JPS6114103A - セラミツクを用いたオゾナイザ− - Google Patents
セラミツクを用いたオゾナイザ−Info
- Publication number
- JPS6114103A JPS6114103A JP59132675A JP13267584A JPS6114103A JP S6114103 A JPS6114103 A JP S6114103A JP 59132675 A JP59132675 A JP 59132675A JP 13267584 A JP13267584 A JP 13267584A JP S6114103 A JPS6114103 A JP S6114103A
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- Japan
- Prior art keywords
- ozonizer
- ceramic
- cooling fluid
- plate
- electric field
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- Pending
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は何層かのオゾナイザ−よりなるセラミックを
用いたオゾナイザ−に関するものであり０□の酸化によ
る０３の製造、ＮＯ，、、ＳＯｘの酸化による脱硝、税
硫等に関するものである。ここでオゾナイザ−とは絶縁
体に電極を設は高周波高・電圧を印加することにより高
周波コロナ放電を発生し、強力なイオン源として使用で
きる他、極端パルス高電圧を印加すれば、沿面コロナ放
電を生じ活性プラズマの形成により、放電化学作用を有
するものである。
用いたオゾナイザ−に関するものであり０□の酸化によ
る０３の製造、ＮＯ，、、ＳＯｘの酸化による脱硝、税
硫等に関するものである。ここでオゾナイザ−とは絶縁
体に電極を設は高周波高・電圧を印加することにより高
周波コロナ放電を発生し、強力なイオン源として使用で
きる他、極端パルス高電圧を印加すれば、沿面コロナ放
電を生じ活性プラズマの形成により、放電化学作用を有
するものである。
［従来の技術］
来オゾナイザ−は一般に平板状又は円筒状であるため容
量の大きい装置とするには一般に大きな平板又は円筒を
要し、これをセラミックで製作すると脆性のため破壊し
易いものであった。（特願昭５７−１５５６１７号） ［問題を解決するための手段］ この発明はこの欠点を除外するもので、何層もの板状オ
ゾナイザ−を積み重ね容積小さく且つ容量の大きなオゾ
ナイザ−を提供するもので、アルミナ磁器、ジルコニア
磁器、窒化珪素磁器等のセラミック誘電体で形成せる基
板に複数の電極を設けてオゾナイザ−を形成し該電極と
非接触の状態に合成樹脂、ガラス又はセラミックの絶縁
体の波板又は格子状物を設置し、該波板又は格子状物と
をこれを繰り返した構造であることを特徴とするセラミ
ックを用いたオゾナイザ−において、オゾナイザ−とな
る基板中に波板又は格子状物と異なった方向に冷却流体
通過用の多数の流体通路を設けたものである。
量の大きい装置とするには一般に大きな平板又は円筒を
要し、これをセラミックで製作すると脆性のため破壊し
易いものであった。（特願昭５７−１５５６１７号） ［問題を解決するための手段］ この発明はこの欠点を除外するもので、何層もの板状オ
ゾナイザ−を積み重ね容積小さく且つ容量の大きなオゾ
ナイザ−を提供するもので、アルミナ磁器、ジルコニア
磁器、窒化珪素磁器等のセラミック誘電体で形成せる基
板に複数の電極を設けてオゾナイザ−を形成し該電極と
非接触の状態に合成樹脂、ガラス又はセラミックの絶縁
体の波板又は格子状物を設置し、該波板又は格子状物と
をこれを繰り返した構造であることを特徴とするセラミ
ックを用いたオゾナイザ−において、オゾナイザ−とな
る基板中に波板又は格子状物と異なった方向に冷却流体
通過用の多数の流体通路を設けたものである。
［実施例と作用効果］
この発明を図によって説明するとセラミック誘電体で形
成した冷却流体流通熱１１を線状電極と直角方向に有す
る基板１の上部表面２に端子３ａと接合せる線状接地電
極３を設け、基板ｌの内部には面状誘導電極５を冷却流
体流通孔の上方に埋設し、前記線状接地電極３と、面状
誘導電極５との間には電界形成用電源４を接続し、電界
形成用電源４と線状接地電極３との間にアース６を設け
る。５ａは面状誘導電極の両端である。又発明の板状オ
ゾナイザ−装置を造るには、例えばアルミナ粉末、ジル
コニア粉末、窒化珪素粉末のようなファインセラミック
際料に、バインダー例えば塩化ビニール・醋酸ビニール
の共重合体を添加し、混練後周知のハニカム押出し装置
