JP3847357B2 - 真空系の排気装置 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は複数の真空ポンプが直列に接続されている真空系の排気装置に関するものである。
【0002】
【従来技術】
図7は従来の一般的な真空系の構成例を示す図である。図示するように、従来の真空系は反応装置71に排気部として絞り弁72及び真空ポンプ73を直列に接続した構成である。このような真空系において、圧力制御方法には下記のような2つの方法がある。
【0003】
図8に示すように、絞り弁72によりコンダクタンス(流路抵抗の逆数)を制御して行なう方法と、図9に示すようにポンプ回転数を制御して行なう方法である。なお、図8及び図9において、横軸は圧力(Torr)をlogで表示し、縦軸は排気速度(l/min)をlogで表示している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記従来の圧力制御方法は広範囲の圧力制御を行なう場合、下記のような問題があった。図10は運転範囲を排気速度Sと圧力P(Torr)で示す図である。今、排気速度S=2000(l/min)と圧力P=0.1(Torr)の点P1と、排気速度S=1(l/min)と圧力P=300(Torr)の点P2の2点間を制御させたい場合を考える。
【0005】
上記絞り弁72によりコンダクタンス(流路抵抗の逆数)を制御して行なう方法では、排気速度S=2000からS=1(l/min)まで変化させる絞り弁72が必要である。排気速度S=2000に合わせて絞り弁を選ぶと排気速度S=1(l/min)は開度=0付近となり制御が難しく、この場合は図11に示すように排気速度S=2000用の絞り弁72−1と排気速度S=1用の絞り弁72−2の2種類の絞り弁及び排気系が必要となる。更に、排気速度S=1用の絞り弁72−2は開度が小さいため、半導体プロセス等に用いる場合は反応生成物が配管系に付着してしまうという問題がある。
【0006】
ポンプ回転数を制御して行なう方法では、排気速度SをS=2000〜1(l/min)まで変化させるようにポンプの回転数を変える必要がある。今、100%の回転数で排気速度S=2000なら、S=1は100/2000=0.05%の回転数で運転しなければならず、真空ポンプ73をこのような低回転まで制御することが難しいという問題がある。
【0007】
本発明は上記の点に鑑みてなされたもので広範囲の圧力制御が容易にできる真空系の排気装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するため請求項1に記載の発明は図1に示すように、第1の真空ポンプ13−1を高真空側に、第2の真空ポンプ13−2を低真空側に直列に接続してなる排気部を具備し、高真空側から低真空側に気体を排気する真空系の排気装置であって、前記高真空側から低真空側に気体を排気する方向に真空ポンプを回転することを正回転、その反対に回転させることを逆回転とし、第2の真空ポンプを正回転運転しながら第1の真空ポンプ13−1を正回転から逆回転の範囲で運転させる制御手段を設けたことを特徴とする。
【0010】
また、請求項2に記載の発明は請求項1に記載の発明において、第1の真空ポンプ13−1及び第2の真空ポンプ13−2の運転は、その回転数を制御することにより行われることを特徴とする。
【0011】
また、請求項3に記載の発明は請求項1又は2に記載の発明において、真空系に所定のガスを供給しながら、第1の真空ポンプ13−1及び第2の真空ポンプ13−2を運転することを特徴とする。
【0012】
また、請求項4に記載の発明は請求項2に記載の発明において、真空系に所定のガスを供給しながら、真空系に供給されるガスの流量を基に、回転数を制御することを特徴とする。
【0013】
また、請求項5に記載の発明は請求項2に記載の発明において、真空系の圧力を基に、回転数を制御することを特徴とする。
【0014】
また、請求項6に記載の発明は請求項2乃至5のいずれか1項に記載の発明において、第2の真空ポンプの回転数を一定として運転することを特徴とする。
【0015】
【作用】
