JPS5944782A - 沿面コロナ放電素子およびその製造方法 - Google Patents
沿面コロナ放電素子およびその製造方法Info
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- JPS5944782A JPS5944782A JP57155617A JP15561782A JPS5944782A JP S5944782 A JPS5944782 A JP S5944782A JP 57155617 A JP57155617 A JP 57155617A JP 15561782 A JP15561782 A JP 15561782A JP S5944782 A JPS5944782 A JP S5944782A
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- field device
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- dielectric
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- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はファインセラミック誘霜゛6体な用いた各種の
1R界装置の製作方法及びこの方法を用いて製作せるr
”i昇装置に関するものである。
1R界装置の製作方法及びこの方法を用いて製作せるr
”i昇装置に関するものである。
誘霜;体の表面や内部に電極を設kj、こfLK直流直
流圧電圧し交びし尚電圧(正弦波、矩形波。
流圧電圧し交びし尚電圧(正弦波、矩形波。
パルス状綿電圧を含む)を印加して気中放電や電気力学
的現象など′電界に固有の現象を発生せしめ、これ全物
体の企工′屯や除電のためにイオン詠としで利用したり
、あるいは物体の電気力による附7aあるいは反うaや
輸送等の電気力学的操作に利用する装置(以下電界装置
と総称する)はそれ自体公知である。
的現象など′電界に固有の現象を発生せしめ、これ全物
体の企工′屯や除電のためにイオン詠としで利用したり
、あるいは物体の電気力による附7aあるいは反うaや
輸送等の電気力学的操作に利用する装置(以下電界装置
と総称する)はそれ自体公知である。
イオン源としての’r’i界装置の例としては古くは1
電気的瓦Jυ「精製装置」(特許第99242号)があ
り、′まfc:lLC,<は1静寛粉体塗別装置」 (
ルに願昭51−103328ハ(粒子荷゛屯装置」(特
願昭52−10640Ll)、 l除重1装置」(特
願昭52−145838)、l管路式除電装置」 (特
願昭56−155419)などがある。
電気的瓦Jυ「精製装置」(特許第99242号)があ
り、′まfc:lLC,<は1静寛粉体塗別装置」 (
ルに願昭51−103328ハ(粒子荷゛屯装置」(特
願昭52−10640Ll)、 l除重1装置」(特
願昭52−145838)、l管路式除電装置」 (特
願昭56−155419)などがある。
また電気力学的操作に利用するための電界装置の例とし
てば[接触形電界カーテン装置」 (特許198321
8号)、「接触形電界カーテン全用いた粒子輸送・供給
装置」(特許第973106@)、1−接触形′電界カ
ーテンを用いて粒子を塗着する方法ならびにその装置」
(特許第[109331@)、[接触形電界カーテンを
構成する方法およびこれを利用した接触形電界カーテン
装置](特許第981125号)、[接触形電界カーテ
ンを用いた静電粉体塗着用ブース」(特許第10475
74 号)、「帯電粒子発生装置」(特、i′!F第
1o48666号)、「細線型電界装置」(特公昭57
−6385 )、 l’単極屯界カーテン装置」(特
公昭57−9856 )、 i電界カーテン装置から
ガる壁](@公昭57−24181)、1安全型′亀界
カーテン装置」(特開昭52−108574)。
てば[接触形電界カーテン装置」 (特許198321
8号)、「接触形電界カーテン全用いた粒子輸送・供給
装置」(特許第973106@)、1−接触形′電界カ
ーテンを用いて粒子を塗着する方法ならびにその装置」
(特許第[109331@)、[接触形電界カーテンを
構成する方法およびこれを利用した接触形電界カーテン
装置](特許第981125号)、[接触形電界カーテ
ンを用いた静電粉体塗着用ブース」(特許第10475
74 号)、「帯電粒子発生装置」(特、i′!F第
1o48666号)、「細線型電界装置」(特公昭57
−6385 )、 l’単極屯界カーテン装置」(特
公昭57−9856 )、 i電界カーテン装置から
ガる壁](@公昭57−24181)、1安全型′亀界
カーテン装置」(特開昭52−108574)。
[−相露出型接触型軍界カーテン装置」(特願昭57−
081779)などがある。
081779)などがある。
しかしこれらすべての電界装wを通じて、電極をその表
面に担持したり、その内部に埋入保持したりする訪゛范
体には極めて高い値の直流又は交流の電昇が加わり、肋
に電極附近における電界の集中が著るしい。その結果こ
の電界集中部分にtユ、それが気中に露出している時は
勿論たとえ誘電体中に埋入されている場合も局部的な部
分放電が発生して、この部分の誘電体1オ料tユイオン
や電子の衝撃音うける。この作用は電界装置をイオンぶ
として用いる場合には当然′電極に気中放′屯を発生せ
しめるので、益々著るしいものとなる。また゛電極に交
流゛電圧を印加すると上記部分数′F1.は特に著るし
いものとなる。しかるに従来の′[IL電界装置おいて
は、製作の容易さから殆どの場合誘宙1体として合成樹
脂ないし合成樹脂で接着ぜる成形無機絶縁物が用いられ
、この場合」二記部分放電VCよるイオン@Ii撃や′
…、子価゛)基によって合成樹脂等の有機誘電体(」料
が局部的に劣化し、特に交流高′電圧印加の時はこれが
急速に樹枝状に進展してトリーインクと工ばれる絶縁欠
陥が成長し、遂に比較的短時間内に高電圧が印加される
電極間の絶縁破壊を生ずることをさけ得なかったのであ
る。これを防止するため誘電体としてマイカやセラミッ
ク等の無機絶縁物を用いる時は、寿命は若干延長するも
のの電極をその内部に完全に埋入することが困難となる
のみならず、その構造が緻密でないため、電界効果を高
めるため絶縁部分の間隔や厚味をうすくする時はやはり
低い電圧で直ちに絶縁破壊を生じ、有効な電界装置を構
成することが不可能であった。また無機誘′亀体として
ガラスを用いる時は、この問題は解消するものの、機械
的に脆弱となる上やはり絶縁破壊強度も必ずしも充分で
なく、その上交番電界印加による局部的温反上昇によっ
て極めて容易に破壊するという欠点をまぬかれることが
出来なかったのである。
面に担持したり、その内部に埋入保持したりする訪゛范
体には極めて高い値の直流又は交流の電昇が加わり、肋
に電極附近における電界の集中が著るしい。その結果こ
の電界集中部分にtユ、それが気中に露出している時は
勿論たとえ誘電体中に埋入されている場合も局部的な部
分放電が発生して、この部分の誘電体1オ料tユイオン
や電子の衝撃音うける。この作用は電界装置をイオンぶ
として用いる場合には当然′電極に気中放′屯を発生せ
しめるので、益々著るしいものとなる。また゛電極に交
流゛電圧を印加すると上記部分数′F1.は特に著るし
いものとなる。しかるに従来の′[IL電界装置おいて
は、製作の容易さから殆どの場合誘宙1体として合成樹
脂ないし合成樹脂で接着ぜる成形無機絶縁物が用いられ
、この場合」二記部分放電VCよるイオン@Ii撃や′
…、子価゛)基によって合成樹脂等の有機誘電体(」料
が局部的に劣化し、特に交流高′電圧印加の時はこれが
急速に樹枝状に進展してトリーインクと工ばれる絶縁欠
陥が成長し、遂に比較的短時間内に高電圧が印加される
電極間の絶縁破壊を生ずることをさけ得なかったのであ
る。これを防止するため誘電体としてマイカやセラミッ
ク等の無機絶縁物を用いる時は、寿命は若干延長するも
のの電極をその内部に完全に埋入することが困難となる
のみならず、その構造が緻密でないため、電界効果を高
めるため絶縁部分の間隔や厚味をうすくする時はやはり
低い電圧で直ちに絶縁破壊を生じ、有効な電界装置を構
成することが不可能であった。また無機誘′亀体として
ガラスを用いる時は、この問題は解消するものの、機械
的に脆弱となる上やはり絶縁破壊強度も必ずしも充分で
なく、その上交番電界印加による局部的温反上昇によっ
て極めて容易に破壊するという欠点をまぬかれることが
出来なかったのである。
この様に従来材料として適切なものが優らtrなかった
がために電界装置は著るしく短寿命かつ高価なものとな
って、その広範な活用の道が閉ざされて居たのである。