により押出しこの表面にモリブデンやタングステン等の
導電材の粉末を含むペーストをスクリーン印刷して面状
誘導電極５を形成し、その塗布面に前記グリーンシート
と同材質のセラミックペーストを塗布乾燥し、その上部
表面に線状接地電極３．端子３ａをスクリーン印刷する
。これを非酸化性雰囲気にて１６００℃に１時間保持し
て焼結する。その後上部表面の線状接地電極部３にニッ
ケルメッキを施す。
成した冷却流体流通熱１１を線状電極と直角方向に有す
る基板１の上部表面２に端子３ａと接合せる線状接地電
極３を設け、基板ｌの内部には面状誘導電極５を冷却流
体流通孔の上方に埋設し、前記線状接地電極３と、面状
誘導電極５との間には電界形成用電源４を接続し、電界
形成用電源４と線状接地電極３との間にアース６を設け
る。５ａは面状誘導電極の両端である。又発明の板状オ
ゾナイザ−装置を造るには、例えばアルミナ粉末、ジル
コニア粉末、窒化珪素粉末のようなファインセラミック
際料に、バインダー例えば塩化ビニール・醋酸ビニール
の共重合体を添加し、混練後周知のハニカム押出し装置
により押出しこの表面にモリブデンやタングステン等の
導電材の粉末を含むペーストをスクリーン印刷して面状
誘導電極５を形成し、その塗布面に前記グリーンシート
と同材質のセラミックペーストを塗布乾燥し、その上部
表面に線状接地電極３．端子３ａをスクリーン印刷する
。これを非酸化性雰囲気にて１６００℃に１時間保持し
て焼結する。その後上部表面の線状接地電極部３にニッ
ケルメッキを施す。
次に第３図に斜視図を示す合成樹脂、ガラス又はセラミ
ックよりなる波型構造物又は第４図に斜
１゜挽回を示す格子状物を製作し更にその上に第１
図に示す板状オゾナイザ−を設置しこれを所望枚数繰り
返す。最上層の板状オゾナイザ−は線状接地電極を下面
にして接地することができる。この断面図を第５図に示
す。波板又は格子状物と板状オゾナイザ−とは板状オゾ
ナイザ−の基板の表面２に適宜凹部９を設けたり、又は
接着剤１０で接着し、使用中位置ずれを起こさない配慮
が好ましい。更に第６図の如（線状電極を中央のオゾナ
イザ−の基板の両側に設けることもできる。波板又は格
子状物を構成する材料は合成樹脂ではポリエチレン、フ
ェノール樹脂、塩化ビニール等、ガラスでは一般のシリ
カ・ソーダ・ガラス、結晶化ガラス、セラミックではア
ルミナ磁器、窒化珪素磁器、ジルコニア磁器等の他一般
陶磁器やセメント、アスベスト等でもよい。これらは押
し出し法で成形し、セラミック材料では適宜焼結温度で
焼成すれば製作可能である。接着剤は酢酸ビニール系、
エポキシ樹脂系、燐酸系や瞬間接着剤でも有効に利用で
きる。
ックよりなる波型構造物又は第４図に斜
１゜挽回を示す格子状物を製作し更にその上に第１
図に示す板状オゾナイザ−を設置しこれを所望枚数繰り
返す。最上層の板状オゾナイザ−は線状接地電極を下面
にして接地することができる。この断面図を第５図に示
す。波板又は格子状物と板状オゾナイザ−とは板状オゾ
ナイザ−の基板の表面２に適宜凹部９を設けたり、又は
接着剤１０で接着し、使用中位置ずれを起こさない配慮
が好ましい。更に第６図の如（線状電極を中央のオゾナ
イザ−の基板の両側に設けることもできる。波板又は格
子状物を構成する材料は合成樹脂ではポリエチレン、フ
ェノール樹脂、塩化ビニール等、ガラスでは一般のシリ
カ・ソーダ・ガラス、結晶化ガラス、セラミックではア
ルミナ磁器、窒化珪素磁器、ジルコニア磁器等の他一般
陶磁器やセメント、アスベスト等でもよい。これらは押
し出し法で成形し、セラミック材料では適宜焼結温度で
焼成すれば製作可能である。接着剤は酢酸ビニール系、
エポキシ樹脂系、燐酸系や瞬間接着剤でも有効に利用で
きる。
このようにして製作したオゾナイザ−は比較的狭い空間
に何層かのオゾナイザ−を設置できるため容量大きく小
型のオゾナイザ−を設計でき、又波板や格子状物は線状
電極と非接触の状態に設置されるため、セラミック基板
内部及び表面に形成した複数の電極３．５間に高周波高
電圧を印加すると、表面の線状接地電極の外側に高周波
コロナ放電を発生し、強力なイオン源として使用しても
何ら損傷を晶こさず恒久的な使用に耐えるもので、粉体
の荷電、除電に使用でき、両電極間に極短パルス高電圧
を印加すれば誘電体表面２に沿う沿面コロナ放電を生°
じ、活性プラズマが形成され、放電化学作用が活発とな
りオゾナイザ−やＮＯｘ、ＳＯＸの酸化等に用いること
ができ、形状小さく容量の大きい気体酸化装置ふなる。
に何層かのオゾナイザ−を設置できるため容量大きく小
型のオゾナイザ−を設計でき、又波板や格子状物は線状
電極と非接触の状態に設置されるため、セラミック基板
内部及び表面に形成した複数の電極３．５間に高周波高
