JP3806812B2 - 2アーム方式の搬送用ロボット装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置や液晶基板製造装置等に用いられて、特には、真空雰囲気下で被加工物を処理室間に搬送するための2アーム方式の搬送用ロボット装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に半導体製造装置や液晶基板製造装置等においては、被加工物、例えばウエハを載置するためのハンド部材をアームにより水平方向に直線的に移動させると共に、ハンド部材を先端に取付けたアームを水平方向に旋回させる搬送用ロボット装置が用いられ、この搬送用ロボット装置の旋回軸を中心とした放射状の複数箇所に各種の製造工程にたずさわる処理室が配置されて、搬送用ロボット装置により、適宜の処理室間に被加工物が搬入・搬出されている。
【0003】
ところで、搬送処理の能率化を図るため、夫々のアームの先端にハンド部材を取付けた、いわゆる2アーム方式の搬送用ロボットが使用されている。
【0004】
従来、2アーム方式の搬送用ロボット装置としては、例えば、図14乃至図17に示される装置が提言されている。
すなわち、図14乃至図17において、80は固定の枠体、81は、固定の枠体80に対して適宜の駆動機により軸芯O1のまわりに旋回される水平旋回台、82は水平旋回台81の軸芯O1と平行な第1支点P1のまわりで回転自在に支持された第1のアームで、この第1のアーム82は旋回台81に取付けられた適宜の駆動機により適宜に回転駆動される。
83は第1のアーム82に対して第1支点P1に平行な第2支点Q1のまわりで回転自在に支持された第2のアーム、84は第2のアーム83に対して第2支点Q1に平行な第3支点R1のまわりで回転自在に支持されたハンド部材、85は、第1支点P1を軸芯として旋回台81に固定された第1の回転伝達部材、
86は、第2支点Q1を軸芯として第2のアーム83に固定された第2の回転伝達部材、87は、第2支点Q1を軸芯として第1のアーム82に固定された第3の回転伝達部材、88は、第3支点R1を軸芯としてハンド部材84に固定された第4の回転伝達部材、
89および90は、第1の回転伝達部材85と第2の回転伝達部材86および第3の回転伝達部材87と第4の回転伝達部材88との間に夫々配設された第1および第2の回転連結具である。なお、第1および第2の支点の間隔Sと、第2および第3の支点の間隔Sとが同一で、かつ第1の回転伝達部材85と第2の回転伝達部材86および第4の回転伝達部材88と第3の回転伝達部材87との半径比が夫々2:1に形成されている。
勿論、第1乃至第4の回転伝達部材85乃至88は、チェーンスプロケットあるいはプーリーが適宜に用いられ、これらに応じて第1および第2の回転連結具89,90はチェーンあるいは歯付ベルト等が適宜に用いられる。
【0005】
上記82乃至90により第1のアーム機構91が構成され、この第1のアーム機構とX−X線に対して線対称に構成された第2のアーム機構92が、軸芯O1 と平行な第2支点P2 のまわりで回転自在に支持されている。
すなわち、軸芯O1 と第1及び第2の支点P1 、P2 との間隔は同一である。上記80乃至92により2アーム方式の搬送用ロボット装置が構成されている。
この搬送用ロボット装置において、第1及び第2のアーム機構91、92の動作は線対称であるが、実質的に同一であるため、第1のアーム機構91の動作について説明する。
今、仮に旋回台81が固定の枠体80に対して固定の状態に維持されているものとする。
図16において、第1,第2および第3支点P1 ,Q1 ,R1 が一直線上に位置する状態で駆動機により第1のアーム82が第1支点P1 を中心として反時計方向に角度θだけ回動されたものとする。
【0006】
今、第1の回転伝達部材85は固定状態にあり、このときに第2支点Q1がQ11の位置まで角度θだけ反時計方向に移動すれば、第1および第2の回転伝達部材85,86間に配設された第1の回転連結具89のうち、Y1方向のものは第1の回転伝達部材85に巻きつき、Y2方向のものは第1の回転伝達部材85から巻戻された状態となる。
すなわち、図16において第1の回転連結具89はa1およびa 2 の方向に移動する。これにより第2の回転伝達部材86は第2支点Q1を中心として時計方向に回動される。
ところで第1の回転伝達部材85と第2の回転伝達部材86とは半径比が2:1であるため、上記のごとく、第1のアーム82が第1支点P1を中心として角度θだけ反時計方向に回動すれば、第2の回転伝達部材86は第2支点Q11を中心として角度2θだけ時計方向に回動される。
この場合、第2の回転伝達部材86は第2のアーム83に固定されているため、第2の回転伝達部材86と第2のアーム83とは第2支点Q1を中心として角度2θだけ時計方向に回動される。
すなわち、第1,第2および第3支点P1,Q1,R1が一直線上に位置する状態で第1のアーム82が第1支点P1を中心として反時計方向に角度θだけ回動されると、仮想的に第3支点はR11の位置に回動されるが、この場合、上記のごとく、第2の回転伝達部材86は第2支点Q11を中心として角度2θだけ時計方向に回動される。
このため、第3支点R11は第2支点Q11を中心として角度2θだけ時計方向に回動されて、R12の位置に回動される。
従って、上記のごとく第1のアーム82が上記のごとく第1支点P1を中心として反時計方向に角度θだけ回動されたときの第3支点R12の位置は、第1および第2のアーム82,83の回動前の第1および第3支点P1,R1を結ぶ直線状に位置している。
【0007】
さらに、上記のごとく、第2のアーム83により仮想的にR11に位置する第3支点が第2支点Q11を中心として角度2θだけ、すなわちR12の位置まで時計方向に回動された場合、第1のアーム82に固定された第3の回転伝達部材87と第4の回転伝達部材88との間に配設された第2の回転連結具90のうち、Y2 方向のものは第3の回転伝達部材87に巻きつき、Y1 方向のものは第3の回転伝達部材87から巻戻された状態となる。
