるために半導体ウエハに対する吸着孔の面積を大きくしたり、吸着孔の数を増加させたりすることが行われている。
【0008】
しかし、半導体ウエハの製造工程では、薄膜を形成する際にゆがみが生じたり半導体ウエハを薄くするために下面を削る際に加工変形が生じたりすることを避けることはできない。特に、ウエハが大径の場合には変形が発生し易いという傾向がある。
【0009】
例えば、半導体ウエハが円弧状に反っている場合、半導体ウエハの下面と搬送アームの先端部の上面との間に隙間が生じ、半導体ウエハの下面を真空吸着することができなくなるというおそれがあった。
【0010】
この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題は変形した基板も確実に搬送することができる搬送装置を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため請求項1記載の発明は、基板を搬送するための搬送アームを備えている搬送装置において、前記搬送アームが、アーム本体と、このアーム本体の先端に回転可能に設けられ、前記基板を真空吸着するための吸着孔を有する先端部と、前記先端部の前記基板と接触する面と直交する軸回りに前記先端部を回転駆動させる回転駆動手段とを有することを特徴とする。
【0012】
請求項2に記載の発明は、請求項1記載の搬送装置において、前記回転駆動手段は、前記先端部に固定され、前記先端部の前記基板と接触する面と直交する軸回りに回転可能に前記アーム本体に支持された固定軸と、前記アーム本体を支持する支持部に配置されたモータと、前記固定軸と前記モータの回転軸との間に架け渡されたベルトとを有することを特徴とする。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【0014】
図1はこの発明の一実施形態に係る搬送装置の斜視図である。
【0015】
この搬送装置は、搬送アーム10、ウエハカセット20、XYステージ30等を備えている。
【0016】
ウエハカセット20には被搬送物である複数の半導体ウエハ(基板)21が水平に保持された状態で収容されている。このウエハカセット20には半導体ウエハ21が存在するか否かを検出するため、カセット挿入口22の近傍にウエハマッピングセンサ23が配置されている。
【0017】
このウエハマッピングセンサ23は、例えば反射型又は透過型の光センサである。このウエハマッピングセンサ23はウエハカセット20内の半導体ウエハ21の有無を検出し、この検出信号を電気信号(例えば直流レベルのHi/Lo信号)として制御部50(図4参照)に出力する。
【0018】
なお、ウエハマッピングセンサ23としては機械的に作動するスイッチ等であってもよく、要はウエハカセット20内に半導体ウエハ21が有るときには「ウエハ有り」を示す信号を、半導体ウエハ21が無いときには「ウエハ無し」を示す信号を出力するものであればよい。
【0019】
搬送アーム10は、アーム本体11と、このアーム本体11の先端に回転可能に設けられ、半導体ウエハ21を真空吸着するための吸着孔13を有する先端部12とを有する。先端部12はほぼ二等辺三角形であり、その上面の各頂部に吸着孔13が開口している。
【0020】
吸着孔13はバキューム配管(図示せず)を介して真空ポンプ(図示せず)に接続され、半導体ウエハ21の下面を真空吸着する。
【0021】
バキューム配管の途中には真空センサ(図示せず)が設けられている。真空センサは真空吸着時の真空圧を検出し、検出信号を制御部50に出力する。吸着孔13、バキューム配管及び真空ポンプで図4の吸着機構部52が構成される。
【0022】
アーム本体11の後端部は円筒状の支持部14に支持されている。支持部14は支持台15に形成された溝16に摺動可能に収容されている。なお、支持部14は支持部本体14aと支持部本体14aに対して出没可能な入れ子部14bとで構成されている。
【0023】
XYステージ30は、架台31上をX方向及びY方向へ移動させるXY方向駆動部(図示せず)とXYステージを上下方向へ移動させるZ方向駆動部(図示せず)とを有する。XYステージ30の上面には半導体ウエハ21が載置される。
【0024】
XYステージ30には、半導体ウエハ21を搬送アーム10からXYステージ30の上面に渡すため、先端部12を受入れ可能な切欠部(図示せず)が形成されている。