がために電界装置は著るしく短寿命かつ高価なものとな
って、その広範な活用の道が閉ざされて居たのである。
本発明の目的は上記の難点を解決した長寿命で信頼性が
茜くかつ安価な電界装置を提供して′電界装置αの本格
的な実用化を可能ならしめることにある1、 しかして本発明はこの目的を該誘電体材料として、例え
ば高純度アルミナ磁器等の如く純度の高い機械的・電気
的・化学的かつ熱的に著る1〜く丈夫なセラミック+A
料(以]−ファインセラミックと称す)を使用すると共
に、その焼成前の成形1料に′電極を配設しておき、こ
れを′電極と一体として焼成して電界装置を作製するこ
とVCより、極めて緻密でイ鏡械的・電気的・化学的か
つ熱的に丈夫で信頼性の商いものとすることVこより達
成する1、 その電界装置kを侮るための具体的方法として−1たと
えば高純度アルミナ磁器を用いるときは、予め粒径数ミ
クロン以下に粉砕せるアルミナを有機ハ・インダーで結
合の上、層状に形成した原料シート(グリーンシートと
称する)を作製し、その表面−ヒに適当な金橋、例えば
タングステン微粉末を分赦せるインクを用いて例えばス
クリーン印刷等の厚膜印刷技術で電極を形成し、かくし
て形成せる電極Nグリーンシーl−ヲそのまま単独に、
あるいは複数個積層圧シjiの上多層グリーンシートと
して、水素炉等の適当なる還元性ふん囲気内でxsoo
ct、’)附近の高温度で焼結する等の方法をとること
ができる。
茜くかつ安価な電界装置を提供して′電界装置αの本格
的な実用化を可能ならしめることにある1、 しかして本発明はこの目的を該誘電体材料として、例え
ば高純度アルミナ磁器等の如く純度の高い機械的・電気
的・化学的かつ熱的に著る1〜く丈夫なセラミック+A
料(以]−ファインセラミックと称す)を使用すると共
に、その焼成前の成形1料に′電極を配設しておき、こ
れを′電極と一体として焼成して電界装置を作製するこ
とVCより、極めて緻密でイ鏡械的・電気的・化学的か
つ熱的に丈夫で信頼性の商いものとすることVこより達
成する1、 その電界装置kを侮るための具体的方法として−1たと
えば高純度アルミナ磁器を用いるときは、予め粒径数ミ
クロン以下に粉砕せるアルミナを有機ハ・インダーで結
合の上、層状に形成した原料シート(グリーンシートと
称する)を作製し、その表面−ヒに適当な金橋、例えば
タングステン微粉末を分赦せるインクを用いて例えばス
クリーン印刷等の厚膜印刷技術で電極を形成し、かくし
て形成せる電極Nグリーンシーl−ヲそのまま単独に、
あるいは複数個積層圧シjiの上多層グリーンシートと
して、水素炉等の適当なる還元性ふん囲気内でxsoo
ct、’)附近の高温度で焼結する等の方法をとること
ができる。
この場合積層構造の多層グリーンシートにょt)電界装
置を構成することにより、電極の一部を一層ないし多層
にファインセラミック誘’[[4,体の内部にサンドイ
ッチ状に埋入配設することがiJ能となり、これによっ
て高度の′屯界効果、イオン形成効果を達成したり、あ
るいは高′【4L圧印加の電極な:内部埋入することに
よって安全性を高めることが口■能となる1、 またグリーンシートを貝ぬいて小孔をあげ、ここにも又
上記タングステン微粉体インキ等含・充填の上焼成する
ことにより、l牲層又は多層にのファインセラミック誘
′屯体層全貫通し2ての表薬の電気的接続を行うことが
0J能となる。したがって、これによってその表面に配
設せる1b、極をその裏面に配設せるリード線用電極に
接続1〜で外部端子との電気的接続をはかることも出来
る。
置を構成することにより、電極の一部を一層ないし多層
にファインセラミック誘’[[4,体の内部にサンドイ
ッチ状に埋入配設することがiJ能となり、これによっ
て高度の′屯界効果、イオン形成効果を達成したり、あ
るいは高′【4L圧印加の電極な:内部埋入することに
よって安全性を高めることが口■能となる1、 またグリーンシートを貝ぬいて小孔をあげ、ここにも又
上記タングステン微粉体インキ等含・充填の上焼成する
ことにより、l牲層又は多層にのファインセラミック誘
′屯体層全貫通し2ての表薬の電気的接続を行うことが
0J能となる。したがって、これによってその表面に配
設せる1b、極をその裏面に配設せるリード線用電極に
接続1〜で外部端子との電気的接続をはかることも出来
る。
本発明の電界装置に1史用するファインセラミック誘電
体材料は純度90%以上の高純度アルミナ磁器が好適で
あるが、それ以外でも機械的・電気的・化学的・熱的に
丈夫な材料であればいかなるファインセラミック材料を
用いても良い。
体材料は純度90%以上の高純度アルミナ磁器が好適で
あるが、それ以外でも機械的・電気的・化学的・熱的に
丈夫な材料であればいかなるファインセラミック材料を
用いても良い。
また電界装置を多層構造で形成する時は高純度アルミナ
磁器層と比較的純度が低く安価なアルミナ磁器層を複合
使用したり、種類・性質の異るファインセラミック材料
を層別ないし場所別に仮台(炉用したり、あるいは更に
ファインセラミック材料とそれ以外の誘電体1′A料(
合成樹脂・マイカ・ガラス・FlもP)を層別ないし場
1ヅr別に複合使用して、より安価にしたり、よりその
性能を静めることもできる。
磁器層と比較的純度が低く安価なアルミナ磁器層を複合
使用したり、種類・性質の異るファインセラミック材料
を層別ないし場所別に仮台(炉用したり、あるいは更に
ファインセラミック材料とそれ以外の誘電体1′A料(
合成樹脂・マイカ・ガラス・FlもP)を層別ないし場
1ヅr別に複合使用して、より安価にしたり、よりその
性能を静めることもできる。
本発明による電界装置の表面は、生地のまま便用しても
よいが、その表面に適当な柚桑ヲはどこしてその平滑化
、電気伝4性の附与等表面の性質の改善をほどこしても
よく、またテフロン層、シリコン層その他適当な+A料
の表面層を円層せしめてその表面の性質の改善をはとこ
すこともできる。
よいが、その表面に適当な柚桑ヲはどこしてその平滑化
、電気伝4性の附与等表面の性質の改善をほどこしても
よく、またテフロン層、シリコン層その他適当な+A料
の表面層を円層せしめてその表面の性質の改善をはとこ
すこともできる。
また本発明に1史用する′電極1オ料としては、その素
地材としてのファインセラミック材料と共に焼結する際
、こノLとのなじみが良く、これと出来る限り近い熱膨
張係数を南する高融点の金属であることが好ましく、素
地が高純度アルミノ−磁器のときはタングステンがもっ
とも逸している。しかし11のファインセラミック材料
に応じて適当な凡ゆる金属材料全選定使用することが出
来る。またそのグリーンシートへの円層ニ当っては金属
粉末分散インキのスクリーン印刷等の手法による厚膜電
極を形成してもよいが、場合によっては線状、板状、箔
状に予め形成せる金属電極を附着してもよく、また蒸着
等により附着せる薄膜電極を用いることも出来る。更に
電極材料としては必ずしも金属材料に駆足されることな
く、カーボン繊維、半導t aセラミック相別等適当な
凡ゆるものが使用できることは云うまでもない。tた′
電極H料はその酸化を防いだり、表面を保護したり、あ
るい&、j: rよんだづけを答易ならしめるためその
一ヒにニック゛ル等iM当な金属ケめっきしてもよく、
更に電惨自体の上に尚″く釉桑やアルミナ絶縁)換その
他の表面層をほどこし−Cもよい。
地材としてのファインセラミック材料と共に焼結する際
、こノLとのなじみが良く、これと出来る限り近い熱膨
張係数を南する高融点の金属であることが好ましく、素
地が高純度アルミノ−磁器のときはタングステンがもっ
とも逸している。しかし11のファインセラミック材料
に応じて適当な凡ゆる金属材料全選定使用することが出
来る。またそのグリーンシートへの円層ニ当っては金属
粉末分散インキのスクリーン印刷等の手法による厚膜電
極を形成してもよいが、場合によっては線状、板状、箔
状に予め形成せる金属電極を附着してもよく、また蒸着
等により附着せる薄膜電極を用いることも出来る。更に
電極材料としては必ずしも金属材料に駆足されることな
く、カーボン繊維、半導t aセラミック相別等適当な
凡ゆるものが使用できることは云うまでもない。tた′
電極H料はその酸化を防いだり、表面を保護したり、あ
るい&、j: rよんだづけを答易ならしめるためその
一ヒにニック゛ル等iM当な金属ケめっきしてもよく、
更に電惨自体の上に尚″く釉桑やアルミナ絶縁)換その
他の表面層をほどこし−Cもよい。
また本発明による新規の電界装置の幾何学形状は、平板
状のみならず、任意の曲面状(球面状、半商状9円柱状
、多角形状9階段状等)に形成使用でき、これを・行う
に当っては柔軟性に昌む電極μmjグリーンシートの段
階でこytを所望の形状に成形の」二焼成−づ−ればよ