図2は上記真空系の排気方法を採用した場合の排気速度(l/min)と圧力(Torr)の関係を示す図である。同図において、曲線Aは第1の真空ポンプ13−1と第2の真空ポンプ13−2のいずれも60Hzで正回転させた場合のポンプ特性を示し、曲線Bは第1の真空ポンプ13−1を15Hzで正回転させ第2の真空ポンプ13−2を60Hzで正回転させた場合のポンプ特性を示し、曲線Cは第1の真空ポンプ13−1を20Hzで逆回転させ第2の真空ポンプ13−2を60Hzで正回転させた場合のポンプ特性を示し、曲線Dは第1の真空ポンプ13−1を20Hzで逆回転させ第2の真空ポンプ13−2を30Hzで正回転させた場合のポンプ特性を示す。
【0016】
図2から明らかなように、高真空側の第1の真空ポンプ13−1を逆回転から正回転(インバータの出力周波数−60Hz〜+60Hz)の範囲で運転することにより、広い範囲で圧力制御が可能となる。
【0017】
また、反応装置11内にガスを供給しながら、上記のように反応装置11内の圧力を広い範囲で制御できる。
【0018】
【実施例】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。図1は本発明の排気方法を実施する真空系の構成を示すブロック図である。図1において、11は反応装置であり、該反応装置11に絞り弁12、第1の真空ポンプ13−1、第2の真空ポンプ13−2が順に配管22で直列に接続されている。14−1は高真空側(反応装置11の側)の第1の真空ポンプ13−1を駆動するモータで、インバータ15−1の出力で駆動される。14−2は低真空側(排気ダクト17の側)の第2の真空ポンプ13−2を駆動するモータで、インバータ15−2の出力で駆動される。
【0019】
18は反応装置11のガス入口16に接続されたガス供給弁、19はガス入口16から反応装置11に供給される反応ガスの流量を検出する流量計、20は反応装置11内の圧力を検出する圧力計である。該流量計19及び圧力計20の出力は制御部21に入力され、該制御部21は流量計19が検出した流量を基に圧力計20で検出する圧力値が所定の範囲内になるようにインバータ15−1、インバータ15−2を介してモータ14−1、モータ14−2の回転数を制御する。なお、17は排気ダクトである。
【0020】
上記構成の真空排気系において、インバータ15−1は高真空側の第1の真空ポンプ13−1を逆回転から正回転の範囲で運転ができるように構成されており、インバータ15−2は低真空側の第2の真空ポンプ13−2を正回転で且つその回転数を制御できるように構成されている。第1の真空ポンプ13−1及び第2の真空ポンプ13−2を駆動することにより、反応装置11からの排気は絞り弁12、第1の真空ポンプ13−1、第2の真空ポンプ13−2を通って排気ダクト17に排出される。また、ガス供給弁18の開度を制御することにより、図示しないガス供給源から反応装置11内に供給される反応ガスの流量を制御できる。
【0021】
図2は図1に示す構成の真空排気系において、高真空側の第1の真空ポンプ13−1と低真空側の第2の真空ポンプ13−2の運転状態を変えた場合の排気速度(l/min)と圧力(Torr)の関係の概要を説明するための図である。図2において、曲線Aは高真空側の第1の真空ポンプ13−1と低真空側の第2の真空ポンプ13−2のいずれも60Hzで正回転させた場合のポンプ特性を示し、曲線Bは第1の真空ポンプ13−1を15Hzの範囲で正回転させ第2の真空ポンプ13−2を60Hzで正回転させた場合のポンプ特性を示し、曲線Cは第1の真空ポンプ13−1を20Hzで逆回転させ第2の真空ポンプ13−2を60Hzで正回転させた場合のポンプ特性を示し、曲線Dは第1の真空ポンプ13−1を20Hzで逆回転させ第2の真空ポンプ13−2を30Hzで正回転させた場合のポンプ特性を示す。
【0022】
図2から明らかなように、低真空側の第2の真空ポンプ13−2を0〜60Hzで正回転運転しながら、高真空側の第1の真空ポンプ13−1を60Hzの正回転〜60Hzの逆回転の範囲で運転を行うと広い特性線図が得られ、圧力制御範囲が広がる。従って、高真空側の第1の真空ポンプ13−1を逆回転することにより、低真空側の第2の真空ポンプ13−2の性能を意図的に悪化させ、広範囲の圧力制御が可能となる。
