TWI731214B - 高架搬送車 - Google Patents

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TWI731214B
TWI731214B TW107103838A TW107103838A TWI731214B TW I731214 B TWI731214 B TW I731214B TW 107103838 A TW107103838 A TW 107103838A TW 107103838 A TW107103838 A TW 107103838A TW I731214 B TWI731214 B TW I731214B
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小林誠
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日商村田機械股份有限公司
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Abstract

本發明之高架搬送車(1)係沿著移行軌條(2)移行並以垂吊狀態搬送可卸除地設置有蓋(93)之FOUP(90)之高架搬送車，其具備有：保持裝置(11)，其在使蓋朝向與移行方向交叉之寬度方向之狀態下把持FOUP；一對框架(8、8)，其等係相對於保持裝置被設置在移行方向之前後；及第一蓋掉落防止構件(20)，其係設置為可在被配置於蓋之正面之前進位置(P1)與被配置於自蓋之正面退避之位置的退避位置(P2)之間，以鉛垂方向為轉動軸而沿著水平面轉動。

Description

高架搬送車
本發明一態樣係有關高架搬送車。
已知有於無塵室等之天花板附近或較地板面高之位置移行而搬送半導體晶圓或液晶基板等物品之高架搬送車(例如，專利文獻1)。於如此之高架搬送車中，物品係在被收容於設置有蓋之容器之狀態下被搬送。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2000-191272號公報
如此之高架搬送車由於在較高之位置移行，因此作業車或無人搬送車等會通過高架搬送車之移行軌條之下方，或者作業車會於高架搬送車之移行軌條之下方進行作業。因此，存在有以即使蓋自高架搬送車掉落也很安全之方式，而於高架搬送車移行時限制作業車前進至移行軌條之下方之情形。然而，如此之運用每當高架搬送車通過時，均必須限制作業車之進入而較為不便。
因此，本發明一態樣之目的，在於提供可防止蓋自容 器掉落之高架搬送車。
本發明一態樣之高架搬送車係沿著軌道移行並以垂吊狀態搬送可卸除地設置有蓋之容器者，其具備有：把持部，其在使蓋朝向與移行方向交叉之寬度方向之狀態下把持容器；一對框架，其等係相對於把持部被設置在移行方向之前後；及第一蓋掉落防止構件，其係設置為可在被配置於蓋之正面之前進位置與被配置於自蓋之正面退避之位置的退避位置之間，以鉛垂方向為轉動軸而沿著水平面可轉動。
於該構成之高架搬送車中，由於設置有以鉛垂方向為轉動軸而可前進至被配置於蓋之正面之前進位置的第一蓋掉落防止構件，因此於蓋自容器脫落之情形時，亦可於蓋之脫落位置支撐該蓋。藉此，可防止蓋自容器掉落。
本發明一態樣之高架搬送車，第一蓋掉落防止構件之轉動機構亦可分別被收容於一對框架，且於在寬度方向以蓋之位置為基準位置時，轉動軸之位置係朝自正面觀察蓋時之基準位置之後方偏移。
