JP7294940B2 - 基板処理ツール - Google Patents
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Claims (16)
- フレームと、
前記フレームに接続される第1のアームであって、前記第1のアームが、上側アーム、前アームおよびエンドエフェクタを有し、第1の径方向の軸に沿って延伸および後退するように構成される3リンクアームであり、前記エンドエフェクタが、前記前アームにリスト軸で結合される、第1のアームと、
前記フレームに接続される第2のアームであって、前記第2のアームが、上側アーム、前アームおよびエンドエフェクタを有し、第2の径方向の軸に沿って延伸および後退するように構成される3リンクアームであり、前記エンドエフェクタが、前記前アームにリスト軸で結合される、第2のアームと、
前記第1および第2のアームに結合される駆動セクションと
を備え、
前記第1および第2のアームは、前記第1および第2のアームが従属する共通のベース上で共通の回転軸を有し、
前記駆動セクションは、同軸駆動スピンドルを形成する、同軸に配置された2自由度を有し、前記駆動セクションは、前記第1のアームおよび前記第2のアームのそれぞれの延伸が、それぞれの前記第1のアームおよび前記第2のアームの対応する3つのアームリンクのみによる伝達を介して、前記同軸駆動スピンドルによって完全に行われるように、前記同軸駆動スピンドルにより、それぞれの径方向の軸に沿って前記第1および第2のアームの両方を延伸させ、それぞれの径方向の軸に沿った前記第1および第2のアームの延伸および後退が結合され、前記第1および第2のアームのそれぞれのエンドエフェクタが、共通の移送面に沿って実質的に一致して移動するように、前記同軸駆動スピンドルにより、それぞれの径方向の軸に沿って前記第1および第2のアームの両方を延伸させ、前記同軸駆動スピンドルにより、前記共通の回転軸を中心に前記第1および第2のアームの両方を回転させるように構成される、
基板処理装置。 - 前記同軸駆動スピンドルが、前記共通の回転軸と実質的に一致して位置付けられる、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記第1および第2のアームの延伸および後退は、前記第1および第2のアームの一方が延伸すると、前記第1および第2のアームの他方が後退するように、相互の延伸および後退である、請求項1記載の基板処理装置。
- それぞれのエンドエフェクタが、少なくとも1つの基板を保持するように構成され、前記第1および第2のアームのエンドエフェクタが、前記共通の移送面に一致して位置付けられる、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記エンドエフェクタのそれぞれは、前記エンドエフェクタの間の角度が、各アームによりアクセス可能な、放射状に隣接する基板保持ステーションの間の角度と実質的に一致するように、それぞれのアームに取り付けられる、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記エンドエフェクタの間の角度が、調節可能な角度である、請求項5記載の基板処理装置。
- 少なくとも前記駆動セクションに接続される制御装置と、
前記制御装置に接続される少なくとも1つのセンサと
をさらに備え、
前記制御装置は、前記少なくとも1つのセンサから基板検知信号を得て、前記第1および第2のアームのうちの少なくとも1つのエンドエフェクタの位置にオフセットを適用するように構成され、前記オフセットが、少なくとも基板搬送装置の熱膨張に応じて計算される、
請求項1記載の基板処理装置。 - 前記第1および第2のアームのそれぞれの上側アームが、前記駆動セクションに前記共通の回転軸で接続され、前記第1および第2のアームのそれぞれの前アームが、それぞれの上側アームにエルボ軸で接続され、前記第1および第2のアームのそれぞれのエンドエフェクタが、それぞれの前アームにリスト軸で接続される、請求項1記載の基板処理装置。
- 基板を処理する方法であって、前記方法が、
基板処理装置のフレームを設けることと、
前記フレームに接続される第1のアームを設けることであって、前記第1のアームが、上側アーム、前アームおよびエンドエフェクタを有し、第1の径方向の軸に沿って延伸および後退するように構成される3リンクアームであり、前記エンドエフェクタが、前記前アームにリスト軸で結合される、第1のアームを設けることと、
前記フレームに接続される第2のアームを設けることであって、前記第2のアームが、上側アーム、前アームおよびエンドエフェクタを有し、第2の径方向の軸に沿って延伸および後退するように構成される3リンクアームであり、前記エンドエフェクタが、前記前アームにリスト軸で結合され、前記第1および第2のアームは、前記第1および第2のアームが従属する共通のベース上で共通の回転軸を有する、第2のアームを設けることと、
前記第1のアームおよび前記第2のアームのそれぞれの延伸が、それぞれの前記第1のアームおよび前記第2のアームの対応する3つのアームリンクのみによる伝達を介して、前記第1および第2のアームに結合される駆動セクションの同軸駆動スピンドルによって完全に行われるように、前記同軸駆動スピンドルにより、それぞれの径方向の軸に沿って前記第1および第2のアームの両方を延伸させ、それぞれの径方向の軸に沿った前記第1および第2のアームの延伸および後退が結合され、前記第1および第2のアームのそれぞれのエンドエフェクタが、共通の移送面に沿って実質的に一致して移動するように、前記第1および第2のアームに結合される駆動セクションの同軸駆動スピンドルにより、それぞれの径方向の軸に沿って前記第1および第2のアームの両方を延伸させ、前記同軸駆動スピンドルにより、前記共通の回転軸を中心に前記第1および第2のアームの両方を回転させることと
を含み、
前記駆動セクションが、前記同軸駆動スピンドルを形成する、同軸に配置された2自由度を有する、
方法。 - 前記同軸駆動スピンドルが、前記共通の回転軸と実質的に一致して位置付けられる、請求項9記載の方法。
- 前記第1および第2のアームの延伸および後退は、前記第1および第2のアームの一方が延伸すると、前記第1および第2のアームの他方が後退するように、相互の延伸および後退である、請求項9記載の方法。
- それぞれのエンドエフェクタにより、少なくとも1つの基板を保持すること
をさらに含み、
前記第1および第2のアームのエンドエフェクタが、前記共通の移送面に一致して位置付けられる、
請求項9記載の方法。 - 前記エンドエフェクタのそれぞれは、前記エンドエフェクタの間の角度が、各アームによりアクセス可能な、放射状に隣接する基板保持ステーションの間の調節可能な角度と実質的に一致するように、それぞれのアームに取り付けられる、請求項9記載の方法。
- 前記エンドエフェクタの間の角度が、調節可能な角度である、請求項13記載の方法。
