JP2006150538A - 把持型搬送装置並びにこれを用いるロボット、円盤状物加工設備及び円盤状物搬送方法。 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送ハンド先端の爪と回動する2つのフィンガに取り付けられたクランプ用爪とで円盤状ウエハを把持する搬送装置であって、把持した際、クランプ爪の押圧方向が円盤のほぼ中心に向かうようにフィンガ配置を設計する。特に、フィンガを交差させて配設して長くすると、摺動摩擦部分が1/10程度に減少した。
【選択図】図1
Description
また、ここでは図示しないが、特表2002−531942号公報では、本体の先端に固定した2個の爪と、リスト部中央に1本の前後に動く直動型フィンガに取り付けた爪とで、ウエハを把持する装置を提案している。
前述の直動型は、摺動するロッドがリストブロック3の外に伸びて運動するため、シリンダとの摩擦で生じたパーティクルを発散させる。さらに、特開平11−59896号公報は直動型フィンガに代えて、ゴムや軟質塩化ビニールなどで製造した円筒状の空気膨張材を使用する例があるが、これら材料は可塑剤や充填材を含有しておりウエハの直接接触する材料としては好ましくない。
本発明は、2つのフィンガの一方または双方が上下方向に屈曲されて高低差をもって交差するようにした把持型搬送装置において、2つのフィンガは、長さが長いため、回動して円盤状物の周縁に接触し押し続ける際、2つのフィンガの先端に取り付けられた爪の押圧方向は円盤状物の中心方向からのずれが小さく、周縁との摺れが減少しパーティクルの発生が少なくなる。従来の図11のクランプ用爪8と本発明の2つのフィンガの先端に取り付けられた爪図1のクランプ用爪の摺動距離を比較すると、同じ200mmウエハを把持する際、前者は11mmであったのに対し、後者はわずか1.2mmであり、摺動距離が約1/10に減少し、発生する塵埃が著しく少なくなり、大きな進歩が伺えた。
円盤状ウエハ28が左右の先端爪15,29と左右のクランプ用爪8、12で固定されたとき、円盤状ウエハの中心Cと右クランプ用爪12の中心を結ぶ直線は、右フィンガ10の右クランプ用爪12近傍部分に対してほぼ直角となっている。この際、左フィンガ6と右フィンガ10とは、交差するように配置しているので、互いに干渉しないように高低差を持つように配設してある。このような左右のフィンガ6,10が交差する把持型搬送装置1をクロスクランプ型搬送装置という。次に、左フィンガ6と右フィンガ10とは、リストブロック3の先端付近から回動軸7、11までの間は、円盤状ウエハの中心Cとエアシリンダ4を通る搬送装置の中心線Aにほぼ平行に大きく屈曲した形状に形成されている。
ロッドが伸張する場合、カム駆動部材17の横H字型凹部内側の間隔は、左右のカムベアリング9,13の直径より大きく、即ち、遊びをもたせてあるので、左右のカムベアリング9,13がカム駆動部材17に押されても、尚、円盤状ウエハ28の周縁把持までに至らない。そこで左右の枝フィンガ18,19にそれぞれフィンガバネ掛け部23で掛けられた左右のバネ24が、搬送装置の中心線Aにほぼ平行に、且つ、リストブロック3に設けられた左右の固定バネ掛け部22を基点に左右の枝フィンガ18,19を引っ張って左右のフィンガ6,10を円盤状ウエハ28側に左右対称に回動させて、円盤状ウエハ28の周縁を左右のクランプ爪8,12に把持(=クランプ)させる。
C 円盤状ウエハの中心
1 把持型搬送装置
2 搬送ハンド
3 リストブロック
4 エアシリンダ
5 吸排気口
6 左フィンガ
7 左回動軸
8 左クランプ用爪
9 左カムベアリング
10 右フィンガ
11 右回動軸
12 右クランプ用爪
13 右カムベアリング
14 中央フィンガ
15 左先端爪
16 中央クランプ爪
17 カム駆動部材
18 左枝フィンガ
19 右枝フィンガ
20 センサドグ
21 フィンガクローズセンサ
22 固定バネ掛け部
23 フィンガバネ掛け部
24 バネ
25 ウエハ載置台
26 ウエハ把持面
27 アーム取り付け部
28 円盤状ウエハ
29 右先端爪
30 搬送ロボット
31 ファンフィルタユニット
32 クリーンブース
33 処理装置
34 搬送ロボット胴体部
35 コンテナ
36 ロードポート
40 円盤状物加工設備
41 チャンバ
42 アーム
43 ロードロック室
44 移載室
45 真空ロボット
46 ロードロックドア
48 ステージ
51 射光部
52 受光部
53 光ファイバ
54 三方コック
55 左リンク
56 右リンク
57 ロッド
58 シリンダバネ
61 把持面
62 左フィンガ屈曲部
63 右フィンガ屈曲部
Claims (12)