於如此之高架搬送車中，存在有如下之要求：被配置於本體框架之前後之前側框架及後側框架，為了縮小移行方向之移動限制，而希望儘可能減少與移行方向正交之寬度方向之尺寸。於該構成之高架搬送車中，由於轉動軸之位置朝自正面觀察蓋時之基準位置之後方偏移，因此可使第一蓋掉落防止構件之轉動機構靠近框架之寬度方向之中央部。藉此，即便於將防止蓋自容器掉落之蓋掉落防止構件之轉動機構設置於移行方向前後之框架的情形時，亦 可抑制框架寬度方向之尺寸的增大。
於本發明一態樣之高架搬送車中，第一蓋掉落防止構件亦可以轉動軸為基點而延伸至前端部並且具有彎曲部之板狀構件，且於彎曲部與前端部之間形成有直線部。於該構成之高架搬送車中，例如於第一蓋掉落防止構件位於前進位置時，可使第一蓋掉落防止構件與蓋平行。因此，可易於調整第一蓋掉落防止構件與容器之距離。
於本發明一態樣之高架搬送車中，直線部亦可被設置為在第一蓋掉落防止構件位於前進位置時與蓋成為平行。於該構成之高架搬送車中，可易於調整第一蓋掉落防止構件與容器之距離。
於本發明一態樣之高架搬送車中，於將第一蓋掉落防止構件位於前進位置時之移行方向之容器之端部與第一蓋掉落防止構件的距離設為第一距離，並將容器之較端部更靠中央之中央部與第一蓋掉落防止構件之距離設為第二距離時，第一距離亦可與第二距離相同、或較第二距離長。於該構成之高架搬送車中，可易於調整與第一蓋掉落防止構件容易接觸之容器之端部的距離。
本發明一態樣之高架搬送車，亦可進一步具備有分別被設置於一對框架之導引構件，該導引構件具有：圓柱狀之第一支撐部，其沿著鉛垂方向延伸；及第二支撐部，其係設置為可在與第一支撐部之外周面維持有固定之間隙之狀態下沿著第一支撐部之外周面轉動；第一蓋掉落防止構件係設置為可於間隙內移動。該構成之高架搬送車，可使第一蓋掉落防止構件順利地移動至前進位置及退避位置。又，可相對於移行時之振動將第一蓋掉落防止構件穩定地收容於框架。
本發明一態樣之高架搬送車亦可進一步具備有第二蓋掉落防止構件，該第二蓋掉落防止構件係設置為可在被配置於蓋之下方之前進位置與被配置於自蓋之下方退避之位置的退避位置之間移動，且第二蓋掉落防止構件之朝向前進位置及退避位置之移動，與第一蓋掉落防止構件之朝向前進位置及退避位置之移動連動。該構成之高架搬送車由於可使功能各不相同之構件同時移動，因此可有效地防止蓋之掉落。又，例如可利用共通之驅動源，使不同之構件移動。
本發明一態樣之高架搬送車亦可進一步具備有晃動防止構件，該晃動防止構件係設置為可在被接觸配置於容器之側面之前進位置與被配置於自容器之側面離開之位置的退避位置之間移動，且晃動防止構件之朝向前進位置及退避位置之移動，與第一蓋掉落防止構件之朝向前進位置及退避位置之移動連動。該構成之高架搬送車由於可使功能各不相同之構件同時移動，因此可有效地防止蓋之掉落及容器之晃動。又，例如可利用共通之驅動源，使不同之構件移動。
根據本發明一態樣，可防止蓋自容器掉落。
1‧‧‧高架搬送車
2‧‧‧移行軌條
3‧‧‧移行驅動部
3A‧‧‧軸
5‧‧‧水平驅動部
6‧‧‧旋轉驅動部
7‧‧‧升降驅動部
8‧‧‧框架
9‧‧‧皮帶
10‧‧‧升降裝置
11‧‧‧保持裝置
12‧‧‧臂
13‧‧‧手部
15‧‧‧開閉機構
20‧‧‧第一蓋掉落防止構件
20a‧‧‧轉動軸
20b‧‧‧前端部
20c‧‧‧孔部
21‧‧‧第一直線部
22‧‧‧第一彎曲部
23‧‧‧第二直線部
24‧‧‧第二彎曲部(彎曲部)
