JP3369255B2 - 半導体製造方法及び半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造方法及び半導体製造装置Info
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Description
ェーハ等の基板を搬送する為の基板搬送装置の改良に関
するものである。
化等から半導体製造装置に於ける基板処理は1枚ずつの
処理を行う枚葉式半導体製造装置が普及しつつある。
基板を搬入搬出する基板搬送装置を具備するが、従来の
基板搬送装置は単一の搬送腕を有し、搬送腕の伸縮、回
転動作で基板の搬入、搬出を行っており、処理装置或は
基板の貯留ステーションにはには基板受渡しの為の基板
上下機構が設けられている。
搬送腕が単一の為、未処理基板の搬入、処理基板の搬出
を行うには基板を一時貯留しておく為の貯留ステーショ
ンが必要となり、又処理装置或は貯留ステーションには
基板授受の為、基板の上下機構が必要となる。この為搬
送系の装置が複雑なり、又基板の搬入搬出が併行して行
えないので搬入搬出時間が長くなり、スループットが低
下するという問題があった。
出を能率的に行える様にし而も基板授受に関する機構の
簡略化を図るものである。
を有する半導体製造装置に於いて、回転基板に2本の支
持ポストを昇降可能に設け、該支持ポストの上端側にそ
れぞれ進退可能な2組の搬送腕を設け、前記支持ポスト
の下端側にそれぞれ進退動作モータを設け、前記支持ポ
ストを貫通する前記搬送腕進退用駆動シャフトと前記進
退動作モータとを連結し、前記回転基板を旋回モータに
より旋回可能とし、前記2組の搬送腕により2枚の基板
を同時に、同方向に搬送する搬送工程を具備する半導体
製造方法に係り、又基板搬送装置を有する半導体製造装
置に於いて、回転基板に2本の支持ポストを独立して昇
降可能に設け、該支持ポストの上端側にそれぞれ進退可
能な2組の搬送腕を設け、前記支持ポストの下端側にそ
れぞれ進退動作モータを設け、前記支持ポストを貫通す
る前記搬送腕進退用駆動シャフトと前記進退動作モータ
とを連結し、前記回転基板を旋回モータにより旋回可能
とした半導体製造装置に係るものである。
させ、搬送腕の進退を行わせ、支持ポストを介して搬送
腕を昇降させることで基板の授受を行い、搬送腕の進
退、旋回モータによる搬送腕の方向変換、更に搬送腕の
進退、支持ポストを介して搬送腕を昇降させることで基
板の搬送を行う。
説明する。
る。
いる。2組の搬送腕1,2はそれぞれ第1腕3、第2腕
4、第3腕5から成る3節リンク構造であり、搬送腕1
は、前記第1腕3、第2腕4、第3腕5が相互に逆回転
をなすことで、前記第3腕5が直線運動をする様構成さ
れている。搬送腕2は搬送腕1と第3腕5′が異なるこ
とを除けば同様な構成であり、且該搬送腕1と対称的に
設けられ、両搬送腕1、搬送腕2は鉛直線の回りを一体
的に回転する。
し、両第3腕5、第3腕5′は干渉しない様、前記第3
腕5の基部がコの字状であり、前記第3腕5′は前記第
3腕5の下方を進退する。
て詳述する。
受8を介して回転自在に設けられ、前記ケース6の底面
には旋回モータ10が固着されている。該旋回モータ1
0上には一対の昇降モータ11がそれぞれ減速機16を
介して設けられると共にシャフト支持ブロック12が固
着されている。該シャフト支持ブロック12と前記回転
基板7との間には昇降ガイドシャフト9が立設されてい
る。
軸受13を介して昇降スライド14が設けられ、該昇降
スライド14にはナットブロック15が設けられてい
る。前記減速機16の出力軸はスクリューシャフト17
となっており、該スクリューシャフト17は前記ナット
ブロック15に螺合する。
記搬送腕1、搬送腕2の支持ポスト18が立設され、該
支持ポスト18は前記回転基板7を遊貫している。該支
持ポスト18は中空となっており、この中空部に前記搬
送腕1、搬送腕2の進退駆動シャフト19が回転自在に
貫通している。該進退駆動シャフト19には進退動作モ
ータ20が連結されている。
る様になっており、該第3腕5を直線的に進退させる場
合は、前記進退動作モータ20を回転駆動する。該進退
動作モータ20の駆動により前記第3腕5が独立して進
退、即ち前記搬送腕1が独立して伸縮する様になってい
る。又、前記搬送腕2を伸縮させる場合は、もう1つの
進退動作モータ20を駆動すればよい。
前記昇降モータ11を駆動する。該昇降モータ11の駆
動により前記減速機16のスクリューシャフト17が回
転し、該スクリューシャフト17の回転は前記ナットブ
ロック15によって昇降動作に変換され、前記昇降スラ
イド14が昇降する。該昇降スライド14の昇降で、前
記搬送腕1が昇降する。前記搬送腕2についても、もう
1つの昇降モータ11を駆動することで昇降させること
がでる。
立で昇降可能であり、該搬送腕1、搬送腕2を一体的に
昇降できると共に個別に昇降させ、前記第3腕5と第3
腕5′の距離を変更することができる。
でスクリューシャフト17、昇降ガイドシャフト9を介
して2組の前記昇降スライド14、支持ポスト18、及
