JPH0222998B2 - - Google Patents
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- JPH0222998B2 JPH0222998B2 JP57155617A JP15561782A JPH0222998B2 JP H0222998 B2 JPH0222998 B2 JP H0222998B2 JP 57155617 A JP57155617 A JP 57155617A JP 15561782 A JP15561782 A JP 15561782A JP H0222998 B2 JPH0222998 B2 JP H0222998B2
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Landscapes
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- Ceramic Capacitors (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は物体の荷電装置におけるイオン源、
帯電物体の除電器におけるイオン源、沿面放電型
オゾナイザにおけるオゾン発生用放電素子、或は
NOx、SOxの酸化装置のプラズマ化学反応用放電
素子として使用される沿面コロナ放電素子に関す
るものである。
帯電物体の除電器におけるイオン源、沿面放電型
オゾナイザにおけるオゾン発生用放電素子、或は
NOx、SOxの酸化装置のプラズマ化学反応用放電
素子として使用される沿面コロナ放電素子に関す
るものである。
さらに述べれば、誘電体層を介して線状コロナ
放電極と面状誘導電極を一体的に対抗せしめてな
る沿面コロナ放電素子及びその製造方法の改良に
関する。
放電極と面状誘導電極を一体的に対抗せしめてな
る沿面コロナ放電素子及びその製造方法の改良に
関する。
［従来の技術］
従来誘電体層の表面に線状電極を複数本平行に
設け、その誘電体層の裏面に面状誘導電極を配設
した電界カーテン用の電界装置が存在するが（特
公昭57−6835）、これは該誘電体層の表面に不平
等交番電界からなる電界カーテンを形成して、そ
の帯電微粒子に対する電気力学的反応撥力を生ぜ
しめ、これを利用するものである。この場合有効
な反発力を得るには線状電極と面状誘導電極との
間に10〜200ヘルツの範囲の低周波交流電圧を印
加して使用する必要があり、これをそのまま上述
のイオン源として用いようとして、それに高周波
高電圧を印加すると、その際の発熱により線状電
極が誘電体層の表面から剥離したり、酸化したり
あるいはイオン衝撃によつてスパツタリングを生
ずる。
設け、その誘電体層の裏面に面状誘導電極を配設
した電界カーテン用の電界装置が存在するが（特
公昭57−6835）、これは該誘電体層の表面に不平
等交番電界からなる電界カーテンを形成して、そ
の帯電微粒子に対する電気力学的反応撥力を生ぜ
しめ、これを利用するものである。この場合有効
な反発力を得るには線状電極と面状誘導電極との
間に10〜200ヘルツの範囲の低周波交流電圧を印
加して使用する必要があり、これをそのまま上述
のイオン源として用いようとして、それに高周波
高電圧を印加すると、その際の発熱により線状電
極が誘電体層の表面から剥離したり、酸化したり
あるいはイオン衝撃によつてスパツタリングを生
ずる。
また誘電体層における各電極付近に電界が集中
し、この電界集中部分をイオン衝突によつて局部
的に劣化するものである。
し、この電界集中部分をイオン衝突によつて局部
的に劣化するものである。
従つてこの電界装置はこれをイオン源として使
用した場合、その寿命が極めて短く、実際上長期
間の使用に耐えられない。
用した場合、その寿命が極めて短く、実際上長期
間の使用に耐えられない。
［発明が解決しようとする課題］
この発明は前期従来の電界装置をイオン源とし
て使用する場合の問題点を解決して長期間に亙つ
て実際上使用でき、しかも安価な沿面コロナ放電
素子を得る事を目的とするものである。ここで沿
面コロナ放電とは、誘電体の表面に沿つてコロナ
放電極から伸展するストリーマー放電をいい、正
確には沿面放電という。
て使用する場合の問題点を解決して長期間に亙つ
て実際上使用でき、しかも安価な沿面コロナ放電
素子を得る事を目的とするものである。ここで沿
面コロナ放電とは、誘電体の表面に沿つてコロナ
放電極から伸展するストリーマー放電をいい、正
確には沿面放電という。
他の目的は沿面コロナ放電素子の性質上長期間
の使用に際し、繰り返して激しい温度変化が生じ
ても、その際の熱応力によつて線状コロナ放電極
が誘電体層の表面から剥離したり、或は酸化やイ
オン衝突によつて損耗したりすることがないよう
にすることである。
の使用に際し、繰り返して激しい温度変化が生じ
ても、その際の熱応力によつて線状コロナ放電極
が誘電体層の表面から剥離したり、或は酸化やイ
オン衝突によつて損耗したりすることがないよう
にすることである。
又他の目的は該誘電体層が電界集中によつて部
分的に劣化することを防止することである。
分的に劣化することを防止することである。
［課題を解決するための手段］
この発明の沿面コロナ放電素子はアルミナ磁器
