JPH0238796B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0238796B2 JPH0238796B2 JP63237471A JP23747188A JPH0238796B2 JP H0238796 B2 JPH0238796 B2 JP H0238796B2 JP 63237471 A JP63237471 A JP 63237471A JP 23747188 A JP23747188 A JP 23747188A JP H0238796 B2 JPH0238796 B2 JP H0238796B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- primary pump
- primary
- relay
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000004913 activation Effects 0.000 claims description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 206010010904 Convulsion Diseases 0.000 description 1
- 239000002775 capsule Substances 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B41/00—Pumping installations or systems specially adapted for elastic fluids
- F04B41/06—Combinations of two or more pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B49/00—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
- F04B49/02—Stopping, starting, unloading or idling control
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Air Blowers (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は直列に接続された真空ポンプの起動方
法に係る。
法に係る。
本発明はまた、該方法を実施し得る装置に係
る。
る。
発明の背景
工業用真空装置においては、1つの一次ポンプ
と1つ以上の二次ポンプとを含む直列に接続され
た複数のポンプが使用される。これらの二次ポン
プは一般に、例えば「ルーツ」ポンプ、「スクリ
ユー」ポンプまたは「スパイラル」ポンプ型の回
転ポンプである。ポンプ出力は熱的拘束及び機械
的拘束によつて制約され、またポンプ出力が入口
と出口との圧力差の関数なので常圧でポンプを起
動することができない。まず一次ポンプを起動し
て二次ポンプの許容値まで圧力を下げる必要があ
る。
と1つ以上の二次ポンプとを含む直列に接続され
た複数のポンプが使用される。これらの二次ポン
プは一般に、例えば「ルーツ」ポンプ、「スクリ
ユー」ポンプまたは「スパイラル」ポンプ型の回
転ポンプである。ポンプ出力は熱的拘束及び機械
的拘束によつて制約され、またポンプ出力が入口
と出口との圧力差の関数なので常圧でポンプを起
動することができない。まず一次ポンプを起動し
て二次ポンプの許容値まで圧力を下げる必要があ
る。
圧力が許容値に到達した時点を決定するために
吸引ダクトに公知のごとく圧力計を接続する。圧
力計は感圧カプセルから成り、その変形によつて
電気接触器を閉鎖する。該電気接触器は二次ポン
プの制御回路に接続されており二次ポンプの起動
を生起する。
吸引ダクトに公知のごとく圧力計を接続する。圧
力計は感圧カプセルから成り、その変形によつて
電気接触器を閉鎖する。該電気接触器は二次ポン
プの制御回路に接続されており二次ポンプの起動
を生起する。
この種の圧力計は、腐食及び塵埃ガスに弱く、
また低圧では振動に敏感である。従つて信頼性が
あまりよくない。このため二次ポンプが起動され
ないことがありまたはもつと悪い場合には焼き付
きの恐れがあるような高圧で起動されたりする。
また低圧では振動に敏感である。従つて信頼性が
あまりよくない。このため二次ポンプが起動され
ないことがありまたはもつと悪い場合には焼き付
きの恐れがあるような高圧で起動されたりする。
本発明方法では圧力計を削除し、圧力を直接測
定するのでなく、所定の範囲内では圧力と同様の
法則で変化する物理量を測定する。
定するのでなく、所定の範囲内では圧力と同様の
法則で変化する物理量を測定する。
発明の概要
本発明の目的は、一次ポンプと、真空を成立さ
せるべき室と前記一次ポンプとの間に配置された
少なくとも1つの二次ポンプとを含む直列に接続
された真空ポンプの起動方法を提供することであ
る。本発明方法では、まず一次ポンプを起動し、
次に一次ポンプの回転によつて減少した一次ポン
プの吸込み圧力が許容値に到達したときに二次ポ
ンプを起動する。本発明方法の特徴は、圧力の法
則と同様の法則で変化する一次ポンプ関連の物理
量を利用して二次ポンプ内の圧力を決定すること
である。
せるべき室と前記一次ポンプとの間に配置された
少なくとも1つの二次ポンプとを含む直列に接続
された真空ポンプの起動方法を提供することであ
る。本発明方法では、まず一次ポンプを起動し、
次に一次ポンプの回転によつて減少した一次ポン
プの吸込み圧力が許容値に到達したときに二次ポ
ンプを起動する。本発明方法の特徴は、圧力の法
則と同様の法則で変化する一次ポンプ関連の物理
量を利用して二次ポンプ内の圧力を決定すること
である。
本発明の目的はまた、前記方法を実施し得る装
置を提供することである。本発明装置は、手動ス
