JP7088641B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
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Description
すなわち、従来の装置は、スループットを高めるために基板の搬送を高速で行い、落下防止の構成をアームに備えたものには適用できないという問題がある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、基板を搬送する基板搬送装置において、基板の下面に当接して基板を保持するアームと、前記アームの先端部に設けられ、基板の側端面に当接して前記アームの進出方向への基板の移動を規制する係止部と、前記アームの基端部側の取付部と、前記係止部と前記取付部との間に位置し、前記取付部から先端側へ延出された延出部と、前記基端部を前記アームの長軸周りに回転させる回転機構を備えたアーム形状可変機構と、を備え、前記アーム形状可変機構は、前記アームを基板の収納位置に進入させる進入時には、前記係止部が基板の下面と干渉せず、かつ、前記アームの進退方向に直交する方向から見た前記延出部が略直線状であり基板の下面と干渉しない形状とし、前記アームで基板を保持したまま前記アームを基板の収納位置から退出させる退出時には、前記係止部が基板の側端面に当接し、かつ、前記延出部が下方に湾曲する形状となるように、前記回転機構により、前記係止部と前記延出部とを一体的に回転させることで、前記アームの進退方向に直交する方向から見た形状を変える機能を備え、更に、前記アームは、棒状を呈し、二本で構成され、基板の撓みに応じた湾曲する形状であり、前記回転機構は、前記二本のアームの基端部をそれぞれ回転可能に保持するアーム保持部と、前記アーム保持部を貫通したアームの基端部に取り付けられた従動ローラを含む複数のローラと、これらのローラに掛け渡された無端ベルトと、対称に配置された前記二つの無端ベルトの間に配置され、前記二つの無担ベルトに固定された昇降片と、前記昇降片に作動軸が連結されたエアシリンダとを含み、前記エアシリンダの伸縮動作に伴って、前記アームの進入時には、前記係止部を横方向に向け、前記アームの退出時には、前記係止部を上方向に向けることを特徴とするものである。
図1は、実施例に係る基板搬送装置の概略構成を示す全体図であり、図2はカセット及び基板搬送装置の側面図であり、図3は、基板搬送装置を後方から見た斜視図であり、図4は、基板搬送装置を前方から見た斜視図であり、図5は、基板搬送装置の要部を前方から見た斜視図であり、図6は、基板搬送装置の要部を後方から見た斜視図である。
C … カセット
W … 基板
3 … 基台
5 … 進退駆動機構
7 … 駆動モータ
9 … 主動ローラ
11,13 … 従動ローラ
15,17 … 無端ベルト
19 … 移動基台
21 … リニアガイド
27 … アーム保持部
29 … アーム
29a … 取付部
29b … 係止部
29c … 延出部
29d … 当接支持部
31,33,35 … 従動ローラ
37 … 無端ベルト
41,51 … エアシリンダ
57 … 制御部
Claims (1)
- 基板を搬送する基板搬送装置において、
基板の下面に当接して基板を保持するアームと、
前記アームの先端部に設けられ、基板の側端面に当接して前記アームの進出方向への基板の移動を規制する係止部と、
前記アームの基端部側の取付部と、
前記係止部と前記取付部との間に位置し、前記取付部から先端側へ延出された延出部と、
前記基端部を前記アームの長軸周りに回転させる回転機構を備えたアーム形状可変機構と、
を備え、
前記アーム形状可変機構は、前記アームを基板の収納位置に進入させる進入時には、前記係止部が基板の下面と干渉せず、かつ、前記アームの進退方向に直交する方向から見た前記延出部が略直線状であり基板の下面と干渉しない形状とし、前記アームで基板を保持したまま前記アームを基板の収納位置から退出させる退出時には、前記係止部が基板の側端面に当接し、かつ、前記延出部が下方に湾曲する形状となるように、前記回転機構により、前記係止部と前記延出部とを一体的に回転させることで、前記アームの進退方向に直交する方向から見た形状を変える機能を備え、
更に、
前記アームは、棒状を呈し、二本で構成され、基板の撓みに応じた湾曲する形状であり、
前記回転機構は、前記二本のアームの基端部をそれぞれ回転可能に保持するアーム保持部と、前記アーム保持部を貫通したアームの基端部に取り付けられた従動ローラを含む複数のローラと、これらのローラに掛け渡された無端ベルトと、対称に配置された前記二つの無端ベルトの間に配置され、前記二つの無担ベルトに固定された昇降片と、前記昇降片に作動軸が連結されたエアシリンダとを含み、前記エアシリンダの伸縮動作に伴って、前記アームの進入時には、前記係止部を横方向に向け、前記アームの退出時には、前記係止部を上方向に向けることを特徴とする基板搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017154443A JP7088641B2 (ja) | 2017-08-09 | 2017-08-09 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017154443A JP7088641B2 (ja) | 2017-08-09 | 2017-08-09 | 基板搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2019033220A JP2019033220A (ja) | 2019-02-28 |
JP7088641B2 true JP7088641B2 (ja) | 2022-06-21 |
Family
ID=65524404
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2017154443A Active JP7088641B2 (ja) | 2017-08-09 | 2017-08-09 | 基板搬送装置 |
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Country | Link |
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Families Citing this family (2)
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Citations (4)
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JP2005191412A (ja) | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置及び基板の製造方法 |
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JP2011003695A (ja) * | 2009-06-18 | 2011-01-06 | Nikon Corp | 基板搬送装置 |
-
2017
- 2017-08-09 JP JP2017154443A patent/JP7088641B2/ja active Active
Patent Citations (4)
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Publication number | Publication date |
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