い。
状のみならず、任意の曲面状(球面状、半商状9円柱状
、多角形状9階段状等)に形成使用でき、これを・行う
に当っては柔軟性に昌む電極μmjグリーンシートの段
階でこytを所望の形状に成形の」二焼成−づ−ればよ
い。
本発明によ44J、界装置の応用領域は、物体の荷′屯
や除′屯装撫5.物体の電気力学的操作製鎖′の凡ゆる
ものに及ぶと共に、本lll!fi冒頭に例示せる特約
および%π1出願のすべてを包含し、史に今後出現すべ
き′屯界装抽、の応用方法ならびに応用装置のすべてを
包含する。
や除′屯装撫5.物体の電気力学的操作製鎖′の凡ゆる
ものに及ぶと共に、本lll!fi冒頭に例示せる特約
および%π1出願のすべてを包含し、史に今後出現すべ
き′屯界装抽、の応用方法ならびに応用装置のすべてを
包含する。
以下本発明の特徴を実施例及び図面によって更に詳細に
説明する。
説明する。
第1A図乃至第1F図はイオン源としての゛電界装置に
本発明を実施せる例で、本発明によって長方形のファイ
ン・セラミック誘電体板上に長手方向に細長いコロナ放
電極群を配設し、その下方の誘電体板内部に該コロナ故
電極群全体と対向する大きさをもった一枚の誘導電極ケ
埋入焼成せる装置の作製方法を示す。該誘電体板は上下
2枚のグリーンシート素材をもって作製する。第1A図
は上部グリーンシートの上面を示す斜視図で、長方形の
上部グリーンシートlの上面2に、長手方向にスクリー
ン印刷の手法を用いてタングステン微粉末を分散せるイ
ンクを幅約1[mm〕、厚味約100〔μm〕、間隔的
5(mm)に印刷して複数本の平行コロツー電極3゜4
.5を形成し、更にこれを同様の方法で印刷せる共通導
線6に接続の上、ターミナル導線7を更に印刷接続する
。
本発明を実施せる例で、本発明によって長方形のファイ
ン・セラミック誘電体板上に長手方向に細長いコロナ放
電極群を配設し、その下方の誘電体板内部に該コロナ故
電極群全体と対向する大きさをもった一枚の誘導電極ケ
埋入焼成せる装置の作製方法を示す。該誘電体板は上下
2枚のグリーンシート素材をもって作製する。第1A図
は上部グリーンシートの上面を示す斜視図で、長方形の
上部グリーンシートlの上面2に、長手方向にスクリー
ン印刷の手法を用いてタングステン微粉末を分散せるイ
ンクを幅約1[mm〕、厚味約100〔μm〕、間隔的
5(mm)に印刷して複数本の平行コロツー電極3゜4
.5を形成し、更にこれを同様の方法で印刷せる共通導
線6に接続の上、ターミナル導線7を更に印刷接続する
。
第1B図は該上部クリーンシート1の一平面8を示す斜
視図で、電極3,4.5が占める上面の全面積と対向す
る下面8上の面に、同じスクリーン印刷の手法、を用い
゛Cタングステン微粉末を分散せるインクを印刷して長
方形の面状の誘導電極9を形成する。第1c図は1部シ
ート1゜の上面11を示す斜視図で、同シー)10の中
央PC++を径約1(mm)の穴12を同シート10を
貫通してうがち、この穴にタングステン微粉末を分散せ
るインクを充填してシー)10を貫通ずる導体を形成し
、更に穴12を中心として直径約10(mm)の円板状
の接触用導体部13を同シくタングステン微粉末分散の
インクでスクリーン印刷して形成する。また同様の方法
でシート10の左端の端縁にターミナル導線7と接続す
るターミナル導線7aを画く。第1D図は下部シー1−
10の下面14を示す斜視図でタングステン微粉末分散
のインクを充填せる上記の穴12を中心として直径約1
0[mm]の円板状のターミナル導体部15 酊粥じく
タングステン微粉末分散のインクでスクリーン印刷して
形成する0丑だ下面14の左端に別の直径約10(mm
〕の円板状ターミナル導体部16を同じクタンクステン
微粉末分散の1ンクでスクリーン印刷により形成し、こ
れをターミナル4線7(LK同様のインクで印A11l
lぜるターミナル導線17によシ接続う゛る。次に上記
名シート1.10を重ねて熱圧着成形の土水素炉内で焼
成すると面状誘導電極9は両シート1.10間にザンド
ウィソテ状に気密に挾まれた状態で焼結され、上手シー
トが一体化して焼結された誘電体板18内に埋入される
。そして該誘導電極9は円板状ターミナル導体部13と
融合し、穴I2を通じて導通の***電体板18の裏面の
円板状ターミナル導体部15に接続される。また誘電体
板18の表面のコロナ電・4群3.4.5は1通導線6
、ターミナル導線7,7aを介して誘電体板18の裏面
の円板状ターミナル導体部16に接続される。第ig図
はこの様にして作製せるイオン源としての電界装置の面
表を示す斜視図で、部分的に」二部シートにょるセラミ
ック板をIJJりとつ゛C1下部ソートによるセラミッ
ク板部分と誘導電極9が示されている。第1 ト’図は
この電界装置i1の横断面図を示す、〕但し電極3.4
,5、導線6,7,7(1,17およびターミナル専体
部15,16の表面11Cはタンクス7ンの1ν化を防
ぐため二ツィrルを鍍金し7、これにより35.16へ
の外部導線のハンダうけも容易となる。い1図には省略
して画かれていないターミナル導体部16 、15 ’
、1介して高周波島流高圧電源19より、コロナ電4夕
群:3゜4.5と面状誘導電極9との間に高周波交流高
電圧をファインセフミック訪電体層20 i介して印加
する(但し安全のため3,4.5は接地しである)と、
3 、4.5の端縁から高周波コロナ放電が誘電体板1
8の表面に沿って発生し、豊富々正負イオン客含むプラ
ズマを形成する。
視図で、電極3,4.5が占める上面の全面積と対向す
る下面8上の面に、同じスクリーン印刷の手法、を用い
゛Cタングステン微粉末を分散せるインクを印刷して長
方形の面状の誘導電極9を形成する。第1c図は1部シ
ート1゜の上面11を示す斜視図で、同シー)10の中
央PC++を径約1(mm)の穴12を同シート10を
貫通してうがち、この穴にタングステン微粉末を分散せ
るインクを充填してシー)10を貫通ずる導体を形成し
、更に穴12を中心として直径約10(mm)の円板状
の接触用導体部13を同シくタングステン微粉末分散の
インクでスクリーン印刷して形成する。また同様の方法
でシート10の左端の端縁にターミナル導線7と接続す
るターミナル導線7aを画く。第1D図は下部シー1−
10の下面14を示す斜視図でタングステン微粉末分散
のインクを充填せる上記の穴12を中心として直径約1
0[mm]の円板状のターミナル導体部15 酊粥じく
タングステン微粉末分散のインクでスクリーン印刷して
形成する0丑だ下面14の左端に別の直径約10(mm
〕の円板状ターミナル導体部16を同じクタンクステン
微粉末分散の1ンクでスクリーン印刷により形成し、こ
れをターミナル4線7(LK同様のインクで印A11l
lぜるターミナル導線17によシ接続う゛る。次に上記
名シート1.10を重ねて熱圧着成形の土水素炉内で焼
成すると面状誘導電極9は両シート1.10間にザンド
ウィソテ状に気密に挾まれた状態で焼結され、上手シー
トが一体化して焼結された誘電体板18内に埋入される
。そして該誘導電極9は円板状ターミナル導体部13と
融合し、穴I2を通じて導通の***電体板18の裏面の
円板状ターミナル導体部15に接続される。また誘電体
板18の表面のコロナ電・4群3.4.5は1通導線6
、ターミナル導線7,7aを介して誘電体板18の裏面
の円板状ターミナル導体部16に接続される。第ig図
はこの様にして作製せるイオン源としての電界装置の面
表を示す斜視図で、部分的に」二部シートにょるセラミ
ック板をIJJりとつ゛C1下部ソートによるセラミッ
ク板部分と誘導電極9が示されている。第1 ト’図は
この電界装置i1の横断面図を示す、〕但し電極3.4
,5、導線6,7,7(1,17およびターミナル専体
部15,16の表面11Cはタンクス7ンの1ν化を防
ぐため二ツィrルを鍍金し7、これにより35.16へ
の外部導線のハンダうけも容易となる。い1図には省略
して画かれていないターミナル導体部16 、15 ’
、1介して高周波島流高圧電源19より、コロナ電4夕
群:3゜4.5と面状誘導電極9との間に高周波交流高
電圧をファインセフミック訪電体層20 i介して印加
する(但し安全のため3,4.5は接地しである)と、
3 、4.5の端縁から高周波コロナ放電が誘電体板1
8の表面に沿って発生し、豊富々正負イオン客含むプラ
ズマを形成する。
したがってこれを帯電物体の近傍に近つけると、その電
荷と逆極性のイオンがこのプラズマから該帯電物体に向
りて供給され、これを迅速に除電する。すなわち除1屯
器として1史用することが出来る。この場合高周波交流
高圧電源19の代りにパルス高圧電源を−い、くり返し
パルス電圧を印加してもよいことは、いうまでもない。
荷と逆極性のイオンがこのプラズマから該帯電物体に向