電圧を印加すると、表面の線状接地電極の外側に高周波
コロナ放電を発生し、強力なイオン源として使用しても
何ら損傷を晶こさず恒久的な使用に耐えるもので、粉体
の荷電、除電に使用でき、両電極間に極短パルス高電圧
を印加すれば誘電体表面２に沿う沿面コロナ放電を生°
じ、活性プラズマが形成され、放電化学作用が活発とな
りオゾナイザ−やＮＯｘ、ＳＯＸの酸化等に用いること
ができ、形状小さく容量の大きい気体酸化装置ふなる。
更に、線状電極を有する面の波板と冷却流体流通孔とは
、はぼ直角方向に設けられているため、０２を波板の軸
方向に、冷却流体は流通孔１１の開口方向に通せば、こ
れらは混同することなく流れ、発生する熱を容易に除去
冷却できるものである。
、はぼ直角方向に設けられているため、０２を波板の軸
方向に、冷却流体は流通孔１１の開口方向に通せば、こ
れらは混同することなく流れ、発生する熱を容易に除去
冷却できるものである。
なお、本発明は上記実施例に示した形の板状オゾナイザ
−のほかに、第７図に斜視図で示す如き基板の一面又は
両面に蛇行影線状電極１２．１３を設けたものや、第８
図に示す如き櫛歯影線状電極１４．１５を設けたものも
当然に利用できる。
−のほかに、第７図に斜視図で示す如き基板の一面又は
両面に蛇行影線状電極１２．１３を設けたものや、第８
図に示す如き櫛歯影線状電極１４．１５を設けたものも
当然に利用できる。
第１図は本発明のオゾナイザ−の１枚の基板の斜視図、
第２図は第１図のｎ−ｎ断面図と本発明装置の使用状態
を示す回路図である。第３図は波板の斜視図、第４図は
格子状物の斜視図、第５図、第６図は本発明のセラミッ
クを用いたオゾナイザ−の第２図に相当する断面図と使
用状態を示す回路図である。第７図、第８図は別の実施
例のオゾナイザ−基板の斜視図である。 １・・・・・・基板、２・・・・・・被覆層、３・・・
・・・線状接地電極１，３ ａ・・・・・・端子、４・
・・・・・電界形成用電源、５・・・・・・面状誘導電
極、６・・・・・・アース、７・・・・・・波板、８・
・・・・・格子状物、９・・・・・・凹部、１０・・・
・・・接着剤１１・・・・・・冷却流体流通孔、１２．
１３・・・・・・蛇行型＊１ｖ！Ｊ 第２図 ａ 第３図 第４図 第５図
第２図は第１図のｎ−ｎ断面図と本発明装置の使用状態
を示す回路図である。第３図は波板の斜視図、第４図は
格子状物の斜視図、第５図、第６図は本発明のセラミッ
クを用いたオゾナイザ−の第２図に相当する断面図と使
用状態を示す回路図である。第７図、第８図は別の実施
例のオゾナイザ−基板の斜視図である。 １・・・・・・基板、２・・・・・・被覆層、３・・・
・・・線状接地電極１，３ ａ・・・・・・端子、４・
・・・・・電界形成用電源、５・・・・・・面状誘導電
極、６・・・・・・アース、７・・・・・・波板、８・
・・・・・格子状物、９・・・・・・凹部、１０・・・
・・・接着剤１１・・・・・・冷却流体流通孔、１２．
１３・・・・・・蛇行型＊１ｖ！Ｊ 第２図 ａ 第３図 第４図 第５図
Claims (3)
- （１） セラミック誘電体で形成してなる基板に複数の
電極を設けて板状のオゾナイザーを形成し、該電極と非
接触の状態に絶縁性の波板又は格子状物を設置し、該波
板又は格子状物と電極が非接触の状態に複数の電極をも
つ板状電界装置を設置し、所望によりこれを繰り返した
構造であるセラミックを用いたオゾナイザーにおいて、
板状電界装置の内部に波板又は格子状物の軸方向と異な
った方向に、多数の流体通路を設けたことを特徴とする
セラミックを用いたオゾナイザー。 - （２） セラミック誘電体がアルミナ磁器、ジルコニア
磁器、窒化珪素磁器である特許請求の範囲第１項記載の
セラミックを用いたオゾナイザー。 - （３） 波板又は格子状物が合成樹脂，ガラス又はセラ
ミックの絶縁体である特許請求の範囲第１項又は第２項
記載のセラミックを用いたオゾナイザー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59132675A JPS6114103A (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | セラミツクを用いたオゾナイザ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59132675A JPS6114103A (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | セラミツクを用いたオゾナイザ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6114103A true JPS6114103A (ja) | 1986-01-22 |