すなわち、図16において第2の回転連結具90は、b1 およびb2 の方向に移動する。これにより第4の回転伝達部材88は第3支点R12を中心として反時計方向に回動される。
ところで、上記のごとく、第2のアーム83が第2支点Q11を中心として角度2θだけ時計方向に回動すれば、第4の回転伝達部材88と第3の回転伝達部材87とは半径比が2:1であるため、第4の回転伝達部材88は第3支点R12を中心として角度θだけ反時計方向に回動され、結果として、第4の回転伝達部材88の特定点C0 は第1および第3支点P1 ,R12を結ぶ直線上の点C1 に位置されることとなる。
【0008】
上記のごとく、第1のアーム82が第1支点P1 を中心として反時計方向に回動され、この場合、第4の回転伝達部材88に固定されたハンド部材84は、第1のアーム82の回動前の第1および第3支点P1 ,R1 を結ぶ直線上で、初期姿勢を維持しつつ第1のアーム機構91がX方向に駆動される。
【0009】
同様に、第2のアーム機構92が第1および第3支点P2 ,R2 を結ぶ直線上で、初期姿勢を維持しつつX方向に駆動される。
この第1および第2のアーム機構91、92の夫々のハンド部材84A、84Bは、支点P1 、P2 間の位置となるように取付けられると共に、ハンド部材84A、84Bの先端部は上下方向に間隔を設けて取付けられているため、第1および第2のアーム機構91、92の直線移動時に、夫々のハンド部材84、84は相互に干渉することなく軸芯O1 を通るX−X線に沿って移動する。
さらに、水平旋回台81が軸芯O1 のまわりに旋回されることにより、第1および第2のアーム機構91、92が同時に軸芯O1 のまわりに旋回される。
【0010】
このように、2アーム式の搬送用ロボット装置の旋回軸芯O1 を中心とした円周方向の放射状の複数箇所に、例えば6箇所に適宜の処理室71〜76を配置して、被加工物の搬送処理が適宜に行なわれている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の搬送用ロボット装置においては、図15および図16に示されるごとく、ハンド部材84が初期姿勢を維持しつつ第1および第3支点P1 ,R1 を結ぶ直線上で移動されるために、第2のアーム83の先端部には、第4の回転伝達部材88および第2の回転連結具90が配置されている。
このため、第3支点R1 近傍の装置としての高さH1 が嵩高くなり、第2のアーム83の先端部、換言すればハンド部材84の基部側を真空処理室内に出入りさせる際には、真空処理室に設けられる窓を大きくしなければならない。
【0012】
さらに、上記従来の2アーム方式の搬送用ロボット装置においては、図14乃至図16に示されるごとく、第1および第2のアーム機構91,92の回転駆動軸の軸芯P1,P2は水平旋回台81の旋回軸の軸芯O1を跨いで配置されているため、水平旋回台81の回転半径が大きくなる。
このため、水平旋回台81を固定の枠体80に回転自在に取付けるための回転用軸受93,93や、この回転部分を上下方向に対して気密に維持するための磁性流体シール94が大径となり、装置が大径化すると共に大径の回転用軸受93,93および大径の磁性流体シール94の使用により装置が高価となっていた。
【0013】
さらに、第1および第2のアーム機構91,92のハンド部材84A,84Bを夫々直線移動させるための回転駆動機は、水平旋回台81に搭載されて、水平旋回台81と共に旋回されるが、この回転用駆動機には固定の枠体80側から給電用のケーブルが配線されるため、このケーブルの断線防止として旋回角度、すなわち旋回回数が制限されていた。
このため、初期設置状態に対して、水平旋回台81の旋回中心O1 に対する時計廻りおよび反時計廻りの旋回角度が許容値、例えば夫々540度以内となるように制限するための電気的監視装置が必要であり、装置が高価となる割りには、装置としての使い勝手が悪かった。
【0014】
本発明は上述の問題に鑑みてなされたもので、その目的は、ハンド部材の基部側の高さを可及的に小さくすると共に、コンパクトで生産性の良好な2アーム方式の搬送用ロボット装置を提供することである。
【0015】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本第1の発明は、内側の第1リンクと外側の第2リンクとを一対の第1の中間リンクで連結した第1の平行四節リンクと、前記第2リンクとハンド用リンクとを一対の第2の中間リンクで連結した第2の平行四節リンクとよりなる第1の平行クランク機構及び該第1の平行クランク機構と同一構造である第2の平行クランク機構が、垂直線を境に左右に配置されてなる2アーム方式の搬送用ロボット装置に適用される。
その特徴とするところは、前記第1及び第2の平行クランク機構は、旋回台を共通の第1リンクとして夫々の対をなす第1の中間リンクの基端部が旋回台に夫々同軸に配置され、該第1の中間リンクの基端部の一方側及び旋回台が、水平旋回軸の軸芯である第1支点のまわりで同軸に配置された第1乃至第3の回転軸に取付けられて、該第1乃至第3の回転軸が、固定の枠体に支持された第1乃至第3の回転駆動機に連結され、第1及び第2の中間リンクが同一のリンク長さに形成され、夫々の第2の平行四節リンクにおける夫々の第2の中間リンクが同一平面内に配置されて第1支点を境に外側にオフセットして第2リンクに配置され、かつ第1及び第2の中間リンク間に回転伝達機構が配置され、夫々のハンド用リンクに上下方向に離間する第1および第2のハンド部材を取付け、該第1および第2のハンド部材が第1支点を通る水平方向に直線移動されると共に、該第1および第2のハンド部材が第1支点を中心として同時に旋回されることである。
【0016】
さらに、本第1の発明において、前記第1支点を境に左右に配置される第1および第2の平行クランク機構における前記夫々の第2の平行四節リンクは、夫々の第2の中間リンクが同一平面内に配置されてなることを特徴としている。