【0025】
また、搬送装置はそれぞれモータ、アクチュエータ等の駆動部品で構成される上下動機構、水平動機構及び回転機構を有する。各機構の動作は制御部50によって制御される。なお、各機構と搬送アーム10とで図4の搬送系アーム51が構成される。
【0026】
上下動機構は入れ子部14bを支持部本体14aに対してZ軸方向へ移動させることによって水平方向へ延びる搬送アーム10をZ軸方向へ移動させる。
【0027】
水平動機構は溝16に沿って支持部14を移動させることによって待機位置(図1に示す位置)とウエハ吸着位置との間で搬送アーム10をY軸方向へ移動させる。上下動機構及び水平動機構は半導体ウエハ21を受け取るために使用される。
【0028】
回転機構は搬送アーム10を支持部14を中心として水平方向に回転させる。回転機構は受け取った半導体ウエハ21をXYステージ30に載置するために使用される。
【0029】
図2(a)は搬送アームの部分拡大平面図、図2(b)は搬送アームの一部を断面で示した概念図である。
【0030】
搬送アーム10は先端部12の半導体ウエハ21と接触する面と直交する軸回りに先端部12を回転駆動させる回転機構部(回転駆動手段)55を有する。
【0031】
回転機構部55は固定軸56とモータ57とベルト58とで構成される。
【0032】
この固定軸56の一端は先端部12に固定されている。また、固定軸56の他端はアーム本体11に先端部12の半導体ウエハ21と接触する面と直交する軸回りに回転可能に支持されている。
【0033】
モータ57はアーム本体11を支持する支持部14内に配置されている。
【0034】
ベルト58は固定軸56に固定されたプーリ56aとモータ57の回転軸に固定されたプーリ57aとの間に架け渡されている。
【0035】
図3は先端部を回転させた状態を示す搬送アームの部分拡大平面図である。
【0036】
モータ57を時計方向へ駆動させたとき、駆動力はベルト58を介して固定軸56に伝達され、先端部12が矢印aに示す方向へ回転する。
【0037】
図4は搬送装置の駆動系を説明するための示すブロック図である。
【0038】
制御部50はウエハマッピングセンサ23から出力される検出信号によってウエハカセット20に半導体ウエハ21が存在するか否かを判断する。
【0039】
ウエハマッピングセンサ23から出力される検出信号がHiであるとき、制御部50はウエハカセット20に半導体ウエハ21が存在すると判断し、所定のシーケンスで搬送系アーム51、回転機構部55及び吸着機構部52を制御して搬送動作を行わせる。
【0040】
次に、円弧状に反った半導体ウエハ21を搬送する場合を説明する。
【0041】
図5(a)は先端部に半導体ウエハの下面が密着できないときの先端部と半導体ウエハとの位置関係を示す斜視図、図5(b)は先端部に半導体ウエハの下面が密着できるときの先端部と半導体ウエハとの位置関係を示す斜視図である。
【0042】
搬送動作を開始するとき、制御部50は先端部12がウエハカセット20の半導体ウエハ21と対向する位置へ移動するように、搬送系アーム51を制御する。
【0043】
その後、制御部50は搬送アーム10の先端部12にウエハカセット20内の半導体ウエハ21が乗るように、搬送系アーム51を駆動させる。
【0044】
制御部50は吸着機構部52の真空ポンプを駆動させて半導体ウエハ21を先端部12に吸着させるとともに、真空センサから出力される検出信号の大きさが所定レベルに達したか否かを判断する。
【0045】
先端部12と半導体ウエハ21とが図5(a)に示す位置関係にあるとき(上方から見て軸AX1と軸AX2とが交差するとき)、吸着孔13と半導体ウエハ21との間に隙間が生じるため、先端部12に半導体ウエハ21の下面が真空吸着できず、真空センサの検出信号の大きさが所定レベルに達しない。
【0046】
このとき、制御部50は、搬送アーム10が待機位置へ戻り、モータ(回転機構部55)を駆動して先端部12が例えば矢印bに示すように所定角度だけ回転するように、搬送系アーム51を制御する。制御部50は検出信号の大きさが所定レベルに達するまで上記制御を実行する。
【0047】
半導体ウエハ21と先端部12とが図5(b)に示す位置関係になったとき(上方から見て軸AX1と軸AX2とが重なったとき)、半導体ウエハ21の下面と3つの吸着孔13とのそれぞれの距離の差が最小になり、先端部12に半導体ウエハ21の下面が真空吸着され易くなる。