25‧‧‧第三直線部(直線部)
28‧‧‧第四直線部
30‧‧‧導引構件
31‧‧‧第一支撐部
31a‧‧‧外周面
33‧‧‧第二支撐部
35‧‧‧托架
40‧‧‧第二蓋掉落防止構件
50‧‧‧轉動機構
51‧‧‧驅動部
52‧‧‧驅動軸
53‧‧‧第一齒輪構件
54‧‧‧第二齒輪構件
55‧‧‧第一連桿構件
56‧‧‧第二連桿構件
57‧‧‧第三齒輪構件
58‧‧‧臂構件
60‧‧‧移動機構
61‧‧‧凸輪構件
62‧‧‧第三連桿構件
65‧‧‧彈性構件
66‧‧‧第四連桿構件
68‧‧‧第五連桿構件
70‧‧‧晃動防止構件
70A‧‧‧滾輪
90‧‧‧FOUP
90a‧‧‧正面
90b‧‧‧側面
90c‧‧‧端部
90d‧‧‧中央部
91‧‧‧框體
93‧‧‧蓋
95‧‧‧凸緣
a1、a2、a3、a4、a5、a6、a7、a8、a11、a12、a21、a22‧‧‧箭頭方向
BL‧‧‧基準位置
D1‧‧‧第一距離
D2‧‧‧第二距離
D3‧‧‧距離
G‧‧‧間隙
P1、P3、P5‧‧‧前進位置
P2、P4、P6‧‧‧退避位置
X、Y、Z‧‧‧軸
II-II‧‧‧線
圖1係表示一實施形態之高架搬送車之前視圖。
圖2係圖1之第一蓋掉落防止構件位於前進位置時之自II-II線所觀察之剖面圖。
圖3係圖1之第一蓋掉落防止構件位於前進位置時之被配置於 框架內部之各機構的立體圖。
圖4係圖1之第一蓋掉落防止構件位於退避位置時之自II-II線所觀察之剖面圖。
圖5係圖1之第一蓋掉落防止構件位於退避位置時之被配置於框架內部之各機構的立體圖。
圖6係放大表示導引構件附近之立體圖。
圖7(A)至圖7(C)係表示圖1之第一蓋掉落防止構件自退避位置移動至前進位置之情形時之變遷的圖。
圖8係圖1之第二蓋掉落防止構件及晃動防止構件位於退避位置時之俯視圖。
圖9係圖1之第二蓋掉落防止構件及晃動防止構件位於前進位置時之俯視圖。
圖10(A)至圖10(C)係表示一實施形態之第一蓋掉落防止構件及第二蓋掉落防止構件之功能之說明圖。
圖11係變形例之第一蓋掉落防止構件位於前進位置時之被配置於框架內部之各機構的立體圖。
以下，參照圖式，詳細地對本發明一態樣較佳之一實施形態進行說明。再者，於圖式之說明中，對相同要素標示相同符號，並省略重複之說明。
圖1所示之高架搬送車1，沿著被設置於無塵室之天花板等較地板面高之位置的移行軌條(軌道)2移行。高架搬送車1例如於保管設備與既定之裝載埠之間搬送FOUP(前開式晶圓傳送盒；Front-Opening Unified Pod)(容器)90。FOUP 90具有：箱狀之框 體91，其具有開口部；及蓋93，其覆蓋開口部。蓋93係可卸除地被設置於框體91。於FOUP 90，例如收容有複數片半導體晶圓或光罩等。FOUP 90具有供高架搬送車1所保持之凸緣95。
於以下之說明中，為了方便說明，將圖1之左右方向(X軸方向)設為高架搬送車1之前後方向(移行方向)。將圖1之上下方向設為高架搬送車1之鉛垂方向(Z軸方向)。將圖1之深度方向設為高架搬送車1之寬度方向(Y軸方向)。X軸、Y軸及Z軸相互正交。
如圖1所示，高架搬送車1具備有移行驅動部3、水平驅動部5、旋轉驅動部6、升降驅動部7、升降裝置10、保持裝置(把持部)11、第一蓋掉落防止構件20、第二蓋掉落防止構件40、晃動防止構件70、第一蓋掉落防止構件20之轉動機構50(參照圖3)、及第二蓋掉落防止構件40與晃動防止構件70之移動機構60(參照圖8)。於高架搬送車1，以覆蓋水平驅動部5、旋轉驅動部6、升降驅動部7、升降裝置10及保持裝置11之方式，沿著前後方向設置有一對框架8、8。一對框架8、8於升降裝置10上升至上升端為止之狀態下，在保持裝置11之下方形成收容FOUP 90之空間。