【0017】
さらに、本第2の発明は、本第1の発明において、前記第1支点を境に左右に配置される第1および第2の平行クランク機構における前記夫々の第2の平行四節リンクは、一方のハンド用リンクが第2の中間リンクの上部に配置され、他方のハンド用リンクが第2の中間リンクの下部に配置されてなることを特徴としている。
【0018】
さらに、本第3の発明は、本第1ないし第2のいずれかの発明において、前記ハンド部材は、前記ハンド用リンクから相反して突出する2個のハンド部材が取付けられてなることを特徴としている。
【0019】
さらに、本第4の発明は、本第1ないし第3のいずれかの発明において、前記同軸に支持された第1乃至第3の回転軸は、気密用の磁性流体シールを介して回転自在に支持されてなることを特徴としている。
【0020】
<作用>
垂直線を境に左右に配置される第1及び第2の平行クランク機構は、旋回台を共通の第1リンクとして夫々の対をなす第1の中間リンクの基端部が旋回台に夫々同軸に配置され、該第1の中間リンクの基端部の一方側及び旋回台が、水平旋回軸の軸芯である第1支点のまわりで同軸に配置された第1乃至第3の回転軸に取付けられて、該第1乃至第3の回転軸が、固定の枠体に支持された第1乃至第3の回転駆動機に連結され、第1及び第2の中間リンクが同一のリンク長さに形成され、夫々の第2の平行四節リンクが第1支点を境に外側にオフセットして第2リンクに配置され、かつ第1及び第2の中間リンク間に回転伝達機構が配置され、夫々のハンド用リンクに上下方向に離間する第1および第2のハンド部材を取付け、該第1および第2のハンド部材が適宜に第1支点を通る水平方向に直線移動されると共に、該第1および第2のハンド部材が第1支点を中心として同時に旋回されて、特に、第1乃至第3の回転軸は、垂直線を軸芯として同軸に回転支持されているため、第1乃至第3の回転軸を回転自在に支持する回転軸受を可及的に小径とすることができるため、結果として装置がコンパクトとなり、しかも小径の回転軸受を使用するため装置が安価となる。
さらに、対をなす第1及び第2の中間リンクが同一のリンク長さに形成され、かつ夫々の第2の平行四節リンクが第1支点を境に外側にオフセットして第2リンクに配置されているため、第1支点を同軸の駆動軸として、第1支点及び第2支点を通る直線を境に左右に配置された第1および第2の平行クランク機構が作動されると、夫々の第2の平行四節リンクのハンド用リンクは、相対向するハンド用リンクの水平方向の間隙を一定に維持しつつ、第1支点及び第2支点を通る水平方向に直線移動することができる。
しかも、第1および第2のハンド部材が取付けられるハンド用リンクは、従前のような回転伝達部材や回転連結具を用いることなく、可及的に薄くできるリンク結合により支持されて、結果として2個のハンド部材の基部側の高さH2を可及的に小さくすることができるため、ハンド部材出入り用の真空処理室の窓を可及的に小さくすることができる。
このため、真空雰囲下で処理が行われる半導体製造装置等の搬送用ロボット装置として、特に好適である。
勿論、2アーム方式の搬送用ロボット装置の旋回軸芯を中心とした円周方向の放射状の複数箇所に適宜の処理室が配置されるが、第1および第2のアーム機構の駆動軸は水平旋回軸の軸芯である第1支点の回りに同軸に支持されているため、第1および第2のアーム機構を旋回させる旋回台の旋回状況の如何に拘らず、搬送用ロボット装置と円周方向の複数の処理室との関係は常に一定の位置関係に維持される。
さらに、第1乃至第3の回転駆動機は固定の枠体に取付けられているため、第1および第2のハンド部材を水平方向に旋回させるときには、旋回方向の回動角度に制限があった従来の装置に比較して、旋回角度に関係なく自在位置に旋回させて被加工物の搬送を行なうことができるため、従来に比べて装置の使い勝手、すなわち生産性が良好である。
要するに、本第1の発明によればハンド部材の基部側の高さを可及的に小さくすると共に、コンパクトで生産性の良好な2アーム方式の搬送用ロボット装置を実現することができる。
【0021】
本第2の発明によれば、夫々の第2の平行四節リンクのうち、夫々の第2の中間リンクが同一平面内に配置されてなるため、2個のハンド部材の基部側の高さH2 を小さくすることができる。
【0022】
本第3の発明によれば、第1支点及び第2支点を通る直線を境に左右に配置される第1および第2の平行クランク機構における夫々の第2の平行四節リンクは、一方のハンド用リンクが第2の中間リンクの上部に配置され、他方のハンド用リンクが第2の中間リンクの下部に配置されてなるため、2個のハンド部材の基部側の高さH2 を可及的に小さくすることができる。
【0023】
本第4の発明によれば、ハンド部材は、前記ハンド用リンクから相反して突出する2個のハンド部材が取付けられてなるため、単一の旋回位置で4個の被加工物の搬入・搬出が行われて、被加工物の搬入・搬出におけるタクトタイムを少なくすることができる。
【0024】
本第5の発明によれば、第1支点のまわりで固定の枠体に回転自在に同軸に支持された第1乃至第3の回転軸が気密用の磁性流体シールを介して回転自在に支持されてなるため、気密用の磁性流体シールを夫々可及的に小径とすることができ、装置が安価となる。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図示の実施例により詳細に説明する。
図1乃至図9において、1は固定の枠体、2乃至4は、水平旋回軸の軸芯である第1支点O1 のまわりで固定の枠体1に回転自在に同軸に支持された第1乃至第3の回転軸で、適宜に回転軸受を介して支持されている。
例えば、固定の枠体1は真空室V.Cに取付けられるが、真空状態を維持するために、夫々の回転軸部には気密用の磁性流体シール5乃至7が配設されている。
【0026】