りて供給され、これを迅速に除電する。すなわち除1屯
器として1史用することが出来る。この場合高周波交流
高圧電源19の代りにパルス高圧電源を−い、くり返し
パルス電圧を印加してもよいことは、いうまでもない。
第2図は第1A図、及び第1B図に示す上部シート1を
その上面が外側にある如く長手方向を軸として曲げて中
空円筒25を構成の上焼結してイオン源を構成したもの
である。図の如く高周波交流高圧電源19を円筒外表面
に長手方向に平行かつ等間隔に配列された細線状コロナ
放電極3,4’、5.・・・と円筒内面に円筒面状に形
成された誘導電極9に接続の上、両電極間にファインセ
ラミックより成る円筒状誘電体25を介して高川波交流
高電圧を印加するときは、細線状コロナ放電極より該円
筒状誘電体の外表面に沼って高周波コロナ放電を発生し
てプラズマを生ずる。したがって円筒状のプラズマイオ
ン源としての電界装置26が構成される。
その上面が外側にある如く長手方向を軸として曲げて中
空円筒25を構成の上焼結してイオン源を構成したもの
である。図の如く高周波交流高圧電源19を円筒外表面
に長手方向に平行かつ等間隔に配列された細線状コロナ
放電極3,4’、5.・・・と円筒内面に円筒面状に形
成された誘導電極9に接続の上、両電極間にファインセ
ラミックより成る円筒状誘電体25を介して高川波交流
高電圧を印加するときは、細線状コロナ放電極より該円
筒状誘電体の外表面に沼って高周波コロナ放電を発生し
てプラズマを生ずる。したがって円筒状のプラズマイオ
ン源としての電界装置26が構成される。
この場合第2図の変形として、細線状コロナ放電極3,
4,5.・・・を円筒表面上で母線と直交する如く配置
してもよいことは云うまでもない。第3図はそれを4く
ずものである。
4,5.・・・を円筒表面上で母線と直交する如く配置
してもよいことは云うまでもない。第3図はそれを4く
ずものである。
第4図は第1A図、第1B図に示す上部シートと第1C
図、第1D図に示す下部シートを重ねて第1I!3図の
形状に積層圧着の上これを長手方向を軸として細線状コ
ロナ放電極3,4,5、・・・を有する上面を内側とし
て曲げて中空円筒26を構成の上、焼結してイオン源を
構成したものである。円筒内表面に軸方向に平行がっ等
間隔に配列された細線状コロナ放電極3.4.5゜・・
・とファインセラミック中空円筒かの内部に埋入して円
筒面状に形成された誘導電極9との間に、それぞれター
ミナル導体部15.16を介して図の如く高周波交流高
圧電源19より高周波交流高電圧を印加すると、中空円
H26の内面に清ってコロナ放電極$3.4,5.・・
・より高周波コ田す放電が発生してプラズマイオン源を
形成する。したがってこの様な中空円部状電界装置を電
気抵抗の高い粉粒体の空気輸送管路の途中に挿入する時
は、管路内壁とのまさっにより強力に帯電した粉粒体の
電気を上記中空円筒26の内面に生じたプラズマが供給
する逆極性のイオンにより中和除電することができる。
図、第1D図に示す下部シートを重ねて第1I!3図の
形状に積層圧着の上これを長手方向を軸として細線状コ
ロナ放電極3,4,5、・・・を有する上面を内側とし
て曲げて中空円筒26を構成の上、焼結してイオン源を
構成したものである。円筒内表面に軸方向に平行がっ等
間隔に配列された細線状コロナ放電極3.4.5゜・・
・とファインセラミック中空円筒かの内部に埋入して円
筒面状に形成された誘導電極9との間に、それぞれター
ミナル導体部15.16を介して図の如く高周波交流高
圧電源19より高周波交流高電圧を印加すると、中空円
H26の内面に清ってコロナ放電極$3.4,5.・・
・より高周波コ田す放電が発生してプラズマイオン源を
形成する。したがってこの様な中空円部状電界装置を電
気抵抗の高い粉粒体の空気輸送管路の途中に挿入する時
は、管路内壁とのまさっにより強力に帯電した粉粒体の
電気を上記中空円筒26の内面に生じたプラズマが供給
する逆極性のイオンにより中和除電することができる。
第5図は第4図の装置の髪形で、細線状コロナ放電極3
,4,5.・・・を中空円筒26の内面に、円筒軸と直
交する方向に配列したものである。
,4,5.・・・を中空円筒26の内面に、円筒軸と直
交する方向に配列したものである。
第4図、第5図の円筒状電界装置はまた高抵抗液体のパ
イプ輸送の途中に挿入して、パイプとのまさつにより帯
電せる液体の除電に用いることも出来る。
イプ輸送の途中に挿入して、パイプとのまさつにより帯
電せる液体の除電に用いることも出来る。
第6A図乃至第6E図は電気力学的操作装置としての電
界装置のもつとも代表的例である「三相接触形電界カー
テン装置」に本発明を実施せる例である。 この実施例
では三層のグリーンシート5(1、51、52を用いる
。第6A図は0.1〜Q、5 (mm )の厚さの極め
てうすい表層グリーンシー)50を斜上方より見た斜視
図で、この層には電極を印刷しない。 第6B図は厚さ
2 [mm ]程度の中rMI層51の上面を示す斜視
図で、長方形のグリーンシート51の長平方向に直角に
、等間隔かつ平行に、幅1(、mml程度、厚さ0.1
[mm:l 程度の細線平行電極53.54,55.5
3q、54a、55a、53b、54b、55b、・・
・がタングステン微粉末分散インフケ用い、かつスクリ
ーン印刷の手法で間隔約5[mm]をもって多数配設さ
れている0これら電極は二つおきに接続されて53−5
3a−53h・・・と54.−54α−54h・・・と
55−55α−55b・・・の三組の電極群u、v、u
lに分けられ、これにW相、V相、W相三相交流高電圧
を印加する。このため第゛6・C図に不す如く中間層シ
ート51の裏面には長平方向に平行々3本の接続導線5
6.57.58が同一方法でスクリーン印刷され、かつ
導線56は7−)51を貝通し、かつタングステン微粉
末分散インクを充填せる***59,59a、5911+
・・・によって中間層シート51の表面のU摺電極群5
:3゜5:3α、53b・・・に接続される。また導#
57は同様の***60 、60 a 、 60 b・・
によって、中間層シー−)51の表面のV摺電極群5・
1゜54 a 、 54 b・・・に接続される。更に
導線58は同様の***61,61α、611!l・・・
によって51表面のW摺電極群55.55α、55h・
・・に接続される。これにより接続導線5 G 、 5
7゜58はU相、V相、W相の三相交流高電圧をV。
界装置のもつとも代表的例である「三相接触形電界カー
テン装置」に本発明を実施せる例である。 この実施例
では三層のグリーンシート5(1、51、52を用いる
。第6A図は0.1〜Q、5 (mm )の厚さの極め
てうすい表層グリーンシー)50を斜上方より見た斜視
図で、この層には電極を印刷しない。 第6B図は厚さ
2 [mm ]程度の中rMI層51の上面を示す斜視
図で、長方形のグリーンシート51の長平方向に直角に
、等間隔かつ平行に、幅1(、mml程度、厚さ0.1
[mm:l 程度の細線平行電極53.54,55.5
3q、54a、55a、53b、54b、55b、・・
・がタングステン微粉末分散インフケ用い、かつスクリ
ーン印刷の手法で間隔約5[mm]をもって多数配設さ
れている0これら電極は二つおきに接続されて53−5
3a−53h・・・と54.−54α−54h・・・と
55−55α−55b・・・の三組の電極群u、v、u
lに分けられ、これにW相、V相、W相三相交流高電圧
を印加する。このため第゛6・C図に不す如く中間層シ
ート51の裏面には長平方向に平行々3本の接続導線5
6.57.58が同一方法でスクリーン印刷され、かつ
導線56は7−)51を貝通し、かつタングステン微粉
末分散インクを充填せる***59,59a、5911+
・・・によって中間層シート51の表面のU摺電極群5
:3゜5:3α、53b・・・に接続される。また導#
57は同様の***60 、60 a 、 60 b・・
によって、中間層シー−)51の表面のV摺電極群5・
1゜54 a 、 54 b・・・に接続される。更に
導線58は同様の***61,61α、611!l・・・
によって51表面のW摺電極群55.55α、55h・
・・に接続される。これにより接続導線5 G 、 5
7゜58はU相、V相、W相の三相交流高電圧をV。
υ、W相電極群に印加するだめの導線を形成している。
第+C,D図は厚さ3 (mm)の基底1−グリーンシ
ート52の上面、第 C1E図はその下面を示す斜視図
である。62α、63b、64Cはシート52を貰通せ
る***でタングステン粉末分散インクが充填され、かつ
それぞれの穴の周囲には直径約10 [mm]の円板状
接触用導体部62,63,64.が上面に、また同じく
直径約10 (mm)の円板状ターミナル導体部66.