- 少なくとも前記駆動セクションに接続される制御装置により、前記制御装置に接続される少なくとも1つのセンサから、基板検知信号を取得することと、
前記第1および第2のアームのうちの少なくとも1つのエンドエフェクタの位置にオフセットを適用することであって、前記オフセットが、少なくとも基板搬送装置の熱膨張に応じて計算される、オフセットを適用することと
をさらに含む請求項9記載の方法。 - 前記第1および第2のアームのそれぞれの上側アームが、前記駆動セクションに前記共通の回転軸で接続され、前記第1および第2のアームのそれぞれの前アームが、それぞれの上側アームにエルボ軸で接続され、前記第1および第2のアームのそれぞれのエンドエフェクタが、それぞれの前アームにリスト軸で接続される、請求項9記載の方法。
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US10424498B2 (en) * | 2013-09-09 | 2019-09-24 | Persimmon Technologies Corporation | Substrate transport vacuum platform |
SG2013069893A (en) * | 2013-09-13 | 2015-04-29 | Jcs Echigo Pte Ltd | Material handling system and method |
JP2015076433A (ja) * | 2013-10-07 | 2015-04-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送方法 |
US9761478B2 (en) * | 2014-01-28 | 2017-09-12 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus |
WO2015120369A1 (en) | 2014-02-10 | 2015-08-13 | Persimmon Technologies, Corp. | Robot having predetermined orientation |
DE102014009892B4 (de) * | 2014-07-04 | 2018-05-30 | gomtec GmbH | Antriebseinheit mit magnetischer Schnittstelle |
JP6453353B2 (ja) * | 2014-10-10 | 2019-01-16 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボットおよびその運転方法 |
JP6450401B2 (ja) * | 2014-12-26 | 2019-01-09 | 川崎重工業株式会社 | 双腕ロボット |
KR102000690B1 (ko) * | 2014-12-26 | 2019-07-16 | 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 | 다관절 로봇 |
EP3056320B1 (en) * | 2015-02-10 | 2018-12-05 | F. Hoffmann-La Roche AG | Robotic device and laboratory automation system comprising robotic device |
CN107408526B (zh) * | 2015-03-12 | 2022-03-15 | 柿子技术公司 | 具有从动末端执行器运动的机器人 |
US9866035B2 (en) * | 2015-03-27 | 2018-01-09 | Irobot Corporation | Rotatable coupling |
US10103046B2 (en) * | 2015-04-20 | 2018-10-16 | Applied Materials, Inc. | Buffer chamber wafer heating mechanism and supporting robot |
KR102587203B1 (ko) * | 2015-07-13 | 2023-10-10 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 온 더 플라이 자동 웨이퍼 센터링 방법 및 장치 |
WO2017041007A1 (en) * | 2015-09-04 | 2017-03-09 | Douglas Machine Inc. | Improved robotic article handling system & operations |
CN106548970B (zh) * | 2015-09-23 | 2019-10-11 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 升降装置及半导体加工设备 |
US10124492B2 (en) * | 2015-10-22 | 2018-11-13 | Lam Research Corporation | Automated replacement of consumable parts using end effectors interfacing with plasma processing system |
US9827678B1 (en) | 2016-05-16 | 2017-11-28 | X Development Llc | Kinematic design for robotic arm |
US9827677B1 (en) | 2016-05-16 | 2017-11-28 | X Development Llc | Robotic device with coordinated sweeping tool and shovel tool |
TWI724971B (zh) * | 2016-06-28 | 2021-04-11 | 美商應用材料股份有限公司 | 包括間隔上臂與交錯腕部的雙機器人以及包括該者之系統及方法 |
US11270904B2 (en) * | 2016-07-12 | 2022-03-08 | Brooks Automation Us, Llc | Substrate processing apparatus |
JP6747136B2 (ja) * | 2016-07-22 | 2020-08-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
CN106181982A (zh) * | 2016-08-09 | 2016-12-07 | 英华达(上海)科技有限公司 | 多轴机器人 |
US11065760B2 (en) | 2016-08-09 | 2021-07-20 | Inventec Appliances (Pudong) Corporation | Multiaxial robot with cover |
