JPH0763032B2

JPH0763032B2 - 物体の静電的処理装置

Info

Publication number: JPH0763032B2
Application number: JP29114089A
Authority: JP
Inventors: 閃一増田; 雄飛福浦
Original assignee: NGK Spark Plug Co Ltd
Current assignee: NGK Spark Plug Co Ltd
Priority date: 1989-11-10
Filing date: 1989-11-10
Publication date: 1995-07-05
Anticipated expiration: 2010-07-05
Also published as: JPH02210798A

Description

【発明の詳細な説明】本発明はフアイン・セラミック誘電体を用いた不平等電
界を発生する沿面放電型電界装置による物体の静電的処
理装置に関するものである。

誘電体の表面や内部に電極を設け、これに直流高電圧な
いし交流高圧（正弦波、矩形波、パルス状高電圧を含
む）を印加して気中放電や電気力学的現象など電界に固
有の現象を発生せしめ、これを物体の荷電や除電のため
にイオン源として利用したり、あるいは物体の電気力に
よる附着、あるいは反撥や輸送等の電気力学的操作に利
用する装置（以下電界装置と総称する）はそれ自体公知
である。

イオン源としての電界装置の例としては古くは「電気的
瓦斯精製装置」（特許第99242号）があり、また近くは
「静電粉体塗着装置」（特願昭51−103328），「粒子荷
電装置」（特願昭52−106400），「除電装置）（特願昭
52−145838），「管路式除電装置」（特願昭56−15541
9）などがある。また電気力学的操作に利用するための
電界装置の例としては「接触形電界カーテン装置」（特
許第983218号），「接触形電界カーテンを用いた粒子輸
送，供給装置」（特許第973106号），「接触形電界カー
テンを用いて粒子を塗着する方法ならびにその装置」
（特許第1009331号），「接触形電界カーテンを構成す
る方法およびこれを利用した接触形電界カーテン装置」
（特許第981125号），「接触形電界カーテンを用いた静
電粉体塗着用ブース」（特許第1047574号），「帯電粒
子発生装置」（特許第1048666号），「細線型電界装
置」（特公昭57−6385），「単極電界カーテン装置」
（特公昭57−9856），「電界カーテン装置からなる壁」
（特公昭57−24181），「安全型電界カーテン装置」
（特開昭52−108574），「一相露出型接触型電界カーテ
ン装置」（特願昭57−081779）などがある。

しかしこれらすべての電界装置を通じて、電極をその表
面に担持したり、その内部に埋入保持したりする誘電体
には極めて高い値の直流又は交流の電界が加わり、特に
電極附近における電界の集中が著しい。その結果この電
界集中部分にはそれが気中に露出している時は勿論たと
え誘電体中に埋入されている場合も局部的な部分放電が
発生して、この部分の誘電体材料はイオンや電子の衝撃
をうける。この作用は電界装置をイオン源として用いる
場合には当然電極に気中放電を発生せしめるので、益々
著しいものとなる。また電極に交流電圧を印加すると上
記部分放電は特に著しいものとなる。しかるに従来の沿
面放電型電界装置においては、製作の容易さから殆んど
の場合誘電体として合成樹脂ないし合成樹脂で接着せる
成形無機絶縁物が用いられ、この場合上記部分放電によ
るイオン衝撃や電子衝撃によつて合成樹脂等の有機誘電
体材料が局部的に劣化し、特に交流高電圧印加の時はこ
れが急速に樹枝状に進展してトリーイングとよばれる絶
縁欠陥が成長し、遂に比較的短時間内に高電圧が印加さ
れる電極間の絶縁破壊を生ずることをさけ得なかつたの
である。これを防止するため誘電体としてマイカやセラ
ミツク等の無機絶縁物を用いる時は、寿命は若干延長す
るものの電極をその内部に完全に埋入することが困難と
なるのみならず、その構造が緻密でないため、電界効果
を高めるため絶縁部分の間隔や厚味をうすくする時はや
はり低い電圧で直ちに絶縁破壊を生じ、有効な電界装置
を構成することが不可能であつた。また無機誘電体とし
てガラスを用いる時は、この問題は解消するものの、機
械的に脆弱となる上やはり絶縁破壊強度も必ずしも充分
でなく、その上不平等交番電界印加による局部的温度上
昇によつて極めて容易に破かいするという欠点をまぬが
れることが出来なかつたのである。