で形成した誘電体層を介して、タングステンで形
成した線状コロナ放電極と面状誘導電極を一体的
に設け、該線状コロナ放電極の表面に釉薬あるい
はアルミナ絶縁膜などの保護層を形成し、その線
状コロナ放電極と前記誘電体層との境界面を、そ
れらの焼成時に形成されるメタライズ層からなる
境界層で一体的に固着するものである。
で形成した誘電体層を介して、タングステンで形
成した線状コロナ放電極と面状誘導電極を一体的
に設け、該線状コロナ放電極の表面に釉薬あるい
はアルミナ絶縁膜などの保護層を形成し、その線
状コロナ放電極と前記誘電体層との境界面を、そ
れらの焼成時に形成されるメタライズ層からなる
境界層で一体的に固着するものである。
又この発明の沿面コロナ放電素子の製造方法は
上部原料シートをアルミナ微粉末等のフアインセ
ラミツク誘電体材料とバインダで形成し、その原
料シートの上面に線状コロナ放電極を、また下面
に面状誘導電極をそれぞれタングステン粉末の分
散せるインクで印刷し、上記上部原料シートと同
一の誘電体材料で形成された下部原料シートを前
述の上部原料シートの下面に重合して圧着の上焼
成して、その際該上部原料シートと線状コロナ放
電極との境界面に、メタライズ層からなる境界層
を一体的に形成するものである。
上部原料シートをアルミナ微粉末等のフアインセ
ラミツク誘電体材料とバインダで形成し、その原
料シートの上面に線状コロナ放電極を、また下面
に面状誘導電極をそれぞれタングステン粉末の分
散せるインクで印刷し、上記上部原料シートと同
一の誘電体材料で形成された下部原料シートを前
述の上部原料シートの下面に重合して圧着の上焼
成して、その際該上部原料シートと線状コロナ放
電極との境界面に、メタライズ層からなる境界層
を一体的に形成するものである。
［作用］
線状コロナ放電極と面状誘導電極にそれぞれ高
周波高電圧電源の両端子を接続して、該両電極間
にアルミナ磁器からなる誘電体層を介して高周波
高電圧を印加し、その線状コロナ放電極の端縁か
ら高周波沿面コロナ放電を誘電体層の表面に沿つ
て広く発生し、そこに豊富な正負のイオンを発生
すると共に、オゾン発生、NOxやSOxの酸化等の
プラズマ化学反応を起させるものである。
周波高電圧電源の両端子を接続して、該両電極間
にアルミナ磁器からなる誘電体層を介して高周波
高電圧を印加し、その線状コロナ放電極の端縁か
ら高周波沿面コロナ放電を誘電体層の表面に沿つ
て広く発生し、そこに豊富な正負のイオンを発生
すると共に、オゾン発生、NOxやSOxの酸化等の
プラズマ化学反応を起させるものである。
この際、前記誘電体層の表面に沿つて広く発生
する高周波沿面コロナ放電の区域、すなわち沿面
放電域の正負イオンから単極性イオンを直流電界
の作用で取り出して物体を荷電したり、あるい
は、沿面放電域の正負イオンの存在領域に帯電物
体を供給してそれを除電したり、空気または純酸
素を流動的に沿面放電域に供給して、それをオゾ
ンガス化したり、或はNOx、SOxを含む汚染ガス
を同領域に供給してそれらを酸化して清浄ガス化
するものである。
する高周波沿面コロナ放電の区域、すなわち沿面
放電域の正負イオンから単極性イオンを直流電界
の作用で取り出して物体を荷電したり、あるい
は、沿面放電域の正負イオンの存在領域に帯電物
体を供給してそれを除電したり、空気または純酸
素を流動的に沿面放電域に供給して、それをオゾ
ンガス化したり、或はNOx、SOxを含む汚染ガス
を同領域に供給してそれらを酸化して清浄ガス化
するものである。
又その沿面コロナ放電によつて誘電体層および
両電極が高温に加熱されて、それらが熱膨張して
もタングスンとアルミナ磁器は膨張率が互いにほ
ぼ等しいので両者はともに伸縮し、それらの間に
熱応力が発生せず、また内部に温度勾配を生じて
それにより線状コロナ放電極と誘電体の境界に熱
応力が生じても、この境界面はタングステンとア
ルミナ磁器の焼結時に発生するメタライズ層を介
して一体的に強固に固定されているので、該線状
コロナ放電極と誘電体層の表面との相互間に剥離
が起こらない。
両電極が高温に加熱されて、それらが熱膨張して
もタングスンとアルミナ磁器は膨張率が互いにほ
ぼ等しいので両者はともに伸縮し、それらの間に
熱応力が発生せず、また内部に温度勾配を生じて
それにより線状コロナ放電極と誘電体の境界に熱
応力が生じても、この境界面はタングステンとア
ルミナ磁器の焼結時に発生するメタライズ層を介
して一体的に強固に固定されているので、該線状
コロナ放電極と誘電体層の表面との相互間に剥離
が起こらない。
更にアルミナ微粉末とバインダで形成された原
料シートと、その上下両面にタングステン粉末の
分散せるインクで印刷される線状コロナ放電極と
面状電極とは夫々融点が高いので、同時に焼成可
能であり、その際両者が相互に拡散し合つてメタ
ライズ層を形成する。
料シートと、その上下両面にタングステン粉末の
分散せるインクで印刷される線状コロナ放電極と
面状電極とは夫々融点が高いので、同時に焼成可
能であり、その際両者が相互に拡散し合つてメタ
ライズ層を形成する。
［実施例］
この発明の沿面コロナ放電素子の実施例を添付
図面によつて説明すると、第１Ｅ図および第１Ｆ
図に示すごとく純度90％以上の高純度のアルミナ