US10884426B2 (en) * | 2016-09-06 | 2021-01-05 | Advanced Intelligent Systems Inc. | Mobile work station for transporting a plurality of articles |
TW202402488A (zh) * | 2017-01-26 | 2024-01-16 | 美商布魯克斯自動機械美國公司 | 用於基板輸送設備位置補償之方法及設備、基板輸送經驗臂下垂測繪設備、基板輸送設備、和基板處理工具 |
US10651067B2 (en) | 2017-01-26 | 2020-05-12 | Brooks Automation, Inc. | Method and apparatus for substrate transport apparatus position compensation |
JP7196101B2 (ja) * | 2017-02-15 | 2022-12-26 | パーシモン テクノロジーズ コーポレイション | 複数のエンドエフェクタを備えた材料取り扱いロボット |
US10983538B2 (en) | 2017-02-27 | 2021-04-20 | Flow Devices And Systems Inc. | Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller |
US10629472B2 (en) * | 2017-08-17 | 2020-04-21 | Persimmon Technologies Corporation | Material handling robot |
US11020852B2 (en) * | 2017-10-05 | 2021-06-01 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus with independent accessory feedthrough |
CN107962550B (zh) * | 2017-11-07 | 2020-12-11 | 大连理工大学 | 一种具有部分解耦和动平衡特性的scara高速并联机械手 |
US10155309B1 (en) * | 2017-11-16 | 2018-12-18 | Lam Research Corporation | Wafer handling robots with rotational joint encoders |
CN109994358B (zh) * | 2017-12-29 | 2021-04-27 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 一种等离子处理***和等离子处理***的运行方法 |
US11535460B2 (en) * | 2018-05-31 | 2022-12-27 | Brooks Automation Us, Llc | Substrate processing apparatus |
TW202404753A (zh) * | 2018-10-05 | 2024-02-01 | 美商布魯克斯自動機械美國公司 | 基板處理裝置及在基板處理裝置中處理基板之方法 |
US11192239B2 (en) * | 2018-10-05 | 2021-12-07 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
EP3672040A1 (en) * | 2018-12-17 | 2020-06-24 | Nexperia B.V. | Device for enabling a rotating and translating movement by means of a single motor; apparatus and system comprising such a device |
US11583756B2 (en) | 2019-03-08 | 2023-02-21 | Infivention Technologies Pvt. Ltd. | Electronic game board |
KR20210136107A (ko) * | 2019-03-11 | 2021-11-16 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 비대칭 듀얼 엔드 이펙터 로봇 아암 |
JP6677366B1 (ja) * | 2019-03-12 | 2020-04-08 | 日本精工株式会社 | ワークチェンジャ、ワーク搬送装置、加工装置、及び、リング軸受の製造方法、機械の製造方法、車両の製造方法 |
US11850742B2 (en) * | 2019-06-07 | 2023-12-26 | Applied Materials, Inc. | Dual robot including splayed end effectors and systems and methods including same |
US11633848B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-04-25 | X Development Llc | Independent pan of coaxial robotic arm and perception housing |
JP6880519B2 (ja) | 2019-11-11 | 2021-06-02 | 株式会社安川電機 | ロボットシステム、ロボットの制御方法、半導体製造システム |
US11569111B2 (en) * | 2019-12-02 | 2023-01-31 | Brooks Automation Us, Llc | Substrate processing apparatus |
JP2021097162A (ja) * | 2019-12-18 | 2021-06-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び載置台 |
US11235935B2 (en) * | 2020-01-23 | 2022-02-01 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus |
TWI776479B (zh) * | 2020-04-22 | 2022-09-01 | 漢辰科技股份有限公司 | 離子佈植裝置及機械手臂 |
CN113838788A (zh) * | 2020-06-24 | 2021-12-24 | 拓荆科技股份有限公司 | 晶圆自动承载***及采用该***传送晶圆的方法 |
KR102272535B1 (ko) * | 2020-12-14 | 2021-07-05 | (주)볼타오토메이션 | 반송로봇용 듀얼타입의 반송암모듈 |