8乃至10は第1乃至第3の回転駆動機で、この第1乃至第3の回転駆動機8乃至10は、適宜に連結された減速機、スプロケットあるいはプーリー等の回転伝達部材およびチェーンあるいは歯付ベルト等の回転連結具を介して、第1乃至第3の回転軸2乃至4に連結されている。
【0027】
11は第1リンクとなる旋回台で、この旋回台11と外側の第2リンク14とが一対の第1の中間リンク12,13で連結されて第1の平行四節リンク15が形成されている。
第2リンク14とハンド用リンク18とが一対の第2の中間リンク16,17で連結されて第2の平行四節リンク19が形成されるが、第1の中間リンク12,13と第2リンク14との夫々の枢支点である第3支点O3 ,O3 を結ぶ直線に対して、第2の中間リンク16,17と第2リンク14との夫々の枢支点である第4支点O4 ,O4 を結ぶ直線がX2 方向に位置するように、第2の平行四節リンク19がX2 方向にオフセットして配置されている。
【0028】
20は第1及び第2の中間リンク間に配設された回転伝達機構で、例えば、この回転伝達機構20は第2の中間リンク16に固定された第1の歯車20Aと、この第1の歯車20Aに噛合うように第1の中間リンク13に固定された第2の歯車20Bとにより形成されている。
なお、第1の中間リンク12,13と第2の中間リンク16,17とは同一のリンク長さに形成され、かつ旋回台11と第1の中間リンク12,13とは、例えば、Y方向に離間する第1支点O1 及び第2支点O2 廻りに枢支されている。この場合、例えば、旋回台11の水平旋回軸の軸芯と第1支点O1 とが一致され、かつ第1の中間リンク13が第1の回転軸2に固定されて、第1の回転駆動機8により回転される。
上記第1の回転軸2,第1の回転駆動機8,旋回台11並びに12ないし20により第1の平行クランク機構21が構成されている。
【0029】
上記第1の平行クランク機構21と実質的に同一構造の第2の平行クランク機構41が、第1支点O1を境にX1方向に配置されている。
即ち、旋回台11と外側の第2リンク34とが一対の第1の中間リンク32,33で連結されて第1の平行四節リンク35が形成され、第2リンク34とハンド用リンク38とが一対の第2の中間リンク36,37で連結されて形成された第2の平行四節リンク39が、第1支点O1のX1方向にオフセットして配置される。
勿論、例えば、第1及び第2の中間リンク33,36間には回転伝達機構40が配設されている。
なお、第1の中間リンク13と33及び12と32の基端部は、旋回台11に夫々同軸となるように、例えば、第1支点O1および第2支点O2廻りに夫々枢支されている。
すなわち、第1の平行四節リンク15,35は夫々旋回台11を共通の第1リンクとして配設されている。
この第1支点O1と同軸に枢支された第1の中間リンク33が第2の回転軸3に固定されて、第2の回転駆動機9により回転される。
上記第2の回転軸3,第2の回転駆動機9,旋回台11並びに32ないし40により第2の平行クランク機構41が構成されている。
なお、第1支点O1と同軸に枢支された第1の中間リンク13と33及び旋回台11の内、旋回台11は第3の回転軸4に固定されて、第3の回転駆動機10により回転される。
【0030】
図2に示されるごとく、上記第1及び第2の平行クランク機構21,41が第1支点O1 及び第2支点O2 を通る直線を境に左右方向、すなわちX方向に配置されている。
この第1及び第2の平行クランク機構21,41の第2の平行四節リンク19,39の夫々のハンド用リンク18,38には、上下方向に離間する第1および第2のハンド部材22,42が取付けられている。
なお、この第1および第2のハンド部材22,42は、後述するように、適宜に第1および第2の支点O1 ,O2 を通る水平方向に直線移動されると共に、第1および第2のハンド部材22,42が第1支点O1 を中心として同時に旋回される。
【0031】
上記1乃至42により2アーム方式の搬送用ロボット装置が構成されている。
勿論、垂直の第1支点O1 を中心とした放射状の複数箇所に適宜に複数の処理室が設けられることは、従来と同様である。
【0032】
上記構成において、例えば第1の平行クランク機構21の動作について説明する。
なお、図2に示されるごとく、今仮に、第1および第2の支点O1 ,O2 を通る直線が前後方向の直線であるものとする。
【0033】
図1乃至図4において、第1の回転軸2及び第1の中間リンク13が、第1の回転駆動機8により第1支点O1 を中心として時計方向に角度θだけ回動されると、第1の平行四節リンク15は第1支点O1 及び第2支点O2 を支点としてY1 方向に並行に移動する。
この場合、第1の中間リンク13は第2リンク14に対して第3支点O3 を中心として時計方向に角度θだけ回動された状態となる。
これにより、回転伝達機構20を介して第2の中間リンク16が、第2リンク14に対して第4支点O4 を中心として反時計方向に角度θだけ回動されて、第2の平行四節リンク19が第4の支点O4 ,O4 を支点としてY1 方向に並行に移動する。
【0034】
すなわち、図9(A)において、同一のリンク長さに形成された第1の中間リンク12,13及び第2の中間リンク16,17のリンク長さをL1 とし、第3および第4の支点O3 ,O4 の間隔をL2 とすれば、第5および第1の支点O5 ,O1 の間隔X11は、当然L2 と等しくなる。
【0035】
さらに、図9(A)の状態から図9(B)の状態となるように、第1の中間リンク13が第1支点O1 を中心として時計方向に角度θだけ回動される場合、図9(B)に示されるごとく、夫々の支点のX方向の間隔を、例えば、X12、X13およびX14とすれば、X12+L2 =X13+X14であり、かつ、
X12=L1 COSθ
X13=L1 COSθ
であるため、X14=L2 であることが分かる。
すなわち、X11=X14=L2 であるため、第1の中間リンク13が第1支点O1 を中心として時計方向あるいは反時計方向に回動されると、ハンド用リンク18は、第5の支点O5 ,O5 を通る同一直線線上を、初期姿勢を維持しつつY方向に移動される。