移行驅動部3使高架搬送車1沿著移行軌條2移動。移行驅動部3係配置於移行軌條2內。移行驅動部3驅動沿著移行軌條2移行之滾輪(未圖示)。於移行驅動部3之下部，經由軸3A而連接有水平驅動部5。水平驅動部5使旋轉驅動部6、升降驅動部7及升降裝置10於水平面內沿著與移行軌條2之延伸方向正交之方向(寬度方向)移動。旋轉驅動部6使升降驅動部7及升降裝置10於水平面內旋轉。升降驅動部7藉由四根皮帶9之捲繞及送出， 使升降裝置10升降。再者，升降驅動部7之皮帶9，亦可使用鋼絲及繩索等適當之懸吊構件。
本實施形態之升降裝置10係設置為可藉由升降驅動部7進行升降，並作為高架搬送車1之升降台而發揮功能。保持裝置11保持FOUP 90。保持裝置11具備有L字狀之一對臂12、12、被固定於各臂12、12之手部13、13、及使一對臂12、12開閉之開閉機構15。
一對臂12、12係連接於開閉機構15。開閉機構15使一對臂12、12，朝相互接近之方向及相互分離之方向移動。藉由開閉機構15之動作，一對臂12、12沿著前後方向進退。藉此，被固定於臂12、12之一對手部13、13進行開閉。於本實施形態中，保持裝置11(升降裝置10)之高度位置係以如下之方式來調整：於一對手部13、13處於打開狀態時，手部13之保持面成為較凸緣95之下表面之高度更下方。而且，藉由在該狀態下一對手部13、13成為閉合狀態，手部13、13之保持面朝向凸緣95之下表面之下方前進，藉由在該狀態下使升降裝置10上升，而使凸緣95由一對手部13、13所保持(把持)，而進行FOUP 90之支撐。
如圖2至圖5所示，第一蓋掉落防止構件20藉由被配置於蓋93之正面，來防止蓋93自保持裝置11(參照圖1)所保持之FOUP 90掉落。尤其，如圖10(B)所示，在相對於框體91之開口部傾斜而傾倒之情形時發揮其功能。如圖2至圖5所示，第一蓋掉落防止構件20係設置為可以鉛垂方向為轉動軸，而在被配置於蓋93之正面之前進位置P1與被配置於自蓋93之正面退避之位置的退避位置P2之間，沿著FOUP 90之正面90a及側面90b轉動。
第一蓋掉落防止構件20係以轉動軸20a為基點而延伸至前端部20b之板狀構件。第一蓋掉落防止構件20係由不鏽鋼等材料所形成。第一蓋掉落防止構件20具有第一直線部21、第一彎曲部22、第二直線部23、第二彎曲部(彎曲部)24、及第三直線部(直線部)25。於第一蓋掉落防止構件20，橫跨第二直線部23、第二彎曲部24、及第三直線部25地形成有孔部20c。藉此，可一邊確保鉛垂方向上之距離，一邊使第一蓋掉落防止構件20之重量輕量化。再者，於本實施形態中，第一蓋掉落防止構件20雖以轉動軸20a為基點而經由臂構件58延伸至前端部20b，但第一蓋掉落防止構件20亦可為以轉動軸20a為基點而延伸至前端部20b之一個構件。
第一直線部21係被固定於在後半段進行詳細敍述之轉動機構50之臂構件58的部分。第一彎曲部22係第一直線部21與第二直線部23的連接部分，且藉由衝壓加工所彎折。第二直線部23係被支撐於在後半段進行詳細敍述之導引構件30的部分。第二彎曲部24係第二直線部23與第三直線部25的連接部分，且藉由衝壓加工所彎折。第三直線部25係具有第一蓋掉落防止構件20之前端部20b之構件。