US20220297285A1 (en) * | 2021-03-18 | 2022-09-22 | Persimmon Technologies Corporation | Distributed-Architecture Robot with Multiple Linkages |
US20220372621A1 (en) * | 2021-05-18 | 2022-11-24 | Mellanox Technologies, Ltd. | Cvd system with substrate carrier and associated mechanisms for moving substrate therethrough |
KR102394121B1 (ko) * | 2021-10-08 | 2022-05-04 | (주) 티로보틱스 | 기판 이송 로봇을 챔버 내에서 주행하기 위한 주행 로봇 |
US20230113673A1 (en) * | 2021-10-12 | 2023-04-13 | Applied Materials, Inc. | Factory interface robots usable with integrated load locks |
US20230234238A1 (en) * | 2022-01-27 | 2023-07-27 | Persimmon Technologies Corporation | Traversing Robot With Multiple End Effectors |
KR102431679B1 (ko) | 2022-02-15 | 2022-08-12 | (주) 티로보틱스 | 진공 챔버에서 기판을 이송하기 위한 기판 이송 로봇 |
KR102431664B1 (ko) | 2022-02-15 | 2022-08-12 | (주) 티로보틱스 | 진공 챔버에서 기판을 이송하기 위한 기판 이송 로봇 |
US20240071802A1 (en) * | 2022-08-26 | 2024-02-29 | Applied Materials, Inc. | Operations of robot apparatuses within rectangular mainframes |
CN116021551B (zh) * | 2023-03-31 | 2023-06-02 | 成都思越智能装备股份有限公司 | 一种连杆式机械臂 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004288720A (ja) | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置及び基板処理装置 |
JP2005019960A (ja) | 2003-06-02 | 2005-01-20 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板搬送方法 |
JP2005229087A (ja) | 2003-07-16 | 2005-08-25 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置と駆動機構 |
Family Cites Families (100)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1309082A (en) | 1969-06-24 | 1973-03-07 | Plessey Co Ltd | Control of fluidic devices |
US4365527A (en) | 1981-04-03 | 1982-12-28 | Gardner Bender, Inc. | Automatic wire connector attaching apparatus |
US4597708A (en) | 1984-06-04 | 1986-07-01 | Tencor Instruments | Wafer handling apparatus |
JPS63236342A (ja) * | 1987-03-25 | 1988-10-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ウエハ搬送装置 |
US4823629A (en) | 1987-08-27 | 1989-04-25 | Ha Jin S | Automatic transmission system |
JPH01133951A (ja) | 1987-11-20 | 1989-05-26 | Olympus Optical Co Ltd | 光学素子の成形方法 |
JPH0825151B2 (ja) * | 1988-09-16 | 1996-03-13 | 東京応化工業株式会社 | ハンドリングユニット |
JP2808826B2 (ja) | 1990-05-25 | 1998-10-08 | 松下電器産業株式会社 | 基板の移し換え装置 |
US5209765A (en) | 1991-05-08 | 1993-05-11 | Atlantic Richfield Company | Centrifugal separator systems for multi-phase fluids |
JPH05109866A (ja) * | 1991-10-16 | 1993-04-30 | Nec Corp | ウエハ移載ロボツト |
DE9207087U1 (de) | 1992-05-26 | 1992-11-26 | Kuechler, Jürgen, Dr., 3556 Weimar | Rotationskolbenmaschine |
DE69415517T3 (de) | 1993-04-16 | 2005-03-17 | Brooks Automation, Inc., Lowell | Handhabungseinrichtung mit gelenkarm |
JP3369255B2 (ja) * | 1993-05-28 | 2003-01-20 | 株式会社日立国際電気 | 半導体製造方法及び半導体製造装置 |
KR0129582B1 (ko) | 1994-06-23 | 1998-04-06 | 김주용 | 다중 기판 전달 장치 |
JPH0870033A (ja) * | 1994-08-26 | 1996-03-12 | Kokusai Electric Co Ltd | 半導体製造装置のウェーハ移載機 |
JPH08330377A (ja) * | 1995-05-29 | 1996-12-13 | Hitachi Ltd | 基板搬送装置及び半導体製造方法 |
US6360144B1 (en) | 1995-07-10 | 2002-03-19 | Newport Corporation | Self-teaching robot arm position method |