Family
ID=15086871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59132675A Pending JPS6114103A (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | セラミツクを用いたオゾナイザ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6114103A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63224255A (ja) * | 1987-03-13 | 1988-09-19 | Toshiba Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
| JPS63167132U (ja) * | 1987-04-16 | 1988-10-31 | ||
| JPH03150204A (ja) * | 1989-11-06 | 1991-06-26 | Fuji Densetsu Kk | エアポンプ付オゾン発生装置 |
| US5102629A (en) * | 1987-07-23 | 1992-04-07 | Asahi Glass Company, Ltd. | Field formation apparatus |
| EP0818415A1 (en) * | 1996-07-10 | 1998-01-14 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Ozone generating apparatus |
| JP2010033914A (ja) * | 2008-07-29 | 2010-02-12 | Kyocera Corp | 誘電性構造体、並びに誘電性構造体を用いた放電装置および流体改質装置 |
| JP2010142758A (ja) * | 2008-12-19 | 2010-07-01 | Daihatsu Motor Co Ltd | 排気ガス浄化装置 |
| JP2010225493A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Kyocera Corp | プラズマ発生体およびプラズマ発生装置 |
| CN106553999A (zh) * | 2015-09-28 | 2017-04-05 | Elozo有限公司 | 臭氧发生器 |
-
1984
- 1984-06-26 JP JP59132675A patent/JPS6114103A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63224255A (ja) * | 1987-03-13 | 1988-09-19 | Toshiba Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
| JPS63167132U (ja) * | 1987-04-16 | 1988-10-31 | ||
| JPH0519298Y2 (ja) * | 1987-04-16 | 1993-05-21 | ||
| US5102629A (en) * | 1987-07-23 | 1992-04-07 | Asahi Glass Company, Ltd. | Field formation apparatus |
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| US5942196A (en) * | 1996-07-10 | 1999-08-24 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Ozone generating apparatus |
| CN1117695C (zh) * | 1996-07-10 | 2003-08-13 | 三菱电机株式会社 | 臭氧发生装置 |
| JP2010033914A (ja) * | 2008-07-29 | 2010-02-12 | Kyocera Corp | 誘電性構造体、並びに誘電性構造体を用いた放電装置および流体改質装置 |
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| CN106553999A (zh) * | 2015-09-28 | 2017-04-05 | Elozo有限公司 | 臭氧发生器 |
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