【0036】
結局、第1の平行クランク機構21によりハンド用リンク18がY方向に移動する場合、ハンド用リンク18は、第1支点O1 とハンド用リンク18とのなす水平方向の間隙L0 を維持しつつ第1支点O1 および第2支点O2 を通る水平方向に直線移動される。
勿論、第1及び第2の平行クランク機構21,41に取付けられる第1および第2のハンド部材22,42は、夫々のハンド部材の中心が第1支点O1 を通る水平方向の直線上となるように夫々第2および第1の平行クランク機構41,21側に張出されているが、すでに述べたように、第1および第2のハンド部材22,42は、上下に離間して夫々ハンド用リンク18,38に突設されているため、第1および第2のハンド部材22,42が、自在に水平方向に直線移動されても、これらのハンド部材22,42と平行クランク機構41,21とが当接することはない。
【0037】
したがって、例えば図1(B)に示されるごとく、第1のハンド部材22がY1 方向に直線移動するように、第1の平行クランク機構21が水平半径方向に伸ばされた所定の位置で、第1のハンド部材22に対して被加工物が搬入・搬出される。
この後、第1の平行クランク機構21が屈折されて、第1のハンド部材22が第1支点O1 方向に引寄せられた状態、例えば図1(B)に示される状態が、第1及び第2のハンド部材42の水平旋回状態である。
【0038】
このように、第1のハンド部材22が水平旋回状態に配置されている場合に、第2の平行クランク機構41が作動される。
この場合、第2のハンド部材42をY方向に位置変位させるが、第2の平行クランク機構41の動作は、第1の平行クランク機構21の動作と基本的に同一である。
すなわち、第2のハンド部材42をY1 方向に位置変位させる場合には、第2の回転駆動機3のみが駆動され、第2の平行クランク機構41が水平方向に伸ばされた所定の位置で、第2のハンド部材42に対して被加工物が搬入・搬出される。
この後、第2の平行クランク機構41が屈折されて、第2のハンド部材42が第1支点O1 方向に引寄せられた水平旋回状態に配置される。
【0039】
さて、第1および第2のハンド部材22,42が水平旋回状態に配置されている場合に、第1乃至第3の回転駆動機8乃至10が互いに同期して回転駆動されて、第1乃至第3の回転軸2乃至4が同一方向に同一角速度で回転されると、第1乃至第3の回転軸2乃至4に取付けられた各部が全体として同一方向に移動する。
このため、図4に示された状態を維持しつつ、第1乃至第3の回転軸2乃至4に取付けられた各部全体が、図2における第1支点O1 を中心として時計方向または反時計方向に旋回される
【0040】
このように、第1および第2のハンド部材22,42が同時に第1支点O1 を中心として適宜の角度旋回された後、第1および第2のハンド部材22,42が第1支点O1 を通る水平方向に自在に選択して個別に突出されて、第1および第2のハンド部材22,42への被加工物の搬入・搬出が行われる。
【0041】
上記のごとく、対をなす第1及び第2の中間リンクが同一のリンク長さに形成され、かつ夫々の第2の平行四節リンク19,39が第1支点O1 を境に外側にオフセットして第2リンク14,34に配置されているため、第1支点O1 を同軸の駆動軸として、第1支点O1 及び第2支点O2 を通る直線を境に左右に配置された第1および第2の平行クランク機構21,41が作動されると、夫々の第2の平行四節リンクのハンド用リンク18,38は、相対向するハンド用リンク18,38の水平方向の間隙を一定に維持しつつ、第1支点O1 及び第2支点O2 を通る水平方向に直線移動することができる。
しかも、第1および第2のハンド部材22,42が取付けられるハンド用リンク18,38は、従前のような回転伝達部材や回転連結具を用いることなく、可及的に薄くできるリンク結合により支持されて、結果として2個のハンド部材22,42の基部側の高さH2 を可及的に小さくすることができるため、、ハンド部材出入り用の真空処理室の窓を可及的に小さくすることができる。
【0042】
さらに、第1乃至第3の回転軸2乃至4は、垂直線を軸芯として同軸に回転支持されているため、第1乃至第3の回転軸2乃至4を回転自在に支持する回転軸受および気密用の磁性流体シール5乃至7を夫々可及的に小径とすることができ、装置がコンパクトとなり、かつ小径の回転軸受および小径の磁性流体シールを使用するため装置が安価となる。
このため、真空雰囲下で処理が行われる半導体製造装置等の搬送用ロボット装置として、特に好適である。
【0043】
勿論、2アーム方式の搬送用ロボット装置の旋回軸芯O1 を中心とした円周方向の放射状の複数箇所に適宜の処理室が配置されるが、第1および第2のアーム機構の駆動軸は水平旋回軸の軸芯である第1支点O1 の回りに同軸に支持されているため、第1および第2のアーム機構を旋回させる旋回台11の旋回状況の如何に拘らず、搬送用ロボット装置と円周方向の複数の処理室との関係は常に一定の位置関係に維持される。
【0044】
さらに、第1乃至第3の回転駆動機8乃至10は固定の枠体1に取付けられているため、第1および第2ハンド部材22,42を水平方向に旋回させるときには、角度に制限されることなく旋回させることができる。
このため、ハンド部材22,42は、旋回角度、すなわち旋回方向の回動角度の確認が必要であった従来の装置に比較して、旋回角度に関係なく自在位置に旋回されて被加工物の搬送を行なうことができるため、従来に比べて装置の使い勝手、すなわち生産性が良好である。
【0045】
さらに、夫々の第2の平行四節リンクのうち、夫々の第2の中間リンクが同一平面内に配置されていれば、2個のハンド部材22,42の基部側の高さH2 を小さくすることができる。
【0046】
