JP7504539B2 - ドレッシング部材 - Google Patents
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Description
13 被加工物
13a 表面
13b 裏面
15 分割予定ライン(ストリート)
17 デバイス
19 テープ(ダイシングテープ)
21 フレーム
21a 開口
21b 目印部
23 ドレッシング部材(ドレッシングユニット)
25 ドレッシングボード
25a 表面
25b 裏面
25c 溝
27 剛性プレート
27a 表面
27b 裏面
27c 目印部
29 情報表示部
31 情報表示部
2 切削装置
4 基台
4a 開口
4b 開口
6 カセット載置部(カセット載置台)
8 カセット
8a 収容部
8b 側面
8c 側壁
8d ガイドレール
10 移動機構
10a 移動テーブル
12 防塵防滴カバー
14 チャックテーブル(保持テーブル)
14a 保持面
14b 流路
16 クランプ
18 ガイドレール
20 第1支持構造
22 レール
24 移動機構
26 搬送ユニット(搬送機構)
26a 把持部(把持機構)
28 レール
30 移動機構
32 搬送ユニット(搬送機構)
34 第2支持構造
36a,36b 移動機構
38a,38b 切削ユニット
40 切削ブレード
42 撮像ユニット(カメラ)
44 洗浄ユニット
46 スピンナテーブル
48 ノズル
50 カバー
52 表示部(表示ユニット、表示装置)
54 報知部(報知ユニット)
56 制御部(制御ユニット)
60 基台
62 吸引パッド
62a 保持面
64 バルブ
66 吸引源
68 スピンドル
Claims (6)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルによって保持された該被加工物を切削ブレードで切削する切削ユニットと、該被加工物を収容するカセットが載置されるカセット載置部と、テープを介して該被加工物を支持する環状のフレームを保持して該カセット載置部に載置された該カセットと該チャックテーブルとの間で該被加工物を搬送する搬送ユニットと、を備える切削装置によって実施される該切削ブレードのドレッシングに用いられるドレッシング部材であって、
該切削ブレードによって切削されるドレッシングボードと、該ドレッシングボードに固定された剛性プレートと、を備え、
該搬送ユニットによる該カセットからの搬出、該チャックテーブルによる保持、及び、該搬送ユニットによる該カセットへの搬入が可能であることを特徴とするドレッシング部材。 - 該ドレッシングボードに関する情報を表示する情報表示部を備えることを特徴とする請求項1に記載のドレッシング部材。
- 該チャックテーブルは、該被加工物及び該剛性プレートを保持する円形の保持面を備え、
該ドレッシングボードは矩形状であり、
該ドレッシングボードの対角線の長さは、該保持面の直径より大きいことを特徴とする請求項1又は2に記載のドレッシング部材。 - 該剛性プレートの外周縁の輪郭は、該フレームの外周縁の輪郭に対応することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のドレッシング部材。
- 該搬送ユニットは、該フレームを吸引保持する吸引パッドを備え、
該剛性プレートは、該吸引パッドによって吸引保持されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のドレッシング部材。 - 該剛性プレートは、該剛性プレートの向きを示す目印部を備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のドレッシング部材。
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TW202116482A (zh) | 切割裝置之卡盤台 |
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