第三直線部25係形成為於第一蓋掉落防止構件20位於前進位置P1時成為與蓋93平行。又，於將第一蓋掉落防止構件20位於前進位置P1時之移行方向上之FOUP 90之端部90c與第一蓋掉落防止構件20的距離設為第一距離D1，並將FOUP 90之較端部90c更靠中央之中央部90d與第一蓋掉落防止構件20之距離設為第二距離D2時，第一距離D1係設定為與第二距離D2相同、或 較第二距離D2長。於本實施形態中，被設定為第一距離D1與第二距離D2之距離相同。
於一對框架8、8分別設置有導引構件30。如圖6所示，導引構件30具有沿著鉛垂方向延伸之圓柱狀之第一支撐部31、及沿著鉛垂方向延伸之圓柱狀之第二支撐部33。第二支撐部33係設置為可在與第一支撐部31之外周面31a維持有固定之間隙G之狀態下沿著第一支撐部31的外周面31a轉動。第一蓋掉落防止構件20係配置為可通過間隙G，且被設置為可於間隙G內移動。導引構件30係藉由托架35被固定於框架8。
如圖2至圖5所示，第一蓋掉落防止構件20之轉動機構50，分別被收容於一對框架8、8。於在寬度方向上以蓋93之位置為基準位置BL時，第一蓋掉落防止構件20之轉動軸20a之位置係於自正面所觀察蓋93時朝基準位置BL之後方偏移距離D3。
轉動機構50具有驅動部51、驅動軸52、第一齒輪構件53、第二齒輪構件54、第一連桿構件55、第二連桿構件56、第三齒輪構件57、及臂構件58。轉動機構50將藉由驅動部51所進行之轉動運動，轉換成第一蓋掉落防止構件20之直線運動(前進位置與退避位置之往返運動)。以下，使用圖7(A)、圖7(B)及圖7(C)，對轉動機構50之動作進行說明。
如圖7(A)、圖7(B)及圖7(C)所示，於藉由驅動部51進行轉動之驅動軸52形成有齒輪。第一齒輪構件53係設置為與驅動軸52之齒輸卡合，若驅動軸52朝箭頭方向a1旋轉，則第一齒輪構件53亦朝箭頭方向a2旋轉。第二齒輪構件54係固定於第一齒輪構件53，若第一齒輪構件53朝箭頭方向a2旋轉，則第二齒輪 構件54亦朝箭頭方向a3旋轉。第一連桿構件55係連接於與第二齒輪構件54之轉動軸偏移之位置，且藉由第二齒輪構件54之箭頭方向a3之旋轉運動，第一連桿構件55朝箭頭方向a4進行直線運動。
第一連桿構件55與第二連桿構件56係可相互轉動地被連接，第二連桿構件56係固定於第三齒輪構件57。藉由在第一連桿構件55朝箭頭方向a4移動時之第二連桿構件56之移動，第三齒輪構件57朝箭頭方向a5旋轉。於第三齒輪構件57及臂構件58相互地形成有齒輪，且相互地卡合。若第三齒輪構件57朝箭頭方向a5旋轉，臂構件58便朝箭頭方向a6旋轉。若臂構件58朝箭頭方向a6旋轉，固定有第一蓋掉落防止構件20之臂構件58之端部便朝箭頭方向a7旋轉。藉此，第一蓋掉落防止構件20自FOUP 90之側面(框架8之內部)被送出至FOUP 90之正面(箭頭方向a8)。亦即，第一蓋掉落防止構件20自退避位置P2前進至前進位置P1。再者，第一蓋掉落防止構件20之自前進位置P1朝向退避位置P2之移動，係藉由朝向與前述之一連串動作相反之方向的動作來進行。