び前記回転基板7が回転し、前記搬送腕1、搬送腕2が
一体に旋回する。該搬送腕1、搬送腕2の旋回で搬送腕
1、搬送腕2の搬送方向が変更でき、前記ウェーハ21
の搬送を行うことができる。
ェーハ21を多段に収納するウェーハ保持器が複数あ
り、複数のウェーハ保持器間でウェーハの搬送を行う場
合があるが、搬送の対象となるウェーハ保持器でウェー
ハ収納ピッチが異なる場合、前記昇降モータ11の一方
を駆動して、第3腕5と第3腕5′の距離を変更し、第
3腕5と第3腕5′の距離をウェーハ収納ピッチに合致
させる。このことで、ウェーハの搬送を2枚1度に行う
ことができ、ウェーハの搬送効率が向上する。
搬送腕1を未処理ウェーハの搬入に使用し、搬送腕2を
処理ウェーハの搬出に使用すると、搬入搬出に待ち時間
がなくなり、又ウェーハを貯留する為の貯留ステーショ
ンが不要となる。更に、搬送腕1、搬送腕2が昇降可能
であるので、処理室側、或は他の基板受載部に基板受渡
しの為の基板昇降機構が不要となる。
説明する。
ものと同一のもの、又は同一の機能を有するものには同
符号付してある。
1,2が具備されており、該2組の搬送腕1,2はそれ
ぞれ第1腕3、第2腕4、第3腕5から成る3節リンク
構造であり、搬送腕1は、前記第1腕3、第2腕4、第
3腕5が相互に逆回転をなすことで、前記第3腕5が直
線運動をする様構成されている。搬送腕2は搬送腕1と
第3腕5′が異なることを除けば同様な構成であり、且
該搬送腕1と対称的に設けられ、両搬送腕1、搬送腕2
は鉛直線の回りを一体的に回転する。
し、両第3腕5、第3腕5′は干渉しない様、前記第3
腕5の基部がコの字状であり、前記第3腕5′は前記第
3腕5の下方を進退する。
て詳述する。
受8を介して回転自在に設けられ、更に回転基板7とケ
ース6側との間には磁気シール22が設けられ、気密に
シールされている。前記回転基板7の下方に吊りロッド
23を介して回転棚板24が設けられ、該回転棚板24
には前記搬送腕1、搬送腕2の2本の支持ポスト18が
立設され、該支持ポスト18により前記搬送腕1、搬送
腕2が支持されている。
該支持ポスト18それぞれを前記搬送腕1、搬送腕2の
進退駆動シャフト19が貫通し、該進退駆動シャフト1
9の下端は進退動作モータ20の出力軸に連結されてい
る。前記支持ポスト18と前記進退駆動シャフト19と
の間には磁気シール31が設けられ、前記進退駆動シャ
フト19の貫通箇所が気密にシールされている。
介して前記回転棚板24に固定されている。又、前記支
持ポスト18は前記回転基板7を遊貫するが、支持ポス
ト18の貫通箇所にはベローズ29が設けられ気密にシ
ールされている。
動作モータ20を囲繞する筒体26が垂設され、該筒体
26の下端には旋回モータ10が固着され、該旋回モー
タ10はケース6の底板27を遊貫して下方に突出して
おり、該底板27の下面には昇降基板28が固着されて
いる。
られ、該固定棚板30と前記底板27との間に掛渡され
て昇降ガイドシャフト9が設けられ、該昇降ガイドシャ
フト9に軸受13を介して前記昇降基板28が昇降自在
に嵌合し、又該昇降基板28にはナットブロック15が
固着されている。前記固定棚板30には減速機16が取
付けられ、該減速機16の出力軸であるスクリューシャ
フト17は前記ナットブロック15に嵌合する。前記減
速機16には昇降モータ11が連結され、該昇降モータ
11の駆動で前記スクリューシャフト17が回転する様
になっている。
る様になっており、該第3腕5を直線的に進退させる場
合は、前記進退動作モータ20を回転駆動する。該進退
動作モータ20の駆動により前記第3腕5が独立して進
退、即ち前記搬送腕1が独立して伸縮する様になってい
る。又、前記搬送腕2を伸縮させる場合は、もう1つの
進退動作モータ20を駆動すればよい。
る場合は、前記昇降モータ11を駆動する。該昇降モー
タ11の駆動により前記減速機16のスクリューシャフ
ト17が回転し、該スクリューシャフト17の回転は前
記ナットブロック15によって昇降動作に変換され、前
記昇降基板28が昇降し、該昇降基板28に前記スクリ
ューシャフト17、筒体26、回転棚板24、支持ポス
ト18を介して設けられた前記搬送腕1、搬送腕2が一
体となって昇降する。
で筒体26を介して2組の前記支持ポスト18及び前記
回転基板7が回転し、前記搬送腕1、搬送腕2が一体に
旋回する。該搬送腕1、搬送腕2の旋回で搬送腕1、搬
送腕2の搬送方向が変更でき、前記ウェーハ21の搬送
を行うことができる。
搬送腕1を未処理ウェーハの搬入に使用し、搬送腕2を
処理ウェーハの搬出に使用すると、搬入搬出に待ち時間
がなくなり、又ウェーハを貯留する為の貯留ステーショ
ンが不要となる。更に、搬送腕1、搬送腕2が昇降可能
であるので、処理室側、或は他の基板受載部に基板受渡
しの為の基板昇降機構が不要となる。
ーシャフト17とケース6との間、スクリューシャフト
17と支持ポスト18との間、支持ポスト18と進退駆
動シャフト19との間がそれぞれ気密にシールされてい
るので、前記搬送腕1、搬送腕2のみを、真空室に露出