イツチによつて制御されるコイルと一次ポンプの
モータに3つの相を接続する3つの接触器とをも
つ第1の電磁継電器と、二次ポンプをオンに切り
替える第2の電磁継電器とを含む。本発明装置の
特徴は、前記第2継電器のコイルが、第1継電器
の時間遅延を導入する第4接触器と、一次ポンプ
の吸込み圧力の関数として変化する一次ポンプ関
連の物理量を測定する検出器の接触器とを介して
給電されることである。
置を提供することである。本発明装置は、手動ス
イツチによつて制御されるコイルと一次ポンプの
モータに3つの相を接続する3つの接触器とをも
つ第1の電磁継電器と、二次ポンプをオンに切り
替える第2の電磁継電器とを含む。本発明装置の
特徴は、前記第2継電器のコイルが、第1継電器
の時間遅延を導入する第4接触器と、一次ポンプ
の吸込み圧力の関数として変化する一次ポンプ関
連の物理量を測定する検出器の接触器とを介して
給電されることである。
この検出器は、モータへの給電相の1つに配置
され、吸収されたパワーを直接測定する電流継電
器でもよい。検出器はまた、ポンプに配置された
振動検出器または音量検出器でもよい。これらの
2つの物理量(音量または振動の振幅)は吸収さ
れたパワーの法則と同じ法則で変化する。
され、吸収されたパワーを直接測定する電流継電
器でもよい。検出器はまた、ポンプに配置された
振動検出器または音量検出器でもよい。これらの
2つの物理量(音量または振動の振幅)は吸収さ
れたパワーの法則と同じ法則で変化する。
具体例
1つの二次ポンプを含む真空装置に使用された
添付図面に示す非限定具体例に基づいて本発明の
方法及び装置をより詳細に説明する。
添付図面に示す非限定具体例に基づいて本発明の
方法及び装置をより詳細に説明する。
第1図は、一次ポンプによつて吸収されたパワ
ーの変化を吸込み圧力の関数として示すグラフで
ある。300ミリバールに等しい所定の閾値を越え
てから10-3ミリバールの限界真空まではこのパワ
ーが減少することが理解されよう。
ーの変化を吸込み圧力の関数として示すグラフで
ある。300ミリバールに等しい所定の閾値を越え
てから10-3ミリバールの限界真空まではこのパワ
ーが減少することが理解されよう。
一次ポンプの振動の振幅及び音量も同等の法則
に従つて変化する。
に従つて変化する。
第2図は、一次ポンプAと二次ポンプBと真空
を成立させるべき処理室Eと2つのモータM1,
M2への給電回路とを含む装置を停止状態で示
す。
を成立させるべき処理室Eと2つのモータM1,
M2への給電回路とを含む装置を停止状態で示
す。
従来同様に各ポンプは三相モータによつて駆動
され、これらのモータの各々は継電器を介して給
電される。一次ポンプAのモータM1は継電器1
0の3つの接触器12を介して給電され、二次ポ
ンプBのモータM2は継電器20の3つの接触器
22を介して給電される。
され、これらのモータの各々は継電器を介して給
電される。一次ポンプAのモータM1は継電器1
0の3つの接触器12を介して給電され、二次ポ
ンプBのモータM2は継電器20の3つの接触器
22を介して給電される。
継電器10はコイル11を含み、このコイルは
一次ポンプを起動するためにオペレータが操作し
得るスイツチIによつて給電される。この継電器
はまた、時間遅延を導入する第4接触器13を備
え、この接触器は検出器30の接触器31と直列
に接続されている。継電器20のコイル21はこ
れらの2つの接触器13及び31を介して給電さ
れる。
一次ポンプを起動するためにオペレータが操作し
得るスイツチIによつて給電される。この継電器
はまた、時間遅延を導入する第4接触器13を備
え、この接触器は検出器30の接触器31と直列
に接続されている。継電器20のコイル21はこ
れらの2つの接触器13及び31を介して給電さ
れる。
第2図において検出器30は一次ポンプのモー
タM1の給電相の1つに接続された電流継電器で
ある。
タM1の給電相の1つに接続された電流継電器で
ある。
かかる装置は以下のごとく作動する。
ポンプ動作を開始させるときにはまずスイツチ
Iを入れて一次ポンプAを起動する。接触器12
が閉じモータM1が回転する。この起動時点で接
触器31が閉じる。但し、接触器13の閉鎖は遅
れて生じる。従つて継電器20のコイル21には
給電されずモータM2は起動されない。電流継電
器30は多量のパワーを吸収したモータM1によ
つて励起され、その結果接触器31が開く。接触
器13の時間遅延は、接触器31が開いた後に接
触器13が閉じるように設計され、接触器31が
開いているので継電器20のコイル21が給電さ
れない。ポンプAの吸込み圧力が所定の閾値まで
減少すると吸収されたパワーが低下し給電電流も
低下して電流継電器30の励起が停止する。接触
器31が閉鎖され、継電器20のコイル21に給
電される。接触器22が閉じているのでポンプB
が起動される。
Iを入れて一次ポンプAを起動する。接触器12
が閉じモータM1が回転する。この起動時点で接
触器31が閉じる。但し、接触器13の閉鎖は遅
れて生じる。従つて継電器20のコイル21には
給電されずモータM2は起動されない。電流継電
器30は多量のパワーを吸収したモータM1によ
つて励起され、その結果接触器31が開く。接触
器13の時間遅延は、接触器31が開いた後に接
触器13が閉じるように設計され、接触器31が
開いているので継電器20のコイル21が給電さ
れない。ポンプAの吸込み圧力が所定の閾値まで
減少すると吸収されたパワーが低下し給電電流も
低下して電流継電器30の励起が停止する。接触
器31が閉鎖され、継電器20のコイル21に給
電される。接触器22が閉じているのでポンプB
が起動される。
もし何らかの理由で一次ポンプの吸込み圧力が
増加すると、電流継電器30が再度励起され接触
器31が開きポンプBの給電が遮断される。
増加すると、電流継電器30が再度励起され接触
器31が開きポンプBの給電が遮断される。
第3図の変形具体例では電流継電器に代替して