如圖2所示，第二蓋掉落防止構件40藉由被配置於FOUP 90之下表面，來防止保持裝置11(參照圖1)所保持之FOUP 90本身、及防止蓋93自該FOUP 90掉落。尤其，如圖10(C)所示，在相對於框體91之開口部平行地脫落之情形時發揮其功能。第二蓋掉落防止構件40係沿著寬度方向延伸之板狀構件，且由鋁等材料所形成。如圖2及圖9所示，第二蓋掉落防止構件40係設置為可在被配置於蓋93之下方之前進位置P3與如圖8所示般自蓋93 之下方退避的位置、即於自鉛垂上方所觀察之情形時被配置於被收納於框架8之區域之位置的退避位置P4之間移動。
如圖3及圖5所示，第二蓋掉落防止構件40之朝向前進位置P3及退避位置P4之移動，與第一蓋掉落防止構件20之朝向前進位置P1及退避位置P2的移動連動。亦即，若第一蓋掉落防止構件20前進至前進位置P1，則第二蓋掉落防止構件40亦前進至前進位置P3，若第一蓋掉落防止構件20退避至退避位置P2，則第二蓋掉落防止構件40亦退避至退避位置P4。
圖1所示之晃動防止構件70接觸支撐於FOUP 90之側面90b，抑制移行時被保持於保持裝置11之FOUP 90之高架搬送車1的前後方向(移行方向)及左右方向之晃動。如圖3及圖5所示，晃動防止構件70係構成為包含接觸支撐於FOUP 90(參照圖1)之兩個滾輪70A、70A。晃動防止構件70係設置為可於如圖3及圖9所示般被接觸配置於FOUP 90之側面90b之前進位置P5與如圖5及圖8所示般被配置於自FOUP 90之側面90b離開之位置的退避位置P6之間移動。
如圖3及圖5所示，晃動防止構件70之朝向前進位置P5及退避位置P6之移動，與第一蓋掉落防止構件20之朝向前進位置P1及退避位置P2的移動連動。亦即，若第一蓋掉落防止構件20前進至前進位置P1，則晃動防止構件70亦前進至前進位置P5，若第一蓋掉落防止構件20退避至退避位置P2，則晃動防止構件70亦退避至退避位置P6。以下，對第二蓋掉落防止構件40及晃動防止構件70之與第一蓋掉落防止構件20之連動動作進行說明。
如圖8及圖9所示，第二蓋掉落防止構件40及晃動 防止構件70之移動機構60，分別被收容於一對框架8、8(參照圖2及圖4)，且具有凸輪構件61、第三連桿構件62、彈性構件65、第四連桿構件66、及第五連桿構件68。
凸輪構件61係以與於第一蓋掉落防止構件20(參照圖2及圖4)之一連串之進入動作中轉動之第三齒輪構件57一體地轉動的方式被連接於第三齒輪構件57。若第三齒輪構件57旋轉，凸輪構件61便與該旋轉連動地朝箭頭方向a11旋轉。凸輪構件61係固定於第三連桿構件62，並且經由彈性構件65被連接於第五連桿構件68。第五連桿構件68可轉動地與第四連桿構件66連接。若凸輪構件61旋轉，第三連桿構件62以與凸輪構件61之轉動點為基點朝箭頭方向a12旋轉。與此同時地，第五連桿構件68以與第四連桿構件66之轉動點為基點朝箭頭方向a21旋轉。又，與此同時地，第四連桿構件66以與第五連桿構件68之轉動點為基點朝箭頭方向a22旋轉。
藉由以上所說明之一連串之動作，可轉動地被連接於第三連桿構件62及第四連桿構件66之第二蓋掉落防止構件40自退避位置P4前進至前進位置P3，可轉動地被連接於第五連桿構件68之晃動防止構件70自退避位置P6前進至前進位置P5。再者，第二蓋掉落防止構件40及晃動防止構件70之自前進位置P5朝向退避位置P6之移動，係藉由朝向與前述之一連串動作相反之方向的動作來進行。
對上述實施形態之高架搬送車1之作用效果進行說明。於本實施形態之高架搬送車1中，如圖2所示，由於設置有可前進至被配置於蓋93之正面之前進位置P1的第一蓋掉落防止構件 20，因此即便於蓋93自FOUP 90脫落之情形時，亦可於蓋93脫落之位置支撐該蓋93。藉此，可防止蓋93自FOUP 90掉落。
