JPH01106980A - 直列接続された真空ポンプの起動方法及び該方法の実施装置 - Google Patents

直列接続された真空ポンプの起動方法及び該方法の実施装置

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JPH01106980A
JPH01106980A JP63237471A JP23747188A JPH01106980A JP H01106980 A JPH01106980 A JP H01106980A JP 63237471 A JP63237471 A JP 63237471A JP 23747188 A JP23747188 A JP 23747188A JP H01106980 A JPH01106980 A JP H01106980A
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ジヤン−マリ・クランケツト
Jacques Long
ジヤツク・ロン
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    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
    • F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B41/00—Pumping installations or systems specially adapted for elastic fluids
    • F04B41/06—Combinations of two or more pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B49/00—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
    • F04B49/02—Stopping, starting, unloading or idling control

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  • Jet Pumps And Other Pumps (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は直列に接続された真空ポンプの起動方法に係る
。
本発明はまた、該方法を実施し得る装置に係る。
１吋へ１１ 工業用真空装置においては、１つの一次ポンプと１つ以
上の二次ポンプとを含む直列に接続された複数のポンプ
が使用される。これらの二次ポンプは一般に、例えば「
ルーツＪポンプ、「スクリュー」ポンプまたは「スパイ
ラル」ポンプ型の回転ポンプである。ポンプ出力は熱的
拘束及び機械的拘束によって制約され、またポンプ出力
が入口と出口との間の圧力差の関数なので常圧でポンプ
を起動することができない。まず一次ポンプを起動して
二次ポンプの許容値まで圧力を下げる必要がある。
圧力が許容値に到達した時点を決定するために吸引ダク
トに公知のごとく圧力計を接続する。圧力計は感圧カプ
セルから成り、その変形によって電気接触器を閉鎖する
。該電気接触器は二次ポンプの制御回路に接続されてお
り二次ポンプの起動を生起する。
この種の圧力計は、腐食及び塵埃ガスに弱く、また低圧
では振動に敏感である。従って信頼性があまりよくない
。このため二次ポンプが起動されないことがありまたは
もっと悪い場合には焼き付きの恐れがあるような高圧で
起動されたりする。
本発明方法では圧力計を削除し、圧力を直接測定するの
でなく、所定の範囲内では圧力と同様の法則で変化する
物理量を測定する。
１哩へ１１ 本発明の目的は、一次ポンプと、真空を成立させるべき
室と前記一次ポンプとの間に配置された少なくとも１つ
の二次ポンプとを含む直列に接続された真空ポンプの起
動方法を提供することである。本発明方法では、まず一
次ポンプを起動し、次に一次ポンプの回転によって減少
した一次ポンプの吸込み圧力が許容値に到達したときに
二次ポンプを起動する。本発明方法の特徴は、圧力の法
則と同様の法則で変化する一次ポンプ関連の物理量を利
用して二次ポンプ内の圧力を決定することである。
本発明の目的はまた、前記方法を実施し得る装置を提供
することである。本発明装置は、手動スイッチによって
制御されるコイルと一次ポンプのモータに３つの相を接
続する３つの接触器とをもつ第１の電磁継電器と、二次
ポンプをオンに切り替える第２の電磁継電器とを含む。
本発明装置の特徴は、前記第２継電器のコイルが、第１
継電器の時間遅延を導入する第４接触器と、一次ポンプ
の吸込み圧力の関数として変化する一次ポンプ関連の物
理量を測定する検出器の接触器とを介して給電されるこ
とである。
この検出器は、モータへの給電相の１つに配置され、吸
収されたパワーを直接測定する電流継電器でもよい。検
出器はまた、ポンプに配置された振動検出器または音量
検出器でもよい。これらの２つの物理量（音量または振
動の振幅）は吸収されたパワーの法則と同じ法則で変化
する。
且」す」 １つの二次ポンプを含む真空装置に使用された添付図面
に示す非限定具体例に基づいて本発明の方法及び装置を
より詳細に説明する。
