JP6571629B2 - 基板処理ツール - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 268
- 239000012636 effector Substances 0.000 claims description 217
- 210000000245 forearm Anatomy 0.000 claims description 99
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 39
- 210000000707 wrist Anatomy 0.000 claims description 32
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 3
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 50
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 48
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 21
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 20
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 20
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 8
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 5
- 101100323157 Arabidopsis thaliana LAP1 gene Proteins 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 2
- 101100476713 Gallus gallus SAX1 gene Proteins 0.000 description 1
- 101000971703 Homo sapiens Kinesin-like protein KIF1C Proteins 0.000 description 1
- 101000979579 Homo sapiens NK1 transcription factor-related protein 1 Proteins 0.000 description 1
- 102100021525 Kinesin-like protein KIF1C Human genes 0.000 description 1
- 101100460492 Mus musculus Nkx1-2 gene Proteins 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000004320 controlled atmosphere Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 description 1
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 210000000323 shoulder joint Anatomy 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
- B25J11/0095—Manipulators transporting wafers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J18/00—Arms
- B25J18/02—Arms extensible
- B25J18/04—Arms extensible rotatable
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/041—Cylindrical coordinate type
- B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/041—Cylindrical coordinate type
- B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
- B25J9/043—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm double selective compliance articulated robot arms [SCARA]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S901/00—Robots
- Y10S901/14—Arm movement, spatial
- Y10S901/15—Jointed arm
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
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- Y10S901/00—Robots
- Y10S901/27—Arm part
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
- Y10T74/20305—Robotic arm
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
- Y10T74/20305—Robotic arm
- Y10T74/20329—Joint between elements
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
Claims (29)
- フレームと、
前記フレームに接続される第1のSCARAアームであって、エンドエフェクタを含み、第1の径方向の軸に沿って延伸および後退するように構成される第1のSCARAアームと、
前記フレームに接続される第2のSCARAアームであって、エンドエフェクタを含み、第2の径方向の軸に沿って延伸および後退するように構成される第2のSCARAアームと、
前記第1および第2のSCARAアームに結合された駆動セクションと
を備え、
前記第1および第2のSCARAアームのそれぞれが、ショルダ回転軸を有し、共通の回転可能なベース上に配置され、
前記駆動セクションが、それぞれの径方向の軸に沿って前記第1および第2のSCARAアームのそれぞれを独立して延伸させ、前記共通の回転可能なベースに対して前記第1および第2のSCARAアームのそれぞれを回転するように構成されており、前記第1の径方向の軸は前記第2の径方向の軸に対して角度をつけられ、それぞれのアームの前記エンドエフェクタはそれぞれの径方向の軸と位置合わせされ、前記第1の径方向の軸および前記第2の径方向の軸は、前記第1の径方向の軸および前記第2の径方向の軸のそれぞれの位置ごとに、前記第1および第2のSCARAアームのそれぞれのショルダ回転軸とは異なる共通の交点で交差し、
