JP5148924B2 - ダイシング用フレームユニット - Google Patents
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Description
2 ワーク
3 ダイシング用フレームユニット
4 ダイシングテープ
5 環状フレーム
6 開口部
7 ドレス部材
16 チャックテーブル
19 ダイシングブレード
21 ドレス部材
30 ダイシング用フレームユニット
31 切欠部
32 環状フレーム
33 開口部
34 ダイシングテープ
35 ドレス部材
Claims (3)
- 環状フレームの開口部にワークをダイシングテープで保持してダイシング装置のチャックテーブルに装着されるダイシング用フレームユニットであって、
前記環状フレームは、一部を切り欠いた切欠部を有し、
該切欠部に対応する前記ダイシングテープ上にダイシング用補助部材を備えることを特徴とするダイシング用フレームユニット。 - 前記ダイシング用補助部材は、ダイシングブレードをドレッシングするためのドレス部材であることを特徴とする請求項1に記載のダイシング用フレームユニット。
- 前記ダイシング用補助部材は、交換自在に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載のダイシング用フレームユニット。
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