第１図は、一次ポンプによって吸収されたパワーの変化
を吸込み圧力の関数として示すグラフである。３００ミ
リバールに等しい所定の閾値を越えてから１０−’ミリ
バールの限界真空まではこのパワーが減少することが理
解されよう。
一次ポンプの振動の振幅及び音量も同等の法則に従って
変化する。
第２図は、一次ポンプへと二次ポンプＢと真空を成立さ
せるべき処理室Ｅと２つのモータＭ１，８２への給電回
路とを含む装置を停止状態で示す。
従来同様に各ポンプは三相モータによって駆動され、こ
れらのモータの各々は継電器を介して給電される。一次
ポンプへのモータＭ１は継電器１０の３つの接触器１２
を介して給電され、二次ポンプＢのモータＭ２は継電器
２０の３つの接触器２２を介して給電される。
継電器１０はコイル１１を含み、このコイルは一次ポン
プを起動するためにオペレータが操作し得るスイッチＩ
によって給電される。この継電器はまた、時間遅延を導
入する第４接触器１３を備え、この接触器は検出器３０
の接触器３１と直列に接続されている。継電器２０のコ
イル２１はこれらの２つの接触器１３及び３１を介して
給電される。
第２図において検出器３０は一次ポンプのモータＭ１の
給電相の１つに接続された電流継電器である。
かかる装置は以下のごとく作動する。
ポンプ動作を開始させるときにはまずスイッチ■を入れ
て一次ポンプ＾を起動する。接触器１２が閉じモータＭ
１が回転する。この起動時点で接触器３１が閉じる。但
し、接触器１３の閉鎖は遅れて生じる。
従って継電器２０のコイル２１には給電されずモータＭ
２は起動されない。電流継電器３０は多量のパワーを吸
収したモータＭ１によって励起され、その結果接触器３
１が開く。接触器１３の時間遅延は、接触器３１が開い
た後に接触器１３が閉じるように設計され、接触器３１
が開いているので継電器２０のコイル２１が給電されな
い。ポンプへの吸込み圧力が所定の閾値まで減少すると
吸収されたパワーが低下し給電電流も低下して電流継電
器３０の励起が停止する。
接触器３１が閉鎖され、継電器２０のコイル２１に給電
される。接触器２２が閉じているのでポンプＢが起動さ
れる。
もし何らかの理由で一次ポンプの吸込み圧力が増加する
と、電流継電器３０が再度励起され接触器３１が開きポ
ンプＢの給電が遮断される。
第３図の変形具体例では電流継電器に代替して振動の振
幅または音量を検出する検出器４０が電流モーターポン
プアセンブリに配置され協働する接触器４１の開閉を制
御する。
【図面の簡単な説明】
第１図は一次ポンプで吸収されたパワーの変化を吸込み
圧力の関数として示すグラフ、第２図は一方が一次ポン
プ他方が二次ポンプを駆動する２つのモータの給電回路
を備えた真空装置を示す説明図、第３図は給電回路の別
の具体例の説明図である。 ＾・・・・・・一次ポンプ、Ｂ・・・・・・二次ポンプ
、Ｅ・・・・・・処理室、Ｍｌ、８２・・・・・・モー
タ、１０．２０・・・・・・継電器、１２．２２・・・
・・・接触器、２１・・・・・・コイル、３０・・・・
・検出器。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）一次ポンプと、真空を成立させるべき室と前記一
    次ポンプとの間に配置された少なくとも１つの二次ポン
    プとを含む直列接続真空ポンプにおいて、まず一次ポン
    プが起動され、次に一次ポンプの回転によって低下した
    一次ポンプの吸込み圧力が許容値に到達したときに二次
    ポンプが起動されるポンプ起動方法であって、圧力の法
    則と同じ法則に従って変化する一次ポンプ関連の物理量
    を利用して二次ポンプ内の圧力を決定することを特徴と
    する方法。
  2. （２）手動スイッチによって制御されるコイルと一次ポ
    ンプのモータに３つの相を接続する３つの接触器とをも
    つ第１電磁継電器と、二次ポンプをオンに切り替える第
    ２電磁継電器とを含む装置であって、前記第２継電器の
    コイルが第１継電器の時間遅延を導入する第４接触器と
    一次ポンプの吸込み圧力の関数として変化する一次ポン
    プ関連の物理量を測定する検出器の接触器とを介して給
    電されることを特徴とする請求項１に記載の方法を実施
    する起動装置。
  3. （３）検出器が一次ポンプのモータへの給電相の１つに
    配置された電流継電器であることを特徴とする請求項２
    に記載の装置。
  4. （４）検出器が一次ポンプ及びモータのアセンブリに配
    置された振動検出器または音量検出器であることを特徴
    とする請求項２に記載の装置。
JP63237471A 1987-09-25 1988-09-21 直列接続された真空ポンプの起動方法及び該方法の実施装置 Granted JPH01106980A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999060272A1 (fr) * 1998-05-20 1999-11-25 Ebara Corporation Dispositif et procede de pompage
CN111306027A (zh) * 2020-02-17 2020-06-19 柳州柳工挖掘机有限公司 旋挖钻机主泵功率控制方法及***