前記駆動セクションが、前記第1および第2のSCARAアームのうちの1つのSCARAアームの少なくともアーム部分を上昇軸に沿って独立して動作させるように構成され、前記上昇軸は、前記第1および第2の径方向の軸に交差し、前記共通の回転可能なベース上に配置される前記第1および第2のSCARAアームのうちの一方のSCARAアームの少なくともアーム部分が、前記共通の回転可能なベース上に配置される前記第1および第2のSCARAアームのうちの他方のSCARAアームの少なくともアーム部分から独立して前記上昇軸に沿って移動し、
各エンドエフェクタは少なくとも1つの基板を保持するように構成されている基板処理装置。 - 前記第1および第2のSCARAアームが、前記第1のSCARAアームの延伸の軸が、前記第2のSCARAアームのそれぞれのショルダ軸周りの、前記第2のSCARAアームの延伸の軸の角度方向を定めるように配置されている請求項1記載の基板処理装置。
- 前記第1のSCARAアームのエンドエフェクタ、および、前記第2のSCARAアームのエンドエフェクタのそれぞれが、2つの基板保持部を備えている請求項1記載の基板処理装置。
- 前記駆動セクションに接続され、それぞれの少なくとも1つの基板を搬送中の、前記第1および第2のSCARAアームの間の干渉を実質的に防ぐために、前記駆動セクションの動作をもたらすように構成される制御装置をさらに含む請求項1記載の基板処理装置。
- 前記駆動セクションが、4自由度の駆動システムを備えることを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 前記駆動セクションが、同軸駆動シャフトの配置を含むことを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 前記第1のSCARAアームが、前記第1のSCARAアームのショルダ回転軸で前記駆動セクションに接続される上側アームと、エルボ軸で前記上側アームに接続される前アームとを含み、前記エンドエフェクタはリスト軸で前記前アームに結合され、
前記第2のSCARAアームが、前記第2のSCARAアームのショルダ回転軸で前記駆動セクションに接続される上側アームと、エルボ軸で前記上側アームに接続される前アームとを含み、前記エンドエフェクタはリスト軸で前記前アームに結合される
ことを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。 - 前記第1のSCARAアームの前記前アームがそれぞれの上側アームの上面に位置付けられ、前記第2のSCARAアームの前記前アームがそれぞれの上側アームの下面に位置付けられるように、前記前アームが互いに対して対向した構成で配置されることを特徴とする請求項7記載の基板処理装置。
- 前記第1のSCARAアームの上側アームと、前記第2のSCARAアームの上側アームとの間の角度が、前記アームが前記共通の回転可能なベースに対して回転するときに実質的に固定されるように、前記駆動セクションが前記第1および第2のSCARAアームに接続される3自由度の駆動システムを備えることを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 前記エンドエフェクタのそれぞれは、前記エンドエフェクタ間の角度が、各アームによりアクセス可能な、放射状に隣接する基板保持ステーション間の角度と実質的に一致するように、それぞれのアームに取り付けられることを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 少なくとも前記駆動セクションに接続される制御装置と、前記制御装置に接続される少なくとも1つのセンサとをさらに含み、前記制御装置は、前記少なくとも1つのセンサから基板検知信号を得て、前記第1および第2のSCARAアームの1つのエンドエフェクタの位置にオフセットを適用するように構成されており、該オフセットは、前記第1および第2のSCARAアームのうちの少なくとも1つの熱膨張に応じて計算されることを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 前記第1のSCARAアームは、前記第1のSCARAアームの上側アームと前アームとの間を前記第2のSCARAアームが通ることができるように構成されることを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 前記第1および第2のSCARAアームのショルダ回転軸のそれぞれが、共通のショルダ回転軸に沿って配置されている請求項1記載の基板処理装置。
- 前記共通の回転可能なベースが、第1のベース部材セクションおよび第2のベース部材セクションを含み、前記第1および第2のベース部材セクションが、共通の端部において結合され、互いに対して角度を調整可能であり、前記第1のSCARAアームが、前記第1および第2のベース部材セクションの一方に配置され、前記第2のSCARAアームが、前記第1および第2のベース部材セクションの他方に配置されている請求項1記載の基板処理装置。
- フレームと、
前記フレームに接続される第1のSCARAアームであって、エンドエフェクタを含み、第1の径方向の軸に沿って延伸および後退するように構成される第1のSCARAアームと、
前記フレームに接続される第2のSCARAアームであって、エンドエフェクタを含み、第2の径方向の軸に沿って延伸および後退するように構成される第2のSCARAアームと、
前記フレームに対して一端が固定され、前記第1および第2のSCARAアームに平行な面内に延びる少なくとも1つの枢動リンク部を含むベースアームと、
前記ベースアーム、前記第1のSCARAアームおよび前記第2のSCARAアームに連結された駆動セクションと
を備え、
前記第1のSCARAアームおよび第2のSCARAアームのそれぞれが、前記ベースアームの枢動リンク部の共通の端部に配置されたショルダ回転軸を有し、
前記ベースアームは、ベースアーム回転軸で前記駆動セクションに回転可能に連結され、
前記駆動セクションが、
前記ベースアーム回転軸周りに前記ベースアームを回転させ、
それぞれの径方向の軸に沿って前記第1および第2のSCARAアームのそれぞれを独立して延伸させ、
前記ベースアームに対して前記第1および第2のSCARAアームのそれぞれを回転するように構成されており、
前記第1の径方向の軸は前記第2の径方向の軸に対して角度をつけられ、それぞれのアームの前記エンドエフェクタはそれぞれの径方向の軸と位置合わせされ、
各エンドエフェクタは少なくとも1つの基板を保持するように構成され、