なお、図10及び図11に示されるごとく、第1及び第2の中間リンク間に配設される回転伝達機構20は、第1の中間リンク12,13の第3支点O3 と同軸に固定された、例えばプーリー20Dと、第2の中間リンク16,17の第4支点O4 と同軸に固定されたプーリー20Cと、このプーリー20C,20D間に張設されたベルト20Eとにより構成することができる。
【0047】
図12は、第2の平行四節リンクの変形例を示す図であって、第1支点O1 及び第2支点O2 を通る直線を境に左右に配置される第1および第2の平行クランク機構21,41における夫々の第2の平行四節リンク19,39は、例えば、一方のハンド用リンク38が第2の中間リンクの上部に配置され、他方のハンド用リンク18が第2の中間リンクの下部に配置されて、夫々のハンド用リンク18,38にハンド部材が取付けられる。
このように、夫々のハンド用リンク18,38およびハンド部材を配置すれば、2個のハンド部材の基部側の高さH2 を可及的に小さくすることができる。
【0048】
図13は、本発明の他の実施例を示す図であって、ハンド用リンク18,38に取付けられるハンド部材は、水平方向に相反して突出する夫々2個のハンド部材22,22,42,42が取付けられる。
この場合、2個のハンド部材は、例えば、Y1 およびY2 方向の端部に適宜に位置変位されて、単一の旋回位置で4個の被加工物の搬入・搬出が行われる。
なお、2個のハンド部材は単一の処理室に対して同時に同方向に直線移動されることはないが、移動方向を適宜に選定することにより、例えば、相互に異なる方向に移動させれば被加工物の搬入・搬出のタクトタイムを少なくすることができるため、生産性が良好である。
【0049】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本第1の発明に係る搬送用ロボット装置は、
内側の第1リンクと外側の第2リンクとを一対の第1の中間リンクで連結した第1の平行四節リンクと、前記第2リンクとハンド用リンクとを一対の第2の中間リンクで連結した第2の平行四節リンクとよりなる第1の平行クランク機構及び該第1の平行クランク機構と実質的に同一構造の第2の平行クランク機構が、垂直線を境に左右に配置されてなる2アーム方式の搬送用ロボット装置に置いて、
前記第1及び第2の平行クランク機構は、旋回台を共通の第1リンクとして夫々の対をなす第1の中間リンクの基端部が旋回台に夫々同軸に配置され、該第1の中間リンクの基端部の一方側及び旋回台が、水平旋回軸の軸芯である第1支点のまわりで同軸に配置された第1乃至第3の回転軸に取付けられて、該第1乃至第3の回転軸が、固定の枠体に支持された第1乃至第3の回転駆動機に連結され、第1及び第2の中間リンクが同一のリンク長さに形成され、夫々の第2の平行四節リンクが第1支点を境に外側にオフセットして第2リンクに配置され、かつ第1及び第2の中間リンク間に回転伝達機構が配置され、夫々のハンド用リンクに上下方向に離間する第1および第2のハンド部材を取付け、該第1および第2のハンド部材が適宜に第1支点を通る水平方向に直線移動されると共に、該第1および第2のハンド部材が第1支点を中心として同時に旋回されてなり、特に、第1乃至第3の回転軸は、垂直線を軸芯として同軸に回転支持されているため、第1乃至第3の回転軸を回転自在に支持する回転軸受を可及的に小径とすることができるため、結果として装置がコンパクトとなり、しかも小径の回転軸受を使用するため装置が安価となる。
さらに、対をなす第1及び第2の中間リンクが同一のリンク長さに形成され、かつ夫々の第2の平行四節リンクが第1支点を境に外側にオフセットして第2リンクに配置されているため、第1支点を同軸の駆動軸として、第1支点及び第2支点を通る直線を境に左右に配置された第1および第2の平行クランク機構が作動されると、夫々の第2の平行四節リンクのハンド用リンクは、相対向するハンド用リンクの水平方向の間隙を一定に維持しつつ、第1支点及び第2支点を通る水平方向に直線移動することができる。
しかも、第1および第2のハンド部材が取付けられるハンド用リンクは、従前のような回転伝達部材や回転連結具を用いることなく、可及的に薄くできるリンク結合により支持されて、結果として2個のハンド部材の基部側の高さH2を可及的に小さくすることができるため、ハンド部材出入り用の真空処理室の窓を可及的に小さくすることができる。
このため、真空雰囲下で処理が行われる半導体製造装置等の搬送用ロボット装置として、特に好適である。
勿論、2アーム方式の搬送用ロボット装置の旋回軸芯を中心とした円周方向の放射状の複数箇所に適宜の処理室が配置されるが、第1および第2のアーム機構の駆動軸は水平旋回軸の軸芯である第1支点の回りに同軸に支持されているため、第1および第2のアーム機構を旋回させる旋回台の旋回状況の如何に拘らず、搬送用ロボット装置と円周方向の複数の処理室との関係は常に一定の位置関係に維持される。
さらに、第1乃至第3の回転駆動機は固定の枠体に取付けられているため、第1および第2のハンド部材を水平方向に旋回させるときには、旋回方向の回動角度に制限があった従来の装置と比較して、旋回角度に関係なく自在位置に旋回させて被加工物の搬送を行なうことができるため、従来に比べて装置の使い勝手、すなわち生産性が良好である。
要するに、本第1の発明によればハンド部材の基部側の高さを可及的に小さくすると共に、コンパクトで生産性の良好な2アーム方式の搬送用ロボット装置を実現することができる。
【0050】
本第2の発明によれば、夫々の第2の平行四節リンクのうち、夫々の第2の中間リンクが同一平面内に配置されてなるため、2個のハンド部材の基部側の高さH2 を小さくすることができる。
【0051】
本第3の発明によれば、第1支点及び第2支点を通る直線を境に左右に配置される第1および第2の平行クランク機構における夫々の第2の平行四節リンクは、一方のハンド用リンクが第2の中間リンクの上部に配置され、他方のハンド用リンクが第2の中間リンクの下部に配置されてなるため、2個のハンド部材の基部側の高さH2 を可及的に小さくすることができる。
【0052】