させウェーハ21を搬送することができ、真空基板搬送
装置としても使用可能である。
構成で、スクリューシャフト17とケース6との間、ス
クリューシャフト17と支持ポスト18との間、支持ポ
スト18と進退駆動シャフト19との間をそれぞれ気密
にシールすることが可能であり、第1の実施例も真空基
板搬送装置としても使用可能であることは言う迄もな
い。又、搬送する対象物はウェーハに限らず、ガラス基
板等であってもよいことは勿論である。
優れた効果を発揮する。
るので2枚の基板の搬送を平行して行うことができ、搬
送効率が向上する。
ることで、搬入搬出作動で待ち時間がなくなり、搬入搬
出に要する時間が大幅に短縮する。
受に於いて相手側の昇降機構が省略でき、装置の簡略化
が図れる。
真空用の基板搬送装置として使用可能である。
たので、基板の収納ピッチの異なる基板保持器間での2
枚同時搬送が可能となり、搬送能率が大幅に向上する。
Claims (2)
- 【請求項1】 基板搬送装置を有する半導体製造装置に
於いて、回転基板に2本の支持ポストを昇降可能に設
け、該支持ポストの上端側にそれぞれ進退可能な2組の
搬送腕を設け、前記支持ポストの下端側にそれぞれ進退
動作モータを設け、前記支持ポストを貫通する前記搬送
腕進退用駆動シャフトと前記進退動作モータとを連結
し、前記回転基板を旋回モータにより旋回可能とし、前
記2組の搬送腕により2枚の基板を同時に、同方向に搬
送する搬送工程を具備することを特徴とする半導体製造
方法。 - 【請求項2】 基板搬送装置を有する半導体製造装置に
於いて、回転基板に2本の支持ポストを独立して昇降可
能に設け、該支持ポストの上端側にそれぞれ進退可能な
2組の搬送腕を設け、前記支持ポストの下端側にそれぞ
れ進退動作モータを設け、前記支持ポストを貫通する前
記搬送腕進退用駆動シャフトと前記進退動作モータとを
連結し、前記回転基板を旋回モータにより旋回可能とし
たことを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15124693A JP3369255B2 (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | 半導体製造方法及び半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15124693A JP3369255B2 (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | 半導体製造方法及び半導体製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06338554A JPH06338554A (ja) | 1994-12-06 |
JP3369255B2 true JP3369255B2 (ja) | 2003-01-20 |
Family
ID=15514465
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15124693A Expired - Lifetime JP3369255B2 (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | 半導体製造方法及び半導体製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3369255B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4178534B2 (ja) * | 1997-12-24 | 2008-11-12 | 株式会社安川電機 | 基板搬送用ロボット |
JP4222068B2 (ja) | 2003-03-10 | 2009-02-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の搬送装置 |
JP6059156B2 (ja) * | 2011-03-11 | 2017-01-11 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板処理ツール |
US10224232B2 (en) | 2013-01-18 | 2019-03-05 | Persimmon Technologies Corporation | Robot having two arms with unequal link lengths |
CN117621011A (zh) * | 2015-02-06 | 2024-03-01 | 柿子技术公司 | 具有不等连杆长度臂的机器人 |
-
1993
- 1993-05-28 JP JP15124693A patent/JP3369255B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06338554A (ja) | 1994-12-06 |
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