磁器で平板状に形成した誘電体層２０を介して、
タングステンで形成した線状コロナ放電極３，
４，５と面状誘導電極９を一体的に燒結して設
け、該線状コロナ放電極３，４，５の表面に釉薬
あるいはアルミナ絶縁膜などの保護層３ａ，４
ａ，５ａを形成し、その線状コロナ放電極３，
４，５と前記誘電体層２０との境界面を、それら
の燒結時に相互に反応して形成されるメタライズ
層３ｂ，４ｂ，５ｂからなる境界層を介して一体
的に固着するものである。この様なメタライズ層
３ｂ，４ｂ，５ｂは該コロナ放電極３，４，５と
該アルミナ誘電体層２０を互に接触した状態で高
温焼成して生成するもので、例えばアルミナの純
度が92％の場合、水素炉で1500℃に一定時間加熱
するものである。
図面によつて説明すると、第１Ｅ図および第１Ｆ
図に示すごとく純度90％以上の高純度のアルミナ
磁器で平板状に形成した誘電体層２０を介して、
タングステンで形成した線状コロナ放電極３，
４，５と面状誘導電極９を一体的に燒結して設
け、該線状コロナ放電極３，４，５の表面に釉薬
あるいはアルミナ絶縁膜などの保護層３ａ，４
ａ，５ａを形成し、その線状コロナ放電極３，
４，５と前記誘電体層２０との境界面を、それら
の燒結時に相互に反応して形成されるメタライズ
層３ｂ，４ｂ，５ｂからなる境界層を介して一体
的に固着するものである。この様なメタライズ層
３ｂ，４ｂ，５ｂは該コロナ放電極３，４，５と
該アルミナ誘電体層２０を互に接触した状態で高
温焼成して生成するもので、例えばアルミナの純
度が92％の場合、水素炉で1500℃に一定時間加熱
するものである。
又この発明の沿面コロナ放電素子の製造方法の
実施例を第１Ａ図〜第１Ｅ図で説明すると、上部
原料シート１を予め数ミクロン以下に粉砕したア
ルミナ微粉末等からなる誘電体材料を、有機バイ
ンダで結合して板状に形成し、その原料シート１
の上面２に線状コロナ放電極３，４，５をタング
ステン粉末の分散せるインクを用いて、スクリー
ン印刷等の厚膜印刷技術で幅約１mm、厚さ約
100μｍ、間隔約５mmに印刷し、同時にこれらの
線状コロナ放電極３，４，５に接続せる共通導線
６およびターミナル導線７を印刷し、また同原料
シート１の下面８に面状誘導電極９を同じタング
ステン粉末の分散せるインクを用いてスクリーン
印刷等の厚膜印刷技術で印刷し、上記上部原料シ
ート１と同一の誘電体材料で形成された下部原料
シート１０の中央に直径約１mmの穴１２をそれを
貫通して穿ち、この穴１２に上記インクを充填し
て導体を形成し、さらにこの下部原料シート１０
の上面に前述の穴１２を中心として直経約10mmの
円板状の接触用導体部１３を同様のインクで形成
する。又同様の方法で端縁部に前記ターミナル導
線７と接続するターミナル導線７ａを印刷する。
実施例を第１Ａ図〜第１Ｅ図で説明すると、上部
原料シート１を予め数ミクロン以下に粉砕したア
ルミナ微粉末等からなる誘電体材料を、有機バイ
ンダで結合して板状に形成し、その原料シート１
の上面２に線状コロナ放電極３，４，５をタング
ステン粉末の分散せるインクを用いて、スクリー
ン印刷等の厚膜印刷技術で幅約１mm、厚さ約
100μｍ、間隔約５mmに印刷し、同時にこれらの
線状コロナ放電極３，４，５に接続せる共通導線
６およびターミナル導線７を印刷し、また同原料
シート１の下面８に面状誘導電極９を同じタング
ステン粉末の分散せるインクを用いてスクリーン
印刷等の厚膜印刷技術で印刷し、上記上部原料シ
ート１と同一の誘電体材料で形成された下部原料
シート１０の中央に直径約１mmの穴１２をそれを
貫通して穿ち、この穴１２に上記インクを充填し
て導体を形成し、さらにこの下部原料シート１０
の上面に前述の穴１２を中心として直経約10mmの
円板状の接触用導体部１３を同様のインクで形成
する。又同様の方法で端縁部に前記ターミナル導
線７と接続するターミナル導線７ａを印刷する。
またその下部原料シート１０の下面１４に前述
の穴１２を中心として直径約10mmの円板状の接触
用導体部１５を同様のインクで形成すると共に、
前記ターミナル導線７ａと接続するターミナル導
線１７およびこれに接続する直径約10mmの円板状
の接触用導体部１６を同様のインクで形成する。
の穴１２を中心として直径約10mmの円板状の接触
用導体部１５を同様のインクで形成すると共に、
前記ターミナル導線７ａと接続するターミナル導
線１７およびこれに接続する直径約10mmの円板状
の接触用導体部１６を同様のインクで形成する。
斯様にして形成した下部原料シート１０を前記
上部原料シート１の下面８に重ねて、熱圧着して
面状誘導電極９を両原料シート１，１０の間にサ
ンドウイツチ状に気密に挾んだ状態に成形した
後、それを水素炉内で焼成して該両原料シート
１，１０を一枚の誘電体基盤１８に形成するもの
である。その際該上部原料シート１と線状コロナ
放電極３，４，５との境界面ではタングステンの
粒界にアルミナ磁器中のわずかな不純物SiO2、
MgO、Al2O3が拡散し、反応してガラス相部分を
生じ、（これがメタライズ層と言われるものであ
る。）あたかもタングステン中に根が伸びたよう
な状態になり、上部原料シート１と線状電極３，
４，５を強固に固着するものである。
上部原料シート１の下面８に重ねて、熱圧着して