本第4の発明によれば、ハンド部材は、前記ハンド用リンクから相反して突出する2個のハンド部材が取付けられてなるため、単一の旋回位置で4個の被加工物の搬入・搬出が行われて、被加工物の搬入・搬出におけるタクトタイムを少なくすることができる。
【0053】
本第5の発明によれば、第1支点のまわりで固定の枠体に回転自在に同軸に支持された第1乃至第3の回転軸が気密用の磁性流体シールを介して回転自在に支持されてなるため、気密用の磁性流体シールを夫々可及的に小径とすることができ、装置が安価となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す斜視図で、図1(A)は第1及び第2の平行クランク機構21,41が屈曲された、旋回状態を示す図であり、図1(B)は第1の平行クランク機構21により第1のハンド部材22が直線移動される状態を示す図である。
【図2】図1の平面図
【図3】図1の正面図
【図4】図2におけるIV−IV線断面図
【図5】図2におけるV−V線断面図
【図6】図2におけるVI−VI線断面図
【図7】図1の先端部を示す拡大斜視図
【図8】第1及び第2の平行クランク機構21,41により、第1及び第2のハンド部材22,42が夫々直線移動される状態を示す平面図
【図9】図4の要部の動作状態を説明するための平面図
【図10】図4の要部の変形例を示す平面図
【図11】図10におけるXI−XI線断面図
【図12】本発明の変形例を示す正面図
【図13】本発明の他の実施例を示す斜視図
【図14】従来例を示す要部断面正面図
【図15】図14の縦断面側面図
【図16】図14の動作状態を説明するための平面図
【図17】図14の使用状態を説明するための平面図
【符号の説明】
1 固定の枠体
2乃至4 第1乃至第3の回転軸
5乃至7 気密用の磁性流体シール
8乃至10 第1乃至第3の回転駆動機
11 旋回台
12,13 対をなす第1の中間リンク
32,33 対をなす第1の中間リンク
14,34 第2リンク
15,35 第1の平行四節リンク
16,17 対をなす第2の中間リンク
36,37 対をなす第2の中間リンク
18,38 ハンド用リンク
19,39 第2の平行四節リンク
20,40 回転伝達機構
21 第1の平行クランク機構
22 第1のハンド部材
41 第2の平行クランク機構
42 第2のハンド部材
O1 水平旋回軸の軸芯である第1支点
O2 第2支点
O3 第3支点
O4 第4支点
O5 第5支点
Claims (4)
- 内側の第1リンクと外側の第2リンクとを一対の第1の中間リンクで連結した第1の平行四節リンクと、前記第2リンクとハンド用リンクとを一対の第2の中間リンクで連結した第2の平行四節リンクとよりなる第1の平行クランク機構及び該第1の平行クランク機構と同一構造である第2の平行クランク機構が、旋回台の水平旋回軸の軸心を境に左右に配置されてなる2アーム方式の搬送用ロボット装置において、
前記第1及び第2の平行クランク機構は、旋回台を共通の第1リンクとして夫々の対をなす第1の中間リンクの基端部が旋回台に夫々同軸に配置され、該第1の中間リンクの基端部の一方側及び旋回台が、水平旋回軸の軸芯である第1支点のまわりで同軸に配置された第1乃至第3の回転軸に取付けられて、該第1乃至第3の回転軸が、固定の枠体に支持された第1乃至第3の回転駆動機に連結され、第1及び第2の中間リンクが同一のリンク長さに形成され、夫々の第2の平行四節リンクにおける夫々の第2の中間リンクが同一平面内に配置されて第1支点を境に外側にオフセットして第2リンクに配置され、かつ第1及び第2の中間リンク間に回転伝達機構が配置され、夫々のハンド用リンクに上下方向に離間する第1および第2のハンド部材を取付け、該第1および第2のハンド部材が第1支点を通る水平方向に直線移動されると共に、該第1および第2のハンド部材が第1支点を中心として同時に旋回されることを特徴とする2アーム方式の搬送用ロボット装置。 - 前記第1支点を境に左右に配置される第1および第2の平行クランク機構における前記夫々の第2の平行四節リンクは、一方のハンド用リンクが第2の中間リンクの上部に配置され、他方のハンド用リンクが第2の中間リンクの下部に配置されてなる請求項1に記載の2アーム方式の搬送用ロボット装置。
- 前記ハンド部材は、前記ハンド用リンクから相反して突出する2個のハンド部材が取付けられてなる請求項1ないし2のいずれかに記載の2アーム方式の搬送用ロボット装置。
- 前記同軸に支持された第1乃至第3の回転軸は、気密用の磁性流体シールを介して回転自在に支持されてなる請求項1ないし3のいずれかに記載の2アーム方式の搬送用ロボット装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW471084B (en) * | 1999-12-22 | 2002-01-01 | Jel Kk | Transfer arm |
ES2161184B1 (es) * | 1999-12-28 | 2002-07-01 | Consejo Superior Investigacion | Un dispositivo de un elemento de trabajo con dos grados de movilidad. |
KR100471088B1 (ko) * | 2003-02-07 | 2005-03-10 | 삼성전자주식회사 | 이송장치 |
JP4411025B2 (ja) | 2003-07-11 | 2010-02-10 | 株式会社ダイヘン | 2アーム式搬送ロボット |
US20070048073A1 (en) * | 2005-08-31 | 2007-03-01 | Cheng Hung Y | Ring binder having a clip |
USD639323S1 (en) * | 2010-05-06 | 2011-06-07 | Ulvac, Inc. | Vacuum transfer robot |