振動の振幅または音量を検出する検出器40が電
流モータ−ポンプアセンブリに配置され協働する
接触器41の開閉を制御する。
振動の振幅または音量を検出する検出器40が電
流モータ−ポンプアセンブリに配置され協働する
接触器41の開閉を制御する。
第1図は一次ポンプで吸収されたパワーの変化
を吸込み圧力の関数として示すグラフ、第2図は
一方が一次ポンプ他方が二次ポンプを駆動する2
つのモータの給電回路を備えた真空装置を示す説
明図、第3図は給電回路の別の具体例の説明図で
ある。 A……一次ポンプ、B……二次ポンプ、E……
処理室、M1,M2……モータ、10,20……
継電器、12,22……接触器、21……コイ
ル、30……検出器。
を吸込み圧力の関数として示すグラフ、第2図は
一方が一次ポンプ他方が二次ポンプを駆動する2
つのモータの給電回路を備えた真空装置を示す説
明図、第3図は給電回路の別の具体例の説明図で
ある。 A……一次ポンプ、B……二次ポンプ、E……
処理室、M1,M2……モータ、10,20……
継電器、12,22……接触器、21……コイ
ル、30……検出器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 一次ポンプと、真空を成立させるべき室と前
記一次ポンプとの間に配置された少なくとも1つ
の二次ポンプとを含む直列接続真空ポンプにおい
て、まず一次ポンプが起動され、次に一次ポンプ
の回転によつて低下した一次ポンプの吸込み圧力
が許容値に到達したときに二次ポンプが起動され
るポンプ起動方法であつて、圧力の法則と同じ法
則に従つて変化する一次ポンプ関連の物理量を利
用して二次ポンプ内の圧力を決定することを特徴
とする方法。 2 手動スイツチによつて制御されるコイルと一
次ポンプのモータに3つの相を接続する3つの接
触器とをもつ第1電磁継電器と、二次ポンプをオ
ンに切り替える第2電磁継電器とを含む装置であ
つて、前記第2継電器のコイルが第1継電器の時
間遅延を導入する第4接触器と一次ポンプの吸込
み圧力の関数として変化する一次ポンプ関連の物
理量を測定する検出器の接触器とを介して給電さ
れることを特徴とする請求項1に記載の方法を実
施する起動装置。 3 検出器が一次ポンプのモータへの給電相の1
つに配置された電流継電器であることを特徴とす
る請求項2に記載の装置。 4 検出器が一次ポンプ及びモータのアセンブリ
に配置された振動検出器または音量検出器である
ことを特徴とする請求項2に記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR8713267 | 1987-09-25 | ||
FR8713267A FR2621141B1 (fr) | 1987-09-25 | 1987-09-25 | Procede de demarrage de pompes a vide couplees en serie, et dispositif permettant la mise en oeuvre de ce procede |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01106980A JPH01106980A (ja) | 1989-04-24 |
JPH0238796B2 true JPH0238796B2 (ja) | 1990-08-31 |
Family
ID=9355219
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63237471A Granted JPH01106980A (ja) | 1987-09-25 | 1988-09-21 | 直列接続された真空ポンプの起動方法及び該方法の実施装置 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4887941A (ja) |
EP (1) | EP0308846B1 (ja) |
JP (1) | JPH01106980A (ja) |
AT (1) | ATE68565T1 (ja) |
DE (1) | DE3865615D1 (ja) |
ES (1) | ES2026620T3 (ja) |
FR (1) | FR2621141B1 (ja) |
GR (1) | GR3003251T3 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004090332A1 (en) * | 2003-04-10 | 2004-10-21 | Ebara Corporation | Dry vacuum pump and method of starting same |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02102385A (ja) * | 1988-10-08 | 1990-04-13 | Toyo Eng Corp | 排気装置 |
FR2652390B1 (fr) * | 1989-09-27 | 1991-11-29 | Cit Alcatel | Groupe de pompage a vide. |
US5217273A (en) * | 1992-05-14 | 1993-06-08 | H-Square Corporation | Serial pumping for portable handling tool of electronic workpieces |
JP3847357B2 (ja) * | 1994-06-28 | 2006-11-22 | 株式会社荏原製作所 | 真空系の排気装置 |
JP3406834B2 (ja) * | 1998-05-19 | 2003-05-19 | 株式会社東海理化電機製作所 | モータ駆動回路 |
JP3929185B2 (ja) * | 1998-05-20 | 2007-06-13 | 株式会社荏原製作所 | 真空排気装置及び方法 |