面状誘導電極９を両原料シート１，１０の間にサ
ンドウイツチ状に気密に挾んだ状態に成形した
後、それを水素炉内で焼成して該両原料シート
１，１０を一枚の誘電体基盤１８に形成するもの
である。その際該上部原料シート１と線状コロナ
放電極３，４，５との境界面ではタングステンの
粒界にアルミナ磁器中のわずかな不純物SiO2、
MgO、Al2O3が拡散し、反応してガラス相部分を
生じ、（これがメタライズ層と言われるものであ
る。）あたかもタングステン中に根が伸びたよう
な状態になり、上部原料シート１と線状電極３，
４，５を強固に固着するものである。
これと同時に、前記面状誘導電極９は円板状タ
ーミナル導体部１３と融合し、穴１２内の導体を
通じて下部原料シート１０の下面１４の円板状タ
ーミナル導体部１５に導通する。又上部原料シー
ト１の表面２の線状コロナ放電極３，４，５は共
通導線６、ターミナル導線７，７ａを介して下部
原料シート１０の下面１４の円板状ターミナル導
体部１６に接続される。
ーミナル導体部１３と融合し、穴１２内の導体を
通じて下部原料シート１０の下面１４の円板状タ
ーミナル導体部１５に導通する。又上部原料シー
ト１の表面２の線状コロナ放電極３，４，５は共
通導線６、ターミナル導線７，７ａを介して下部
原料シート１０の下面１４の円板状ターミナル導
体部１６に接続される。
第１Ｅ図はこのようにして製造したイオン源と
しての沿面コロナ放電素子の一部分を切欠して示
すものであり、これをイオン源として使用する場
合は第１Ｆ図に示すように線状コロナ放電極３，
４，５と面状誘導電極９にそれぞれ高周波高電圧
電源１９の両端子を接続して、該両電極３，４，
５および９間に前記誘電体基盤１８の一部分から
なる誘電体層２０を介して高周波高電圧を印加
し、その線状コロナ放電極３，４，５の各端縁か
ら高周波沿面コロナ放電を誘電体層２０の表面２
に沿つて広く発生し、そこに豊富な正負のイオン
を発生するものである。
しての沿面コロナ放電素子の一部分を切欠して示
すものであり、これをイオン源として使用する場
合は第１Ｆ図に示すように線状コロナ放電極３，
４，５と面状誘導電極９にそれぞれ高周波高電圧
電源１９の両端子を接続して、該両電極３，４，
５および９間に前記誘電体基盤１８の一部分から
なる誘電体層２０を介して高周波高電圧を印加
し、その線状コロナ放電極３，４，５の各端縁か
ら高周波沿面コロナ放電を誘電体層２０の表面２
に沿つて広く発生し、そこに豊富な正負のイオン
を発生するものである。
この際、前記誘電体層２０の表面２に沿つて広
く発生する高周波沿面コロナ放電の区域、すなわ
ち沿面放電区域に生ずる正負イオン中、直流電界
の作用で、正又は負の単極性イオンのみをとり出
して物体に射突荷電したり、あるいはこの正負イ
オンの生成域に帯電粒子を供給して除電したり、
または空気あるいは純酸素を流動的に供給して、
それらをオゾンガス化したり、或はNOx、SOxを
含む汚染ガスを同様に供給してそれらを酸化して
清浄ガス化するものである。
く発生する高周波沿面コロナ放電の区域、すなわ
ち沿面放電区域に生ずる正負イオン中、直流電界
の作用で、正又は負の単極性イオンのみをとり出
して物体に射突荷電したり、あるいはこの正負イ
オンの生成域に帯電粒子を供給して除電したり、
または空気あるいは純酸素を流動的に供給して、
それらをオゾンガス化したり、或はNOx、SOxを
含む汚染ガスを同様に供給してそれらを酸化して
清浄ガス化するものである。
本発明の実施例について説明すると、次の通り
である。
である。
実験例 １
純度92％のアルミナ磁器で形成した厚さ0.5mm
の平板状誘電体層の一側面に、タングステン粉末
を分散させたインクを印刷後、燒結して線状コロ
ナ放電極を形成し、又該平板状誘電体層の他側面
に同様にして面状誘導電極を形成した沿面コロナ
放電素子をオゾナイザとして使用し、両電極間に
10KHz、10KVpp（peak to peak）の電圧を印加
して、平板状誘電体の一側面に沿面放電を発生さ
せ、そこに乾燥空気及び純酸素を供給してオゾン
を発生させたところ、夫々4000時間使用しても線
状コロナ放電極が平板状誘電体の一側面から剥離
することがなかつた。
の平板状誘電体層の一側面に、タングステン粉末
を分散させたインクを印刷後、燒結して線状コロ
ナ放電極を形成し、又該平板状誘電体層の他側面
に同様にして面状誘導電極を形成した沿面コロナ
放電素子をオゾナイザとして使用し、両電極間に
10KHz、10KVpp（peak to peak）の電圧を印加
して、平板状誘電体の一側面に沿面放電を発生さ
せ、そこに乾燥空気及び純酸素を供給してオゾン
を発生させたところ、夫々4000時間使用しても線
状コロナ放電極が平板状誘電体の一側面から剥離
することがなかつた。
前述の乾燥空気の代りに湿度80％の生空気を供
給してオゾンを発生させた場合は、1000時間使用
しても線状コロナ放電極が平板状誘電体から剥離
することがなかつた。
給してオゾンを発生させた場合は、1000時間使用
しても線状コロナ放電極が平板状誘電体から剥離
することがなかつた。
又この沿面放電素子を１ｍの高さからコンクリ
ートの床に落下しても破壊せず、更にこの沿面放
電素子を900℃に赤熱して０℃の水中に投入して