67.68がタングステン粉末分散のインクでスクリー
ン印刷されている。但し62−66.63−67.64
−68はそれぞれ導線56.57.58と接触する関係
位置にある。
ート52の上面、第 C1E図はその下面を示す斜視図
である。62α、63b、64Cはシート52を貰通せ
る***でタングステン粉末分散インクが充填され、かつ
それぞれの穴の周囲には直径約10 [mm]の円板状
接触用導体部62,63,64.が上面に、また同じく
直径約10 (mm)の円板状ターミナル導体部66.
67.68がタングステン粉末分散のインクでスクリー
ン印刷されている。但し62−66.63−67.64
−68はそれぞれ導線56.57.58と接触する関係
位置にある。
いま三つのグリーンシート50 、51 、52金重ね
て成層圧着の上焼成すると、第・7図に示す如き三相接
触形電界カーテン装置69が形成される。すなわち平滑
でかつ薄いファインセラミック層の直下に、セラミック
母材中に挿入して三相電極群W、11.Wが存在し、そ
の更に一ト方にU相、V相、W相の各電極群と導通せる
導6356 、57 、58カ同じくセラミック母料に
埋入して存在しでいる。いま第9図に模式図を示す如く
本電界カーテン装置69の三相電極群にターミナル導体
部66.67.68をノ1して三相交流高圧電源70よ
り三相交流高電圧をU相、υ相、W相の唄に印加すると
、A旧flit方向に65)の表面71に沿って矢印7
2の方向に移動する進行波不平等電界が形成される。そ
こでいま69の表面71v(−粉体粒子をおくと、粒子
は赤面との接触によって接触帯電の上この進行波不平等
電界の作用で激しく表…1かも反発さitて浮上し、矢
印72の方向に浮」二状態で輸送される。すなわち、粉
体に対するこの接触帯電作用ならひに反発作用と輸送作
用か三相接触ル電界カーテン装置のもつとも重要々電気
力学的作用であり、これを利用12て帯電粉体の附・看
体槓の防止や、粉体の輸送にこの電界装置を利用するこ
とができる。この場合印加三相交流高電圧の値を上けて
ゆくと、ある臨界値VC以上で表面1に一種の無電極交
流コロナ放電が発生し、表面上の空気が電離して正負の
イオンを生ずる。)この状態において上記の反発や輸送
等の電気力学的作用が一段と活発化する。
て成層圧着の上焼成すると、第・7図に示す如き三相接
触形電界カーテン装置69が形成される。すなわち平滑
でかつ薄いファインセラミック層の直下に、セラミック
母材中に挿入して三相電極群W、11.Wが存在し、そ
の更に一ト方にU相、V相、W相の各電極群と導通せる
導6356 、57 、58カ同じくセラミック母料に
埋入して存在しでいる。いま第9図に模式図を示す如く
本電界カーテン装置69の三相電極群にターミナル導体
部66.67.68をノ1して三相交流高圧電源70よ
り三相交流高電圧をU相、υ相、W相の唄に印加すると
、A旧flit方向に65)の表面71に沿って矢印7
2の方向に移動する進行波不平等電界が形成される。そ
こでいま69の表面71v(−粉体粒子をおくと、粒子
は赤面との接触によって接触帯電の上この進行波不平等
電界の作用で激しく表…1かも反発さitて浮上し、矢
印72の方向に浮」二状態で輸送される。すなわち、粉
体に対するこの接触帯電作用ならひに反発作用と輸送作
用か三相接触ル電界カーテン装置のもつとも重要々電気
力学的作用であり、これを利用12て帯電粉体の附・看
体槓の防止や、粉体の輸送にこの電界装置を利用するこ
とができる。この場合印加三相交流高電圧の値を上けて
ゆくと、ある臨界値VC以上で表面1に一種の無電極交
流コロナ放電が発生し、表面上の空気が電離して正負の
イオンを生ずる。)この状態において上記の反発や輸送
等の電気力学的作用が一段と活発化する。
したがって第 9図に示す如く三相電極群53.54,
55,53a、54b、55c”。
55,53a、54b、55c”。
53a 、 54 h 、 55 c 、−の中の一つ
、たとえば払相電極群53.53α、53b、・・・の
みを表面71上に露出配設(安全のため接地するをすと
す)するときは、空気と接する金属電極群53.53α
、53h・・・から比較的低い電圧で旺盛な交流コロナ
放電が生じ上記の反発・輸送作用が促進される。これを
−相籍出型とよぶ。
、たとえば払相電極群53.53α、53b、・・・の
みを表面71上に露出配設(安全のため接地するをすと
す)するときは、空気と接する金属電極群53.53α
、53h・・・から比較的低い電圧で旺盛な交流コロナ
放電が生じ上記の反発・輸送作用が促進される。これを
−相籍出型とよぶ。
更に第1仏5図の変形として、二相外の電極群を露出せ
るもの、三相電極のすべてを露出せるものも使用しうる
。また第177図と同じ三層構造金もって、三相電極の
代りに第1OA図に又は第1c)B図に示す如く単相電
極73 、74 。
るもの、三相電極のすべてを露出せるものも使用しうる
。また第177図と同じ三層構造金もって、三相電極の
代りに第1OA図に又は第1c)B図に示す如く単相電
極73 、74 。
73a、74b、・・・を有するいわゆる単相接触形電
界カーテン装[75を形成することもできる。この場合
ターミナル導体部76.7’lを介して図の如く相隣す
る電極群73−73 CL −73h・・・と74−7
4α−741)・・・の間に単相交流高圧・電源78に
よシ単相交流高電圧を印加するときは、これら電極間に
定在波の交流不平等電界が形成され、75の表面71上
にある粉体粒子は接触帯電の上激しく反発されて浮上す
る。この様に単相接触形電界カーテン装置75は著るし
い帯電粒子反発作用を有するが輸送作用は一般に有しな
い。第1QB図のものは一相電極群73.73α、・・
・を表面71の上に配設して大気中に籍出せる一相露出
型で、やはり低い電圧で露出電極群73 、73 (L
・・・より旺盛な交流コロナ放電を生じ、上記反発作用
が著るしく促進される。第10h図 、第70B図の変
形としてすべての電極を露出せる単相接触型電界カーテ
ン装置も使用することが出来ることは云うまでもない。
界カーテン装[75を形成することもできる。この場合
ターミナル導体部76.7’lを介して図の如く相隣す
る電極群73−73 CL −73h・・・と74−7
4α−741)・・・の間に単相交流高圧・電源78に
よシ単相交流高電圧を印加するときは、これら電極間に
定在波の交流不平等電界が形成され、75の表面71上
にある粉体粒子は接触帯電の上激しく反発されて浮上す
る。この様に単相接触形電界カーテン装置75は著るし
い帯電粒子反発作用を有するが輸送作用は一般に有しな
い。第1QB図のものは一相電極群73.73α、・・
・を表面71の上に配設して大気中に籍出せる一相露出
型で、やはり低い電圧で露出電極群73 、73 (L
・・・より旺盛な交流コロナ放電を生じ、上記反発作用
が著るしく促進される。第10h図 、第70B図の変
形としてすべての電極を露出せる単相接触型電界カーテ
ン装置も使用することが出来ることは云うまでもない。
これらすべての形式の単相接触形電界カーテン装置は、
これを粉粒体の輸送管路内や粉体塗装ブース等の内壁に
とりつけて、その上に剛着せる粒子を払落したり、ある
いは剛着を防止するのに用いることが出来る。
これを粉粒体の輸送管路内や粉体塗装ブース等の内壁に
とりつけて、その上に剛着せる粒子を払落したり、ある
いは剛着を防止するのに用いることが出来る。
また、これら単相接触形電界カーテン装置を傾けること
により、その上に供給された粉粒体粒子は激しい#を乱
作用や浮上作用をうけつつ重力によって、その表面に沿
って1方に滑動惟下するので、これを粉粒体の輸送に応
用することが出来る。第+8 図の装置においてその
結線を変えることにより三相交流電源70の代りに多相
交流電源を用いてもよい。第、9図の装置についでも多
相交流電源を用いることができ、Cの時は露出すべき電
極を相変に合わせて変更する。
により、その上に供給された粉粒体粒子は激しい#を乱
作用や浮上作用をうけつつ重力によって、その表面に沿
って1方に滑動惟下するので、これを粉粒体の輸送に応
用することが出来る。第+8 図の装置においてその
結線を変えることにより三相交流電源70の代りに多相
交流電源を用いてもよい。第、9図の装置についでも多
相交流電源を用いることができ、Cの時は露出すべき電
極を相変に合わせて変更する。
また表面層50を用いる代りに薄いアルミナ絶縁層を、
アルミナ微粉末を分散せるインクをスクリーン印刷の上
、焼成して形成することも出来、この手法によって層5
0を特にうすく形成できる。
アルミナ微粉末を分散せるインクをスクリーン印刷の上
、焼成して形成することも出来、この手法によって層5
0を特にうすく形成できる。
第11図〜第16図の電界装置iはイオン泥としての電
界装置11において、線状コロナ放′帆極をファインセ