前記第1のSCARAアームの位置が、前記第2のSCARAアームのそれぞれのショルダ軸周りの、前記第2のSCARAアームの前記第2の径方向の軸の角度方向を定めるように、前記第1のSCARAアームの第1の径方向の軸が前記第1のSCARAアームを位置付けるように、前記第1および第2のSCARAアームが配置されている基板処理装置。 - 前記駆動セクションに接続され、それぞれの少なくとも1つの基板を搬送中の、前記第1および第2のSCARAアームの間の干渉を実質的に防ぐために、前記駆動セクションの動作をもたらすように構成される制御装置をさらに含む請求項15記載の基板処理装置。
- 前記駆動セクションが、4自由度の駆動システムを備えることを特徴とする請求項15記載の基板処理装置。
- 前記駆動セクションが、同軸駆動シャフトの配置を含むことを特徴とする請求項15記載の基板処理装置。
- 前記第1のSCARAアームが、前記第1のSCARAアームのショルダ回転軸で前記駆動セクションに接続される上側アームと、エルボ軸で前記上側アームに接続される前アームとを含み、前記エンドエフェクタはリスト軸で前記前アームに結合され、
前記第2のSCARAアームが、前記第2のSCARAアームのショルダ回転軸で前記駆動セクションに接続される上側アームと、エルボ軸で前記上側アームに接続される前アームとを含み、前記エンドエフェクタはリスト軸で前記前アームに結合される
ことを特徴とする請求項15記載の基板処理装置。 - 前記第1のSCARAアームの前記前アームがそれぞれの上側アームの上面に位置付けられ、前記第2のSCARAアームの前記前アームがそれぞれの上側アームの下面に位置付けられるように、前記前アームが互いに対して対向した構成で配置されることを特徴とする請求項19記載の基板処理装置。
- 前記第1のSCARAアームの上側アームと、前記第2のSCARAアームの上側アームとの間の角度が、前記第1および第2のSCARAアームが前記ベースアームに対して回転するときに実質的に固定されるように、前記駆動セクションが前記第1および第2のSCARAアームに接続される3自由度の駆動システムを備えることを特徴とする請求項15記載の基板処理装置。
- 前記エンドエフェクタのそれぞれは、前記エンドエフェクタ間の角度が、各アームによりアクセス可能な、放射状に隣接する基板保持ステーション間の角度と実質的に一致するように、それぞれのアームに取り付けられることを特徴とする請求項15記載の基板処理装置。
- 少なくとも前記駆動セクションに接続される制御装置と、前記制御装置に接続される少なくとも1つのセンサとをさらに含み、前記制御装置は、前記少なくとも1つのセンサから基板検知信号を得て、前記第1および第2のSCARAアームの1つのエンドエフェクタの位置にオフセットを適用するように構成されており、該オフセットは、前記第1および第2のSCARAアームのうちの少なくとも1つの熱膨張に応じて計算されることを特徴とする請求項15記載の基板処理装置。
- 前記第1のSCARAアームは、前記第1のSCARAアームの上側アームと前アームとの間を前記第2のSCARAアームが通ることができるように構成されることを特徴とする請求項15記載の基板処理装置。
- 前記第1および第2のSCARAアームのショルダ回転軸のそれぞれが、共通のショルダ回転軸に沿って配置されている請求項15記載の基板処理装置。
- 前記駆動セクションが、前記第1および第2のSCARAアームのそれぞれの少なくとも一部を上昇軸に沿って独立して動作させ、前記上昇軸は、前記第1および第2の径方向の軸に交差するように構成されている請求項15記載の基板処理装置。
- フレームと、
前記フレームに接続される第1のSCARAアームであって、エンドエフェクタを含み、第1の径方向の軸に沿って延伸および後退するように構成される第1のSCARAアームと、
前記フレームに接続される第2のSCARAアームであって、エンドエフェクタを含み、第2の径方向の軸に沿って延伸および後退するように構成される第2のSCARAアームと、
前記第1および第2のSCARAアームに結合された駆動セクションと、
前記駆動セクションに接続された制御装置と
を備え、
前記第1および第2のSCARAアームのそれぞれは、それぞれのショルダ回転軸を有し、共通のベースに配置され、
前記駆動セクションは、それぞれの径方向の軸に沿って前記第1および第2のSCARAアームのそれぞれを独立して延伸し、前記共通のベースに対して前記第1および第2のSCARAアームのそれぞれを回転するように構成されており、前記第1の径方向の軸は前記第2の径方向の軸に対して角度をつけられ、それぞれのアームの前記エンドエフェクタはそれぞれの径方向の軸と位置合わせされ、
前記制御装置は、第1および第2のSCARAアームの少なくとも1つの延伸および後退の軸が、実質的に別の第1および第2のSCARAアームとの干渉のない領域内にあるように、前記駆動セクションの動作をもたらし、第1および第2のSCARAアームの回転が、前記第1および第2のSCARAアームの間の干渉を生じる場合を認識するように構成され、
各エンドエフェクタは少なくとも1つの基板を保持するように構成されている基板処理装置。 - 前記駆動セクションが、前記第1および第2のSCARAアームのうちの1つの少なくとも一部を上昇軸に沿って独立して動作させ、前記上昇軸は、前記第1および第2の径方向の軸に交差するように構成されている請求項27記載の基板処理装置。
- 前記共通のベースが、共通の端部において結合され、互いに対して角度的に調節可能な第1の部分および第2の部分を含み、前記第1のSCARAアームが前記第1および第2の部分の一方に配置され、前記第2のSCARAアームが前記第1および第2の部分の他方に配置されている請求項27記載の基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019146549A JP7294940B2 (ja) | 2011-03-11 | 2019-08-08 | 基板処理ツール |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201161451912P | 2011-03-11 | 2011-03-11 | |
US61/451,912 | 2011-03-11 | ||
US13/417,837 US8918203B2 (en) | 2011-03-11 | 2012-03-12 | Substrate processing apparatus |
US13/417,837 | 2012-03-12 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013557942A Division JP6059156B2 (ja) | 2011-03-11 | 2012-03-12 | 基板処理ツール |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019146549A Division JP7294940B2 (ja) | 2011-03-11 | 2019-08-08 | 基板処理ツール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017085127A JP2017085127A (ja) | 2017-05-18 |