於上述實施形態之高架搬送車1中，如圖2及圖4所示，由於轉動軸20a之位置朝自正面觀察蓋93時之基準位置BL之後方偏移(距離D3)，因此可使第一蓋掉落防止構件20之轉動機構50靠近框架8之寬度方向之中央部。藉此，於即便將防止蓋93自FOUP 90掉落之第一蓋掉落防止構件20之轉動機構50分別設置於移行方向前後之框架8、8的情形時，亦可抑制框架8之寬度方向尺寸之增大。
於上述實施形態之高架搬送車1中，如圖2所示，於第一蓋掉落防止構件20之第二彎曲部24與前端部20b之間形成有第三直線部25，於第一蓋掉落防止構件20位於前進位置P1時，可使第一蓋掉落防止構件20與蓋93平行。因此，容易對第一蓋掉落防止構件20與FOUP 90之距離(D1、D2)進行調整。又，如上所述，由於容易對第一蓋掉落防止構件20與FOUP 90之距離(D1、D2)進行調整，因此，尤其於第一蓋掉落防止構件20容易與FOUP 90碰撞之FOUP 90之端部90c之位置，可確保與第一蓋掉落防止構件20之距離D1。其結果，可減少第一蓋掉落防止構件20與FOUP 90之碰撞之可能性。
於上述實施形態之高架搬送車1中，第一蓋掉落防止構件20之第三直線部25係如圖2所示，被設置為在第一蓋掉落防止構件20位於前進位置P1時，成為與蓋93平行。亦即，第一蓋掉落防止構件20位於前進位置P1時之移行方向上之FOUP 90之端部90c與第一蓋掉落防止構件20的距離(第一距離)D1，與FOUP 90 之較端部90c更靠中央之中央部90d與第一蓋掉落防止構件20之距離(第二距離)D2相等。於該構成之高架搬送車1中，容易對第一蓋掉落防止構件20與FOUP 90之距離D1、D2進行調整。
於上述實施形態之高架搬送車1中，如圖6所示，由於分別於框架8、8設置有支撐第一蓋掉落防止構件20之導引構件30，因此可使第一蓋掉落防止構件20順利地移動至前進位置P1(參照圖2)及退避位置P2(參照圖4)。又，相對於高架搬送車1移行時之振動可穩定地將第一蓋掉落防止構件20分別固定於框架8、8。
於上述實施形態之高架搬送車1中，如圖3及圖5所示，第二蓋掉落防止構件40之朝向前進位置P3及退避位置P4之移動，與第一蓋掉落防止構件20之朝向前進位置P1及退避位置P2之移動連動。又，晃動防止構件70之朝向前進位置P5及退避位置P6之移動，與第一蓋掉落防止構件20之朝向前進位置P1及退避位置P2之移動連動。於上述實施形態中，由於可使功能各不相同之構件同時移動，因此可有效地防止蓋93之掉落。
以上，雖已對一實施形態進行說明，但本發明之一態樣並不限定於上述實施形態者，而可於不脫離發明之主旨之範圍內進行各種變更。
於上述實施形態之高架搬送車1中，雖已舉以轉動軸20a為基點朝一方向延伸至前端部20b之板狀構件之第一蓋掉落防止構件20為例進行說明，但例如如圖11所示，亦可於前端部20b形成沿著鉛垂方向延伸之第四直線部28。於該構成中，於蓋93自FOUP 90脫落之情形時，不僅可沿著前後方向支撐蓋93，且亦可沿著鉛垂方向加以支撐。其結果，第一蓋掉落防止構件20可更穩定 地支撐蓋93。又，根據該構成，可省略習知支撐被設置於保持裝置11之手部13、13等之蓋93之上表面的構成。
於上述實施形態或變形例中，雖已舉第一蓋掉落防止構件20與第二蓋掉落防止構件40及晃動防止構件70相互地連動之例子進行說明，但既可各自單獨地動作，亦可為任意之兩個元件相互地連動。