フミック誘電体表面上に特に長形の伝送線路として配設
し、その一端に印加電圧の入力端子音と9つけたもので
ある。この電極構造は特に印加電圧としてパルス暢が1
n8〜1011 (IIIs程度の極短パルス高電圧を
用いる場合に適しており、この場合パルス電圧は入力端
から進行波として進行しつつ強力なパルスコロナ故事を
発生してプラズマを形成する。かかる急峻な立−ヒリの
パルス向電圧により生じた放′暇は特に放゛屯化学的作
用〃)粘発で、オゾナ・rザーやNOx。
界装置11において、線状コロナ放′帆極をファインセ
フミック誘電体表面上に特に長形の伝送線路として配設
し、その一端に印加電圧の入力端子音と9つけたもので
ある。この電極構造は特に印加電圧としてパルス暢が1
n8〜1011 (IIIs程度の極短パルス高電圧を
用いる場合に適しており、この場合パルス電圧は入力端
から進行波として進行しつつ強力なパルスコロナ故事を
発生してプラズマを形成する。かかる急峻な立−ヒリの
パルス向電圧により生じた放′暇は特に放゛屯化学的作
用〃)粘発で、オゾナ・rザーやNOx。
SOxの1波化等に用いるのに適している。
第11図の例では長方形のファインセラミック誘電体平
板1の上に長形の二本の細線状コロナ放i!極とし2て
の伝送線路(以千コロナ伝送線路とよぶ) 176 、
177が平付かつ蛇行1−て本発明の方法で配設されて
おり、その入力端子178゜179を介して上記極短パ
ルス尚電圧を極短パルス畠電圧諒180より供給印加さ
れる。この電圧は進行波電圧として伝送線路176−1
77上をその終端181.、182 4で伝播進行し、
その過程で伝送線路176と177の+’、(]で上記
活性プラズマを生ずる。図の様に終端181 、182
f:開放にすれば進行波電圧は反射されるが、ここに
伝送線路のサージインピーダンスに等しい抵抗をつける
と反射が停止する。
板1の上に長形の二本の細線状コロナ放i!極とし2て
の伝送線路(以千コロナ伝送線路とよぶ) 176 、
177が平付かつ蛇行1−て本発明の方法で配設されて
おり、その入力端子178゜179を介して上記極短パ
ルス尚電圧を極短パルス畠電圧諒180より供給印加さ
れる。この電圧は進行波電圧として伝送線路176−1
77上をその終端181.、182 4で伝播進行し、
その過程で伝送線路176と177の+’、(]で上記
活性プラズマを生ずる。図の様に終端181 、182
f:開放にすれば進行波電圧は反射されるが、ここに
伝送線路のサージインピーダンスに等しい抵抗をつける
と反射が停止する。
第12図は第11図の111.界装匝の変形で電極17
6 、177の配置を図示の如く互に嵌合せる櫛歯状と
したものである。この場合進行波は矢ta183→18
4→185→・・・の如く進イiし、終☆:;′、18
6に至る。
6 、177の配置を図示の如く互に嵌合せる櫛歯状と
したものである。この場合進行波は矢ta183→18
4→185→・・・の如く進イiし、終☆:;′、18
6に至る。
vJ13図は第1図に示す手法でファインセラミック長
方形の誘電体層18の内部に面上の鋳導電愉9r埋入配
設し、肋電体板18 の表仰2の上に一本の長形の線状
コロナ放電極187ヲジグザグ状に等間隔かつ平行とな
る椋に蛇行せしめて、その下の面状@導電上II9との
間に誘電体層を介して伝送線!8を形成せるもので、端
づ178゜179の間に上記極短パルス尚電圧を印加す
ると、進行波面電圧は矢印188→189−> 190
→・・・の如く進行して終JA191に至り、この()
4」に細線上コロナ放電極197からその左右方向に誘
電体表面2に沿う沿面コロナ放’ilf、″f:生じ、
上記の粘性プラズマが形成される。
方形の誘電体層18の内部に面上の鋳導電愉9r埋入配
設し、肋電体板18 の表仰2の上に一本の長形の線状
コロナ放電極187ヲジグザグ状に等間隔かつ平行とな
る椋に蛇行せしめて、その下の面状@導電上II9との
間に誘電体層を介して伝送線!8を形成せるもので、端
づ178゜179の間に上記極短パルス尚電圧を印加す
ると、進行波面電圧は矢印188→189−> 190
→・・・の如く進行して終JA191に至り、この()
4」に細線上コロナ放電極197からその左右方向に誘
電体表面2に沿う沿面コロナ放’ilf、″f:生じ、
上記の粘性プラズマが形成される。
第14図は2.13図の電界装置゛の上面を内側になる
様に技手方向を軸として曲げて円筒型の電界装置&19
2全形成せるもの、第15図は同じく上面が外側になる
様に曲げて円筒型′電界装置193を形成ぜるもので、
それぞれ円筒の内111!lおよび外側に油性なプラズ
マを形成する0第16図は4415図の変形で艮形線状
コロナ放電極ケらせん状に円筒193の表置12に配設
せるものでファインセラミック内油193の内部に埋入
せる円部状の訪導徂極と、らせん状コロナ放電極194
?、’伝送線路を形成し、この間に端子178 、1
79 k介して極短パルス尚也圧を印加すると、進行波
は194上をらせん状に進行して、その左右に油性プラ
ズマを形成する。この場合には電極194vニゲリーン
シー1・で円筒を形成の上その外周に印刷する。
様に技手方向を軸として曲げて円筒型の電界装置&19
2全形成せるもの、第15図は同じく上面が外側になる
様に曲げて円筒型′電界装置193を形成ぜるもので、
それぞれ円筒の内111!lおよび外側に油性なプラズ
マを形成する0第16図は4415図の変形で艮形線状
コロナ放電極ケらせん状に円筒193の表置12に配設
せるものでファインセラミック内油193の内部に埋入
せる円部状の訪導徂極と、らせん状コロナ放電極194
?、’伝送線路を形成し、この間に端子178 、1
79 k介して極短パルス尚也圧を印加すると、進行波
は194上をらせん状に進行して、その左右に油性プラ
ズマを形成する。この場合には電極194vニゲリーン
シー1・で円筒を形成の上その外周に印刷する。
本発明の各種電界装置にこれに多数の小孔を貫通形成し
て、背後より表面に空気、ガスあるいは液体を小孔を通
して供給し、これによって表面上への粉体等の剛着を防
止したり、反発・浮上・輸送等の電気力学的処理効果を
助長したり、あるいは本電界装frLを反応促進に用い
る時の対象ガスの導入口に利用したり、あるいllS[
小孔自体の内部で放電せしめてその特殊な効果を利用し
たり、小孔を通して放電域に不活性ガスを供給して、放
電による着火爆発を防止したり等の各種の利用を可能な
らしめることができ、これも発明の一つの重輩な一部を
形成する1、第17A図は本発明によるかかる多孔電界
装置百の一例を示すもので、第1図の装置への適用例で
あって、その一部断面を示す斜視図、第17B図はその
小孔部分の詳細図である。1−なわち第1図の装置の上
層1の下面に印刷される面状訪電極9は上面に印刷され
る細線状コロナ放電極3.4 H5の中間部に等間隔に
多数の小孔を形成するため、その小孔位置下面に、小孔
径よりも大きな内径を有する多数の円形の空白部225
を形成する如く印刷しており、上層1とT一層10′f
:圧着後に小孔群226をパンチにより形成して、焼成
する。これによって、該小孔群226を通して−F方よ
V空気又はガスを矢印227の方向に供給しコロナ放電
極3.4151・・・でプラズマを形成中の用層焼成後
のセラミック誘電体板18の上面2 Kこの空気又はガ
スを放出せしめて、すでに述べた各種の効果を燵成せし
めることができる。、小孔群226はコロナ放電極:l
、 4 、5 、・・・の内部に設けることも出来る
。
て、背後より表面に空気、ガスあるいは液体を小孔を通
して供給し、これによって表面上への粉体等の剛着を防
止したり、反発・浮上・輸送等の電気力学的処理効果を
助長したり、あるいは本電界装frLを反応促進に用い
る時の対象ガスの導入口に利用したり、あるいllS[
小孔自体の内部で放電せしめてその特殊な効果を利用し
たり、小孔を通して放電域に不活性ガスを供給して、放
電による着火爆発を防止したり等の各種の利用を可能な
らしめることができ、これも発明の一つの重輩な一部を
形成する1、第17A図は本発明によるかかる多孔電界
装置百の一例を示すもので、第1図の装置への適用例で
あって、その一部断面を示す斜視図、第17B図はその
小孔部分の詳細図である。1−なわち第1図の装置の上
層1の下面に印刷される面状訪電極9は上面に印刷され
る細線状コロナ放電極3.4 H5の中間部に等間隔に
多数の小孔を形成するため、その小孔位置下面に、小孔
径よりも大きな内径を有する多数の円形の空白部225
を形成する如く印刷しており、上層1とT一層10′f
:圧着後に小孔群226をパンチにより形成して、焼成
する。これによって、該小孔群226を通して−F方よ
V空気又はガスを矢印227の方向に供給しコロナ放電
極3.4151・・・でプラズマを形成中の用層焼成後