JP6571629B2 true JP6571629B2 (ja) | 2019-09-04 |
Family
ID=46796797
Family Applications (5)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013557942A Active JP6059156B2 (ja) | 2011-03-11 | 2012-03-12 | 基板処理ツール |
JP2016238593A Active JP6571629B2 (ja) | 2011-03-11 | 2016-12-08 | 基板処理ツール |
JP2019146549A Active JP7294940B2 (ja) | 2011-03-11 | 2019-08-08 | 基板処理ツール |
JP2021154527A Active JP7297363B2 (ja) | 2011-03-11 | 2021-09-22 | 基板処理ツール |
JP2023094975A Pending JP2023113891A (ja) | 2011-03-11 | 2023-06-08 | 基板処理ツール |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2013557942A Active JP6059156B2 (ja) | 2011-03-11 | 2012-03-12 | 基板処理ツール |
Family Applications After (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2019146549A Active JP7294940B2 (ja) | 2011-03-11 | 2019-08-08 | 基板処理ツール |
JP2021154527A Active JP7297363B2 (ja) | 2011-03-11 | 2021-09-22 | 基板処理ツール |
JP2023094975A Pending JP2023113891A (ja) | 2011-03-11 | 2023-06-08 | 基板処理ツール |
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JP (5) | JP6059156B2 (ja) |
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2012
- 2012-03-12 JP JP2013557942A patent/JP6059156B2/ja active Active
- 2012-03-12 CN CN201280022639.9A patent/CN103503127B/zh active Active
- 2012-03-12 KR KR1020197024110A patent/KR102436038B1/ko active IP Right Grant
- 2012-03-12 TW TW106131822A patent/TWI691388B/zh active
- 2012-03-12 KR KR1020217013580A patent/KR102392186B1/ko active IP Right Grant
- 2012-03-12 KR KR1020137026717A patent/KR102047033B1/ko active IP Right Grant
- 2012-03-12 KR KR1020227013953A patent/KR102618895B1/ko active IP Right Grant
- 2012-03-12 US US13/417,837 patent/US8918203B2/en active Active
- 2012-03-12 WO PCT/US2012/028790 patent/WO2012125572A2/en active Application Filing
- 2012-03-12 TW TW101108322A patent/TWI614831B/zh active
- 2012-03-12 KR KR1020237044547A patent/KR20240005187A/ko active Search and Examination
-
2014
- 2014-12-22 US US14/579,067 patent/US9230841B2/en active Active
-
2016
- 2016-01-05 US US14/988,256 patent/US9852935B2/en active Active
- 2016-12-08 JP JP2016238593A patent/JP6571629B2/ja active Active
-
2017
- 2017-12-20 US US15/849,002 patent/US10325795B2/en active Active
-
2019
- 2019-06-18 US US16/444,225 patent/US10600665B2/en active Active
- 2019-08-08 JP JP2019146549A patent/JP7294940B2/ja active Active
-
2020
- 2020-03-20 US US16/825,663 patent/US11195738B2/en active Active
-
2021
- 2021-09-22 JP JP2021154527A patent/JP7297363B2/ja active Active
- 2021-12-07 US US17/544,844 patent/US11978649B2/en active Active
-
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- 2023-06-08 JP JP2023094975A patent/JP2023113891A/ja active Pending
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161219 |
|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A601 | Written request for extension of time |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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