US5765444A (en) * | 1995-07-10 | 1998-06-16 | Kensington Laboratories, Inc. | Dual end effector, multiple link robot arm system with corner reacharound and extended reach capabilities |
US20040005211A1 (en) * | 1996-02-28 | 2004-01-08 | Lowrance Robert B. | Multiple independent robot assembly and apparatus and control system for processing and transferring semiconductor wafers |
US6364599B1 (en) | 1996-03-22 | 2002-04-02 | Komatsu Ltd. | Robot for handling |
JPH10329069A (ja) | 1997-03-31 | 1998-12-15 | Daihen Corp | 搬送システムの制御方法 |
JPH1116981A (ja) | 1997-06-20 | 1999-01-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP3806812B2 (ja) * | 1997-07-16 | 2006-08-09 | 株式会社ダイヘン | 2アーム方式の搬送用ロボット装置 |
EP1049640A4 (en) * | 1997-11-28 | 2008-03-12 | Mattson Tech Inc | SYSTEMS AND METHODS FOR HANDLING WORKPIECES FOR VACUUM PROCESSING AT HIGH FLOW RATE AND LOW CONTAMINATION |
US6547510B1 (en) * | 1998-05-04 | 2003-04-15 | Brooks Automation Inc. | Substrate transport apparatus with coaxial drive shafts and dual independent scara arms |
US6450755B1 (en) * | 1998-07-10 | 2002-09-17 | Equipe Technologies | Dual arm substrate handling robot with a batch loader |
JP2000072248A (ja) * | 1998-08-27 | 2000-03-07 | Rorze Corp | 基板搬送装置 |
US20010033788A1 (en) * | 1998-09-03 | 2001-10-25 | Pietrantonio Antonio F. | Dual multitran robot arm |
JP2000174091A (ja) | 1998-12-01 | 2000-06-23 | Fujitsu Ltd | 搬送装置及び製造装置 |
US6256555B1 (en) | 1998-12-02 | 2001-07-03 | Newport Corporation | Robot arm with specimen edge gripping end effector |
US6485250B2 (en) * | 1998-12-30 | 2002-11-26 | Brooks Automation Inc. | Substrate transport apparatus with multiple arms on a common axis of rotation |
US6486444B1 (en) * | 1999-06-03 | 2002-11-26 | Applied Materials, Inc. | Load-lock with external staging area |
JP2002158272A (ja) | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Tatsumo Kk | ダブルアーム基板搬送装置 |
JP4682378B2 (ja) | 2000-12-05 | 2011-05-11 | 川崎重工業株式会社 | ダブルアームおよびそれを備えたロボット |
US20020098072A1 (en) | 2001-01-19 | 2002-07-25 | Applied Materials, Inc. | Dual bladed robot apparatus and associated method |
JP4628602B2 (ja) | 2001-04-05 | 2011-02-09 | ナブテスコ株式会社 | ロボットアーム |
US20030014155A1 (en) | 2001-07-12 | 2003-01-16 | Applied Material, Inc. | High temperature substrate transfer robot |
US6663333B2 (en) | 2001-07-13 | 2003-12-16 | Axcelis Technologies, Inc. | Wafer transport apparatus |
US7891935B2 (en) * | 2002-05-09 | 2011-02-22 | Brooks Automation, Inc. | Dual arm robot |
US7578649B2 (en) | 2002-05-29 | 2009-08-25 | Brooks Automation, Inc. | Dual arm substrate transport apparatus |
TW200403797A (en) * | 2002-07-22 | 2004-03-01 | Applied Materials Inc | High temperature substrate transfer robot |
US6935486B2 (en) | 2002-08-28 | 2005-08-30 | Production Automation, Inc. | Bushing system for live roller conveyor |
JP2004288719A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置及び基板処理装置 |
JP4294984B2 (ja) | 2003-03-19 | 2009-07-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置及び基板処理装置 |
AU2003296827A1 (en) | 2002-12-13 | 2004-07-09 | Recif | Device for gripping a semiconductor plate through a transfer opening, using the closure of the opening |