のセラミック誘電体板18の上面2 Kこの空気又はガ
スを放出せしめて、すでに述べた各種の効果を燵成せし
めることができる。、小孔群226はコロナ放電極:l
、 4 、5 、・・・の内部に設けることも出来る
。
いづれの場合にも誘導電極9には小孔226の直径より
も大きな径の空白部をその周囲に設けて、小孔内に9が
頭出することを防止し7、これによって9と軍、極:4
H4,5との間の火花発生を1υ)止する。
も大きな径の空白部をその周囲に設けて、小孔内に9が
頭出することを防止し7、これによって9と軍、極:4
H4,5との間の火花発生を1υ)止する。
第18図は第17A図の装置の変形で小孔の1(9に多
数のスリットを設けたものである。この電界装置234
t/1等間隔をもって平行に配設せる多数のモヂュール
235より成る。235は矩形+tyi面ヲ廟する長形
のファインセラミック?Jj霜;俸236より成υ、そ
の内部に銹尋寛極237.その左右両側面に膜状電極2
38 、239を有し、その鋭い上縁240 、241
がコロナ放電極を形成12、交流尚圧箱;源19より端
子15.16を介し−C′市極238 、239と埋入
誘導電極237の間に交DiE高電圧を印加すると24
0 、241から236の上表部にそって内向きに沿面
交流コロナ放7Lか弊生じ、イオン詐としてのプラズマ
ケ形成する 相隣るモヂュール間の間隙242は空気又
&:Xガス4二矢印243の方向に通過せしめるスリン
)・とし、て働き、本装置234は第17A図の装置と
1つたく同様な機能を発揮する。
数のスリットを設けたものである。この電界装置234
t/1等間隔をもって平行に配設せる多数のモヂュール
235より成る。235は矩形+tyi面ヲ廟する長形
のファインセラミック?Jj霜;俸236より成υ、そ
の内部に銹尋寛極237.その左右両側面に膜状電極2
38 、239を有し、その鋭い上縁240 、241
がコロナ放電極を形成12、交流尚圧箱;源19より端
子15.16を介し−C′市極238 、239と埋入
誘導電極237の間に交DiE高電圧を印加すると24
0 、241から236の上表部にそって内向きに沿面
交流コロナ放7Lか弊生じ、イオン詐としてのプラズマ
ケ形成する 相隣るモヂュール間の間隙242は空気又
&:Xガス4二矢印243の方向に通過せしめるスリン
)・とし、て働き、本装置234は第17A図の装置と
1つたく同様な機能を発揮する。
第19A図は多孔電界装置の別の構lj兄例でファイン
セラミック誘電体板244の表面に101状11)44
4245、その内部に押入されていま一つの面状電極2
46があり、かつ多数の小孔226がこれら電極245
、246とファインセラミック誘電体板244を貫通
してあけらノしているが、この場合小孔226の内壁に
は第19B図に示す様に電極245 、246の貫通周
縁247 、248が露出しており、両電極間に☆iM
+15.16を介して極短パルス高圧′亀源180より
極短パルス篩箱;圧を印加すると小孔226の内壁表面
VC沿って)!51縁247と248の曲に沿面故事が
発生、これがプラズマイオン源となって244の上面に
イオンを供給する。
セラミック誘電体板244の表面に101状11)44
4245、その内部に押入されていま一つの面状電極2
46があり、かつ多数の小孔226がこれら電極245
、246とファインセラミック誘電体板244を貫通
してあけらノしているが、この場合小孔226の内壁に
は第19B図に示す様に電極245 、246の貫通周
縁247 、248が露出しており、両電極間に☆iM
+15.16を介して極短パルス高圧′亀源180より
極短パルス篩箱;圧を印加すると小孔226の内壁表面
VC沿って)!51縁247と248の曲に沿面故事が
発生、これがプラズマイオン源となって244の上面に
イオンを供給する。
この場合小孔群226を通して下方より空気又はガスを
上方に供給すると、すでに述べた各棹の効果を発揮する
。
上方に供給すると、すでに述べた各棹の効果を発揮する
。
第20図は第19A図の装置においてファインセラミッ
ク誘ML体244の下面にも面状′電極245aを設け
たもので、したがって小孔226の内壁における放電は
Ji’d ti? 248の上下両方において発生する
。したがって小孔群22(j全通してガスを供給する場
合にほぞの放電化学作用が第19A図の場合の倍に促進
される。また、小孔全通して帯電せる液体を通すとき0
ユ廟効に除電される。
31.ニー1、−一≠瘍逼=#傘日jf土肚=
bセ鰍症β・h以上本発明をその実施例及び(2)面に
ついて説明したが、本発明はそれらに限定されるもので
なく、前述の本発明の要旨の範囲内で、技術的(こ多少
変更して実施することも可能である。
ク誘ML体244の下面にも面状′電極245aを設け
たもので、したがって小孔226の内壁における放電は
Ji’d ti? 248の上下両方において発生する
。したがって小孔群22(j全通してガスを供給する場
合にほぞの放電化学作用が第19A図の場合の倍に促進
される。また、小孔全通して帯電せる液体を通すとき0
ユ廟効に除電される。
31.ニー1、−一≠瘍逼=#傘日jf土肚=
bセ鰍症β・h以上本発明をその実施例及び(2)面に
ついて説明したが、本発明はそれらに限定されるもので
なく、前述の本発明の要旨の範囲内で、技術的(こ多少
変更して実施することも可能である。
第1A図は本発明の原料シートの上面を示す斜視図、第
1B図は同原料シートの下面を示す斜面図、第1C図は
他の原料シートの上汀行を示す斜面図、第1D図は同地
の原料シートの下面を示す斜面図、第1E図は第1A図
と第1C図の原料シートを二枚重合して、一部分を欠如
せる状態の斜面図、第1F図は第1u図の横断面図、第
2図は円筒状電界装置の斜面図、第3図、第4図、第5
図は夫々互に異る他の実施例の斜面図、第6A図乃至第
6E図は電気力学操作装置としての電界装置を上層、中
層及び下層に分解して示した斜面図、第7図は三相接触
形′t+L界装置の斜面図、第8図は同電界装置の回路
図、第9図は他の実施例を示す電界装置の回路図、第1
0A図は単相接触形電界装置の回路図、第10B図は他
の実施例を示す′電界装置の回路図、第11図はイオン
源としての電界装置の斜面図、車12図及び第13図は
夫々第11図の他の実f%例の斜面図、第141喝及び
第15因は夫々第131Xの電界装置を円筒形にした実
施例の斜面図%第16図は第15図の変形を示す実施例
の斜面1λS第17A図は本発明の多孔を有する電界装
置の斜面図、第17B図は第17A図の一部分の拡大斜
il 1図、第18図はスリットをもった′電界装置の
斜面図、tu 、+9 A図は多孔を有する電界装置の
他の実施例の11)1面図、第1913図は第19A図
の一部分の拡大斜面図、第20図は多孔を有する電界装
置の更(こ他の実施例の断面図である。 1・・・原料シート 2・・・原料シートの上面 3.4.5・・・電極 8・・・原料シートの下面 9・・・101状誘導電極 10・・・原料シート 12・・・穴 13.15・・・円板状の接触用導体部16・・・円板
状ターミナル導体部 18・・・誘′屯俸板 部・・・円板状誘電体 26・・・′尾界装置 53%54.55・・・細線状電極 226・・・小孔 @ ’l !!! 1q 第 3 図 り6 嘆 4!!!l 竺 5I!1
1B図は同原料シートの下面を示す斜面図、第1C図は
他の原料シートの上汀行を示す斜面図、第1D図は同地
の原料シートの下面を示す斜面図、第1E図は第1A図
と第1C図の原料シートを二枚重合して、一部分を欠如
せる状態の斜面図、第1F図は第1u図の横断面図、第
2図は円筒状電界装置の斜面図、第3図、第4図、第5
図は夫々互に異る他の実施例の斜面図、第6A図乃至第
6E図は電気力学操作装置としての電界装置を上層、中
層及び下層に分解して示した斜面図、第7図は三相接触
形′t+L界装置の斜面図、第8図は同電界装置の回路
図、第9図は他の実施例を示す電界装置の回路図、第1
0A図は単相接触形電界装置の回路図、第10B図は他
の実施例を示す′電界装置の回路図、第11図はイオン
源としての電界装置の斜面図、車12図及び第13図は
夫々第11図の他の実f%例の斜面図、第141喝及び
第15因は夫々第131Xの電界装置を円筒形にした実
施例の斜面図%第16図は第15図の変形を示す実施例
の斜面1λS第17A図は本発明の多孔を有する電界装
置の斜面図、第17B図は第17A図の一部分の拡大斜
il 1図、第18図はスリットをもった′電界装置の
斜面図、tu 、+9 A図は多孔を有する電界装置の
他の実施例の11)1面図、第1913図は第19A図
の一部分の拡大斜面図、第20図は多孔を有する電界装
置の更(こ他の実施例の断面図である。 1・・・原料シート 2・・・原料シートの上面 3.4.5・・・電極 8・・・原料シートの下面 9・・・101状誘導電極 10・・・原料シート 12・・・穴 13.15・・・円板状の接触用導体部16・・・円板