US6045331A (en) * | 1998-08-10 | 2000-04-04 | Gehm; William | Fluid pump speed controller |
JP2002541541A (ja) * | 1999-04-07 | 2002-12-03 | アルカテル | 真空チャンバ内の圧力を調整するためのシステム、このシステムを装備した真空ポンピングユニット |
DE10130426B4 (de) * | 2001-06-23 | 2021-03-18 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpsystem |
DE20214764U1 (de) * | 2002-09-19 | 2002-11-21 | Stöber Antriebstechnik GmbH & Co, 75177 Pforzheim | Schalteinrichtung zur Ansteuerung wenigstens zweier Motoren |
US7033142B2 (en) * | 2003-01-24 | 2006-04-25 | Pfeifer Vacuum Gmbh | Vacuum pump system for light gases |
JP4218756B2 (ja) * | 2003-10-17 | 2009-02-04 | 株式会社荏原製作所 | 真空排気装置 |
US7028491B2 (en) * | 2004-03-29 | 2006-04-18 | Tecumseh Products Company | Method and apparatus for reducing inrush current in a multi-stage compressor |
GB0418771D0 (en) * | 2004-08-20 | 2004-09-22 | Boc Group Plc | Evacuation of a load lock enclosure |
US20070020115A1 (en) * | 2005-07-01 | 2007-01-25 | The Boc Group, Inc. | Integrated pump apparatus for semiconductor processing |
JP4737770B2 (ja) * | 2006-09-12 | 2011-08-03 | アネスト岩田株式会社 | 真空ポンプの運転制御装置および方法 |
US8506259B2 (en) | 2009-12-23 | 2013-08-13 | Solar Turbines Inc. | Fluid compression system |
FR2969721B1 (fr) * | 2010-12-23 | 2013-01-04 | Fontaine Piscines | Dispositif de vidange soufflant et procede de vidange par soufflage |
US10428807B2 (en) * | 2011-12-09 | 2019-10-01 | Applied Materials, Inc. | Pump power consumption enhancement |
JP2018178846A (ja) * | 2017-04-12 | 2018-11-15 | 株式会社荏原製作所 | 真空ポンプ装置の運転制御装置、及び運転制御方法 |
JP7218706B2 (ja) * | 2019-10-18 | 2023-02-07 | 株式会社島津製作所 | 真空排気装置および真空排気装置の起動方法 |
CN111306027B (zh) * | 2020-02-17 | 2022-11-11 | 柳州柳工挖掘机有限公司 | 旋挖钻机主泵功率控制方法及*** |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2246932A (en) * | 1939-09-21 | 1941-06-24 | Chicago Pneumatic Tool Co | Combination single and two stage vacuum pump |
US2295775A (en) * | 1940-10-31 | 1942-09-15 | Westinghouse Air Brake Co | Compressor control apparatus |
US2926835A (en) * | 1955-02-24 | 1960-03-01 | Heraeus Gmbh W C | Vacuum pump control apparatus |
DE2430314C3 (de) * | 1974-06-24 | 1982-11-25 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe mit vorgeschaltetem Verdichter |
JPS6010190B2 (ja) * | 1976-04-20 | 1985-03-15 | 松下電器産業株式会社 | 圧縮機 |
DE3208928A1 (de) * | 1982-02-02 | 1983-09-22 | Alfred Dipl.-Ing.(FH) 7257 Ditzingen Wieland | Vakuumanlage fuer kraftfahrzeuge |
US4699570A (en) * | 1986-03-07 | 1987-10-13 | Itt Industries, Inc | Vacuum pump system |
JPH0784871B2 (ja) * | 1986-06-12 | 1995-09-13 | 株式会社日立製作所 | 真空排気装置 |