も割れたり剥がれたりすることがなく、更に零下
100℃の状態でもオゾナイザとして使用すること
ができた。
ートの床に落下しても破壊せず、更にこの沿面放
電素子を900℃に赤熱して０℃の水中に投入して
も割れたり剥がれたりすることがなく、更に零下
100℃の状態でもオゾナイザとして使用すること
ができた。
実験例 ２
上述の実験例１に示した沿面コロナ放電素子の
線状コロナ放電極の表面に純度99％のアルミナ磁
器で厚さ10μｍの保護層を形成して、それを前述
と同様の状態でオゾンを発生させたところ、原料
ガスとして乾燥空気及び純酸素を供給する場合は
保護層を形成しないものより更に2000時間寿命が
延びた。
線状コロナ放電極の表面に純度99％のアルミナ磁
器で厚さ10μｍの保護層を形成して、それを前述
と同様の状態でオゾンを発生させたところ、原料
ガスとして乾燥空気及び純酸素を供給する場合は
保護層を形成しないものより更に2000時間寿命が
延びた。
又、原料ガスとして湿度80％の生空気を供給す
る場合は保護層のない場合と比較して更に1000時
間寿命が延びた。
る場合は保護層のない場合と比較して更に1000時
間寿命が延びた。
以上は本発明の沿面コロナ放電素子およびその
製造方法の実施例であつて、本発明はこれに限定
されるものでなく例えば上記実施例は上部原料シ
ート１の下面８に下部原料シート１０を重合する
場合を示しているが、必要に応じてその下部原料
シート１０の重合を省略して実施することも可能
である。
製造方法の実施例であつて、本発明はこれに限定
されるものでなく例えば上記実施例は上部原料シ
ート１の下面８に下部原料シート１０を重合する
場合を示しているが、必要に応じてその下部原料
シート１０の重合を省略して実施することも可能
である。
又前記の実施例の誘電体層２０は平板状である
が、第２図乃至第５図に示すように円筒状の誘電
体層２６を使用することもできる。これらの各図
面中の図面符号で前記実施例の図面符号と同一の
部分はその部分の名称と機能についても同一であ
る。
が、第２図乃至第５図に示すように円筒状の誘電
体層２６を使用することもできる。これらの各図
面中の図面符号で前記実施例の図面符号と同一の
部分はその部分の名称と機能についても同一であ
る。
第２図は第１Ａ図及び第１Ｂ図に示す上部原料
シート１をその上面２が外側になるように長手方
向を軸として曲げて、中空円筒２５状の誘電体層
２６を構成の上焼結して沿面コロナ放電素子を構
成したものであり、この場合は該円筒状誘電体層
２６の外表面に高周波コロナ放電を発生して、そ
こにイオンを発生するものである。
シート１をその上面２が外側になるように長手方
向を軸として曲げて、中空円筒２５状の誘電体層
２６を構成の上焼結して沿面コロナ放電素子を構
成したものであり、この場合は該円筒状誘電体層
２６の外表面に高周波コロナ放電を発生して、そ
こにイオンを発生するものである。
第３図は第２図のものの変形として、その線状
コロナ放電極３，４，５を円筒状誘電体層２６の
表面上にその母線方向と直交する方向に配置した
ものである。
コロナ放電極３，４，５を円筒状誘電体層２６の
表面上にその母線方向と直交する方向に配置した
ものである。
第４図は第１Ａ図及び第１Ｂ図に示す上部原料
シート１をその上面２が内側になるように長手方
向を軸として曲げて、中空円筒状誘電体層２６を
構成の上焼結して沿面コロナ放電素子を構成した
ものであり、この場合は該円筒状誘電体層２６の
内側表面に高周波沿面コロナ放電を発生して、そ
こにイオンを発生するものである。
シート１をその上面２が内側になるように長手方
向を軸として曲げて、中空円筒状誘電体層２６を
構成の上焼結して沿面コロナ放電素子を構成した
ものであり、この場合は該円筒状誘電体層２６の
内側表面に高周波沿面コロナ放電を発生して、そ
こにイオンを発生するものである。
第５図は第４図のものの変形例として、その線
状コロナ放電極３，４，５を円筒状誘電体層２６
の内側表面上にその母線方向と直交する方向に配
置したものである。
状コロナ放電極３，４，５を円筒状誘電体層２６
の内側表面上にその母線方向と直交する方向に配
置したものである。
第６図ないし第９図は第１Ｅ図の実施例におけ
る線状コロナ放電極３，４，５を誘電体層１９１
の面上に特に長形の電送線路１８７として配設
し、その線状コロナ放電極１８７の端子１７８と
面状誘導電極９の端子１７９との間に高周波高圧
電源としてパルス幅が1NS〜1000NS程度の極短
パルス高電圧電源１８０を用いる場合に適してお
り、この場合に生ずるコロナ放電は化学的作用が
特に活発でオゾンの生成やNOx、SOxの酸化に好
適である。
る線状コロナ放電極３，４，５を誘電体層１９１
の面上に特に長形の電送線路１８７として配設
し、その線状コロナ放電極１８７の端子１７８と
面状誘導電極９の端子１７９との間に高周波高圧
電源としてパルス幅が1NS〜1000NS程度の極短
パルス高電圧電源１８０を用いる場合に適してお
り、この場合に生ずるコロナ放電は化学的作用が
特に活発でオゾンの生成やNOx、SOxの酸化に好
適である。
第６図は平板上の誘電体層１８の表面に線状コ
ロナ放電極１８７をジグザグ状に設け、その内部
