JP2016092237A - フレームユニット - Google Patents
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Landscapes
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
Description
6 チャックテーブル
10 カセット載置機構
14 カセット載置台
16 位置合わせ機構
18 昇降機構
20 ハウジング
22 カセット
26 センターテーブル
30 中心位置位置合わせ部材
32a,32b 円弧面
38 支持台
40 ボールねじ
42 パルスモータ
46 第1コラム
48A 第1切削ユニット
48B 第2切削ユニット
50 切削ブレード
52 第2コラム
54,56 ガイドレール
58 被加工物搬出入ユニット(第1搬送ユニット)
64 アーム
66 第2搬送ユニット
72 ノッチ検出手段(目印検出手段)
76a,80a 発光素子
76b,80b 受光素子
82 フレームユニット
84 ドレッシングボード
86 ダイシングテープ
88 環状フレーム
89 目印部
Claims (3)
- ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハを切削ブレードで切削する切削手段と、複数のウェーハを収容するカセットを載置するカセット載置領域と、該カセット載置領域に載置された該カセットと該チャックテーブルとの間でウェーハを搬送する搬送手段と、を備えた切削装置において用いられるフレームユニットであって、
該フレームユニットは、環状フレームと、該環状フレームの開口を塞ぐように外周部が該環状フレームに貼着されたダイシングテープと、該ダイシングテープに貼着されたドレッシングボードとから構成され、
該フレームユニットの該環状フレームは、直径が該ウェーハの直径と同等であることを特徴とするフレームユニット。 - 該環状フレームは、該ドレッシングボードより薄く形成され、該環状フレームの厚さは、該切削ブレードのドレッシング時に切り残される該ドレッシングボードの切り残し部の厚さ未満であることを特徴とする請求項1記載のフレームユニット。
- 該切削装置は、ウェーハに配設されたウェーハの向きを示す第1目印部を検出する目印検出手段を備え、該搬送手段は検出された該第1目印部を所定の向きに調整しつつウェーハを該チャックテーブルに載置し、
該環状フレームは、該第1目印部に相当する第2目印部を有することを特徴とする請求項1又は2記載のフレームユニット。
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2014
- 2014-11-05 JP JP2014225560A patent/JP6474233B2/ja active Active
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