この様に従来材料として適切なものが得られなかつたが
ために電界装置は著しく短寿命かつ高価なものとなつ
て、その広範な活用の道が閉ざされて居たのである。

本発明の目的は上記の難点を解決した長寿命で信頼性が
高くかつ安価な電界装置を用いた物体の静電的処理装置
を提供してその装置の本格的な実用化を可能ならしめる
ことにある。

しかして本発明はこの目的を該誘電体材料として、例え
ば高純度アルミナ磁器等の如く純度の高い機械的・電気
的・化学的かつ熱的に著しく丈夫なセラミツク材料（以
下フアインセラミツクと称す）を使用すると共に、その
焼成前の成形材料に電極を配設しておき、これを電極と
一体として焼成して電界装置を作製することにより、極
めて緻密で機械的・電気的・化学的かつ熱的に丈夫で信
頼性の高いものとして、これを物体の静電的処理装置に
使用することにより達成する。

その具体的方法としては、たとえば高純度アルミナ磁器
を用いるときは、予め粒径数ミクロン以下に粉砕せるア
ルミナを有機バインダーで結合の上、層状に形成した原
料シート（グリーン・シートと称する）を作製し、その
表面上に適当な金属、例えばタングステン微粉末を分散
せるインクを用いて例えばスクリーン印刷等の厚膜印刷
技術で電極を形成し、かくして形成せる電極付グリーン
シートをそのまま単独に、あるいは複数個積層圧着の上
多層グリーンシートとして、水素炉等の適当なる還元性
ふん囲気内で1500〔℃〕附近の高温度で焼結する等の方
法をとることができる。

この場合積層構造の多層グリーンシートにより電界装置
を構成することにより、電極の一部を一層ないし多層に
フアイン・セラミツク誘電体の内部にサンドイツチ状に
埋入配設することが可能となり、これによつて高度の電
界効果，イオン形成効果を達成したり、あるいは高電圧
印加の電極を全面的に内部埋入することによって露出部
分における電界集中を防止し、安全性を高めることが可
能となる。

またグリーンシートを貫ぬいて小孔をあけ、ここにも又
上記タングステン微粉体インキ等を充填の上焼成するこ
とにより、単層又は多層のフアイン・セラミツク誘電体
層を貫通してその外側面に設けられた円板状のターミナ
ル導体部と電気的接続を行うことが可能となる。またそ
の表面に配設せる電極をその外側に配置せる円板状ター
ミナル導体部に接続して外部端子との電気的接続を行う
際、これらの各円板状ターミナル導体部と対向する位置
に予じめ配置されている給電端子上に単に載置するだけ
でその接続をはかることも出来る。

本発明に使用するフアインセラミツク誘電体材料は純度
90％以上の高純度アルミナ磁器が好適であるが、それ以
外でも機械的，電気的，化学的，熱的に丈夫な材料であ
ればいかなるフアインセラミツク材料を用いても良い。
また電界装置を多層構造で形成する時は高純度アルミナ
磁器層と比較的純度が低く安価なアルミナ磁器層を複合
使用したり、種類・性質の異なるフアインセラミツク材
料を層別ないし場所別に複合使用したり、あるいは更に
フアインセラミツク材料とそれ以外の誘電体材料（合成
樹脂・マイカ・ガラス・FRP）を層別ないし場所別に複
合使用して、より安価にしたり、よりその性能を高める
こともできる。

本発明による電界装置の表面は、生地のまま使用しても
よいが、その表面に適当な釉薬をほどこしてその平滑
化，電気伝導性の附与等表面性質の改善をほどこしても
よく、またテフロン層，シリコン層，その他適当な材料
の表面層を附着せしめてその表面性質の改善をほどこす
こともできる。

また、本発明に使用する電極材料としては、その素地材
としてのフアインセラミツク材料と共に焼結する際これ
とのなじみが良く、これと出来る限り近い熱膨張係数を
有する高融点の金属であることが好ましく、素地が高純
度アルミナ磁器のときはタングステンがもつとも適して
いる。しかし各種のフアインセラミツク材料に応じて適
当な凡ゆる金属材料を選定使用することが出来る。また
そのグリーンシートへの附着に当つては金属粉末分散イ
ンキのスクリーン印刷等の手法による厚膜電極を形成し
てもよいが、場合によつては線状，板状，箔状に予め形
成せる金属電極を附着してもよい。また蒸着等により附
着せる薄膜電極を用いることも出来る。更に電極材料と
しては必ずしも金属材料に限定されることなく、カーボ
ン繊維，半導電性セラミツク材料等適当な凡めるものが
使用できることは云うまでもない。また電極材料はその
酸化を防いだり表面を保護したり、あるいははんだづけ
を容易ならしめるため、その上にニツケル等適当な金属
をめつきしてもよく、更に電極自体の上に薄く釉薬やア
ルミナ絶縁膜その他の表面層をほどこしてもよい。

