JP4493955B2 - 基板処理装置及び搬送ケース - Google Patents
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Description
前記複数の処理室は、前記搬送ケースの移動経路の両側に整列した状態で配置され、前記搬送ケースは、二列に整列して配置された前記処理室の基板搬入・搬出口に対応して二つの基板搬入・搬出口を有することを特徴とする基板処理装置が提供される。
20a 搬送口
22 搬送室
23 側壁
24 搬送ケース
24a 搬送口
26 ロードロック室
28 移載ロボット
30 リニアガイド
32 リードスクリュー
34 フレーム
36,38
40 接続プレート
42 ベローズ
44 Oリング
46 エアシリンダ
48 リニアガイド
50 真空排気口
52 パージ口
54 真空センサ
60 電動モータ
60b,62a,62b,64a,66a 歯付きプーリ
62 共通アーム
60a 回転軸
64 第1のアーム
66 第2のアーム
68 ピック
70,72,74 タイミングベルト
80 処理装置
90 カセット載置台
Claims (13)
- 内部に収容した基板に対して処理を施すための複数の処理室と、
外部雰囲気から隔離された状態で基板を収容し、収容した基板を該処理室まで搬送する搬送ケースと、
該搬送ケースを移動経路に沿って移動させる移動機構と
を有する基板処理装置であって、
前記複数の処理室は、前記搬送ケースの移動経路の両側に整列した状態で配置され、
前記搬送ケースは、二列に整列して配置された前記処理室の基板搬入・搬出口に対応して二つの基板搬入・搬出口を有し、
前記搬送ケースに搬送される基板の雰囲気を予め減圧環境に維持するための、前記搬送ケースと別個のロードロック室が、前記移動経路に沿った位置に配置され、
前記搬送ケースは、内部を減圧環境に維持しながら前記ロードロック室と前記処理室との間で基板を搬送するように構成されたことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1記載の基板処理装置であって、
前記搬送ケースは、第1及び第2のアームを有する基板移載機構を有し、該第1のアームが片側の列の処理室に対する基板の搬入・搬出を行い、該第2のアームが反対側の列の処理室に対する基板の搬入・搬出を行なうことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2記載の基板処理装置であって、
前記基板移載機構は、単一の電動モータと、該電動モータの動力を前記第1及び第2のアームに伝達する動力伝達機構とを含み、
前記第1及び第2のアームは、該単一の電動モータの駆動力により互いに対向する方向に対称的に移動するよう構成されたことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1記載の基板処理装置であって、
前記搬送ケースは、前記処理室へ基板を搬入出する位置において、真空排気機構に接続可能に構成されたことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1記載の基板処理装置であって、
前記搬送ケース及び前記移動機構は、内部を減圧環境に維持するように気密に構成された搬送室内に配置されていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1記載の基板処理装置であって、
前記搬送ケース及び前記移動機構は、内部に不活性ガスが充填された搬送室内に配置されていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1記載の基板処理装置であって、
前記搬送ケース及び前記移動機構は、内部が大気圧に維持されているかあるいは内部に不活性ガスが充填された搬送室内に配置され、
前記搬送ケースの基板搬入・搬出口が前記処理室の基板搬入・搬出口に接続された状態で、前記搬送ケースの基板搬入・搬出口と前記処理室の基板搬入・搬出口との間に形成される空間を真空引きするために、前記搬送ケースの基板搬入・搬出口に真空排気口が設けられたことを特徴とする基板処理装置。 - 搬送室の長手方向両側に整列して配置された複数の処理室に対して基板を搬送する搬送ケースであって、
外部雰囲気から隔離され、減圧環境に維持された状態で基板を収容し、二列に整列して配置された前記処理室の基板搬入・搬出口に対応して二つの基板搬入・搬出口を有し、
前記搬送ケースの二つの基板搬入・搬出口は、二列に整列した処理室の両側の二つの処理室の基板搬入・搬出口に対して同時に接続され、該両側の二つの処理室に対して同時に基板を搬入・搬出するための基板移載機構が設けられたことを特徴とする搬送ケース。 - 請求項8記載の搬送ケースであって、
第1及び第2のアームを有する基板移載機構を有し、該第1のアームが片側の列の処理室に対する基板の搬入・搬出を行い、該第2のアームが反対側の列の処理室に対する基板の搬入・搬出を行なうことを特徴とする搬送ケース。 - 請求項9記載の搬送ケースであって、
前記基板移載機構は、単一の電動モータと、該電動モータの動力を前記第1及び第2のアームに伝達する動力伝達機構とを含み、
前記第1及び第2のアームは、該単一の電動モータの駆動力により互いに対向する方向に対称的に移動するよう構成されたことを特徴とする搬送ケース。 - 請求項1記載の基板処理装置であって、
前記搬送ケースは、基板処理時には減圧環境に維持されることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1記載の基板処理装置であって、
前記ロードロック室が、1つの搬送ケースに対し2つ以上設けられていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1記載の基板処理装置であって、
大気圧環境下にて、前記ロードロック室へ基板を搬入出する移載ロボットを備えたことを特徴とする基板処理装置。
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