US7245989B2 (en) * | 2002-12-20 | 2007-07-17 | Brooks Automation, Inc. | Three-degree-of-freedom parallel robot arm |
KR100582697B1 (ko) * | 2003-07-16 | 2006-05-23 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 피처리 기판의 반송 장치 및 회전 위치를 검출하는 기능을갖는 구동 기구 |
JP4493955B2 (ja) * | 2003-09-01 | 2010-06-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び搬送ケース |
US20070269297A1 (en) * | 2003-11-10 | 2007-11-22 | Meulen Peter V D | Semiconductor wafer handling and transport |
US7458763B2 (en) | 2003-11-10 | 2008-12-02 | Blueshift Technologies, Inc. | Mid-entry load lock for semiconductor handling system |
JP4262064B2 (ja) | 2003-11-28 | 2009-05-13 | 株式会社ダイヘン | 搬送ロボット |
KR100527669B1 (ko) * | 2003-12-19 | 2005-11-25 | 삼성전자주식회사 | 로봇 암 장치 |
JP2005189259A (ja) | 2003-12-24 | 2005-07-14 | Konica Minolta Business Technologies Inc | 静電荷像現像用トナー |
US8376685B2 (en) | 2004-06-09 | 2013-02-19 | Brooks Automation, Inc. | Dual scara arm |
JP4732716B2 (ja) | 2004-06-29 | 2011-07-27 | 株式会社アルバック | 搬送装置及びその制御方法並びに真空処理装置 |
CN1981371B (zh) | 2004-07-09 | 2010-05-05 | 日商乐华股份有限公司 | 驱动源及移动式搬运机器人 |
US8668422B2 (en) * | 2004-08-17 | 2014-03-11 | Mattson Technology, Inc. | Low cost high throughput processing platform |
JP4719010B2 (ja) * | 2005-01-21 | 2011-07-06 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
WO2006088757A1 (en) | 2005-02-12 | 2006-08-24 | Applied Materials, Inc. | Multi-axis vacuum motor assembly |
JP4732805B2 (ja) | 2005-06-03 | 2011-07-27 | 株式会社エヌ・ティ・ティ・ドコモ | サービス利用方法及び端末 |
US7904182B2 (en) * | 2005-06-08 | 2011-03-08 | Brooks Automation, Inc. | Scalable motion control system |
JP2007005582A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Asm Japan Kk | 基板搬送装置及びそれを搭載した半導体基板製造装置 |
US7925378B2 (en) * | 2005-07-11 | 2011-04-12 | Brooks Automation, Inc. | Process apparatus with on-the-fly workpiece centering |
US8573919B2 (en) * | 2005-07-11 | 2013-11-05 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus |
JP4534886B2 (ja) * | 2005-07-15 | 2010-09-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理システム |
JP4648161B2 (ja) | 2005-11-14 | 2011-03-09 | 平田機工株式会社 | ダブルアーム列式基板搬送用ロボット |
US7927062B2 (en) | 2005-11-21 | 2011-04-19 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for transferring substrates during electronic device manufacturing |
US8741096B2 (en) * | 2006-06-29 | 2014-06-03 | Wonik Ips Co., Ltd. | Apparatus for semiconductor processing |
CN101535010B (zh) | 2006-08-11 | 2013-02-27 | 应用材料公司 | 用于机械手肘关节组件的方法和装置 |
US9117859B2 (en) * | 2006-08-31 | 2015-08-25 | Brooks Automation, Inc. | Compact processing apparatus |
JP4851895B2 (ja) | 2006-09-13 | 2012-01-11 | 新日鉄エンジニアリング株式会社 | シュレッダーダストの溶融処理方法 |
JP4744427B2 (ja) * | 2006-12-27 | 2011-08-10 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
JP4712731B2 (ja) * | 2007-01-25 | 2011-06-29 | 株式会社アルバック | 搬送ロボット、真空装置 |
US8950998B2 (en) | 2007-02-27 | 2015-02-10 | Brooks Automation, Inc. | Batch substrate handling |