また本発明による新規の電界装置の幾何学形状は、平板
状のみならず任意の曲面状（球面状，半筒状，多角形
状，段階状等）に形成使用でき、これを行うに当つては
柔軟性に富む電極附グリーンシートの段階でこれを所望
の形状に成形の上焼成すればよい。

本発明による電界装置の応用領域は、物体の荷電や除電
装置，物体の電気力学的操作装置の凡ゆるものに及ぶと
共に、本願冒頭に例示せる特許ぼよび特許出願のすべて
を包含し、更に今後出現すべき電界装置の応用方法なら
びに応用装置のすべてを包含する。

以下本発明の特徴を実施例及び図面によつて更に詳細に
説明する。

第1A図乃至第1F図はイオン源としての電界装置に本発明
を実施せる例で、本発明によつて長方形のフアイン・セ
ラミツク誘電体板上に長手方向に細長いコロナ放電極群
を配設し、その下方の誘電体板内部に該コロナ放電極群
全体と対向する大きさをもつた一枚の誘電電極を埋入焼
成せる装置の作製方法を示す。該誘電体板は上下２枚の
グリーンシート素材をもつて作製する。第1A図は上部グ
リーンシートの上面を示す斜視図で、長方形の上部グリ
ーンシート１の上面２に、長手方向にスクリーン印刷の
手法を用いてタングステン微粉末を分散せるインクを幅
約１〔mm〕、厚味約100〔μｍ〕、間隔約５〔mm〕に印
刷して複数本の平行コロナ電極3,4,5を形成し、更にこ
れを同様の方法で印刷せる共通導線６に接続の上、ター
ミナル導線７を更に印刷接続する。

第1B図は該上部グリーンシート１の下面８を示す斜視図
で、電極3,4,5が占める上面の全面積と対向する下面８
上の面に、同じスクリーン印刷の手法を用いてタングス
テン微粉末を分散せるインクを印刷して長方形の面状の
誘導電極９を形成する。第1C図は下部シート10の上面11
を示す斜視図、同シート10の中央に直径約１〔mm〕の穴
12を同シート10を貫通してうがち、この穴にタングステ
ン微粉末を分散せるインクを充填してシート10を貫通す
る導体を形成し、更に穴12を中心として直径約10〔mm〕
の円板状の接触用導体部13を同じくタングステン微粉末
分散のインクでスクリーン印刷して形成する。また同様
の方法でシート10の左端の端縁にターミナル導線７と接
続するターミナル導線7aを画く。第1D図は下部シート10
の下面14を示す斜視図でタングステン微粉末分散のイン
クを充填せる上記の穴12を中心として直径約10〔mm〕の
円板状のターミナル導体部15を同じくタングステン微粉
末分散のインクでスクリーン印刷して形成する。また下
面14の左端に別の直径約10〔mm〕の円板状ターミナル導
体部16を同じくタングステン微粉末分散のインクでスク
リーン印刷により形成し、これをターミナル導線7aに同
様のインクで印刷せるターミナル導線17により接続す
る。次に上記各シート1,10を重ねて熱圧着成形の上水素
炉内で焼成すると面状誘導電極９は両シート1,10間にサ
ンドウイツチ状に気密に挾まれた状態で焼結され、上下
シートが一体化して焼結された誘電体板18内に埋入され
る。そして該誘導電極９は円板状ターミナル導体部13と
融合し、穴12を通じて導通の上誘電体板18の裏面の円板
状ターミナル導体部15に接続される。また誘電体板18の
表面のコロナ電極群3,4,5は貫通導線６、ターミナル導
線7,7aを介して誘電体板18の裏面の円板状ターミナル導
体部16に接続される。第1E図はこの様にして作製せるイ
オン源としての電界装置の面表を示す斜視図で、部分的
に上部シートによるセラミツク板を切りとつて、下部シ
ートによるセラミツク板部分と誘導電極９が示されてい
る。第1F図はこの電界装置の横断面図を示す。但し電極
3,4,5、導線6,7,7a,17およびターミナル導体部15,16の
表面にはタングステンの酸化を防ぐためニツケルを鍍金
し、これにより15,16への外部導線のハンダづけも容易
となる。いま図には省略して画かれていないターミナル
導体部16,15を介して高周波高流高圧電源19より、コロ
ナ電極群3,4,5と面状誘導電極９との間に高周波交流高
電圧をフアインセラミツク誘電体層20を介して印加する
（但し安全のため3,4,5は接地してある）と、3,4,5の端
縁から高周波コロナ放電が誘電体板18の表面に沿つて発
生し、豊富な正負イオンを含むプラズマを形成する。し
たがつてこれを帯電物体の近傍に近づけると、その電荷
と逆極性のイオンがこのプラズマから該帯電物体に向つ
て供給され、これを迅速に除電する。すなわち除電器と
して使用することが出来る。この場合高周波交流高圧電
源19の代りにパルス高圧電源を用い、くり返しパルス電
圧を印加してもよいことは、いうまでもない。