【0023】
図1に示す構成の真空系において、例えば図10の排気速度S=2000(l/min)と圧力P=0.1(Torr)の点P1は第1の真空ポンプ13−1の正回転数を約66.6%にすれば得られ、排気速度S=1(l/min)と圧力P=300(Torr)の点P2は第1の真空ポンプ13−1を逆回転数約−30%とすることにより得られることが実験的に確かめられた。この場合、第1の真空ポンプ13−1を止め、第2の真空ポンプ13−2の正回転数を下げても、P2点(S=1,P=300)の制御は難しい。つまり第2の真空ポンプ13−2の正回転運転では非常に難しい運転点が高真空側の第1の真空ポンプ13−1を逆回転運転させることにより簡単に得られることになる。
【0024】
図3及び図4は図1に示す構成の真空排気系において、低真空側の第2の真空ポンプ13−2を一定回転数で運転し、高真空側の第1の真空ポンプ13−1の回転数を変化させた場合の排気速度(l/min)と圧力(Torr)の関係を示す図で、図3は低真空側の第2の真空ポンプ13−2を60Hzで運転し、図4は低真空側の第2の真空ポンプ13−2を20Hzで運転している。
【0025】
図3において、曲線aは60Hz、曲線bは15Hz、曲線cは0Hz(停止)、曲線dは−15Hz、曲線eは−60Hzでそれぞれ第1の真空ポンプ13−1を運転した場合を示す。また、図4において、曲線fは60Hz、曲線gは20Hz、曲線hは0Hz(停止)、曲線iは−20Hz、曲線jは−35Hz、曲線kは−45Hzでそれぞれ第1の真空ポンプ13−1を運転した場合を示す。図3及び図4において、直線Q1、Q2、Q3はそれぞれガス供給弁18を通して反応装置11に供給される反応ガスの流量を変えた場合を示す(Q1>Q2>Q3)。
【0026】
図3及び図4から明らかなように、高真空側の第1の真空ポンプ13−1を正回転(+Hz)〜逆回転(−Hz)の範囲で回転数を制御して運転し、低真空側の第2の真空ポンプ13−2を正回転で回転数を制御することにより、反応装置11に所定流量の反応ガスを供給しながら、広い範囲で反応装置11内の圧力を制御できる。
【0027】
即ち、図1において、制御部21は図3及び図4に示す性能曲線に基づき、流量計19で検出される反応ガスの流量で、反応装置11内の圧力を所定の目標圧力値に維持するには、第1の真空ポンプ13−1及び第2の真空ポンプ13−2をいかなる回転数で運転するかを決定し、該第1の真空ポンプ13−1及び第2の真空ポンプ13−2をその回転数で運転すべくインバータ15−1及びインバータ15−2を制御し、該インバータ15−1及びインバータ15−2から回転数に見合う周波数の出力をモータ14−1及びモータ14−2に供給する。それによる反応装置11の圧力は圧力計20で検出され、制御部21にフィードバックされるから、反応装置11内の圧力は前記目標圧力値に維持される。
【0028】
図1に示す構成の真空系ではガス入口16にガス供給弁18と流量計19からなる1個のガス供給系を接続し、該ガス供給系を通して反応装置11内にガスを供給するように構成したが、ガス供給系は1個に限定されるものではなく、図5に示すようにガス供給弁18−1・・・・18−n、流量計19−1・・・・19−n、流量調整弁24−1・・・・24−nからなるn個のガス供給系をガス入口16に接続し、反応装置11内にn種の反応ガス等のガスを供給できるように構成してもよい。また、このように反応装置11と絞り弁12の間には、反応装置と真空ポンプを遮断可能にするために、主弁23を設ける。
【0029】
また、上記実施例では、第1の真空ポンプ13−1及び第2の真空ポンプ13−2はいずれも1台の真空ポンプで構成する例を示したが、これに限定されるものではなく、図6に示すように反応装置11に絞り弁12を介して複数台の真空ポンプ13−1,13−2,13−3・・・・を直列に接続し、その内の1台又は複数台を第1の真空ポンプとし、1台又は複数台を第2の真空ポンプとして運転するように構成してもよい。なお、それぞれの真空ポンプ13−1,13−2,13−3・・・・はインバータ15−1,15−2,15−3・・・・から所定周波数の出力を得て所定回転数で回転する。