8‧‧‧框架
20‧‧‧第一蓋掉落防止構件
20a‧‧‧轉動軸
20b‧‧‧前端部
21‧‧‧第一直線部
22‧‧‧第一彎曲部
23‧‧‧第二直線部
24‧‧‧第二彎曲部(彎曲部)
25‧‧‧第三直線部(直線部)
30‧‧‧導引構件
31‧‧‧第一支撐部
33‧‧‧第二支撐部
50‧‧‧轉動機構
52‧‧‧驅動軸
53‧‧‧第一齒輪構件
54‧‧‧第二齒輪構件
55‧‧‧第一連桿構件
56‧‧‧第二連桿構件
57‧‧‧第三齒輪構件
58‧‧‧臂構件
90‧‧‧FOUP
90a‧‧‧正面
90b‧‧‧側面
90c‧‧‧端部
90d‧‧‧中央部
91‧‧‧框體
93‧‧‧蓋
BL‧‧‧基準位置
D1‧‧‧第一距離
D2‧‧‧第二距離
D3‧‧‧距離
G‧‧‧間隙
P1、P3‧‧‧前進位置

Claims (8)

  1. 一種高架搬送車，係沿著軌道移行並以垂吊狀態搬送可卸除地設置有蓋之容器者；其具備有：把持部，其在使上述蓋朝向與移行方向交叉之寬度方向之狀態下把持上述容器；一對框架，其等係相對於上述把持部被設置在移行方向之前後；及第一蓋掉落防止構件，其係設置為可在被配置於上述蓋之正面之前進位置與被配置於自上述蓋之正面退避之位置的退避位置之間，以鉛垂方向為轉動軸而沿著水平面可轉動。
  2. 如請求項1之高架搬送車，其中，上述第一蓋掉落防止構件之轉動機構分別被收容於上述一對框架，且於在上述寬度方向以上述蓋之位置作為基準位置時，上述轉動軸之位置係朝自正面觀察上述蓋時之上述基準位置之後方偏移。
  3. 如請求項2之高架搬送車，其中，上述第一蓋掉落防止構件係以上述轉動軸為基點而延伸至前端部並且具有彎曲部之板狀構件，且於上述彎曲部與上述前端部之間形成有直線部。
  4. 如請求項3之高架搬送車，其中，上述直線部係設置為在上述第一蓋掉落防止構件位於上述前進位置時與上述蓋成為平行。
  5. 如請求項3之高架搬送車，其中，於將第一蓋掉落防止構件位於上述前進位置時之上述移行方向之上述容器之端部與上述第一蓋掉落防止構件的距離設為第一距離，並將上述容器之較端部更靠中央之中央部與上述第一蓋掉落防止構件之距離設為第二距離時，上述第一距離與上述第二距離相同、或較第二距離長。
  6. 如請求項1至5中任一項之高架搬送車，其中，其進一步具備有分別被設置於上述一對框架之導引構件，該導引構件具有：圓柱狀之第一支撐部，其沿著上述鉛垂方向延伸；及第二支撐部，其係設置為可在與上述第一支撐部之外周面維持有固定之間隙之狀態下沿著上述第一支撐部之外周面轉動；上述第一蓋掉落防止構件係設置為可於上述間隙內移動。
  7. 如請求項1至5中任一項之高架搬送車，其中，其進一步具備有第二蓋掉落防止構件，該第二蓋掉落防止構件係設置為可在被配置於上述蓋之下方之前進位置與被配置於自上述蓋之下方退避之位置的退避位置之間移動，且上述第二蓋掉落防止構件之朝向前進位置及退避位置之移動，與上述第一蓋掉落防止構件之朝向前進位置及退避位置之移動連動。
  8. 如請求項7之高架搬送車，其中，其進一步具備有晃動防止構件，該晃動防止構件係設置為可在被接觸配置於上述容器之側面之前進位置與被配置於自上述容器之側面離開之位置的退避位置之間移動，且上述晃動防止構件之朝向前進位置及退避位置之移動，與上述第一蓋掉落防止構件之朝向前進位置及退避位置之移動連動。
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