第２図は第1F図のイオン源電界装置21をローラー22を通
過後のゴムベルト23のまさつ帯電電荷の除電の利用せる
例で、帯電したゴムベルト表面のごく近くにイオン源電
界装置21が捜入配設され、コロナ電極群3,4,5により形
成されるプラズマから、図においては負イオンが吸引さ
れてゴムベルト表面の正電荷を中和する。24は保護用の
高抵抗である。

第３図は第1A図、第1B図に示す上部シートと第1C図、第
1D図に示す下部シートを重ねて第1E図の形状に積層圧着
の上これを長手方向を軸として細線状コロナ放電極3,4,
5,…を有する上面を内側として曲げて中空円筒26を構成
の上、焼結してイオン源を構成したものである。円筒内
表面に軸方向に平行かつ等間隔に配列された細線状コロ
ナ放電極3,4,5,…とフアインセラミツク中空円筒26の内
部に埋入して円筒面状に形成された誘導電極９との間
に、それぞれターミナル導体部15,16を介して図の如く
高周波交流電圧電源19より高周波交流高電圧を印加する
と、中空円筒26の内面に沿つてコロナ放電極群3,4,5,…
より高周波コロナ放電が発生してプラズマイオン源を形
成する。したがつてこの様な中空円筒状電界装置を電気
抵抗の高い粉粒体の空気輸送管路の途中に挿入する時
は、管路内壁とのまさつにより強力に帯電した粉粒体の
電気を上記中空円筒26の内面に生じたプラズマが供給す
る逆極性のイオンにより中和除電することができる。

第４図は第３図の装置の変形で、細線状コロナ放電極3,
4,5,…を中空円筒26の内面に、円筒軸と直交する方向に
配列したものである。

第３図、第４図の円筒状電界装置はまた高抵抗液体のパ
イプ輸送の途中に挿入して、パイプとのまさつにより帯
電せる液体の除電に用いることも出来る。

第５図は第1E図、第1F図に示す板状イオン源電界装置18
を荷電装置として使用せる例で、接地せる非コロナ電極
29に対向して、その電界装置18をコロナ放電極3,4,5,…
が非コロナ電極29に向かう如くに続縁支持し、該コロナ
放電極3,4,5,…と埋入誘導電極９の間に高周波交流電圧
電源19により高周波交流高電圧を印加して、コロナ放電
極3,4,5よりプラズマを形成せしめた上で、コロナ放電
極3,4,5を負の直流高圧電源30に接続すると、プラズマ
より負イオンが接地非コロナ電極29に向つて走行し、電
界装置18,非コロナ電極29の間の荷電空間31に直流電界
とイオン電流を生ずる。いま荷電しようとする物体、た
とえば粉粒体又は液滴32をここに導入すると負イオンの
射突をうけて直ちに負に荷電されて、帯電物体33として
外部に供給される。第６図は第５図を示す所の本発明に
よる荷電用イオン源電界装置18を接地非コロナ電極29上
におかれた絶縁フイルム36の表面に負電荷をのせるのに
利用せる例で、これによりフイルム36を非コロナ電極29
上に電気力により強力に附着せしめる。電界装置18は矢
印37の方向に移動され、これによりフイルム36の全表面
に均一に電荷をのせることができる。この状態で直流高
圧電源30をとり外して、この部分を接地すると、電界装
置18は除電器として働き、フイルム36の表面電荷を除去
してフイルム36の非コロナ電極29からの脱着を可能なら
しめる。