に面状誘導電極９を埋設し、該両電極間に誘電体
層１８を介して沿面コロナ放電を発生させるもの
である。なお図中の矢印１８８，１８９，１９０
は進行波高電圧の進行方向をしめすものである。
ロナ放電極１８７をジグザグ状に設け、その内部
に面状誘導電極９を埋設し、該両電極間に誘電体
層１８を介して沿面コロナ放電を発生させるもの
である。なお図中の矢印１８８，１８９，１９０
は進行波高電圧の進行方向をしめすものである。
第７図は第６図の沿面コロナ放電素子の上面を
内側になるようにその長手方向を軸として曲げて
円筒状誘電体層１９２を形成したものであり、第
８図は同じく上面を外側になるようにその長手方
向を軸として曲げて円筒状誘電体層１９３を形成
したものであり、それぞれ円筒の内側および外側
に沿面コロナ放電を発生するものである。
内側になるようにその長手方向を軸として曲げて
円筒状誘電体層１９２を形成したものであり、第
８図は同じく上面を外側になるようにその長手方
向を軸として曲げて円筒状誘電体層１９３を形成
したものであり、それぞれ円筒の内側および外側
に沿面コロナ放電を発生するものである。
第９図は第８図に示す円筒状誘電体層１９３の
表面に形成した母線方向の線状コロナ放電極１８
７を、螺旋状の線状コロナ放電極１９４に置き換
えたものである。
表面に形成した母線方向の線状コロナ放電極１８
７を、螺旋状の線状コロナ放電極１９４に置き換
えたものである。
［発明の効果］
本発明は誘電体層を介して線状電極と面状誘導
電極を一体的に設けた沿面コロナ放電素子におい
て、その誘電体層をアルミナ磁器で形成し、該線
状コロナ放電極をタングステンで形成し、その線
状コロナ放電極と前記誘電体層との境界面を、そ
れらの焼成時に形成されるメタライズ層からなる
境界層を介して一体的に固着しているので、その
誘電体層の表面および線状コロナ放電極をその部
分に生ずる沿面コロナ放電によつて高温に加熱
し、それらを夫々熱膨張してもその際の膨張率が
互いにほぼ等しいので両者は同時に伸縮し、それ
らの間に熱応力が発生せず、しかも万一誘電体層
の表面と線状コロナ放電極との間に温度勾配によ
る熱応力が生じても線状コロナ放電極と誘電体の
間はそれらの焼結時に発生するメタライズ層から
なる境界層を介して、相互に根が入り交じる如く
して一体的に固定されているので、該線状コロナ
放電極と誘電体層の表面との相互間には剥離が起
こらない。すなわちこれらの二つの現象が相まつ
て線状コロナ放電極の誘導電極表面からの剥離防
止を一層確実にするものである。
電極を一体的に設けた沿面コロナ放電素子におい
て、その誘電体層をアルミナ磁器で形成し、該線
状コロナ放電極をタングステンで形成し、その線
状コロナ放電極と前記誘電体層との境界面を、そ
れらの焼成時に形成されるメタライズ層からなる
境界層を介して一体的に固着しているので、その
誘電体層の表面および線状コロナ放電極をその部
分に生ずる沿面コロナ放電によつて高温に加熱
し、それらを夫々熱膨張してもその際の膨張率が
互いにほぼ等しいので両者は同時に伸縮し、それ
らの間に熱応力が発生せず、しかも万一誘電体層
の表面と線状コロナ放電極との間に温度勾配によ
る熱応力が生じても線状コロナ放電極と誘電体の
間はそれらの焼結時に発生するメタライズ層から
なる境界層を介して、相互に根が入り交じる如く
して一体的に固定されているので、該線状コロナ
放電極と誘電体層の表面との相互間には剥離が起
こらない。すなわちこれらの二つの現象が相まつ
て線状コロナ放電極の誘導電極表面からの剥離防
止を一層確実にするものである。
又本発明は誘電体層をアルミナ磁器で形成して
いるので、前記沿面コロナ放電の発生時における
該誘電体層の電界集中部分を、そのアルミナ磁器
の特性によつて局部的に劣化するおそれがない。
いるので、前記沿面コロナ放電の発生時における
該誘電体層の電界集中部分を、そのアルミナ磁器
の特性によつて局部的に劣化するおそれがない。
又本発明の併合発明は前述の沿面コロナ放電素
子において線状コロナ放電極をタングステンで形
成し、その線状コロナ放電極の表面に保護層を形
成しているので、誘電体層の表面に沿面コロナ放
電が発生した際、その線状コロナ放電極を前述の
ように損耗の可能性のあるタングステンで形成し
てあるにもかかわらず、酸化あるいはイオン衝突
によつて損耗するおそれがない。
子において線状コロナ放電極をタングステンで形
成し、その線状コロナ放電極の表面に保護層を形
成しているので、誘電体層の表面に沿面コロナ放
電が発生した際、その線状コロナ放電極を前述の
ように損耗の可能性のあるタングステンで形成し
てあるにもかかわらず、酸化あるいはイオン衝突
によつて損耗するおそれがない。
さらに本発明の他の併合発明である沿面放電素
子の製造方法は、上部原料シートの上面に線状コ
ロナ放電極を印刷し、これらをその状態で同時に
焼成するので、タングステンの焼成温度とフアイ
ンセラミツク誘電体のそれとが同一温度になり、
それらの境界面ではタングステンの粒界にわずか
な不純物SiO2、MgO、AI2O3が拡散し、反応し
てガラス相部分を粒界に生じ（これが、メタライ
ズ層と言われるものである。）丁度、タングステ
ンの根が相互に延びたような状態になる。
子の製造方法は、上部原料シートの上面に線状コ