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02102385A (ja) * 1988-10-08 1990-04-13 Toyo Eng Corp 排気装置
FR2652390B1 (fr) * 1989-09-27 1991-11-29 Cit Alcatel Groupe de pompage a vide.
US5217273A (en) * 1992-05-14 1993-06-08 H-Square Corporation Serial pumping for portable handling tool of electronic workpieces
JP3847357B2 (ja) * 1994-06-28 2006-11-22 株式会社荏原製作所 真空系の排気装置
JP3406834B2 (ja) * 1998-05-19 2003-05-19 株式会社東海理化電機製作所 モータ駆動回路
US6045331A (en) * 1998-08-10 2000-04-04 Gehm; William Fluid pump speed controller
US6419455B1 (en) * 1999-04-07 2002-07-16 Alcatel System for regulating pressure in a vacuum chamber, vacuum pumping unit equipped with same
DE10130426B4 (de) * 2001-06-23 2021-03-18 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpsystem
DE20214764U1 (de) * 2002-09-19 2002-11-21 Stoeber Antriebstech Gmbh & Co Schalteinrichtung zur Ansteuerung wenigstens zweier Motoren
DE10302764A1 (de) * 2003-01-24 2004-07-29 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpsystem
JP2004324644A (ja) * 2003-04-10 2004-11-18 Ebara Corp ドライ真空ポンプ及びその起動方法
JP4218756B2 (ja) * 2003-10-17 2009-02-04 株式会社荏原製作所 真空排気装置
US7028491B2 (en) * 2004-03-29 2006-04-18 Tecumseh Products Company Method and apparatus for reducing inrush current in a multi-stage compressor
GB0418771D0 (en) * 2004-08-20 2004-09-22 Boc Group Plc Evacuation of a load lock enclosure
US20070020115A1 (en) * 2005-07-01 2007-01-25 The Boc Group, Inc. Integrated pump apparatus for semiconductor processing
JP4737770B2 (ja) * 2006-09-12 2011-08-03 アネスト岩田株式会社 真空ポンプの運転制御装置および方法
US8506259B2 (en) 2009-12-23 2013-08-13 Solar Turbines Inc. Fluid compression system
FR2969721B1 (fr) * 2010-12-23 2013-01-04 Fontaine Piscines Dispositif de vidange soufflant et procede de vidange par soufflage
US10428807B2 (en) * 2011-12-09 2019-10-01 Applied Materials, Inc. Pump power consumption enhancement
JP2018178846A (ja) * 2017-04-12 2018-11-15 株式会社荏原製作所 真空ポンプ装置の運転制御装置、及び運転制御方法
JP7218706B2 (ja) * 2019-10-18 2023-02-07 株式会社島津製作所 真空排気装置および真空排気装置の起動方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2246932A (en) * 1939-09-21 1941-06-24 Chicago Pneumatic Tool Co Combination single and two stage vacuum pump
US2295775A (en) * 1940-10-31 1942-09-15 Westinghouse Air Brake Co Compressor control apparatus
US2926835A (en) * 1955-02-24 1960-03-01 Heraeus Gmbh W C Vacuum pump control apparatus
DE2430314C3 (de) * 1974-06-24 1982-11-25 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe mit vorgeschaltetem Verdichter
JPS6010190B2 (ja) * 1976-04-20 1985-03-15 松下電器産業株式会社 圧縮機
DE3208928A1 (de) * 1982-02-02 1983-09-22 Alfred Dipl.-Ing.(FH) 7257 Ditzingen Wieland Vakuumanlage fuer kraftfahrzeuge
US4699570A (en) * 1986-03-07 1987-10-13 Itt Industries, Inc Vacuum pump system
JPH0784871B2 (ja) * 1986-06-12 1995-09-13 株式会社日立製作所 真空排気装置
US4767280A (en) * 1987-08-26 1988-08-30 Markuson Neil D Computerized controller with service display panel for an oil well pumping motor

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999060272A1 (fr) * 1998-05-20 1999-11-25 Ebara Corporation Dispositif et procede de pompage
US6474949B1 (en) 1998-05-20 2002-11-05 Ebara Corporation Evacuating unit with reduced diameter exhaust duct
KR100576761B1 (ko) * 1998-05-20 2006-05-03 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 진공배기장치 및 방법
CN111306027A (zh) * 2020-02-17 2020-06-19 柳州柳工挖掘机有限公司 旋挖钻机主泵功率控制方法及***

Also Published As

Publication number Publication date
GR3003251T3 (en) 1993-02-17
EP0308846A1 (fr) 1989-03-29
FR2621141B1 (fr) 1989-12-01
EP0308846B1 (fr) 1991-10-16
ATE68565T1 (de) 1991-11-15
US4887941A (en) 1989-12-19
DE3865615D1 (de) 1991-11-21
ES2026620T3 (es) 1992-05-01
JPH0238796B2 (ja) 1990-08-31
FR2621141A1 (fr) 1989-03-31

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