第７図は第５図の荷電用イオン源電界装置18を粉体塗着
装置として利用せる例である。すなわち接地懸垂せる被
塗着物38の前面に電界装置18を配置し、交流高圧電源19
によつて、コロナ放電極3,4,5によりプラズマを電界装
置18の対向表面上に形成の上、直流高圧電源30によつ
て、該プラズマより負イオンを38に向つて走行せしめ、
上方よりパイプ39及び三角形フイーダー40の細隙41をへ
て粉体を上方より電界装置18の表面に供給すると、直ち
に負イオンの射突により負に荷電され、電気力により被
塗着物38に向つて運ばれてその表面に塗着される。

【図面の簡単な説明】

第1A図は本発明の物体の静電的処理装置に用いる電界装
置の製造過程における原料シートの上面を示す斜面図、
第1B図は同原料シートの下面を示す斜面図、第1C図は他
の原料シートの上面を示す斜面図、第1D図は他の原料シ
ートの下面を示す斜面図、第1E図は第1A図と第1C図の原
料シートを二枚重合して、一部分を欠如せる状態の斜面
図、第1F図は第1E図の横断面図、第２図は本発明の処理
装置の実施例の断面図、第３図及び第４図は夫々他の実
施例の斜面図、第５図は本発明の実施例を示す粉体の荷
電処理装置の断面図、第６図及び第７図は本発明の他の
実施例を示す粉体の処理装置の断面図及び斜面図、 3,4,5……線状電極９……面状電極 18……電界装置 23……ゴムベルト 25……円筒状誘電体 26,26a……円筒状電界装置 30……直流高圧電源 31……荷電空間 32……荷電粉体粒子 34……感光用ローラ 38……被塗物 42……円環状電界装置 45……ハンドガン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｂ０３Ｃ 3/00 Ａ 3/45 Ｚ 3/62 Ｂ４１Ｊ 29/00 Ｃ０１Ｂ 13/11 ＪＨ０１Ｔ 14/00 7522−5Ｇ (56)参考文献特開昭56−120507（ＪＰ，Ａ) 特公昭55−37483（ＪＰ，Ｂ２)