ロナ放電極を印刷し、これらをその状態で同時に
焼成するので、タングステンの焼成温度とフアイ
ンセラミツク誘電体のそれとが同一温度になり、
それらの境界面ではタングステンの粒界にわずか
な不純物SiO2、MgO、AI2O3が拡散し、反応し
てガラス相部分を粒界に生じ（これが、メタライ
ズ層と言われるものである。）丁度、タングステ
ンの根が相互に延びたような状態になる。
そのため、フアインセラミツク誘電体と線状コ
ロナ放電極とは強固に固着される。
ロナ放電極とは強固に固着される。
第１Ａ図ないし第１Ｄ図は本発明の沿面コロナ
放電素子の製造方法の実施例を示す斜面図で、第
１Ａ図は上部原料シートの上面部を示し、第１Ｂ
図はその下面部を示す。第１Ｃ図は下部原料シー
トの上面部を示し、第１Ｄ図はその下面部を示
す。第１Ｅ図は本発明の沿面コロナ放電素子の実
施例を示す斜面図、第１Ｆ図はその使用状態を示
す断面図、第２図乃至第９図は本発明の他の実施
例の斜面図である。 １……上部原料シート、２……上部原料シート
の上面、３……線状コロナ放電極、３ａ……保護
層、３ｂ……メタライズ層、４……線状コロナ放
電極、４ａ……保護層、４ｂ……メタライズ層、
５……線状コロナ放電極、５ａ……保護層、５ｂ
……メタライズ層、８……上部原料シートの下
面、９……面状誘導電極、１０……下部原料シー
ト、１２……穴、１３……円板状接触用導体部、
１４……円板状接触用導体部、１６……円板状タ
ーミナル導体部、１８……誘電体板、１９……高
周波高圧電源、２０……誘電体層、２６……円筒
状誘電体層。
放電素子の製造方法の実施例を示す斜面図で、第
１Ａ図は上部原料シートの上面部を示し、第１Ｂ
図はその下面部を示す。第１Ｃ図は下部原料シー
トの上面部を示し、第１Ｄ図はその下面部を示
す。第１Ｅ図は本発明の沿面コロナ放電素子の実
施例を示す斜面図、第１Ｆ図はその使用状態を示
す断面図、第２図乃至第９図は本発明の他の実施
例の斜面図である。 １……上部原料シート、２……上部原料シート
の上面、３……線状コロナ放電極、３ａ……保護
層、３ｂ……メタライズ層、４……線状コロナ放
電極、４ａ……保護層、４ｂ……メタライズ層、
５……線状コロナ放電極、５ａ……保護層、５ｂ
……メタライズ層、８……上部原料シートの下
面、９……面状誘導電極、１０……下部原料シー
ト、１２……穴、１３……円板状接触用導体部、
１４……円板状接触用導体部、１６……円板状タ
ーミナル導体部、１８……誘電体板、１９……高
周波高圧電源、２０……誘電体層、２６……円筒
状誘電体層。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 誘電体層を介して線状コロナ放電極と面状誘
導電極を一体的に設けた沿面コロナ放電素子にお
いて、該誘電体層をアルミナ磁器で形成し、該線
状コロナ放電極をタングステンで形成し、その線
状コロナ放電極と前記誘電体層との境界面に、そ
れらの焼成時に形成されるメタライズ層からなる
境界層を一体的に形成することを特徴とする沿面
コロナ放電素子。 ２ 誘電体層を介して線状コロナ放電極と面状誘
導電極を一体的に設けた沿面コロナ放電素子にお
いて、該誘電体層をアルミナ磁器で形成し、該線
状コロナ放電極をタングステンで形成し、またそ
の線状コロナ放電極の表面に保護層を形成し、そ
の線状コロナ放電極と前記誘電体層との境界面
に、それらの焼成時に形成されるメタライズ層か
らなる境界層を一体的に形成することを特徴とす
る沿面コロナ放電素子。 ３ アルミナ微粉末等のフアインセラミツク誘電
体材料とバインダとで形成された柔軟性に富む上
部原料シートの上面に線状コロナ放電極を、また
下面に面状誘導電極をそれぞれタングステン粉末
の分散せるインクで印刷し、これらをその状態で
同時に焼成してその際該上部原料シートと線状コ
ロナ放電極との境界面に、メタライズ層からなる
境界層を一体的に形成することを特徴とする沿面
コロナ放電素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57155617A JPS5944782A (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | 沿面コロナ放電素子およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57155617A JPS5944782A (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | 沿面コロナ放電素子およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5944782A JPS5944782A (ja) | 1984-03-13 |
| JPH0222998B2 true JPH0222998B2 (ja) | 1990-05-22 |
Family