US4767280A (en) * | 1987-08-26 | 1988-08-30 | Markuson Neil D | Computerized controller with service display panel for an oil well pumping motor |
-
1987
- 1987-09-25 FR FR8713267A patent/FR2621141B1/fr not_active Expired
-
1988
- 1988-09-19 AT AT88115311T patent/ATE68565T1/de not_active IP Right Cessation
- 1988-09-19 EP EP88115311A patent/EP0308846B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1988-09-19 DE DE8888115311T patent/DE3865615D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1988-09-19 ES ES198888115311T patent/ES2026620T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1988-09-21 JP JP63237471A patent/JPH01106980A/ja active Granted
- 1988-09-26 US US07/249,154 patent/US4887941A/en not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-12-02 GR GR91401879T patent/GR3003251T3/el unknown
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004090332A1 (en) * | 2003-04-10 | 2004-10-21 | Ebara Corporation | Dry vacuum pump and method of starting same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ES2026620T3 (es) | 1992-05-01 |
JPH01106980A (ja) | 1989-04-24 |
EP0308846B1 (fr) | 1991-10-16 |
US4887941A (en) | 1989-12-19 |
ATE68565T1 (de) | 1991-11-15 |
FR2621141B1 (fr) | 1989-12-01 |
EP0308846A1 (fr) | 1989-03-29 |
DE3865615D1 (de) | 1991-11-21 |
FR2621141A1 (fr) | 1989-03-31 |
GR3003251T3 (en) | 1993-02-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0238796B2 (ja) | ||
US3978382A (en) | Control apparatus for two-speed, single phase compressor | |
US5039280A (en) | Pump assembly for obtaining a high vacuum | |
US4100469A (en) | Hybrid motor starter | |
US4201517A (en) | Automatic control selector for a compressor system | |
KR20060096446A (ko) | 단상 유도전동기용 시동 장치 및 시동 방법 | |
EP0031688A2 (en) | Electric motor start up control | |
US3721880A (en) | Refrigerant compressor motor control | |
JP3237218B2 (ja) | 空気調和装置 | |
US3898527A (en) | Motor protection apparatus and method | |
US2725825A (en) | Liquid handling system | |
US7296978B2 (en) | Compressed air system utilizing a motor slip parameter | |
US6135720A (en) | Air compressors of sliding vane eccentric rotor type | |
JP2896162B2 (ja) | 冷凍サイクル装置 | |
JPH03279694A (ja) | 真空ユニット | |
JPH0110482Y2 (ja) | ||
GB2374741A (en) | Door operator control | |
US2462232A (en) | Control means | |
GB1452771A (en) | Apparatus for controlling centrifugal compressors | |
JP2646367B2 (ja) | ボルト締付機 | |
SU182735A1 (ru) | УСТРОЙСТВО дл АВТОМАТИЧЕСКОГО ПОДЪЕМА 41 ОБОРОТОВ ПАРОВОЙ ТУРБИНЫ | |
JPS6325323Y2 (ja) | ||
JPH06339290A (ja) | 誘導電動機の再始動時の残留電圧保護装置 | |
JP3143803B2 (ja) | 空気調和機の制御装置 | |
JPH0717832Y2 (ja) | 注水形無給油式スクリュ圧縮機 |