【0048】
半導体ウエハ21が真空吸着され、真空センサの検出信号の大きさが所定レベルに達したとき、制御部50は半導体ウエハ21がウエハカセット20から取り出され、搬送アーム10が待機位置まで戻るように、搬送系アーム51を制御する。
【0049】
その後、制御部50は搬送アーム10が所定角度だけ回転して待機位置からXYステージ30へ半導体ウエハ21を搬送し、XYステージ30の上面に載置するように、搬送系アーム51を制御する。
【0050】
この実施形態によれば、半導体ウエハ21を先端部12の上面に常に面接触に近い状態で吸着させることができるため、変形した半導体ウエハ21も確実に搬送することができる。
【0051】
また、モータ57がアーム本体11を支持する支持部14内に配置されているので、先端部12を薄くできるとともに、軽くすることができる。
【0052】
なお、上記実施形態では吸着孔13の数は3個であるが、この数に限られるものではなく、例えば4個以上であってもよい。
【0053】
また、上記実施形態では先端部12の形状はほぼ二等辺三角形であるが、これに限られるものではなく、例えば矩形のような多角形であってもよい。
【0054】
【発明の効果】
以上に説明したようにこの発明によれば、変形した基板であっても確実に搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1はこの発明の一実施形態に係る搬送装置の斜視図である。
【図2】図2(a)は搬送アームの部分拡大平面図、図2(b)は搬送アームの一部を断面で示した概念図である。
【図3】図3は先端部を回転させた状態を示す搬送アームの部分拡大平面図である。
【図4】図4は搬送装置の駆動系を説明するための示すブロック図である。
【図5】図5(a)は先端部に半導体ウエハの下面が密着できないときの先端部と半導体ウエハとの位置関係を示す斜視図、図5(b)は先端部に半導体ウエハの下面が密着できるときの先端部と半導体ウエハとの位置関係を示す斜視図である。
【符号の説明】
10 搬送アーム
11 アーム本体
12 先端部
13 吸着孔
14 支持部
21 半導体ウエハ(基板)
55 回転機構部(回転駆動手段)
56 固定軸
57 モータ
58 ベルト
Claims (2)
- 基板を搬送するための搬送アームを備えている搬送装置において、
前記搬送アームが、
アーム本体と、
このアーム本体の先端に回転可能に設けられ、前記基板を真空吸着するための吸着孔を有する先端部と、
前記先端部の前記基板と接触する面と直交する軸回りに前記先端部を回転駆動させる回転駆動手段と
を有することを特徴とする搬送装置。 - 前記回転駆動手段は、
前記先端部に固定され、前記先端部の前記基板と接触する面と直交する軸回りに回転可能に前記アーム本体に支持された固定軸と、
前記アーム本体を支持する支持部に配置されたモータと、
前記固定軸と前記モータの回転軸との間に架け渡されたベルトと
を有することを特徴とする請求項1記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003175655A JP2005012033A (ja) | 2003-06-20 | 2003-06-20 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2005012033A true JP2005012033A (ja) | 2005-01-13 |
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JP2003175655A Pending JP2005012033A (ja) | 2003-06-20 | 2003-06-20 | 搬送装置 |
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Country | Link |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2003
- 2003-06-20 JP JP2003175655A patent/JP2005012033A/ja active Pending
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