ID=15609921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57155617A Granted JPS5944782A (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | 沿面コロナ放電素子およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5944782A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0237199U (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-12 | ||
| US7160365B2 (en) | 2003-03-10 | 2007-01-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ion generating apparatus, air conditioning apparatus, and charging apparatus |
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|---|---|---|---|---|
| JPS6057121U (ja) * | 1983-09-28 | 1985-04-20 | 増田 閃一 | 沿面コロナ放電素子 |
| DE3525708A1 (de) * | 1984-07-18 | 1986-01-30 | Senichi Tokio/Tokyo Masuda | Ozonisierungsvorrichtung |
| JPH0519298Y2 (ja) * | 1987-04-16 | 1993-05-21 | ||
| EP0300452B1 (en) * | 1987-07-23 | 1991-11-06 | Asahi Glass Company Ltd. | Field formation apparatus |
| JPH0764523B2 (ja) * | 1988-03-25 | 1995-07-12 | 京セラ株式会社 | オゾン発生用放電体 |
| JPH03236900A (ja) * | 1990-02-14 | 1991-10-22 | Sharp Corp | 衣類乾燥機 |
| JPH0810935Y2 (ja) * | 1990-03-30 | 1996-03-29 | 日本特殊陶業株式会社 | 電界装置 |
| JP2002117956A (ja) * | 2000-10-04 | 2002-04-19 | Sharp Corp | イオン発生装置及びそれを備えた空気清浄機並びに空気調和機 |
| JP5576057B2 (ja) * | 2009-04-24 | 2014-08-20 | パナソニック株式会社 | オゾン発生装置 |
| JP5664792B2 (ja) * | 2011-09-20 | 2015-02-04 | 株式会社村田製作所 | オゾン発生装置およびその製造方法 |
| JP6175721B2 (ja) * | 2012-11-09 | 2017-08-09 | 株式会社渡辺商行 | オゾン発生装置、及び、オゾン発生方法 |
| CN109196741B (zh) * | 2016-06-03 | 2020-10-16 | 日本碍子株式会社 | 电荷产生元件以及微粒数检测器 |
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| JPS557564A (en) * | 1978-06-30 | 1980-01-19 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | Ozonizer |
| JPS5537483A (en) * | 1978-07-13 | 1980-03-15 | Saint Gobain | Layered window glass and producing same |
| JPS56120507A (en) * | 1980-02-23 | 1981-09-21 | Senichi Masuda | Ozonizer |
| JPS576385A (en) * | 1980-06-12 | 1982-01-13 | Citizen Watch Co Ltd | Movement structure of digital watch |
-
1982
- 1982-09-07 JP JP57155617A patent/JPS5944782A/ja active Granted
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| US7160365B2 (en) | 2003-03-10 | 2007-01-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ion generating apparatus, air conditioning apparatus, and charging apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5944782A (ja) | 1984-03-13 |
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