状ターミナル導体部 18・・・誘′屯俸板 部・・・円板状誘電体 26・・・′尾界装置 53%54.55・・・細線状電極 226・・・小孔 @ ’l !!! 1q 第 3 図 り6 嘆 4!!!l 竺 5I!1
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、 ファインセラミックで適轟な厚さに形成された誘
電体とこの誘電体に対して一体的に設けられた電界形成
用電極とからなる電界装置2、特許請求の範囲第1項記
載の電界装置kに於いて、ファインセラミックで形成さ
れた誘電1、 体が平板状である電界装置 3、 特許請求の範囲第1項記載の電界装置に於いて、
ファインセラミックで形成された誘電体が円筒状である
電界装置 4、%許請求の範囲第1項記載の電界装置に於いて、フ
ァインセラミックで形成された誘電体が、その表裏両面
に通ずる多数の小孔を穿たれている電界装置 5、特許請求の範囲第1項、第2項、第3項及び第4項
記載の電界装置に於いて、誘電1体に対して一体的に設
けられた電界形成用電極が細線状電極と面状′電極とか
らなる電界装置6、特許請求の範囲第1項、第2項、第
3項及び第4項の何れかに記載の′電界装置に於いて、
誘電体に対して一体的に設けられている電界形成用電極
が、該誘、電体の表面と、内部に夫々設けられている電
界装置 7、特許請求の範囲第1項、第2項、第3項及び第4項
の何れかに記載の電界装置に於いて、誘電体に対して一
体的に設けられている電界形成用′#i極が該誘電体の
内部に埋設されている霜;界装置 8 特許請求の範囲第1項、第2項、第3項及び絹4項
の倒れかに記載の電界装置に於いて、誘電体に対して一
体的に設けられている電界形成用電極が誘電体の表面に
形成されている?に界装置 9 特許請求の範囲第1項、第2項、第3項及び第4項
の何れかに記載の亀が装置に於いて、′巾:界形成用電
極が線状電極からなっている電界装置 10、 特許請求の範囲第9項記載の′電界装置に於
いて、線状電極が複数本平行に設けられている電界装置 11、 特許請求の範囲第10項記載の電界装置に於
いて、複数本の線状電極が一本おきに電気的に結合され
ている電界装置 12、 %許請求の範囲第10項記載の電界装置に於
いて、複数本の線状電極が2本おきに電気的に結合され
ている電界装置 13、 %許請求の範囲第9項記載の電界装置に於い
て、線状電極が蛇行状に形成されている電界装置 14、%許請求の範囲第9項記載の電界装置に於いて、
線状電極が櫛歯状を形成している電界装置 15、 特許請求の範囲第3項記載の電界装(6に於
いて、電界形成用電極が、円筒状誘電体の長手方向と同
一方向の線状電極で形成されている電界装置 16、 特許請求の範囲第3項記載の電界装置に於て
、電界形成用電極が、円筒状誘電体の円周方向と同一方
向の線状電極で形成されている′電界装置 17 特許請求の範囲 いて、電界形成用電極が円筒状誘電体に対して螺旋状に
形成されている電界装は 18、 特許請求の範囲第1項+ i! 2項,第3
項及び第4項の何れかに記載の電界装置に於いて、電界
形成用fiJ’.極が面状′電極である電界装iM−1
9 特ぎ[請求の範囲第4項記載の電界装置に於いて
、ファインセラミックで形成さ力,た誘電体の両面に通
ずる多数の孔が円形である電界装置 20、 %許請求の範囲第4項記載の電界装置に於い
て、ファインセラミックで形成された誘電体の両面に通
ずる多数の孔がスリット状である゛電界装置 21 アルミナ微粉末等のファインセラミック誘….
体材料で原料シートを形成し、該原料シートの面に適当
な形状の電界形成用電極を形成し、この状態の原料シー
ト全前記電界形成用電極と共に焼成する電界装置の製造
方法22、 %許請求の範囲第21項記載の電界装置
の製造方法に於いて、該ファインセラミック誘′屯体材
料が純度9リチ以上の尚純度アルミナである電界装置の
製造方法 2:l. 特許請求の範囲第21項記載の市;界1’
j b’+の製造方法に於いて、該ファインヒラミック
誘電体材料が純度90%以上の高純度アルミプ以外のフ
ァインセラミック材料である電界装置の製造方法 24、 特許請求の範囲第21項記載の電界装置の製造
方法に於いて、該原料シートの面に形成された電界形成
用電極がタングステン等の適当な微粉末の分赦せるイン
クで印刷されている電界装置の製造方法 25 特許dN求の範囲第21項記載の電界装置の製
造方法に於いて、該原料シートの面に形成された電界形
成用電極が予じめ形成された金属材料からなっている電
界装置の製造方法26、特許請求の範囲第21項記載の
1扛界装飢e)製造方法に於いて、該原料シートの面に
形成された電界形成用電極がカーボン繊維からなってい
る電界装置の製造方法 27、 特許請求の範囲第21項記載の電界装置の製
造方法に於いて、該電界形成用電極が半導体セラミック
材料からなっている″電界装置の製造方法 28、特許請求の範囲第21項記載の電界装置の製造方
法に於いて、該電界形成用電極と共に焼成される原料シ
ートが平板状に形成されている電界装置の製造方法 29、%許開求の範囲第21項記載の電界装置の製造方
法に於いて、該゛電界形成用電極と共に焼成される原料
シートが円筒状に形成されている電界装置の製造方法 30、特irF ii肖求の範囲第21項記載の電界装
置の製造方法に於いて、該電界形成用電極と共に焼成さ
れる際の原料シートが多数の小孔群に工って、その両面
に旦って連通されている也界装置の製造方法 31 アルミナ微粉末のファインセラミック誘電体材
料で形成された上部原料シートの上面VC線状屯棒金、
又下面に面状電極を夫々タングステン粉末等の金属微粉
末の分散せるインクで印刷し、同上の誘電体材料で形成
された下部原料シートに、その上面から下面に通ずる八
を穿設し、この穴に上述のインクを充填して導体を形成
し、この1部シートを611述の上部シートの下面に重
合して圧着の上焼成する電界装置の製造方法 32、特許請求の範囲第31項記載の電界装置の製造方
法に於いて、該上部原料シートに印刷された線状電極が
同じインクで印刷されたターミナル導線と結合されてい
る電界−Nlifの製造方法 33、 竹詐請求の範囲第31項記載の電界装置の製
造方法に於いて、該下部原料シートの上面から下面に通
じて充填されたインクが、その上下両端部に同インクで
印刷された円板状導体と接続されている電界装置の製造
方法
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57155617A JPS5944782A (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | 沿面コロナ放電素子およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57155617A JPS5944782A (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | 沿面コロナ放電素子およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5944782A true JPS5944782A (ja) | 1984-03-13 |
JPH0222998B2 JPH0222998B2 (ja) | 1990-05-22 |
Family
ID=15609921
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57155617A Granted JPS5944782A (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | 沿面コロナ放電素子およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5944782A (ja) |
Cited By (12)
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WO2017208889A1 (ja) * | 2016-06-03 | 2017-12-07 | 日本碍子株式会社 | 電荷発生素子及び微粒子数検出器 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2004273315A (ja) | 2003-03-10 | 2004-09-30 | Sharp Corp | イオン発生装置、空気調節装置および荷電装置 |
Citations (6)
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