US7946800B2 (en) | 2007-04-06 | 2011-05-24 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus with multiple independently movable articulated arms |
JP4970128B2 (ja) * | 2007-04-27 | 2012-07-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット及び集合処理装置 |
US9437469B2 (en) * | 2007-04-27 | 2016-09-06 | Brooks Automation, Inc. | Inertial wafer centering end effector and transport apparatus |
KR102216638B1 (ko) * | 2007-05-08 | 2021-02-17 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 기계적 스위치 메카니즘을 이용한 복수의 가동 암들을 갖는 기판 이송 장치 |
US8267636B2 (en) | 2007-05-08 | 2012-09-18 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus |
CN103862463B (zh) | 2007-05-31 | 2017-08-15 | 应用材料公司 | 延伸双scara机械手连接装置的伸出距离的方法及设备 |
US8275681B2 (en) | 2007-06-12 | 2012-09-25 | Media Forum, Inc. | Desktop extension for readily-sharable and accessible media playlist and media |
US8283813B2 (en) * | 2007-06-27 | 2012-10-09 | Brooks Automation, Inc. | Robot drive with magnetic spindle bearings |
KR20090001050A (ko) * | 2007-06-29 | 2009-01-08 | 삼성전자주식회사 | 기판 반송 로봇 |
JP5102564B2 (ja) * | 2007-08-31 | 2012-12-19 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
US20110188974A1 (en) * | 2008-07-15 | 2011-08-04 | Ulvac Technologies, Inc. | Work-piece transfer systems and methods |
JP5109866B2 (ja) | 2008-08-13 | 2012-12-26 | カシオ計算機株式会社 | 撮像装置、撮像方法及びプログラム |
JP5059729B2 (ja) * | 2008-09-30 | 2012-10-31 | 株式会社日立ハイテクコントロールシステムズ | ウェーハ搬送ロボット及びウェーハ搬送装置 |
KR20100058984A (ko) * | 2008-11-25 | 2010-06-04 | 세메스 주식회사 | 웨이퍼 이송로봇 |
KR101778519B1 (ko) | 2009-01-11 | 2017-09-15 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 전자 디바이스 제조시에 기판을 이송하기 위한 로봇 시스템, 장치 및 방법 |
US8264187B2 (en) | 2009-01-11 | 2012-09-11 | Applied Materials, Inc. | Systems, apparatus and methods for making an electrical connection |
JP2010207938A (ja) * | 2009-03-09 | 2010-09-24 | Yaskawa Electric Corp | 多段モータを駆動源とする基板搬送ロボット |
US8677854B2 (en) * | 2009-04-15 | 2014-03-25 | ABB Researched Ltd. | Apparatus for a robot arm |
JP5424987B2 (ja) | 2009-06-12 | 2014-02-26 | 三菱樹脂株式会社 | 積層ポリエステルフィルム |
JP5480562B2 (ja) * | 2009-08-26 | 2014-04-23 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
JP5304601B2 (ja) | 2009-11-10 | 2013-10-02 | 株式会社安川電機 | アーム機構およびそれを備えた真空ロボット |
US8408082B2 (en) | 2009-11-18 | 2013-04-02 | General Electric Company | Apparatus to measure fluids in a conduit |
JP2011119556A (ja) | 2009-12-07 | 2011-06-16 | Yaskawa Electric Corp | 水平多関節ロボットおよびそれを備えた搬送装置 |
JP2011199121A (ja) | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Ulvac Japan Ltd | 搬送装置 |
JP2012028659A (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 真空処理装置 |
JP6059156B2 (ja) * | 2011-03-11 | 2017-01-11 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板処理ツール |
-
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004288720A (ja) | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置及び基板処理装置 |
JP2005019960A (ja) | 2003-06-02 | 2005-01-20 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板搬送方法 |
JP2005229087A (ja) | 2003-07-16 | 2005-08-25 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置と駆動機構 |
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