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】面状誘電体の一側面に線状電極を設け、該
面状誘電体の内部に面状電極を全面的に埋設して、それ
を前記線状電極と互いに対向して、沿面放電型電界装置
を形成し、該沿面放電型電界装置の沿面放電発生面を被
処理物体に向けてなる沿面放電型の物体の静電的処理装
置において、該面状誘電体を高純度アルミナ磁器で形成
し、その面状誘電体の他側面にその内部に埋設された面
状電極と導通するターミナル導体部を露出して設け、該
面状誘電体の他側面に線状電極と導通するターミナル導
体部を露出して設けることを特徴とする物体の静電的処
理装置。
【請求項２】特許請求の範囲第１項に記載せる物体の静
電的処理装置に於いて、線状電極と面状電極のうち少な
くとも一方が半導電性セラミック材料で形成されている
ことを特徴とする物体の静電的処理装置。
【請求項３】特許請求の範囲第１項に記載せる物体の静
電的処理装置に於いて、電源が高周波交流電源であるこ
とを特徴とする物体の静電的処理装置。
【請求項４】特許請求の範囲第１項に記載せる物体の静
電的処理装置に於いて、電源が極短パルス高圧電源であ
ることを特徴とする物体の静電的処理装置。
【請求項５】特許請求の範囲第４項に記載せる物体の静
電的処理装置に於いて、沿面放電型電界装置が排ガス通
路（196）内に空間を隔てて複数個その流れの方向に沿
って設けられており、又被処理物が排ガス通路（196）
内を流れる排ガスであることを特徴とする物体の静電的
処理装置。
【請求項６】特許請求の範囲第４項に記載せる物体の静
電的処理装置に於いて、沿面放電型電界装置が一段式電
気集塵装置のガス通路内の平板状集塵極と相対して設け
られていることを特徴とする物体の静電的処理装置。
【請求項７】特許請求の範囲第４項に記載せる物体の静
電的処理装置に於いて、沿面放電型電界装置が二段式電
気集塵装置の補集部の前段に設けられた荷電部に設けら
れていることを特徴とする物体の静電的処理装置。
【請求項８】特許請求の範囲第１項に記載の物体の静電
的処理装置において、被処理物体が除電処理されるゴム
ベルト（23）であることを特徴とする物体の静電的処理
装置。
【請求項９】特許請求の範囲第１項に記載の物体の静電
的処理装置において、面状誘電体の形状が曲面からなる
円筒状であり、又プラズマ発生面が円筒状誘電体（25）
の外周面であることを特徴とする物体の静電的処理装
置。
【請求項１０】特許請求の範囲第１項に記載の物体の静
電的処理装置において、誘電体の形状が曲面からなる円
筒状であり、又プラズマ発生面が円筒状誘電体（25）の
内周面であることを特徴とする物体の静電的処理装置。
【請求項１１】特許請求の範囲第１項に記載の物体の静
電的処理装置において、線状電極（３）が直流高圧電源
（30）と結合されており、被処理物体が被荷電粉体粒子
（32）であり、又プラズマ発生面が該被荷電粉体粒子の
荷電空間（31）を介して、接地された非コロナ電極に向
けられていることを特徴とする物体の静電的処理装置。
【請求項１２】特許請求の範囲第１項に記載の物体の静
電的処理装置において、電界装置が負の直流高圧電源
（30）に接続された線状電極（３）を有する円筒状電界
装置（26）と、接地された線状電極（３）を有する他の
円筒状電界装置（26a）とからなり、プラズマ発生面が
各円筒状電界装置（26、26a）の外周面に形成され、被
処理物体が接地された感光用ローラ（34）の表面である
ことを特徴とする物体の静電的処理装置。
【請求項１３】特許請求の範囲第１項に記載の物体の静
電的処理装置に於いて、電界装置の線状電極が直流高圧
電源（30）に接続され、被処理物体が該接地非コロナ電
極（29）に着脱せしめられるフイルム（36）であること
を特徴とする物体の静電的処理装置。
【請求項１４】特許請求の範囲第１項に記載の物体の静
電的処理装置に於いて、線状電極が直流高圧電源と結合
されており、被処理物体が粉体塗料であり、又プラズマ
発生面が該粉体塗料の通路を介して、接地された被塗物
に向けられていることを特徴とする物体の静電的処理装
置。
【請求項１５】特許請求の範囲第１項記載の静電的処理
装置に於いて、電界装置がハンドガン（45）の先端の開
口部に同軸に設けられた円環状電界装置（42）であり、
その電界装置を構成する線状電極が直流高圧電源（30）
と結合され、被処理物体が該ハンドガン内を通る粉体塗
料であり、又プラズマ発生面が被塗面（38）に向けられ
ていることを特徴とする物体の静電的処理装置。
【請求項１６】特許請求の範囲第１項に記載の物体の静
電的処理装置に於いて、誘電体と一体的に形成された電
極が、その内部に埋設された面状電極（９）であり、該
面状電極（９）が直流電源（30）と接続され、被処理物
体が接地せるマグネット（262）に付着されている着色
トナーであることを特徴とする物体の静電的処理装置。
【請求項１７】特許請求の範囲第16項に記載の物体の静
電的処理装置に於いて、面状誘電体が一体的に形成され
た電極がその内部に埋設された面状電極（９）とその表
面に設けられた線状電極（３）、（４）、（５）である
ことを特徴とする物体の静電的処理装置。
【請求項１８】特許請求の範囲第１項に記載の物体の静
電的処理装置に於いて、不平等電界装置が面状誘電体内
に埋設された面状電極と面状誘電体の表面に設けられて
いる複数の線状電極、及びその上面の不平等電界形成面
に、載置されている接地せる金属ペンで画かれるシート
母材（261）であることを特徴とする物体の静電的処理
装置。
【請求項１９】特許請求の範囲第１項に記載せる物体の
静電的処理装置に於いて、面状誘電体が積層され、かつ
その表面にターミナル導体部が設けられていることを特
徴とする物体の静電的処理装置。
【請求項２０】特許請求の範囲第19項に記載せる物体の
静電的処理装置に於いて、ターミナル導体部が、面状誘
電体の貫通孔に充填されたインクを介して電極に接続さ
れていることを特徴とする物体の静電的処理装置。
【請求項２１】特許請求の範囲第19項に記載せる物体の
静電的処理装置に於いて、インクがタングステン微粉末
分散のインクであることを特徴とする物体の静電的処理
装置。