【0030】
上記のように第1の真空ポンプ及び第2の真空ポンプを複数台の真空ポンプで構成することにより、真空系の圧力を広範囲で且つきめ細かく制御することができる。また、上記実施例では、第1の真空ポンプを高真空側に第2の真空ポンプを低真空側に配置する例を示したが、これに限定されるものではなく、第1の真空ポンプを低真空側に第2の真空ポンプを高真空側に配置し、第1の真空ポンプを逆回転から正回転の範囲で運転しつつ、第2の真空ポンプを正回転の範囲で運転するようにしてもよい。
【0031】
(1)以上説明したように本発明によれば、第2の真空ポンプを正回転運転しながら第1の真空ポンプを正回転から逆回転の範囲で運転させる制御手段を設けたことにより、真空系の広範囲の圧力制御が可能になるという優れた効果が得られる。
【0032】
(2)また、真空系に反応ガスを供給しながら、真空系内の圧力を広い範囲で制御できるという優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の排気方法を実施する真空系の構成例を示すブロック図である。
【図2】図1に示す真空系の高真空側の真空ポンプと低真空側の真空ポンプの運転状態を変えた場合の排気速度と圧力の関係を示す図である。
【図3】図1に示す低真空側の真空ポンプを一定回転数で運転し、高真空側の真空ポンプの回転数を変えた場合の排気速度と圧力の関係を示す図である。
【図4】図1に示す低真空側の真空ポンプを一定回転数で運転し、高真空側の真空ポンプの回転数を変えた場合の排気速度と圧力の関係を示す図である。
【図5】本発明の排気方法を実施する真空系の他の構成例を示すブロック図である。
【図6】本発明の排気方法を実施する真空系の他の構成例を示すブロック図である。
【図7】従来の一般的な真空系の構成を示す図である。
【図8】真空系において絞り弁によりコンダクタンス(流路抵抗の逆数)制御による圧力制御を行う場合を説明する図である。
【図9】図7に示す真空排気系においてポンプ回転数制御(排気速度制御)による圧力制御を行う場合を説明する図である。
【図10】運転範囲を排気速度と圧力の関係で示す図である。
【図11】従来の真空排気系の構成例を示す図である。
【符号の説明】
11 反応装置
12 絞り弁
13−1 真空ポンプ
13−2 真空ポンプ
13−3 真空ポンプ
14−1 モータ
14−2 モータ
14−3 モータ
15−1 インバータ
15−2 インバータ
15−3 インバータ
16 ガス入口
17 排気ダクト
18 ガス供給弁
18−1〜n ガス供給弁
19 流量計
19−1〜n 流量計
20 圧力計
21 制御部
22 配管
23 主弁
24−1〜n 流量調整弁
Claims (6)
- 第1の真空ポンプを高真空側に、第2の真空ポンプを低真空側に直列に接続してなる排気部を具備し、高真空側から低真空側に気体を排気する真空系の排気装置であって、
前記高真空側から低真空側に気体を排気する方向に真空ポンプを回転することを正回転、その反対に回転させることを逆回転とし、
前記第2の真空ポンプを正回転運転しながら前記第1の真空ポンプを正回転から逆回転の範囲で運転させる制御手段を設けたことを特徴とする真空系の排気装置。 - 前記第1の真空ポンプ及び第2の真空ポンプの運転は、その回転数を制御することにより行なわれることを特徴とする請求項1に記載の真空系の排気装置。
- 前記真空系に所定のガスを供給しながら、前記第1の真空ポンプ及び前記第2の真空ポンプを運転することを特徴とする請求項1又は2に記載の真空系の排気装置。
- 前記真空系に所定のガスを供給しながら、該真空系に供給されるガスの流量を基に、前記回転数を制御することを特徴とする請求項2に記載の真空系の排気装置。
- 前記真空系の圧力を基に、前記回転数を制御することを特徴とする請求項2に記載の真空系の排気装置。
- 前記第2の真空ポンプの回転数を一定として運転することを特徴とする請求項2乃至5のいずれか1項に記載の真空系の排気装置。
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