- 少なくともリストブロックと搬送ハンドとフィンガと爪とからなる円盤状物の把持型搬送装置において、
リストブロックと搬送ハンドとは互いに固定され、リストブロックに水平面内で回動可能に連結された2つのフィンガの先端にそれぞれ取り付けられた爪と、
搬送ハンドの先端に固設された少なくとも1つの爪とによって、円盤状物の周縁を把持して前記円盤状物を搬送するための把持型搬送装置であって、
すべての前記爪が前記円盤状物に接触してその周縁を把持した状態で、回動する2つのフィンガの先端に取り付けられた爪の周縁に接する点における押圧方向が、前記円盤状物のほぼ中心方向であることを特徴とする、把持型搬送装置。 - 回動する2つの前記フィンガの先端に取り付けられた爪が、把持型搬送装置の先端と元部を結ぶ中心線に対して左右対称に動作するように取り付けられ、且つ、前記搬送ハンドの先端に固設された少なくとも1つの爪が、前記把持型搬送装置の先端と元部を結ぶ中心線に対し左右対称に配設されていることを特徴とする、請求項1記載の把持型搬送装置。
- 回動する2つの前記フィンガが水平面上で屈曲した形状に形成され、かつ、回動する2つの前記フィンガの根元部分が、2つの回動軸の中心を結ぶ直線に対して60度以上120度以下の範囲内で回動することを特徴とする、請求項1または2いずれかに記載の把持型搬送装置。
- 回動する2つの前記フィンガの先端に取り付けられた爪は、共に同一水平面上を回動し、
2つの前記フィンガが高低差をもって交差するようにしたことを特徴とする、請求項1から3いずれかに記載の把持型搬送装置。 - 前記搬送ハンドの先端に固設された少なくとも1つの爪が、前記円盤状物の周縁底部を載置する面と、前記円盤状物の周縁側部を押圧する垂直な面とを有することを特徴とする、請求項1から4いずれかに記載の把持型搬送装置。
- 前記爪のうちの少なくとも1つが、回転可能なコマ状であることを特徴とする、
請求項1から5いずれかに記載の把持型搬送装置。 - 前記搬送ハンドの先端の爪が2つであって、これら2つの爪いずれかの一方に射光部と、他方に受光部とを高低差もって配置し、これら2つの爪の間に傾斜をつけた光線を渡すことを特徴とする、請求項1から6いずれかに記載の把持型搬送装置。
- 請求項1から7いずれかに記載の把持型搬送装置を備える円盤状物の搬送ロボット。
- 請求項8の円盤状物の搬送ロボットを備える円盤状物加工設備。
- 把持型搬送装置のリストブロックに、水平回動可能に連結した2つのフィンガの先端に取り付けられた爪と、搬送ハンド先端に固定された少なくとも1つの爪とによって、円盤状物の周縁を把持して搬送するための前記把持型搬送装置による前記円盤状物の搬送方法において、
前記搬送ハンドを、
搬送すべき円盤状物の下であって、前記搬送ハンドの先端に固設された爪が当該円盤状物の先端を通り過した位置まで挿入する工程と、
当該円盤状物と当該円盤状物を載置する爪の面とが接触または接触直前の高さまで上昇させる工程と、
ついで前記2つのフィンガが対称且つ互いに前記搬送ハンドの内側に回動させて円盤状物を把持する工程と、
前記把持型搬送装置本体を目的位置へ移動させる工程と、
からなることを特徴とする、円盤状物の搬送方法。 - 前記搬送ハンドを、
搬送すべき円盤状物の下であって、前記搬送ハンドの先端に固設された少なくとも1つの爪が当該円盤状物の先端を通り過した位置まで挿入する工程と、
当該円盤状物と当該円盤状物を載置する爪の面とが接触または接触直前の高さまで上昇させる工程と、
前記搬送ハンドをその先端に固設された爪の垂直面に前記円盤状物の周縁が接触または接触直前の位置まで引き寄せる工程と、
ついで2つの前記フィンガを対称且つ互いに内側に搬送ハンドを回動させて円盤状物を把持する工程と、
前記把持型搬送装置本体を目的位置へ移動させる工程と、
からなることを特徴とする、請求項10の円盤状物の搬送方法。 - 把持型搬送装置のリストブロックに、水平回動可能に連結した2つのフィンガの先端に取り付けられた爪と、前記搬送ハンド先端に固定された少なくとも1つの爪とによって、円盤状物の周縁を把持して搬送するための把持型搬送装置による前記円盤状物の搬送方法において、
搬送先の目的場所に前記円盤状物を載置する際、
前記円盤状物を把持した把持型搬送装置が目的場所の上方まで移動する工程と、
2つの前記フィンガを開いた後又は開きながら前記把持型搬送装置が垂直に降下して円盤状物を目的場所に載置した後引き続き降下する工程と、
ついで前記把持型搬送装置が載置した円盤状物及び目的場所と干渉しない位置に移動する工程と、
からなることを特徴とする、円盤状物の搬送方法。
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