USRE44567E1 (en) * | 2009-11-17 | 2013-11-05 | Ulvac, Inc. | Vacuum transfer robot |
USD625748S1 (en) * | 2010-05-06 | 2010-10-19 | Ulvac, Inc. | Vacuum transfer robot |
USRE43781E1 (en) * | 2009-11-17 | 2012-11-06 | Ulvac, Inc. | Vacuum transfer robot |
EP2520398A4 (en) * | 2009-12-28 | 2014-10-29 | Ulvac Inc | DRIVE DEVICE AND CONVEYOR |
JP5589790B2 (ja) * | 2010-03-31 | 2014-09-17 | 株式会社安川電機 | 基板搬送用ハンドおよび基板搬送ロボット |
JP6059156B2 (ja) * | 2011-03-11 | 2017-01-11 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板処理ツール |
CN105026115B (zh) * | 2013-01-18 | 2018-11-16 | 柿子技术公司 | 带有具有不等连接部长度的臂的机器人 |
US9149936B2 (en) | 2013-01-18 | 2015-10-06 | Persimmon Technologies, Corp. | Robot having arm with unequal link lengths |
US10453725B2 (en) * | 2017-09-19 | 2019-10-22 | Applied Materials, Inc. | Dual-blade robot including vertically offset horizontally overlapping frog-leg linkages and systems and methods including same |
CZ2017653A3 (cs) * | 2017-10-13 | 2019-04-17 | VĂšTS, a.s. | Rotační manipulátor |
NL2020044B1 (en) * | 2017-12-08 | 2019-06-19 | Vdl Enabling Tech Group B V | A planar multi-joint robot arm system |
USD997223S1 (en) * | 2023-06-07 | 2023-08-29 | Primate Robot Hong Kong Co., Limited | Robot |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0825151B2 (ja) * | 1988-09-16 | 1996-03-13 | 東京応化工業株式会社 | ハンドリングユニット |
JP2808826B2 (ja) * | 1990-05-25 | 1998-10-08 | 松下電器産業株式会社 | 基板の移し換え装置 |
KR0162102B1 (ko) * | 1991-05-29 | 1999-02-01 | 이노우에 아키라 | 반도체 제조장치 |
JP3030667B2 (ja) * | 1991-07-29 | 2000-04-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置 |
JPH06132380A (ja) * | 1992-09-04 | 1994-05-13 | Fujitsu Ltd | 搬送装置 |
DE69415517T3 (de) * | 1993-04-16 | 2005-03-17 | Brooks Automation, Inc., Lowell | Handhabungseinrichtung mit gelenkarm |
JP3181455B2 (ja) * | 1993-11-20 | 2001-07-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送アーム装置及びこれを用いた処理室集合装置 |
JP3264076B2 (ja) * | 1994-01-31 | 2002-03-11 | 松下電器産業株式会社 | 真空処理装置 |
JPH0871965A (ja) * | 1994-08-31 | 1996-03-19 | Sony Corp | 移載装置 |
US5647724A (en) * | 1995-10-27 | 1997-07-15 | Brooks Automation Inc. | Substrate transport apparatus with dual substrate holders |
-
1997
- 1997-07-16 JP JP20863797A patent/JP3806812B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-08-28 US US09/648,618 patent/USRE37731E1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11227783B2 (en) | 2018-07-03 | 2022-01-18 | Sinfonia Technology Co., Ltd. | Transfer device |
Also Published As
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USRE37731E1 (en) | 2002-06-11 |
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